本申請主張于2014年1月31日提交的美國臨時(shí)申請序號第61/934,337號案及于2014年3月13日提交的美國臨時(shí)申請序號第61/952,254號案的優(yōu)先權(quán)，這兩案的內(nèi)容在此被完整并入以供參考。
背景技術(shù)：
：行動(dòng)運(yùn)算應(yīng)用的持續(xù)擴(kuò)展需要使不斷增長等級的運(yùn)算能力封裝于較小器件足跡(devicefootprint)內(nèi)。半導(dǎo)體器件的設(shè)計(jì)者依賴使用各種新的芯片結(jié)構(gòu)以符合新的器件要求。這些新結(jié)構(gòu)包含使用銅柱的覆晶晶圓凸塊，與使用直通硅穿孔(TSV)的方式，諸如，三維集成電路(3DIC)，其中，晶圓被薄化，形成的晶粒被堆棧，然后，通過TSV及2.5D中介層設(shè)計(jì)連接。這些方式不僅對于這些新IC結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)者造成重大挑戰(zhàn)，而且對于用于這些器件的封裝材料的設(shè)計(jì)者也是如此。用于封裝應(yīng)用的材料要求持續(xù)地發(fā)展，因?yàn)檫@些新穎的進(jìn)步器件嚴(yán)重依賴晶圓級封裝(WLP)及3D集成化。雖然有數(shù)種傳統(tǒng)封裝材料多年來已被使用，聚酰亞胺類由于其優(yōu)異的電、機(jī)械及熱性質(zhì)而已經(jīng)是選用于半導(dǎo)體封裝應(yīng)用的材料。但是，傳統(tǒng)聚酰亞胺類的缺點(diǎn)包含高固化溫度(>350℃)、高固化后收縮率，及高吸水量。此高收縮率導(dǎo)致具有高殘余應(yīng)力的固化聚酰亞胺膜，這導(dǎo)致硅晶圓曲折。使用3D集成化的下一代芯片結(jié)構(gòu)需要硅晶圓在大部分先進(jìn)應(yīng)用中薄至最多達(dá)20μm，以便滿足用于垂直集成化的要求。這些薄化晶圓是極易碎的，并且使用的封裝材料中的過度殘余應(yīng)力會(huì)是毀壞性的。下一代封裝材料必須被設(shè)計(jì)成賦予晶圓最小應(yīng)力。因此，低固化溫度及低固化后收縮率處于對先進(jìn)封裝材料的重要要求之中。諸如環(huán)氧化物及BCB的其它傳統(tǒng)封裝材料可在較低溫度(<250℃)固化，且具有比聚酰亞胺類更低的殘余應(yīng)力。不幸地，這些材料遭受其本身限制，諸如，差的機(jī)械性質(zhì)，包含高熱膨脹系數(shù)(CTE)。諸如金屬類(鋁、銅)及SiO2的半導(dǎo)體基材具有低CTE。具有高CTE的封裝材料產(chǎn)生與底下基材大量的熱不相配，這會(huì)導(dǎo)致封裝材料翹曲及脫層。傳統(tǒng)封裝材料的其它限制包含差的可溶性和/或加工性。具有低殘余應(yīng)力及低CTE的一些封裝材料僅可溶于極性非質(zhì)子性溶劑(NMP、DMAc)，這是半導(dǎo)體制造商不能接受的?？扇苡诳山邮苋軇┑哪切┓庋b材料中，大部分不能使用諸如噴墨技術(shù)的變通性涂敷方法進(jìn)行涂覆。對先進(jìn)封裝材料提出的要求是嚴(yán)苛的?，F(xiàn)今，不存在滿足下一代WLP應(yīng)用的所有設(shè)計(jì)要求的單一材料。表1顯示下一代封裝材料的性能目標(biāo)及每一類傳統(tǒng)封裝材料無法符合要求之處。表1存在對于適于WLP及3D集成化應(yīng)用的新封裝材料的需求。這些材料必須在低溫固化，具有低CTE，并賦予構(gòu)成下一代器件的薄化晶圓低殘余應(yīng)力。這些材料還須可輕易溶于對環(huán)境及半導(dǎo)體友好的溶劑，且擁有通過各種涂覆方法(噴墨、狹縫涂覆、噴灑涂覆等)涂敷的涂敷變通性。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本發(fā)明的一個(gè)目的是提供會(huì)符合先進(jìn)封裝應(yīng)用的要求的新穎聚合物、聚合物組合物，及使用它們的方法。更特別地，本文描述一種聚酰亞胺聚合物，其含有下列組份(a)、(b)、(c)及(d)的反應(yīng)產(chǎn)物：(a)至少一種二胺，其選自由結(jié)構(gòu)(Ia)的二胺及結(jié)構(gòu)(Ib)的二胺所組成的族群，(b)至少一種結(jié)構(gòu)II的二胺，(c)至少一種四羧酸二酐，及(d)至少一種化合物，其含有與胺或酐有反應(yīng)性的第一官能團(tuán)及至少一種選自由取代或未取代的線性烯基基團(tuán)及取代或未取代的線性炔基基團(tuán)所組成族群的第二官能團(tuán)，其中，R1、R2、R3、R4、R5、R11、R12、R13、R14、R15、R16、R17及R18分別獨(dú)立地是H、取代或未取代的C1-C6線性或分支的烷基基團(tuán)，或C5-C7環(huán)烷基基團(tuán)，只要R15、R16、R17及R18的至少三個(gè)不是氫。在本文中，術(shù)語“反應(yīng)產(chǎn)物”是指從一個(gè)或多個(gè)合成步驟形成的產(chǎn)物。通常，可用以形成此處所述的作為反應(yīng)產(chǎn)物的聚酰亞胺聚合物的反應(yīng)可至少包含縮合、酰亞胺化及封端反應(yīng)。在一些實(shí)施方式中，反應(yīng)產(chǎn)物可通過使此處所述的二胺及二酐經(jīng)由縮合、酰亞胺化及封端反應(yīng)以此順序反應(yīng)而形成。在一些實(shí)施方式中，反應(yīng)產(chǎn)物可通過使此處所述的二胺及二酐經(jīng)由縮合、封端及酰亞胺化反應(yīng)以此順序反應(yīng)而形成。在一些實(shí)施方式中，縮合及封端反應(yīng)可在一個(gè)步驟實(shí)施，其后是酰亞胺化。在其它實(shí)施方式中，縮合及封端反應(yīng)可在二個(gè)步驟實(shí)施，其后是酰亞胺化。在一些實(shí)施方式中，本文特征在于含有如下組份(A)、(B)、(C)及(D)的組合物：(A)一種聚酰亞胺聚合物，其含有如下物質(zhì)形成的反應(yīng)產(chǎn)物：(a)至少一種二胺，其選自由結(jié)構(gòu)(Ia)的二胺及結(jié)構(gòu)(Ib)的二胺所組成的族群，(b)至少一種結(jié)構(gòu)(IIe)的二胺，(c)至少一種四羧酸二酐，及(d)至少一種化合物，其含有(a)與胺或酐有反應(yīng)性的第一官能團(tuán)及(b)至少一種選自由取代或未取代的線性烯基基團(tuán)及取代或未取代的線性炔基基團(tuán)所組成族群的第二官能團(tuán)，其中，R1、R2、R3、R4、R5、R11、R12、R13、R14、R15、R16、R17及R18分別獨(dú)立地是H、取代或未取代的C1-C6線性或分支的烷基基團(tuán)，或C5-C7環(huán)烷基基團(tuán)，只要R15、R16、R17及R18的至少二個(gè)不是氫；(B)至少一種反應(yīng)性官能性化合物，其具有至少一個(gè)在引發(fā)劑存在下能與聚酰亞胺聚合物上的第二官能團(tuán)反應(yīng)的官能團(tuán)；(C)一種引發(fā)劑，其能引發(fā)聚酰亞胺聚合物上的第二官能團(tuán)與反應(yīng)性官能性化合物之間的反應(yīng)；及(D)至少一種溶劑。在一些實(shí)施方式中，本文特征在于一種方法，其包含使基材以此處所述的組合物涂覆，形成在此基材上具有膜的經(jīng)涂覆的基材；及使經(jīng)涂覆的基材烘烤，形成具有干燥膜的經(jīng)涂覆的基材。在一些實(shí)施方式中，本文特征在于一種通過此處所述的方法形成的制品。這些制品的例子包含半導(dǎo)體基材、用于電子設(shè)備的可撓性膜、線隔離物、線涂層、漆包線漆，或經(jīng)著色的基材。在一些實(shí)施方式中，本文特征在于一種含有上述制件的半導(dǎo)體器件。例如，半導(dǎo)體器件可以是集成電路、發(fā)光二極管、太陽能電池及晶體管。在一些實(shí)施方式中，組份(a)是至少一種結(jié)構(gòu)(Ia)的二胺。在這些實(shí)施方式中，結(jié)構(gòu)(Ia)中的茚烷環(huán)上的氨基基團(tuán)可在5位上，結(jié)構(gòu)(Ia)中的其它氨基基團(tuán)可在4位上。R1、R2及R3分別可以是CH3，且R4及R5分別可以是H。在一些實(shí)施方式中，結(jié)構(gòu)(II)中的二個(gè)氨基基團(tuán)在相對于彼此的間位上。在這些實(shí)施方式中，R15、R16及R17分別可以是CH3，且R18可以是H。在一些實(shí)施方式中，對胺有反應(yīng)性的第一官能團(tuán)可包含酐基團(tuán)、鹵化?；鶊F(tuán)、環(huán)氧基團(tuán)，或異氰酸酯基團(tuán)。在一些實(shí)施方式中，對酐有反應(yīng)性的第一官能團(tuán)可包含氨基基團(tuán)、羥基基團(tuán)，或硫醇基團(tuán)。在一些實(shí)施方式中，組份(a)及(b)對組份(c)的摩爾比率范圍可為從1.01至1.4或從0.8至1(例如，從0.8至0.99)。在一些實(shí)施方式中，組份(B)可含有乙烯基基團(tuán)、烯丙基基團(tuán)、乙烯醚基團(tuán)、丙烯醚基團(tuán)、(甲基)丙烯?；鶊F(tuán)、環(huán)氧基團(tuán)、SiH基團(tuán)，或硫醇基團(tuán)。在一些實(shí)施方式中，組合物包含其它添加劑，其不受限制地包含黏著促進(jìn)劑、塑化劑、表面活性劑、染料等。在一些實(shí)施方式中，本文是有關(guān)于一種使用本文的組合物在基材上提供膜的方法。在一些實(shí)施方式中，本文是有關(guān)于一種提供已變成不溶于顯影劑的膜的方法。在一些實(shí)施方式中，本文是有關(guān)于一種用于在基材上形成立體像的光刻方法。具體實(shí)施方式術(shù)語定義在本文的上下文中，與聚酰亞胺聚合物或用以合成此聚合物的單體相關(guān)而使用的術(shù)語“四價(jià)基團(tuán)”意指元素含有用以作為聚合物骨架的部分或在加工后會(huì)變成酰亞胺基團(tuán)的部分的四個(gè)鍵(四價(jià))。若允許，其它取代基可存在，但不是會(huì)被結(jié)合至骨架或酰亞胺基團(tuán)內(nèi)的型式。術(shù)語“二價(jià)基團(tuán)”意指此基團(tuán)連接至二個(gè)指定部分。二價(jià)基團(tuán)上任何允許的取代不是與指定部分相同的型式。術(shù)語“一種或多種”及“至少一種”可交換地使用。術(shù)語“膜”及“涂層”可交換地使用。術(shù)語“部分”及“基團(tuán)”可交換地使用。同樣地，它們的單數(shù)可互換地使用。術(shù)語“膠黏”用以描述仍具有大量溶劑含量但不再可傾倒或可高度流動(dòng)地形成于基材上的膜。聚酰亞胺聚合物的說明本文的一種實(shí)施方式是有關(guān)于一種聚酰亞胺聚合物，其含有下列物質(zhì)形成的反應(yīng)產(chǎn)物(例如，縮合及酰亞胺化的產(chǎn)物)：(a)至少一種結(jié)構(gòu)(Ia)的二胺和/或結(jié)構(gòu)(Ib)的二胺，(b)至少一種結(jié)構(gòu)(II)的二胺，(c)至少一種四羧酸二酐，及(d)至少一種化合物，其含有與胺或酐有反應(yīng)性的第一官能團(tuán)，及至少一種選自取代或未取代的線性烯基基團(tuán)及取代或未取代的線性炔基基團(tuán)的第二官能團(tuán)，其中，R1、R2、R3、R4、R5、R11、R12、R13、R14、R15、R16、R17及R18分別獨(dú)立地是H、取代或未取代的C1-C6線性或分支烷基基團(tuán)，或C5-C7環(huán)烷基基團(tuán)，只要R15、R16、R17及R18的至少三個(gè)不是氫。R1、R2、R3、R4、R5、R11、R12、R13，及R14中的取代或未取代的C1-C6線性或分支烷基基團(tuán)的例子不受限制地包含甲基、乙基、丙基、異丙基、丁基、異丁基、叔丁基、戊基、己基，及2-甲基己基。R1、R2、R3、R4、R5、R11、R12、R13，及R14中的C5-C7環(huán)烷基基團(tuán)的例子不受限制地包含環(huán)戊基、環(huán)己基及環(huán)庚基。結(jié)構(gòu)(Ia)或(Ib)的二胺的特別例子不受限制地包含1-(4-氨基苯基)-1,3,3-三甲基茚烷-5-胺(另外命名包含4,4'-[1,4-亞苯基-雙(1-甲基亞乙基)]雙苯胺、1-(4-氨基苯基)-1,3,3-三甲基-2H-茚-5-胺、1-(4-氨基苯基)-1,3,3-三甲基-茚烷-5-胺、[1-(4-氨基苯基)-1,3,3-三甲基-茚烷-5-基]胺，及1-(4-氨基苯基)-2,3-二氫-1,3,3-三甲基-1H-茚-5-胺)、5-氨基-6-甲基-1-(3'-氨基-4'-甲基苯基)-1,3,3-三甲基茚烷、4-氨基-6-甲基-1-(3'-氨基-4'-甲基苯基)-1,3,3-三甲基茚烷、5,7-二氨基-1,1-二甲基茚烷、4,7-二氨基-1,1-二甲基茚烷、5,7-二氨基-1,1,4-三甲基茚烷、5,7-二氨基-1,1,6-三甲基茚烷，及5,7-二氨基-1,1-二甲基-4-乙基茚烷。R15、R16、R17及R18中的取代或未取代的C1-C6線性或分支烷基基團(tuán)的例子不受限制地包含甲基、乙基、丙基、異丙基、丁基、異丁基、叔丁基、戊基、己基，及2-甲基己基。R15、R16、R17及R18中的C5-C7環(huán)烷基基團(tuán)的例子不受限制地包含環(huán)戊基、環(huán)己基，及環(huán)庚基。結(jié)構(gòu)(II)的二胺的例子不受限制地包含2,3,5,6-四甲基苯二胺、2,4-二氨基-1,3,5-三甲苯、2,4-二氨基-1,3,5-三乙苯、2,4-二氨基-3,5-二甲基-1-乙苯、2,4-二氨基-1,5-二甲基-3-乙苯、2,4-二氨基-1,3,5-三異丙苯、2,3,5,6-四異丙基苯二胺，及2,4-二氨基-1,3,5,6-四甲苯。本文的聚酰亞胺可通過除結(jié)構(gòu)(Ia)、(Ib)或(II)的二胺外的二胺制備。例如，可用以制備本文的聚酰亞胺的另外二胺可為具有下列結(jié)構(gòu)的那些：H2N-X3-NH2，其中，X3是選自下列所組成族群的二價(jià)有機(jī)基團(tuán)：a)取代或未取代的C6-C18單核或多核的芳香族基團(tuán)，b)取代或未取代的亞甲基或亞乙基基團(tuán)，c)取代或未取代的C3-C20線性、分支、單環(huán)狀或多環(huán)狀的亞烷基基團(tuán)，d)取代或未取代的雜環(huán)狀基團(tuán)，e)在鏈內(nèi)含有一個(gè)或多個(gè)氧原子、硫原子，或NR91基團(tuán)的線性或分支的亞烷基基團(tuán)，其中，R91是C1-C3烷基基團(tuán)，f)結(jié)構(gòu)(III-a)、(III-b)，或(III-c)的二價(jià)基團(tuán)，g)二價(jià)基團(tuán)[A1—(B1)n1—A2]，其中，n1是范圍從1至5的整數(shù)，A1及A2獨(dú)立地選自由下列所組成的族群：1.取代或未取代的C5-C18環(huán)狀或多環(huán)狀的脂族基團(tuán)，及2.取代或未取代的C6-C18單核或多核的芳香族基團(tuán)，且B1是選自由下列所組成族群的二價(jià)連接基團(tuán)：1.單鍵，2.取代或未取代的C1-C20線性、分支、單環(huán)狀或多環(huán)狀的亞烷基基團(tuán)，3.取代或未取代的C2亞烯基基團(tuán)，4.C2亞炔基基團(tuán)，5.取代或未取代的C6-C18單核或稠合多核的芳香族基團(tuán)，6.氧原子，7.硫原子，8.-(C＝O)-基團(tuán)，9.[S(＝O)2]基團(tuán)，10.(S＝O)基團(tuán)，11.[C(＝O)O]基團(tuán)，12.[C(＝O)NH]基團(tuán)，及13.[O(C(R20)2(CR21)2O)n2]基團(tuán)，其中，n2是范圍從1至6的整數(shù)，且R20及R21獨(dú)立地是氫原子或取代或未取代的C1-C6線性，或分支的烷基基團(tuán)(例如，部分或完全地經(jīng)鹵素取代的C1-C6烷基基團(tuán))。二價(jià)有機(jī)官能團(tuán)B1的例子不受限制地包含如下所示的那些：其中，n3、n4及n5分別獨(dú)立地是范圍從1至6的整數(shù)。在鏈內(nèi)含有一個(gè)或多個(gè)氧原子、硫原子，或NR91基團(tuán)的線性或分支亞烷基基團(tuán)的適合例子不受限制地包含：其中，每個(gè)R91獨(dú)立地是C1-C3烷基基團(tuán)(例如，甲基、乙基、丙基，或異丙基)。X3的適合例子不受限制地包含下列部分：具有X3部分的適合二胺的例子不受限制地包含對-苯二胺、間-苯二胺、鄰-苯二胺、3-甲基-1,2-苯二胺、1,5-二氨基萘、1,2-二氨基乙烷、1,3-二氨基丙烷、1,4-二氨基丁烷、1,5-二氨基戊烷、1,6-二氨基己烷、1,7-二氨基庚烷、1,8-二氨基辛烷、1,9-二氨基壬烷、1,10-二氨基癸烷、1,2-二氨基環(huán)己烷、1,4-二氨基環(huán)己烷、1,3-環(huán)己烷雙(甲基胺)、5-氨基-1,3,3-三甲基環(huán)己烷甲烷胺、2,5-二氨基苯并三氟化物、3,5-二氨基苯并三氟化物、1,3-二氨基-2,4,5,6-四氟苯、4,4'-氧二苯胺、3,4'-氧二苯胺、3,3'-氧二苯胺、3,3'-二氨基二苯基砜、4,4'-二氨基二苯基砜、4,4'-亞異丙基二苯胺、4,4'-二氨基二苯基甲烷、2,2-雙(4-氨基苯基)丙烷、4,4'二氨基二苯基丙烷、4,4'-二氨基二苯基亞砜、4,4'-二氨基二苯基砜、4-氨基苯基-3-氨基苯甲酸酯、2,2'-二甲基-4,4'-二氨基聯(lián)苯、3,3'-二甲基-4,4'-二氨基聯(lián)苯、2,2'-雙(三氟甲基)聯(lián)苯胺、3,3'-雙(三氟甲基)聯(lián)苯胺、2,2-雙[4-(4-氨基苯氧基苯基)]六氟丙烷、2,2-雙(3-氨基-4-甲基苯基)-六氟丙烷、2,2-雙(3-氨基苯基)-1,1,1,3,3,3-六氟丙烷、1,3-雙-(4-氨基苯氧基)苯、1,3-雙-(3-氨基苯氧基)苯、1,4-雙-(4-氨基苯氧基)苯、1,4-雙-(3-氨基苯氧基)苯、1-(4-氨基苯氧基)-3-(3-氨基苯氧基)苯、2,2'-雙-(4-苯氧基苯胺)亞異丙基、N,N-雙(4-氨基苯基)苯胺、雙(對-β-氨基-叔丁基苯基)醚、對-雙-2-(2-甲基-4-氨基苯基)苯、對-雙(1,1-二甲基-5-氨基戊基)苯、3,3'-二甲基-4,4'-二氨基聯(lián)苯、3,3'-二甲氧基聯(lián)苯胺、4,4'-二氨基二苯甲酮、3'-二氯聯(lián)苯胺、2,2-雙[4-(4-氨基苯氧基)苯基]丙烷、4,4'-[1,3-亞苯基雙(1-甲基-亞乙基)]雙苯胺、4,4'-[1,4-亞苯基雙(1-甲基-亞乙基)]雙苯胺、2,2-雙[4-(4-氨基苯氧基)苯基]砜、2,2-雙[4-(3-氨基苯氧基)苯]、1,4-雙(4-氨基苯氧基)苯、1,3-雙(4-氨基苯氧基)苯、(1,3'-雙(3-氨基苯氧基)苯、2,6-二氨基-9H-噻噸-9-酮、2,6-二氨基蒽-9,10-二酮，及9H-芴-2,6-二胺。具有X3部分的優(yōu)選二胺的例子不受限制地包含間-苯二胺、1,5-二氨基萘、2,5-二氨基苯并三氟化物、3,5-二氨基苯并三氟化物、4,4'-氧二苯胺、4,4'-二氨基二苯基砜、2,2-雙(4-氨基苯基)丙烷、4-氨基苯基-3-氨基苯甲酸酯、2,2-雙[4-(4-氨基苯氧基苯基)]六氟丙烷、2,2-雙(3-氨基-4-甲基苯基)-六氟丙烷、2,2-雙(3-氨基苯基)-1,1,1,3,3,3-六氟丙烷、1,3-雙-(4-氨基苯氧基)苯、1,3-雙-(3-氨基苯氧基)苯、1-(4-氨基苯氧基)-3-(3-氨基苯氧基)苯、2,2'-雙-(4-苯氧基苯胺)亞異丙基、3,3'-二甲基-4,4'-二氨基聯(lián)苯、3,3'-二甲氧基聯(lián)苯胺、4,4'-二氨基二苯甲酮、2,2-雙[4-(4-氨基苯氧基)苯基]丙烷、4,4'-[1,3-亞苯基雙(1-甲基-亞乙基)]雙苯胺、4,4'-[1,4-亞苯基雙(1-甲基-亞乙基)]雙苯胺、2,2-雙[4-(4-氨基苯氧基)苯基]砜、2,2-雙[4-(3-氨基苯氧基)苯]、1,3'-雙(3-氨基苯氧基)苯、2,6-二氨基-9H-噻噸-9-酮，及2,6-二氨基蒽-9,10-二酮。結(jié)構(gòu)(Ia)的二胺的量可以是結(jié)構(gòu)(Ia)及(Ib)的二胺的量的0％至100％。結(jié)構(gòu)(Ib)的二胺的量可以是結(jié)構(gòu)(Ia)及(Ib)的二胺的量的0％至100％。在一些實(shí)施方式中，二胺總量中的結(jié)構(gòu)(Ia)及(Ib)的二胺的摩爾百分率是至少約30％(例如，至少約35％，至少約40％，至少約45％，或至少約50％)到至多約80％(例如，至多約75％或至多約70％)。在一些實(shí)施方式中，二胺總量中的結(jié)構(gòu)(II)的二胺的摩爾百分率是至少約30％(例如，至少約35％，至少約40％，至少約45％，或至少約50％)到至多約80％(例如，至多約75％或至多約70％)。在一些實(shí)施方式中，用以制備聚酰亞胺聚合物的二胺總量中的結(jié)構(gòu)(Ia)、(Ib)及(II)的二胺的總摩爾百分率是至少約60％(例如，至少約65％，至少約70％，或至少約75％)到至多約100％(例如，至多約95％，至多約90％，或至多約85％)。在一些實(shí)施方式中，結(jié)構(gòu)(Ia)、(Ib)及(II)的二胺的總量中的結(jié)構(gòu)(Ia)及(Ib)的二胺的摩爾百分率是至少約30％(例如，至少約35％，至少約40％，至少約45％，或至少約50％)到至多約80％(例如，至多約75％或至多約70％)。在一些實(shí)施方式中，結(jié)構(gòu)(Ia)、(Ib)及(II)的二胺的總量中的結(jié)構(gòu)(II)的二胺的摩爾百分率是至少約30％(例如，至少約35％，至少約40％，至少約45％，或至少約50％)到至多約80％(例如，至多約75％或至多約70％)。結(jié)構(gòu)(Ia)和/或結(jié)構(gòu)(Ib)及結(jié)構(gòu)(II)的二胺(及任何另外的任選二胺)與至少一種四羧酸二酐反應(yīng)。優(yōu)選的四羧酸二酐具有帶有Y部分的結(jié)構(gòu)(V)。Y部分是選自由如下所組成族群的四價(jià)有機(jī)基團(tuán)：a)取代或未取代的C6-C18單核或稠合多環(huán)的芳香族基團(tuán)，b)取代或未取代的C2-C18線性、分支、環(huán)狀或稠合多環(huán)狀的亞烷基基團(tuán)，c)取代或未取代的雜環(huán)狀基團(tuán)，d)結(jié)構(gòu)(VI-a)、(VI-b)、(VI-c)、(VI-d)、(VI-e)、(VI-f)、(VI-g)、(VI-h)、(VI-i)，或(VI-j)的四價(jià)基團(tuán)，其中，R31至R41獨(dú)立地是氫原子，或取代或未取代的C1-C10線性或分支的烷基基團(tuán)(例如，部分或完全經(jīng)鹵素取代的C1-C10烷基基團(tuán))，且L3至L6獨(dú)立地選自由未取代或取代的碳原子、氧原子、硫原子、-(C＝O)-基團(tuán)、–[S(＝O)2]基團(tuán)，及(S＝O)基團(tuán)所組成的族群，e)四價(jià)基團(tuán)[D1-L1-D2]，其中，D1及D2獨(dú)立地選自由下列所組成的族群：1.取代或未取代的C5-C18單環(huán)或多環(huán)的脂族基團(tuán)，及2.取代或未取代的C6-C18單核或多核的芳香族基團(tuán)，且L1是選自由下列所組成族群的二價(jià)結(jié)合基團(tuán)：1.單鍵，2.取代或未取代的C1-C20線性、分支、單環(huán)或多環(huán)的亞烷基基團(tuán)，3.取代或未取代的C2亞烯基基團(tuán)，4.C2亞炔基基團(tuán)，5.取代或未取代的C6-C18單核或稠合多環(huán)的芳香族基團(tuán)，6.氧原子，7.硫原子，8.-(C＝O)-基團(tuán)，9.[S(＝O)2]基團(tuán)，10.(S＝O)基團(tuán)，11.[C(＝O)O]基團(tuán)，12.[C(＝O)NH]基團(tuán)，及13.[O(C(R61)2(CR62)2O)n3]–基團(tuán)，其中，n3是范圍從1至約6，且R61及R62獨(dú)立地是氫原子，或取代或未取代的C1-C6線性，或分支的烷基基團(tuán)(例如，部分或完全經(jīng)鹵素取代的C1-C6烷基基團(tuán))。二價(jià)連接基團(tuán)L1的例子不受限制地包含如下所示的那些，其中，n3、n4及n5分別獨(dú)立地具有如上定義的相同意義：Y的適合例子不受限制地包含下列部分：具有Y部分的適合四羧酸二酐單體的例子不受限制地包含苯均四酸二酐、苯-1,2,3,4-四羧酸二酐、2,3,5,6-萘四羧酸二酐、2,3,6,7-萘四羧酸二酐、1,4,5,8-萘四羧酸二酐、2,6-二氯萘-1,4,5,8-四羧酸二酐、2,7-二氯萘-1,4,5,8-四羧酸二酐、2,3,6,7-四氯萘-1,4,5,8-四羧酸二酐、菲-,8,9,10-四羧酸二酐、3,4,9,10-苝四羧酸二酐、吡嗪-2,3,5,6-四羧酸二酐、噻吩-2,3,4,5-四羧酸二酐、2,3,5,6-吡啶四羧酸二酐、丁烷-1,2,3,4-四羧酸二酐、1,2,3,4-環(huán)戊烷四羧酸二酐、環(huán)丁烷-1,2,3,4-四羧酸二酐、環(huán)戊烷-1,2,3,4-四羧酸二酐、環(huán)己烷-1,2,4,5-四羧酸二酐、降莰烷-2,3,5,6-四羧酸二酐、二環(huán)[2.2.2]辛-7-烯-3,4,8,9-四羧酸二酐、四環(huán)[4.4.1.02,5.07,10]十一烷-1,2,3,4-四羧酸二酐、3,3',4,4'-二苯甲酮四羧酸二酐、2,2',3,3'-二苯甲酮四羧酸二酐、2,3,3',4'-二苯甲酮四羧酸二酐、3,3',4,4'-二苯基砜四羧酸二酐、2,2',3,3'-二苯基砜四羧酸二酐、2,3,3',4'-二苯基砜四羧酸二酐、3,3',4,4'-二苯醚四羧酸二酐、2,2',3,3'-二苯醚四羧酸二酐、2,3,3',4'-二苯醚四羧酸二酐、2,2-[雙(3,4-二羧苯基)]六氟丙烷二酐、乙二醇雙(無水偏苯三甲酸酯)，及5-(2,5-二氧四氫)-3-甲基-3-環(huán)己烯-1,2-二羧酸酐。具有Y部分的優(yōu)選四羧酸二酐單體的例子不受限制地包含吡嗪-2,3,5,6-四羧酸二酐、噻吩-2,3,4,5-四羧酸二酐、2,3,5,6-吡啶四羧酸二酐、降莰烷-2,3,5,6-四羧酸二酐、二環(huán)[2.2.2]辛-7-烯-3,4,8,9-四羧酸二酐、四環(huán)[4.4.1.02,5.07,10]十一烷-1,2,3,4-四羧酸二酐、3,3',4,4'-二苯甲酮四羧酸二酐、3,3',4,4'-二苯基砜四羧酸二酐、3,3',4,4'-二苯醚四羧酸二酐、2,3,3',4'-二苯醚四羧酸二酐、2,2-[雙(3,4-二羧基苯基)]六氟丙烷二酐、乙二醇雙(無水偏苯三甲酸酯)，及5-(2,5-二氧四氫)-3-甲基-3-環(huán)己烯-1,2-二羧酸酐。結(jié)構(gòu)(Ia)和/或結(jié)構(gòu)(Ib)及結(jié)構(gòu)(II)的二胺與至少一種四羧酸二酐反應(yīng)產(chǎn)生結(jié)構(gòu)(VII)的聚酰胺酸：其中，一些X是X1a和/或X1b，及X2與任選的X3，且R1、R2、R3、R4、R5、R11、R12、R13、R14、R15、R16、R17、R18，及Y如上所定義。結(jié)構(gòu)(VII)的聚酰胺酸可使用本領(lǐng)域技術(shù)人員所知的眾多合成程序或這些程序的變體合成。一般，為形成結(jié)構(gòu)(VII)的聚酰胺酸，可使一種或多種二胺與一種或多種四羧酸二酐在適于溶解這些單體的溶劑和優(yōu)選地所形成的聚酰胺酸存在下進(jìn)行接觸。在一些實(shí)施方式中，為制備聚酰胺酸，二胺組份及四羧酸二酐組份是通過使呈固體或溶液型式的這些組份之一逐漸進(jìn)料至另一組份的溶液內(nèi)而進(jìn)料至反應(yīng)容器內(nèi)(所有材料完全溶解可能未發(fā)生)。使這二種組份同時(shí)進(jìn)料的方法就生產(chǎn)力而言是有利的，因?yàn)榭s短加料所需時(shí)間。一般，反應(yīng)是在約15℃至約80℃實(shí)行約1至約48小時(shí)?？捎糜诒景l(fā)明的適合聚合反應(yīng)溶劑不受限制地包含N-甲基-2-吡咯烷酮、N-乙基-2-吡咯烷酮、N-丁基-2-吡咯烷酮、N-甲?；鶈徇?、N,N-二甲基甲酰胺、二甲基亞砜、γ-丁內(nèi)酯、N,N-二甲基乙酰胺、四亞甲基砜、對-氯酚、間-甲酚、二乙二醇甲醚、甲基-3-甲氧基丙酸酯、乙基-3-乙氧基丙酸酯、環(huán)己酮、丙二醇單甲醚乙酸酯，及2-氯-4-羥基甲苯。這些溶劑可單獨(dú)或以二種或更多種的組合而使用。這些溶劑中，優(yōu)選N-甲基-2-吡咯烷酮、γ–丁內(nèi)酯，及N,N-二甲基乙酰胺，且N-甲基-2-吡咯烷酮更優(yōu)選。在一些實(shí)施方式中，用于聚酰亞胺的不良溶劑可以不使聚酰胺酸沉淀的量與這些溶劑組合使用。這種不良溶劑的例子包含己烷、庚烷、苯、甲苯、二甲苯、氯苯，及鄰-二氯苯。以溶劑總量為基準(zhǔn)，使用的不良溶劑的量優(yōu)選為50重量％或更少(包含0)。因而制造的聚酰胺酸可通過沉淀于非溶劑或不良溶劑內(nèi)而隔離，且通過過濾收集。二胺組份對四羧酸二酐組份的摩爾比率可為大于1.00。形成的物種是以氨基終結(jié)的聚酰胺酸(例如，結(jié)構(gòu)(VIIa)的聚酰胺酸)。二胺組份對四羧酸二酐組份的摩爾比率一般范圍可為從1.01至1.40。在一些實(shí)施方式中，約1.05至1.33的二胺對四羧酸二酐的摩爾比率被使用。在一些實(shí)施方式中，約1.05至1.25的二胺對四羧酸二酐的摩爾比率被使用。在一些實(shí)施方式中，約1.05至1.20的二胺對四羧酸二酐的摩爾比率被使用。當(dāng)相對于二胺過量的四羧酸二酐被使用時(shí)，二胺對四羧酸二酐的適合摩爾比率范圍從約0.8至約0.99。二胺對四羧酸二酐優(yōu)選的摩爾比率范圍從約0.83至約0.98。在一些實(shí)施方式中，二胺對四羧酸二酐優(yōu)選的摩爾比率范圍從約0.87至約0.98。在一些實(shí)施方式中，二胺對四羧酸二酐優(yōu)選的摩爾比率范圍從約0.91至約0.98。當(dāng)摩爾過量的四羧酸二酐被使用時(shí)，產(chǎn)生以酐為終結(jié)的聚酰胺酸(例如，結(jié)構(gòu)(VIIb)的聚酰胺酸)。本領(lǐng)域技術(shù)人員會(huì)了解有多種合成路徑使結(jié)構(gòu)(VIIa)及(VIIb)的聚酰胺酸轉(zhuǎn)化成本文的聚酰亞胺聚合物。一個(gè)路徑是使用化學(xué)或熱酰亞胺化技術(shù)使結(jié)構(gòu)(VIIa)及(VIIb)的聚酰胺酸酰亞胺化，其后，使終端基團(tuán)(例如，結(jié)構(gòu)(VIIa)中的終端NH2及結(jié)構(gòu)(VIIb)中的終端酐)與具有與其有反應(yīng)性的第一官能團(tuán)且具有至少一個(gè)選自取代或未取代的線性烯基基團(tuán)及取代或未取代的線性炔基基團(tuán)的第二官能團(tuán)的化合物進(jìn)行反應(yīng)。另外，結(jié)構(gòu)(VIIa)或(VIIb)中的終端基團(tuán)的反應(yīng)可先進(jìn)行，其后是化學(xué)或熱酰亞胺化。另一方案是在該聚合反應(yīng)中包含單胺或單酐，其含有至少一個(gè)自由基、酸反應(yīng)基團(tuán)，或不干擾縮合反應(yīng)而可在該縮合反應(yīng)后官能化的官能基團(tuán)，及至少一個(gè)選自取代或未取代的線性烯基基團(tuán)及取代或未取代的線性炔基基團(tuán)的第二官能團(tuán)(例如，氨基酚其后與甲基丙烯氯反應(yīng))。熱酰亞胺化可以，例如，在固態(tài)在范圍從約100℃至約400℃(例如，從約200℃至約300℃，或約250℃)的溫度實(shí)施。在另一實(shí)施方式中，熱酰亞胺化可以在溶液中在范圍從約100℃至約250℃的溫度實(shí)施。當(dāng)熱處理在此溫度范圍內(nèi)實(shí)施時(shí)，酰亞胺化反應(yīng)性可控制在期望范圍內(nèi)，使未反應(yīng)的聚酰胺酸達(dá)到最小。在一些實(shí)施方式中，以此方式的熱酰亞胺化最好在聚合物終端基團(tuán)反應(yīng)之前進(jìn)行。聚酰胺酸也可使用共沸熱程序脫水。此反應(yīng)的例子描述在US5478915中。例如，在聚酰胺酸的合成完全后，添加甲苯，且溶液在155℃共沸回流，將水收集在迪恩史塔克(Dean-Stark)捕集器內(nèi)。在一些實(shí)施方式中，結(jié)構(gòu)(VIIIa)或(VIIIb)的聚酰亞胺是通過化學(xué)酰亞胺化制造。例如，化學(xué)酰亞胺化劑(例如，脫水劑)可添加至結(jié)構(gòu)(VIIa)或(VIIb)的聚酰胺酸。此化學(xué)酰亞胺化劑可催化聚酰胺酸基團(tuán)的閉環(huán)脫水處理，于聚合物骨架上形成酰亞胺官能性。如果聚酰胺酸在合成后被隔離，則其可再溶于可相容的溶劑中。一般，當(dāng)使用化學(xué)酰亞胺化時(shí)，酰亞胺化反應(yīng)在未隔離聚酰胺酸時(shí)發(fā)生。適合脫水劑可單獨(dú)或與非親核性堿組合使用，使聚酰胺酸酰亞胺化。適合脫水劑的例子不受限制地包含三氟甲烷磺酸、甲烷磺酸、對-甲苯磺酸、乙烷磺酸、丁烷磺酸、全氟丁烷磺酸、乙酸酐、丙酸酐，及丁酸酐。如果使用，則使用的非親核性堿可與用于封端反應(yīng)的非親核性堿相同或不同。適合的非親核性堿的例子不受限制地包含吡啶、三乙胺、三丙胺、三丁胺、二環(huán)己基甲胺、2-甲基吡啶、2,6-二甲基吡啶、3,5-二甲基吡啶、甲吡啶、4-二甲基氨基吡啶(DMAP)等。在一些實(shí)施方式中，化學(xué)酰亞胺化方法是以適合脫水劑及非親核性堿在約60℃至約130℃進(jìn)行約6小時(shí)至約48小時(shí)。脫水劑及非親核性堿可以等摩爾濃度使用。在另外實(shí)施方式中，脫水劑對非親核性堿的摩爾比率從約1.1至約10(例如，從約1.25至5，或從約1.5至約3.0)。在一種實(shí)施方式中，以存在于混合物中的聚酰胺酸的總量為基準(zhǔn)，約90摩爾％至約200摩爾％的脫水劑典型上被用以完成酰亞胺化反應(yīng)。優(yōu)選地，100摩爾％至160摩爾％的脫水劑被用以完成酰亞胺化方法。用以形成結(jié)構(gòu)(VIIIa)或(VIIIb)的聚酰亞胺的酰亞胺化可以通過觀察可歸因于酰亞胺環(huán)結(jié)構(gòu)從1770及1700cm-1的紅外光譜的特性吸收而確認(rèn)。在一些實(shí)施方式中，本文的聚合物至少約90％(例如，至少約95％，至少約98％，至少約99，或至少約100％)被酰亞胺化。結(jié)構(gòu)(VIIa)及(VIIIa)的聚合物的終端NH2基團(tuán)可通過與封端化合物反應(yīng)而封端，此封端化合物具有對胺有反應(yīng)性的第一官能團(tuán)，且具有至少一個(gè)選自取代或未取代的線性烯基基團(tuán)(例如，C2-C6線性烯基基團(tuán))及取代或未取代的線性炔基基團(tuán)(例如，C2-C6線性炔基基團(tuán))的第二官能團(tuán)。這些封端化合物的例子不受限制地包含亦含有至少一個(gè)選自取代或未取代的線性烯基基團(tuán)及取代或未取代的線性炔基基團(tuán)的第二官能團(tuán)的酸氯化物化合物、二羧酸酐、環(huán)氧化物化合物，及異氰酸酯化合物。取代的線性烯基基團(tuán)的例子不受限制地包含丙烯酸酯類、甲基丙烯酸酯類、二苯乙烯類，及乙烯醚類。線性炔基基團(tuán)上的取代基的例子不受限制地包含烷基(例如，Me或Et)、芳基(例如，苯基或取代苯基)、烷?；?例如，乙酰基)及芳?；?例如，苯甲酰基)。也具有至少一個(gè)選自取代或未取代的線性烯基基團(tuán)及取代或未取代的線性炔基基團(tuán)的第二官能團(tuán)的具有與終端NH2基團(tuán)有反應(yīng)性的第一官能團(tuán)的化合物的例子不受限制地包含下列化合物：當(dāng)酐作為與結(jié)構(gòu)(VIIa)及(VIIIa)的聚合物封端的反應(yīng)性官能團(tuán)使用時(shí)，產(chǎn)生聚酰胺酸。當(dāng)骨架聚酰胺酸被酰亞胺化時(shí)，結(jié)構(gòu)(VIIa)的聚酰胺酸終結(jié)聚合物可被酰亞胺化。結(jié)構(gòu)(VIIIa)的聚酰胺酸終結(jié)聚合物可自發(fā)地或在隔離及干燥期間酰亞胺化，或可以溫和熱或以最小量的脫水劑輕易酰亞胺化。結(jié)構(gòu)(VIIb)及(VIIIb)的聚合物的終端酐基團(tuán)可通過與化合物反應(yīng)而封端，此化合物具有與酐有反應(yīng)性的第一官能團(tuán)，且具有至少一個(gè)選自取代或未取代的線性烯基基團(tuán)及取代或未取代的線性炔基基團(tuán)的第二官能團(tuán)。這些化合物的例子不受限制地包含也含有至少一個(gè)選自取代或未取代的線性烯基基團(tuán)及取代或未取代的線性炔基基團(tuán)的第二官能團(tuán)的胺化合物、醇類，及硫醇類。含有符合這些標(biāo)準(zhǔn)的反應(yīng)性基團(tuán)的適合化合物的例子不受限制地包含下列化合物：在某些情況下，非親核性堿可用以促進(jìn)與終端酐基團(tuán)的反應(yīng)。適合的非親核性堿的例子不受限制地包含吡啶、三乙胺、三丙胺、三丁胺、二環(huán)己基甲基胺、2-甲基吡啶、2,6-二甲基吡啶、3,5-二甲基吡啶、甲吡啶、4-二甲基氨基吡啶(DMAP)等。當(dāng)結(jié)構(gòu)(VIIb)及(VIIIb)的聚合物以含胺的化合物封端時(shí)，產(chǎn)生聚酰胺酸。在此情況下，當(dāng)結(jié)構(gòu)(VIIb)的聚合物被酰亞胺化時(shí)，封端亦被酰亞胺化。自以含胺的化合物使結(jié)構(gòu)(VIIIb)的聚合物封端而形成的具有終端聚酰胺酸的聚酰胺酸可被隔離，或可經(jīng)熱或化學(xué)而酰亞胺化。在一些實(shí)施方式中，本文的形成聚酰亞胺可通過沉淀在水中和/或有機(jī)溶劑中而隔離，通過過濾回收，及干燥。在另外實(shí)施方式中，本文的含茚烷的聚酰亞胺可通過使其溶液添加至水及適合的水不互溶的溶劑的組合物中而隔離。因?yàn)榫埘啺肪酆衔镏械能嵬椴糠值臉O性性質(zhì)較低，在較低極性的水不互溶的溶劑中較高可溶性使本文的聚酰亞胺，不同于大部分聚酰亞胺，可自較高極性的反應(yīng)溶劑/水的混合物萃取。在另外實(shí)施方式中，本文的含茚烷的聚酰亞胺可通過使其溶液添加至水、適合的水不互溶的溶劑，及適合的水互溶的溶劑的組合物而隔離。因?yàn)榫埘啺肪酆衔镏械能嵬椴糠值臉O性性質(zhì)較低，在較低極性的水不互溶的溶劑中較高水溶性使本文的聚酰亞胺，不同于大部分聚酰亞胺，可自較高極性的反應(yīng)溶劑/水的混合物萃取。該經(jīng)萃取的聚合物溶液可通過以水清洗及其后分離水層，蒸餾各種揮發(fā)性化合物，及其后萃取至較高沸點(diǎn)的溶劑中而純化。本文的聚酰亞胺一般具有少于約120ppm/℃，優(yōu)選少于約80ppm/℃，且更優(yōu)選少于約60ppm/℃的CTE，且可溶于諸如γ-丁內(nèi)酯(GBL)、環(huán)戊酮(CP)及二甲基亞砜(DMSO)及其混合物的有機(jī)溶劑中。在一種實(shí)施方式中，本文的聚酰亞胺具有約50ppm/℃至約70ppm/℃的CTE。在一種實(shí)施方式中，本文的聚酰亞胺具有約40ppm/℃至約60ppm/℃的CTE。在一種實(shí)施方式中，本文的聚酰亞胺具有少于約40ppm/℃的CTE。此外，一般，本文的聚合物具有約20克/100克溶劑至約40克/100克溶劑的溶解度，其中，溶劑可為GBL、CP、DMSO和/或其混合物。本文的聚酰亞胺一般具有從2000道爾頓(Dalton)至100,000道爾頓，優(yōu)選從6000道爾頓至40,000道爾頓，更優(yōu)選從8000道爾頓至30,000道爾頓的重均分子量(使用聚苯乙烯標(biāo)準(zhǔn)物測量)。組合物說明本文特征還在于組合物(例如，涂覆或光敏性的樹脂組合物)，含有：(A)至少一種聚酰亞胺聚合物，其含有如下物質(zhì)形成的反應(yīng)產(chǎn)物(例如，縮合及酰亞胺化的產(chǎn)物)：(a)至少一種二胺，其選自由結(jié)構(gòu)(Ia)的二胺及結(jié)構(gòu)(Ib)的二胺所組成的族群，(b)至少一種結(jié)構(gòu)(IIe)的二胺，(c)至少一種四羧酸二酐，及(d)至少一種化合物，其含有與胺或酐有反應(yīng)性的第一官能團(tuán)，及至少一種選自取代或未取代的線性烯基基團(tuán)及取代或未取代的線性炔基基團(tuán)的第二官能團(tuán)；(B)至少一種反應(yīng)性官能性化合物(RFC)，其具有至少一個(gè)官能團(tuán)，該官能團(tuán)在經(jīng)活化的基團(tuán)或陽離子引發(fā)劑存在下能與聚酰亞胺聚合物上的第二官能團(tuán)反應(yīng)；(C)一種引發(fā)劑，其能引發(fā)聚酰亞胺聚合物上的第二官能團(tuán)與RFC間的反應(yīng)(在熱、光，或其它輻射存在下)；及(D)至少一種溶劑，其中，R1、R2、R3、R4、R5、R11、R12、R13、R14、R15、R16、R17及R18分別獨(dú)立地是H、取代或未取代的C1-C6線性或分支的烷基基團(tuán)，或C5-C7環(huán)烷基基團(tuán)，只要R15、R16、R17及R18的至少二個(gè)不是氫。在本文的另外實(shí)施方式中，結(jié)構(gòu)(IIe)中的R15、R16、R17及R18分別獨(dú)立地是H，或取代或未取代的C1-C6線性或分支的烷基基團(tuán)，或C5-C7環(huán)烷基基團(tuán)，只要R15、R16、R17及R18的至少三個(gè)不是氫。對于使用與結(jié)構(gòu)(II)的化合物不同的結(jié)構(gòu)(IIe)的化合物的那些實(shí)施方式，用于組合物的組份(A)中的聚酰亞胺的合成可以與對于含有結(jié)構(gòu)(II)的單體者相同的方式實(shí)行。組份(B)中的反應(yīng)性官能性化合物(RFC)一般擁有至少一種能與聚酰亞胺聚合物上的終端官能團(tuán)(例如，上述聚酰亞胺聚合物的第二官能團(tuán))反應(yīng)的官能團(tuán)。RFC可為單體或寡聚物。寡聚物可含有許多單體單元，且能進(jìn)一步反應(yīng)被并入最終材料內(nèi)。這些單體單元/寡聚物的例子是以下列型式的一種或多種為基礎(chǔ)：丙烯酸酯、酯、乙烯醇、氨基甲酸酯、尿素、酰亞胺、酰胺、咔惡唑、碳酸酯、吡喃糖、硅氧烷、尿素-甲醛，及三聚氰胺-甲醛。RFC一般含有至少一個(gè)終端和/或側(cè)反應(yīng)性官能團(tuán)，其能與聚酰亞胺聚合物上的至少一個(gè)選自取代或未取代的線性烯基基團(tuán)及取代或未取代的線性炔基基團(tuán)的第二官能團(tuán)經(jīng)自由基、熱或酸催化而反應(yīng)。在一種實(shí)施方式中，RFC上的反應(yīng)性官能團(tuán)含有不飽和雙鍵或三鍵。RFC上的反應(yīng)性官能團(tuán)的適合例子不受限制地包含乙烯基基團(tuán)、烯丙基基團(tuán)、乙烯醚基團(tuán)、丙烯醚基團(tuán)、(甲基)丙烯?；鶊F(tuán)、環(huán)氧基團(tuán)、–SiH基團(tuán)，及–SH(硫醇)基團(tuán)。在一種實(shí)施方式中，RFC的適合例子不受限制地包含氨基甲酸酯丙烯酸酯寡聚物。術(shù)語氨基甲酸酯丙烯酸酯寡聚物是指含有氨基甲酸酯連接且具有(甲基)丙烯酸酯(例如，丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯)官能團(tuán)的一類化合物，諸如，氨基甲酸酯多(甲基)丙烯酸酯、多氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯，及多氨基甲酸酯多(甲基)丙烯酸酯。氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯寡聚物的型式已描述于，例如，Coady等人的美國專利第4,608,409號案，及Chisholm等人的美國專利第6,844,950號案。RFC的其它特別例子包含1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、四乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二乙烯苯、經(jīng)乙氧基化的雙酚-A-二(甲基)丙烯酸酯、二乙二醇雙(烯丙基碳酸酯)、三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、二三羥甲基丙烷四(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五-/六-(甲基)丙烯酸酯、異三聚氰酸酯三(甲基)丙烯酸酯、雙(2-羥基乙基)-異三聚氰酸酯二(甲基)丙烯酸酯、1,3-丁二醇三(甲基)丙烯酸酯、1,4-丁二醇三(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸環(huán)己酯、(甲基)丙烯酸苯甲酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、經(jīng)(甲基)丙烯酸酯修飾的尿素-甲醛樹脂、經(jīng)(甲基)丙烯酸酯修飾的三聚氰胺-甲醛樹脂，及經(jīng)(甲基)丙烯酸酯修飾的纖維素。含有硫醇基團(tuán)的RFC化合物的例子不受限制地包含三羥甲基丙烷三(巰基乙酸酯)、季戊四醇四(巰基乙酸酯)、二季戊四醇六(3-巰基丙酸酯)，及經(jīng)乙氧基化的三羥甲基丙烷三-3-巰基丙酸酯。含有乙烯醚基團(tuán)的RFC化合物的例子不受限制地包含1,4-丁二醇二乙烯醚、1,4-環(huán)己烷二甲醇二乙烯醚、二(乙二醇)乙烯醚、聚(乙二醇)二乙烯醚，及雙[4-(乙烯氧基)丁基](4-甲基-1,3-亞苯基)雙氨甲酸酯。含有SiH基團(tuán)的RFC化合物的一個(gè)例子是可得自HybridPlastics的八硅烷(octasilane)SH1310。含有環(huán)氧化物基團(tuán)的RFC化合物的例子不受限制地包含乙二醇二縮水甘油醚，及1,4-丁二醇二縮水甘油醚。用于組合物的組份(C)中的引發(fā)劑(例如，光引發(fā)劑)是當(dāng)組合物或組合物的一部分曝露于光和/或熱時(shí)能引發(fā)聚酰亞胺聚合物上的第二官能團(tuán)與反應(yīng)性官能性化合物之間的反應(yīng)的一種化合物。用于組合物中的一些引發(fā)劑通過當(dāng)加熱或通過吸收于曝露波長的光時(shí)產(chǎn)生自由基而起作用。用于組合物的其它引發(fā)劑通過加熱或通過吸收曝露波長的光時(shí)產(chǎn)生酸而起作用。用于組合物的其它引發(fā)劑通過加熱或通過吸收曝露波長的光時(shí)產(chǎn)生堿性化合物而起作用。自由基光引發(fā)劑的例子是BASF的1-羥基-環(huán)己基-苯基-酮(Irgacure184)。光活性引發(fā)劑的例子是光酸產(chǎn)生劑，諸如，Aldrich目標(biāo)編號526940的三氟甲磺酸三苯锍。在一些實(shí)施方式中，此處所述的引發(fā)劑也可催化聚酰亞胺聚合物上的第二官能團(tuán)與反應(yīng)性官能性化合物之間的反應(yīng)，因此，也作為催化劑。加熱時(shí)產(chǎn)生自由基的引發(fā)劑的特別例子不受限制地包括過氧化苯甲酰、過氧化環(huán)己酮、過氧化月桂酰、過氧基苯甲酸叔戊酯、叔丁基過氧化氫、過氧化二異丙苯、異丙苯過氫化氫、琥珀酸過氧化物、二(正丙基)過氧二碳酸酯、2,2-偶氮雙(異丁腈)、2,2-偶氮雙(2,4-二甲基戊腈)、二甲基-2,2-偶氮雙異丁酸酯、4,4-偶氮雙(4-氰基戊酸)、偶氮雙環(huán)己烷碳化腈、2,2-偶氮雙(2-甲基丁腈)等。當(dāng)曝露于高能輻射時(shí)產(chǎn)生自由基的引發(fā)劑(也稱為光引發(fā)劑)的特別例子不受限制地包括NCI-831(可得自ADEKACorp.)、1,8-辛二酮、1,8-雙[9-(2-乙基己基)-6-硝基-9H-咔唑-3-基]-1,8-雙(O-乙?；?、2-羥基-2-甲基-1-苯基丙-1-酮、1-羥基環(huán)己基苯基酮(BASF的Irgacure184)、1-羥基環(huán)己基苯基酮及二苯甲酮的摻合物(BASF的Irgacure500)、2,4,4-三甲基戊基氧化膦(BASF的Irgacure1800、1850，及1700)、2,2-二甲氧基-2-苯乙酮(BASF的Irgacure651)、雙(2,4,6-三甲苯甲?；?苯基-氧化膦(BASF的Irgacure819)、2-甲基-1-[4-(甲基硫基)苯基]-2-嗎啉基丙-1-酮(BASF的Irgacure907)、(2,4,6-三甲苯甲?；?二苯基氧化膦(BASF的LucerinTPO)、乙氧基(2,4,6-三甲苯甲?；?苯基氧化膦(BASF的LucerinTPO-L)、氧化膦、羥基酮及二苯甲酮衍生物的摻合物(Sartomer的ESACUREKTO46)、2-羥基-2-甲基-1-苯基丙-1-酮(Merck的Darocur1173)、二苯甲酮、2-氯噻噸酮、2-甲基噻噸酮、2-異丙基噻噸酮、苯并二甲基縮酮、1,1,1-三氯苯乙酮、二乙氧基苯乙酮、間-氯苯乙酮、苯丙酮、葸醌、二苯并環(huán)庚酮等。非離子型光活性引發(fā)劑的特別例子是(5-甲苯甲酰基磺?；鮼啺被?5H-噻吩-2-亞基)-2-甲基苯基-乙腈(BASF的Irgacure121)、苯甲酰甲基對-甲基苯磺酸酯、安息香對-甲苯磺酸酯、(對-甲苯-磺?；?甲基安息香、3-(對-甲苯磺?；?-2-羥基-2-苯基-1-苯基丙醚、N-(對-十二烷基苯磺酰基氧)-1,8-萘酰亞胺、N-(苯基-磺酰基氧)-1,8-萘酰亞胺、雙(環(huán)己基磺?；?重氮甲烷、1-對-甲苯磺?；?1-環(huán)己基羰基重氮甲烷、2-硝基苯甲?；鶎?甲苯磺酸酯、2,6-二硝基苯甲基對-甲苯磺酸酯，及2,4-二硝基苯甲基對-三氟甲基苯磺酸酯等。離子型光活性引發(fā)劑的特別例子是甲烷磺酸三苯基锍、三氟甲烷磺酸三苯基锍、九氟丁烷磺酸三苯基锍、全氟辛烷磺酸三苯基锍、4-甲基苯基磺酸三苯基锍、九氟丁烷磺酸4-甲基苯基-二苯基锍、三芳基锍雙(三甲基磺?；?酰亞胺、三芳基锍三(三甲基磺?；?甲基化物、六氟丙烷磺酸二苯基碘、4-甲基苯基磺酸二苯基碘、三氟甲烷磺酸雙(4-叔丁基苯基)碘、六氟甲烷磺酸雙(4-叔丁基苯基)碘，及三氟甲烷磺酸雙(4-環(huán)己基苯基)碘等?？捎糜诒疚牡慕M合物的適合溶劑(D)可包括醇類、酮類、內(nèi)酯類、醚類、酰胺類、酰亞胺類，及酯類。溶劑典型上應(yīng)溶解組合物的所有組份，鑄制良好的薄膜，及不應(yīng)干擾組合物的組合反應(yīng)(例如，組份(A)與(B)之間的反應(yīng))。有機(jī)溶劑的適合例子不受限制地包括γ-丁內(nèi)酯(GBL)、N-甲基-2-吡咯烷酮(NMP)、二甲基四氫咪唑酮、N-甲基己內(nèi)酰胺、N-甲基丙酰胺、N,N-二甲基乙酰胺(DMAc)、二甲基亞砜(DMSO)、N,N-二甲基甲酰胺(DMF)、N,N-二乙基甲酰胺、二乙基乙酰胺、甲乙酮(MEK)、甲基異丁基酮(MIBK)、2-庚酮、環(huán)戊酮(CP)、環(huán)己酮、乙酸正丁酯(nBA)、丙二醇甲醚乙酸酯(PGMEA)、丙二醇甲醚(PGME)、乳酸乙酯(EL)、乳酸丙酯、3-甲基-3-甲氧基丁醇、四氫萘、異佛爾酮、乙二醇單丁醚、二乙二醇單乙醚、二乙二醇單乙醚乙酸酯、二乙二醇二甲醚、二乙二醇甲乙醚、三乙二醇單乙醚、二丙二醇單甲醚、3-甲氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、丙二酸二乙酯、乙二醇1,4:3,6-二脫水山梨醇、2,5-二甲醚(2,5-二甲基異山梨酯)、1,4:3,6-二脫水山梨醇2,5-二乙醚(2,5-二乙基異山梨酯)，及其混合物。優(yōu)選溶劑是γ-丁內(nèi)酯(GBL)、環(huán)戊酮(CP)、環(huán)己酮、2,5-二甲醚(2,5-二甲基異山梨酯)、乳酸乙酯(EL)，及二甲基亞砜(DMSO)。這些溶劑可個(gè)別或組合使用。在一些實(shí)施方式中，聚酰亞胺(A)的量是本文的組合物的從至少約2重量％(例如，至少約5重量％或至少約10重量％)到至多約50重量％(例如，至多約45重量％或至多約45重量％)。在一些實(shí)施方式中，具有至少一個(gè)反應(yīng)性官能團(tuán)的組份(B)的量是本文的組合物的從至少約1重量％(例如，至少約2重量％或至少約5重量％)到至多約25重量％(例如，至多約20重量％或至多約15重量％)。在一些實(shí)施方式中，組份(C)的量是本文的組合物的從至少約0.001重量％(例如，至少約0.01重量％或至少約1重量％)到至多約20重量％(例如，至多約15重量％或至多約10重量％)。在一些實(shí)施方式中，組份(D)的量是本文的組合物的從至少約40重量％(例如，至少約50重量％或至少約60重量％)到至多約98重量％(例如，至多約95重量％或至多約90重量％)。諸如黏著促進(jìn)劑、表面活性劑，及塑化劑(但不限于這些)的其它添加劑可添加至本文的組合物。以組合物的全部重量為基準(zhǔn)，另外添加劑的量范圍可從0％至約15％。適合的黏著促進(jìn)劑描述于“SilaneCouplingAgent”EdwinP.Plueddemann，1982PlenumPress，NewYork。黏著促進(jìn)劑的種類不受限制地包括乙烯基烷氧基硅烷類、甲基丙烯丙烯酰氧基烷氧基硅烷類(例如，3-甲基丙烯基-氧丙基二甲氧基-甲基硅烷或3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷)、巰基烷氧基硅烷類、氨基烷氧基硅烷類、環(huán)氧烷氧基硅烷類，及縮水甘油氧基烷氧基硅烷類?？捎糜诒疚牡慕M合物的適合黏著促進(jìn)劑的例子可描述為結(jié)構(gòu)(XIV)：其中，R81及R82分別獨(dú)立地是取代或未取代的C1-C10線性或分支烷基基團(tuán)或C3-C10環(huán)烷基基團(tuán)，p是從1至3的整數(shù)，且n6是從1至6的整數(shù)，R83是下列部分之一：其中，R84、R85、R86及R87分別獨(dú)立地是C1-C4烷基基團(tuán)(或C5-C7環(huán)烷基基團(tuán))。優(yōu)選的黏著促進(jìn)劑是其中R83選自下列的那些(包含甲基丙烯酸酯/丙烯酸酯)：具有結(jié)構(gòu)(XIV)的適合黏著促進(jìn)劑的例子不受限制地包括γ-氨基丙基三甲氧基硅烷、γ-縮水甘油氧基丙基甲基二甲氧基硅烷、γ-縮水甘油氧基丙基-甲基二乙氧基硅烷、縮水甘油氧基丙基三甲氧基硅烷，及γ-巰基丙基-甲基二甲氧基硅烷。在一些實(shí)施方式中，黏著促進(jìn)劑含有無硫醇基團(tuán)的硅化合物。在一些實(shí)施方式中，黏著促進(jìn)劑含有無丙烯系部分的硅化合物。在一些實(shí)施方式中，黏著促進(jìn)劑含有無環(huán)氧基團(tuán)的硅化合物。如果使用，任選的黏著促進(jìn)劑的濃度范圍是本文的組合物的從至少約0.1重量％(例如，至少約0.2重量％或至少約0.3重量％)到至多約5重量％(例如，至多約1.5重量％或至多約1重量％)。本文的組合物也可任選地含有至少一種表面活性劑。如果表面活性劑被使用，其可添加本文的組合物的從至少約0.001重量％(例如，至少約0.05重量％或至少約0.1重量％)到至多約2重量％(例如，至多約1.5重量％或至多約1重量％)。適合表面活性劑的例子不受限制地包括在JP-A-62-36663、JP-A-61-226746、JP-A-61-226745、JP-A-62-170950、JP-A-63-34540、JP-A-7-230165、JP-A-8-62834、JP-A-9-54432及JP-A-9-5988中所述的表面活性劑。本文的組合物可任選含有至少一種塑化劑。如果使用，任選的塑化劑的濃度范圍可為本文的組合物的至少約1重量％(例如，至少約1.5重量％或至少約2重量％)到至多約10重量％(例如，至多約7.5重量％或至多約5重量％)。在一些實(shí)施方式中，本文的組合物是實(shí)質(zhì)上不含與上述聚酰亞胺聚合物形成不連續(xù)相的聚合物。在一些實(shí)施方式中，本文的組合物含有一種或多種與上述聚酰亞胺聚合物形成連續(xù)相的另外聚合物。這些另外聚合物的適合例子不受限制地包括聚酰胺酸類、聚酰胺酯類、聚酯類、聚酰胺類、聚羥基酰胺類、聚醚酰亞胺類、聚芳烴類、聚醚類，及聚芳基硫化物。這些另外聚合物可在它們的終端和/或沿著它們的骨架含有反應(yīng)性基團(tuán)。在一些實(shí)施方式中，相對于聚酰亞胺聚合物，另外的聚合物以從至少約0.5重量％(例如，至少約1重量％或至少約5重量％)到至多約20重量％(例如，至多約15重量％或至多約10重量％)的量添加。本文特征還在于一種使用此處所述的組合物用于各種目的的方法。例如，在一些實(shí)施方式中，為了形成涂覆的基材，所述方法可包括下列步驟：a)以本文的組合物涂覆一種基材，形成在此基材上具有膜(例如，膠黏膜)的經(jīng)涂覆的基材，及b)烘烤經(jīng)涂覆的基材(例如，在從約50℃至約200℃的溫度)，形成具有干燥膜的經(jīng)涂覆的基材。在一些實(shí)施方式中，為形成不具圖案的涂覆基材，所述方法可包括下列步驟：a)以本文的組合物涂覆一種基材，形成在此基材上具有膜(例如，膠黏膜)的經(jīng)涂覆的基材；b)在第一烘烤步驟烘烤經(jīng)涂覆的基材(例如，在從約50℃至約150℃的溫度)，形成具有干燥膜的經(jīng)涂覆的基材；c)使經(jīng)干燥的膜曝露于熱或輻射，形成具有經(jīng)干燥、曝光的膜的經(jīng)涂覆的基材，及d)任選地，在第二烘烤步驟烘烤所述具有經(jīng)干燥、曝光的膜的經(jīng)涂覆的基材(例如，在從約50℃至約200℃的溫度)。在一些實(shí)施方式中，本方法是一種使用此處所述的組合物制備具圖案的立體圖像的光刻方法。在這些實(shí)施方式中，此處所述的組合物可用作為負(fù)光敏性樹脂組合物。在這些實(shí)施方式中，此方法可包括：a)以本文的組合物涂覆基材，形成在此基材上具有膜(例如，膠黏膜)的經(jīng)涂覆的基材；b)在第一步驟烘烤經(jīng)涂覆的基材(例如，在從約50℃至約150℃的溫度)，形成具有經(jīng)干燥的膜的經(jīng)涂覆的基材；c)使經(jīng)干燥的膜曝露于通過屏蔽或模版的輻射，形成具有經(jīng)干燥、具圖案經(jīng)曝光的膜的經(jīng)涂覆的基材；d)任選地，在第二烘烤步驟，烘烤所述經(jīng)干燥、具圖案經(jīng)曝光的膜的經(jīng)涂覆的基材(例如，在從約50℃至約150℃的溫度)；e)以顯影劑(例如，含有溶劑或溶劑混合物)使所述經(jīng)干燥、具圖案經(jīng)曝光的膜的一部分顯影，在基材上產(chǎn)生立體圖像，及f)任選地，以溶劑或溶劑混合物沖洗在基材上的立體圖像，及g)任選地，在第三烘烤步驟烘烤具有立體圖像的基材(例如，在從約50℃至約200℃的溫度)。在一些實(shí)施方式中，基材的涂覆可通過任何適合方法進(jìn)行，不受限制地包括旋轉(zhuǎn)涂覆、狹縫涂覆、噴灑涂覆、浸漬涂覆，及噴墨。本領(lǐng)域技術(shù)人員會(huì)知道何種涂覆方法對特定應(yīng)用而言是合適的。在一些實(shí)施方式中，第一、第二或第三烘烤步驟可使用在固定溫度或以1–20℃/分鐘的速率使溫度上升，在加熱板上接觸或鄰近加熱而進(jìn)行。在一些實(shí)施方式中，第一、第二，或第二烘烤步驟可在烘箱內(nèi)在固定溫度或通過1–20℃/分鐘的速率使溫度上升，在真空下或在大氣壓進(jìn)行。無論使用的烘烤方法如何，第一、第二，或第三烘烤步驟可以單一或多個(gè)步驟實(shí)施。適合烘烤裝置的例子不受限制地包括加熱板、紅外線燈、對流烘箱，及在噴墨印刷頭上的熱加熱組件。本領(lǐng)域技術(shù)人員會(huì)知道何種烘烤方法對特定應(yīng)用而言是合適的。在一些實(shí)施方式中，使用光或其它輻射(例如，紫外線、可見光、電子束輻射，或X-射線)的曝露步驟是適于特別組合物中的引發(fā)劑。使用i-線(365nm)、h-線(405nm)，或g-線(436nm)UV光是優(yōu)選的。一般，曝露步驟會(huì)導(dǎo)致組合物固化或交聯(lián)，其不溶于其后的顯影步驟。本領(lǐng)域技術(shù)人員會(huì)知道何種型式的高能輻射對特定應(yīng)用而言是合適的。在一些實(shí)施方式中，使膜曝露于通過屏蔽或模版的光或其它輻射后，未經(jīng)曝光的部分通過使用顯影劑移除，從而形成圖案。顯影劑的優(yōu)選例子包括有機(jī)溶劑或有機(jī)溶劑混合物。有機(jī)溶劑的適合例子不受限制地包括γ-丁內(nèi)酯(GBL)、N-甲基-2-吡咯烷酮(NMP)、N-乙基-2-吡咯烷酮、N-丁基-2-吡咯烷酮、N-甲?；鶈徇⒍谆臍溥溥蛲-甲基己內(nèi)酰胺、N-甲基丙酰胺、N,N-二甲基乙酰胺(DMAc)、二甲基亞砜(DMSO)、N,N-二甲基甲酰胺(DMF)、N,N-二乙基甲酰胺、二乙基乙酰胺、甲乙酮(MEK)、甲基異丁基酮(MIBK)、2-庚酮、環(huán)戊酮(CP)、環(huán)己酮、乙酸正丁酯(nBA)、丙二醇甲醚乙酸酯(PGMEA)、丙二醇甲醚(PGME)、乳酸乙酯(EL)、乳酸丙酯、3-甲基-3-甲氧基丁醇、四氫萘、異佛爾酮、乙二醇單丁醚、二乙二醇單乙醚、二乙二醇單乙醚乙酸酯、二乙二醇二甲醚、二乙二醇甲乙醚、三乙二醇單乙醚、二丙二醇單甲醚、3-甲氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、丙二酸二乙酯、乙二醇1,4:3,6-二脫水山梨醇2,5-二甲醚(2,5-二甲基異山梨酯)、1,4:3,6-二脫水山梨醇2,5-二乙醚(2,5-二乙基異山梨酯)，及其混合物。優(yōu)選的溶劑是γ-丁內(nèi)酯(GBL)、環(huán)戊酮(CP)、環(huán)己酮、2,5-二甲醚(2,5-二甲基異山梨酯)、乳酸乙酯(EL)、乳酸正丁酯(nBA)，及二甲基亞砜(DMSO)。這些溶劑可個(gè)別或以二種或更多種的組合而使用，以改良影像質(zhì)量。在一些實(shí)施方式中，顯影可通過任何適合方法實(shí)行，諸如，使上述顯影劑噴灑于經(jīng)曝光的膜上，使基材浸漬于顯影劑內(nèi)，或在基材浸漬于顯影劑內(nèi)時(shí)對基材施加超聲波，在旋轉(zhuǎn)基材時(shí)噴灑顯影劑等。本領(lǐng)域技術(shù)人員會(huì)知道何種顯影方法對于特定應(yīng)用而言是合適的。顯影時(shí)間范圍可從約20秒至約3分鐘。在一些實(shí)施方式中，顯影時(shí)間范圍可從約30秒至約2分鐘。在一些實(shí)施方式中，顯影時(shí)間范圍可從約45秒至約90秒。在一些實(shí)施方式中，多個(gè)顯影步驟可被使用。在一些實(shí)施方式中，二個(gè)或三個(gè)顯影步驟可被使用。在一些實(shí)施方式中，二個(gè)或三個(gè)顯影步驟被使用，其中，每個(gè)顯影步驟費(fèi)時(shí)從約25至約45秒。在一些實(shí)施方式中，顯影后，任選的沖洗處理可以用有機(jī)沖洗溶劑實(shí)行。有機(jī)沖洗溶劑的適合例子不受限制地包括醇類，諸如，異丙醇、甲基異丁基甲醇(MIBC)、丙二醇單甲醚(PGME)、戊醇；酯類，諸如，乙酸正丁酯(nBA)、乳酸乙酯(EL)，及丙二醇單甲醚乙酸酯(PGMEA)；酮類，諸如，環(huán)戊酮(CP)；及其混合物。沖洗溶劑可被用以實(shí)行沖洗處理，以移除殘余物。在一些實(shí)施方式中，第一烘烤步驟的溫度是從約50℃至約120℃。在一些實(shí)施方式中，第一烘烤步驟的溫度是從約70℃至約120℃。在一些實(shí)施方式中，第一烘烤步驟的溫度是從約80℃至約120℃。在一些實(shí)施方式中，第二烘烤步驟可在顯影前并入。在一些實(shí)施方式中，第二烘烤步驟的溫度是從約40℃至約150℃。在一些實(shí)施方式中，第二烘烤步驟的溫度是從約50℃至約120℃。在一些實(shí)施方式中，第二烘烤步驟的溫度是從約50℃至約110℃。在一些實(shí)施方式中，第三烘烤步驟可在顯影后并入。在一些實(shí)施方式中，第三烘烤步驟的溫度是從約100℃至約200℃。在一些實(shí)施方式中，第三烘烤步驟的溫度是從約120℃至約180℃。在一些實(shí)施方式中，在基材上形成的膜的厚度優(yōu)選從0.5μm至200μm。使用的適合膜厚度會(huì)通過特別應(yīng)用而判定。本領(lǐng)域技術(shù)人員會(huì)知道哪樣的膜厚度或膜厚度范圍是合適的。一般，上述方法可用以形成要被用于半導(dǎo)體器件的制品。這些制品的例子包括半導(dǎo)體基材、用于電子設(shè)備的可撓性膜、線隔離物、線涂層、漆包線漆，或經(jīng)著色的基材?？勺赃@些制品制造的半導(dǎo)體器件的例子包括集成電路、發(fā)光二極管、太陽能電也，及晶體管。此處引述的所有公開案(例如，專利案、專利申請公開案，及文件)的內(nèi)容在此被完整并入以供參考。合成例1(Poly-1)聚合反應(yīng)在1公升的三頸夾套式圓底燒瓶中實(shí)施，其裝設(shè)機(jī)械攪拌器、熱偶及在整個(gè)反應(yīng)保持正氮?dú)鈮毫Φ牡獨(dú)馊肟?。燒瓶?9.07克二苯甲酮-3,3′,4,4′-四羧酸二酐(BTDA)及200克無水NMP加料。內(nèi)容物在18-20℃攪拌。26.64克1-(4-氨基苯基)-1,3,3-三甲基茚烷-5-胺，也稱為4,4'-[1,4-亞苯基-雙(1-甲基亞乙基)]雙苯胺(DAPI)，及15.02克2,4-二氨基-1,3,5-三甲苯(DAM)溶于在一瓶子內(nèi)的100克干燥NMP。二胺溶液在室溫通過泵添加至燒瓶持續(xù)1小時(shí)。混合物加溫至60℃并且攪拌3小時(shí)。為使如上形成的聚酰胺酸封端，10.14克4-甲丙烯酰氧基乙基偏苯三甲酸酐(META)加料至燒瓶。混合物在60℃攪拌3小時(shí)。為實(shí)施酰亞胺化反應(yīng)，10.2克乙酸酐及3.94克吡啶加料至燒瓶。反應(yīng)混合物加溫至100℃并且攪拌12小時(shí)。小樣品(1克)被取得且沉淀于50:50甲醇/水(10毫升)內(nèi)。固體通過過濾隔離并且干燥。FTIR分析顯示酰亞胺化反應(yīng)完全(顯示無酰胺及酸酐波峰)。溶液冷卻至室溫，并且以滴液方式添加至4公升劇烈攪拌的去離子水，使聚合物沉淀。聚合物通過過濾收集，且以1公升的去離子水清洗。濾餅以1公升的甲醇再次形成漿料，并且過濾。濕濾餅在空氣中干燥12小時(shí)，然后，聚合物在70℃的真空下干燥12小時(shí)。得到的聚酰亞胺聚合物(Poly-1)的分子量通過GPC測量。合成例2-4(Poly-2、Poly-3及Poly-4)除了表2中所示的任何改變外，聚酰亞胺Poly-2、Poly-3及Poly-4是依據(jù)合成例1的程序合成。合成例5(Poly-5)除了使用的試劑量如下外，聚酰亞胺Poly-5是依據(jù)合成例1的程序合成：在150克無水NMP中的30.04克2,4-二氨基-1,3,5-三甲苯(DAM)及53.28克4,4'-[1,4-亞苯基-雙(1-甲基亞乙基)]雙苯胺(DAPI)，在168克無水NMP中的118.15克二苯甲酮-3,3′,4,4′-四羧酸二酐(BTDA)，及10.27克甲基丙烯酸酐，7.92克吡啶，及20.40克乙酸酐。合成例6(Poly-6)除了使用的試劑量如下外，聚酰亞胺Poly-6是依據(jù)合成例1的程序合成：在100克無水NMP中的15.02克2,4-二氨基-1,3,5-三甲苯(DAM)及26.64克4,4'-[1,4-亞苯基-雙(1-甲基亞乙基)]雙苯胺(DAPI)，在100克無水NMP中的70.30克二苯甲酮-3,3′,4,4′-四羧酸二酐(BTDA)，4.78克氨基丙基乙烯醚，3.96克吡啶，及10.20克乙酸酐。合成例7(Poly-7)除了使用的試劑量如下外，聚酰亞胺Poly-7是依據(jù)合成例1的程序合成：在400克無水NMP中的30.04克2,4-二氨基-1,3,5-三甲苯(DAM)及53.28克4,4'-[1,4-亞苯基-雙(1-甲基亞乙基)]雙苯胺(DAPI)，101.82克二苯甲酮-3,3′,4,4′-四羧酸二酐(BTDA)，35.09克六氟亞異丙基二酞酸酐(6FDA)，3.04克4-甲基丙烯酰氧基乙基偏苯三甲酸酐(META)，6.61克吡啶，及40.8克乙酸酐。合成例8(Poly-8)聚合反應(yīng)在1公升的三頸夾套式圓底燒瓶中實(shí)施，其裝設(shè)機(jī)械攪拌器、熱偶及在整個(gè)反應(yīng)保持正氮?dú)鈮毫Φ牡獨(dú)馊肟?。燒瓶?03.7克二苯甲酮-3,3′,4,4′-四羧酸二酐(BTDA)，70.2克六氟亞異丙基二酞酸酐(6FDA)及300克無水NMP加料。內(nèi)容物在18℃-20℃攪拌。106.55克1-(4-氨基苯基)-1,3,3-三甲基茚烷-5-胺(DAPI)，及60.4克2,4-二氨基-1,3,5-三甲苯(DAM)溶于在一瓶子中的700克干燥NMP。二胺溶液在室溫通過泵添加至燒瓶持續(xù)1小時(shí)?；旌衔锛訙刂?0℃并且攪拌3小時(shí)，產(chǎn)生聚酰胺酸。為使如上形成的聚酰胺酸封端，16.5克3-丙烯酰氧基-2,2-雙[(丙烯酰氧基)甲基]丙基1,3-二氧-1,3-二氫-2-苯并呋喃-5-羧酸酯(PETA)及1.58克吡啶加料至燒瓶?；旌衔镌?0℃攪拌3小時(shí)，形成經(jīng)封端的聚酰胺酸。為實(shí)施如上經(jīng)封端的聚酰胺酸的酰亞胺化反應(yīng)，100.0克乙酸酐及35.0克吡啶加料至燒瓶。反應(yīng)混合物加溫至110℃并且攪拌12小時(shí)。小樣品(1克)被取得且沉淀于50:50甲醇：水(10毫升)內(nèi)。固體通過過濾隔離并且干燥。FTIR分析顯示酰亞胺化反應(yīng)完全(顯示無酰胺及酸酐波峰)。溶液冷卻至室溫，并且以滴液方式添加至18公升劇烈攪拌的去離子水，使聚合物沉淀。聚合物通過過濾收集，且以1公升的去離子水清洗。濾餅以4公升的甲醇再次形成漿料，并且過濾。濕濾餅在空氣中干燥12小時(shí)，然后，聚合物在70℃的真空下干燥12小時(shí)。得到的聚酰亞胺聚合物(Poly-8)的分子量通過GPC測量。表2：合成例1-8的聚酰亞胺的信息1表示聚酰胺酸在酰亞胺化前與4-甲基丙烯酰氧基乙基偏苯三甲酸酐反應(yīng)。2表示聚酰胺酸在酰亞胺化前與甲基丙烯酸酐反應(yīng)。3表示聚酰胺酸在酰亞胺化前與氨基丙基乙烯醚反應(yīng)。4表示聚酰胺酸在酰亞胺化前與3-丙烯酰氧基-2,2-雙[(丙烯酰氧基)甲基]丙基1,3-二氧-1,3-二氫-2-苯并呋喃-5-羧酸酯反應(yīng)。結(jié)構(gòu)I的二胺的摩爾量與結(jié)構(gòu)II的二胺相同。在Poly-3中，BTDA及PMDA以相等摩爾量添加。在Poly7及Poly8中，BTDA/6-FDA的摩爾比率是4:1。合成例9(Poly-3的另外隔離方法)在NMP(574克)中的DAPI(199.8克)及DAM(112.7克)的溶液通過添加泵在室溫緩慢添加至在NMP(1022.5克)中的BTDA(221.5克)及PMDA(150.0克)的漿料。當(dāng)添加完全時(shí)，添加另外的NMP(455克)。在反應(yīng)溫度增加至60℃后，使混合物反應(yīng)18小時(shí)。接下來，固體4-甲基丙烯酰氧基乙基偏苯三甲酸酐(76.1克)及NMP(59克)添加至反應(yīng)混合物。在60℃另外20小時(shí)后，添加乙酸酐(153.4克)及吡啶(60.1克)，反應(yīng)溫度增至100℃，且使混合物反應(yīng)15小時(shí)。上述反應(yīng)混合物冷卻至室溫，且414.4克混合物轉(zhuǎn)移至裝設(shè)機(jī)械攪拌器的分液燒瓶。反應(yīng)溶液使用作為純化溶劑的環(huán)戊酮及甲苯稀釋，且以水清洗1小時(shí)。停止攪拌，且使混合物不受干擾地靜置。一旦相分離發(fā)生，水相被移除。有機(jī)相以作為純化溶劑的環(huán)戊酮稀釋，且以水再清洗三次。用于所有清洗的純化溶劑(即，環(huán)戊酮及甲苯)及水的量顯示于表3。表3清洗1清洗2清洗3清洗4甲苯(克)410.5---------環(huán)戊酮(克)639.590.799.4100.2水(克)612.1600.9402.5400.8經(jīng)清洗的有機(jī)相通過真空蒸餾濃縮。添加環(huán)戊酮(378.5克)作為隔離溶劑，且持續(xù)真空蒸餾。最終聚合物溶液具有31.23重量％的濃度。最終聚合物溶液的NMP含量通過GC判定是聚合物的0.40重量％。制造調(diào)配例的一般程序調(diào)配例中所述的光敏性組合物組份在琥珀色瓶中混合，且添加溶劑混合物調(diào)整溶液的固體含量，且攪拌至獲得均勻溶液為止。溶液經(jīng)由1.0μm過濾器過濾至干凈琥珀色瓶中。表4含有關(guān)于用于表5中的調(diào)配物的RFC化合物的信息。Ini-1是NCI-831(商品名，可得自ADEKACorporation)。Ini-2是二苯基(2,4,6-三甲基苯甲酰基)氧化膦。用于調(diào)配例的黏著促進(jìn)劑AP-1：(3-縮水甘油氧基丙基)三乙氧基硅烷AP-2：甲基丙烯酰氧基丙基三乙氧基硅烷表4：反應(yīng)性官能性化合物(RFC)的列表表5：調(diào)配例FE1-FE10*(克/100克調(diào)配物)以本文的光敏性組合物制備經(jīng)涂覆的基材如上制備的光敏性組合物旋轉(zhuǎn)涂覆在硅晶圓或二氧化硅晶圓上，形成具有從約5至約30微米厚度的涂層。經(jīng)涂覆的晶圓在105℃烘烤3分鐘。光敏性聚酰亞胺膜以寬帶UV曝光工具(CarlSüssMA-56)經(jīng)由用于曝光的具有合意圖案的屏蔽進(jìn)行曝光。曝光后，未曝光部分使用如表6(如下)中指示的顯影劑移除，其后以PGMEA沖洗經(jīng)顯影的膜，從而形成圖案。圖案形成后，經(jīng)顯影的膜在50℃加熱3分鐘。形成的膜通過光學(xué)顯微鏡檢查膜缺陷。膜在200℃的對流烘箱內(nèi)在N2氛圍下加熱1小時(shí)。調(diào)配例FE1-FE10在使用的調(diào)配溶劑中具有良好可溶性。當(dāng)旋轉(zhuǎn)涂覆在硅晶圓或二氧化硅晶圓上時(shí)，這些調(diào)配物產(chǎn)生質(zhì)量良好的涂層。在寬帶輻射曝光后，具有良好分辨率(<10微米)的圖案形成通過使用諸如GBL、CP或其混合物的溶劑使膜顯影而達(dá)成，處理例5除外，其解析圖像>10微米)。測試結(jié)果匯總在表6中。表6：處理例PE1-PE11調(diào)配例11(FE-11)組合物依據(jù)較早所述的一般程序，通過使用19克聚合物(Poly-7)，1.9克以下述結(jié)構(gòu)PAE-1所示的聚酰胺酸酯，0.57克黏著促進(jìn)劑AP-1，0.57克Ini-1，0.38克Ini-2，5.7克RFC-3，1.9克RFC-4及71.88克GBL進(jìn)行制備。處理例12FE-11以2000rpm的旋轉(zhuǎn)速度旋轉(zhuǎn)涂覆在硅晶圓上，形成具有6微米厚度的涂層。經(jīng)涂覆的晶圓在95℃的加熱板上烘烤180秒。溫度以10度/分鐘的上升速率上升至最高達(dá)170℃。達(dá)到170℃后，晶圓自加熱板移除且冷卻至室溫。獲得均一的均勻干燥膜，且通過光學(xué)顯微鏡觀察到無破裂。合成例10(PAA-1)聚合反應(yīng)在1公升的三頸夾套式圓底燒瓶中實(shí)施，其裝設(shè)機(jī)械攪拌器、熱偶及在整個(gè)反應(yīng)保持正氮?dú)鈮毫Φ牡獨(dú)馊肟?。燒瓶?6.64克二苯甲酮-3,3′,4,4′-四羧酸二酐(BTDA)及105克無水NMP加料。內(nèi)容物在18℃-20℃攪拌。15.02克2,4-二氨基-1,3,5-三甲苯(DAM)及26.64克1-(4-氨基苯基)-1,3,3-三甲基茚烷-5-胺(DAPI)溶于在一瓶子中的100克無水NMP。二胺溶液在室溫通過泵添加至燒瓶持續(xù)1小時(shí)?；旌衔锛訙刂?0℃并且攪拌3小時(shí)。樣品(100克)被取出研究聚酰胺酸(PAA-1)的機(jī)械性質(zhì)。溶液經(jīng)由0.2μm過濾器過濾至干燥琥珀色瓶內(nèi)。合成例11(PAA-2)除了使用的試劑量如下外，使用合成例1的程序：在100克NMP中的16.97克2,4-二氨基-1,3,5-三甲苯(DAM)及29.97克1-(4-氨基苯基)-1,3,3-三甲基茚烷-5-胺(DAPI)。140克無水NMP，33.02克二苯甲酮-3,3′,4,4′-四羧酸二酐(BTDA)及22.50克苯均四酸二酐(PMDA)添加至1公升的夾套式燒瓶內(nèi)。樣品(100克)被取出研究聚酰胺酸(PAA-2)的機(jī)械性質(zhì)。溶液經(jīng)由0.2μm過濾器過濾至干凈琥珀色瓶內(nèi)。合成例12(PAA-3)聚合反應(yīng)在1公升的三頸夾套式圓底燒瓶中實(shí)施，其裝設(shè)機(jī)械攪拌器、熱偶及在整個(gè)反應(yīng)保持正氮?dú)鈮毫Φ牡獨(dú)馊肟?。燒瓶?9.06克二苯甲酮-3,3′,4,4′-四羧酸二酐(BTDA)及106克無水NMP加料。內(nèi)容物在18-20℃攪拌。16.43克2,3,5,6-四甲基-1,4-苯二胺(aka1,4-二氨基四甲苯)(DAD)及26.64克1-(4-氨基苯基)-1,3,3-三甲基茚烷-5-胺(DAPI)溶于在一瓶子內(nèi)的100克無水NMP。二胺溶液在室溫通過泵添加至燒瓶持續(xù)1小時(shí)?；旌衔锛訙刂?0℃且攪拌3小時(shí)。樣品(100克)被取出研究聚酰胺酸(PAA-3)的機(jī)械性質(zhì)。溶液經(jīng)由0.2μm過濾器過濾至干凈琥珀色瓶內(nèi)。由聚酰胺酸涂層樣品制備聚酰亞胺膜以供基本聚合物的CTE測量如上制備的聚酰胺酸樣品(PAA-1、PAA-2、PAA-3)個(gè)別旋轉(zhuǎn)涂覆在二氧化硅晶圓上，形成具有從約5至約30秒厚度的涂層。經(jīng)涂覆的晶圓在120℃烘烤3分鐘使涂層干燥。聚酰胺酸涂層在430℃的對流烘箱內(nèi)在N2氛圍下加熱4小時(shí)，轉(zhuǎn)化成相應(yīng)的聚酰亞胺。聚酰亞胺涂層(PI-1、PI-2、PI-3)通過以50:1的水/HF溶液處理而自晶圓脫離。脫離的涂層在干燥箱內(nèi)在N2下干燥24小時(shí)。CTE(熱膨脹系數(shù))及Tg(玻璃轉(zhuǎn)化溫度)是使用TAInstrumentsQ400熱機(jī)械分析儀(TMA)來測量。樣品是通過切割3毫米寬的涂層帶材而制備，然后，使用夾具上的16mm長度設(shè)定放置在放置夾中。然后，放置的涂層帶材置于石英狹槽內(nèi)，且涂層通過工具測量。一旦測量完全，將爐關(guān)閉，且溫度上升以5℃至10℃/分鐘開始，且膜處于0.2N的力量下。爐上升至達(dá)到400℃為止。TMA測量帶材長度相對于溫度(℃)的改變，并繪制圖形。通過TMA圖從50℃至150℃的線段上的TMA來計(jì)算CTE(依據(jù)ASTME-831)。Tg是以圖上膜軟化發(fā)生造成尺寸改變急劇增加時(shí)的點(diǎn)來定義。表7.PAA-1-PAA-3的聚酰亞胺的CTE及Tg固化膜的性質(zhì)PI-1膜PI-2膜PI-3膜Tg，℃380超過400超過400CTE，ppm/℃464747如表7中所示，PI-1、PI-2及PI-3皆顯示低的CTE值，暗示本文的基本聚合物特別適于作為封裝材料。合成例13至合成例18(Poly-9至Poly-14)除了表8中所示的差異(例如，Ia：Ib：II：其它二胺的比率，總二胺：二酐的比率，及特別封端)外，聚合物Poly-9至Poly-14是在合成例13至合成例18中使用合成例1所述的程序制備。合成例19(Poly-15)聚合物Poly-15是使用合成例1中所述的聚酰胺酸合成程序、封端程序及酰亞胺化程序且使用表8中所述的各種試劑比率而制備。聚合物是在酰亞胺化前通過使用2-(乙烯氧基)乙基5-氯-5-氧戊酸酯進(jìn)行封端。酰亞胺化后的溶液冷卻至室溫。酸氯化物封端劑(見表8)溶于NMP內(nèi)，且緩慢添加至反應(yīng)混合物。其后，在NMP內(nèi)的1.1當(dāng)量Et3N緩慢添加至反應(yīng)混合物。使反應(yīng)混合物攪拌3小時(shí)，且如合成例1所述進(jìn)行處理。表81此二胺是結(jié)構(gòu)(Ib)的二胺的例子合成例20(Poly-16)聚合反應(yīng)在1公升的三頸夾套式圓底燒瓶中實(shí)施，其裝設(shè)機(jī)械攪拌器、熱偶及在整個(gè)反應(yīng)保持正氮?dú)鈮毫Φ牡獨(dú)馊肟?。燒瓶?3.16克二苯甲酮-3,3′,4,4′-四羧酸二酐(BTDA)及190克無水NMP加料。內(nèi)容物在18℃-20℃攪拌。23.95克1-(4-氨基苯基)-1,3,3-三甲基茚烷-5-胺，也稱為4,4'-[1,4-亞苯基-雙(1-甲基亞乙基)]雙苯胺(DAPI)，8.11克2,4-二氨基-1,3,5-三甲苯(DAM)及5.50克2,4-二氨基-3,5-二甲基-1-乙苯溶于一瓶子中的90克干燥NMP。二胺溶液在室溫通過泵添加至燒瓶持續(xù)1小時(shí)?；旌衔锛訙刂?0℃并且攪拌3小時(shí)，形成聚酰胺酸。為使如上形成聚酰胺酸封端，9.13克4-甲基丙烯酰氧基乙基偏苯三甲酸酐(META)加料至燒瓶?；旌衔镌?0℃攪拌3小時(shí)，形成經(jīng)封端的聚酰胺酸。為實(shí)施如上經(jīng)封端的聚酰胺酸的酰亞胺化反應(yīng)，9.10克乙酸酐及3.55克吡啶加料至燒瓶。反應(yīng)混合物加溫至100℃并且攪拌12小時(shí)。小樣品(1克)被取得且沉淀于50:50甲醇/水(10毫升)中。固體通過過濾隔離并且干燥。如果FTIR分析顯示無酰胺及酐波峰，則酰亞胺化反應(yīng)完全。溶液冷卻至室溫，并且以滴液方式添加至4公升劇烈攪拌的去離子水，使聚合物沉淀。聚合物通過過濾收集，且以1公升的去離子水清洗。濾餅以1公升甲醇再次形成漿料，并且過濾。濕濾餅在空氣中干燥12小時(shí)，然后，聚合物在70℃的真空下干燥12小時(shí)。得到的聚酰亞胺聚合物(Poly-16)的分子量通過GPC測量。合成例21(Poly-17)聚合反應(yīng)在1公升的三頸夾套式圓底燒瓶中實(shí)施，其裝設(shè)機(jī)械攪拌器、熱偶及在整個(gè)反應(yīng)保持正氮?dú)鈮毫Φ牡獨(dú)馊肟?。燒瓶?6.58克二苯甲酮-3,3′,4,4′-四羧酸二酐(BTDA)，25.59克4,4′-氧二酞酸酐(ODPA)及190克無水NMP加料。內(nèi)容物在18℃-20℃攪拌。7.19克1-(4-氨基苯基)-1,3,3-三甲基茚烷-5-胺，也稱為4,4'-[1,4-亞苯基-雙(1-甲基亞乙基)]雙苯胺(DAPI)，16.77克5-氨基-6-甲基-1-(3'-氨基-4'-甲基苯基)-1,3,3-三甲基茚烷，5.68克2,4-二氨基-1,3,5-三甲基苯(DAM)及7.86克2,4-二氨基-3,5-二甲基-1-乙苯溶于一瓶子中的90克干燥NMP。二胺溶液在室溫通過泵添加至燒瓶持續(xù)1小時(shí)?；旌衔锛訙刂?0℃并且攪拌3小時(shí)，形成聚酰胺酸。為使如上形成聚酰胺酸封端，9.13克4-甲基丙烯酰氧基乙基偏苯三甲酸酐(META)加料至燒瓶?；旌衔镌?0℃攪拌3小時(shí)，形成經(jīng)封端的聚酰胺酸。為實(shí)施如上經(jīng)封端的聚酰胺酸的酰亞胺化反應(yīng)，9.10克乙酸酐及3.55克吡啶加料至燒瓶。反應(yīng)混合物加溫至100℃并且攪拌12小時(shí)。小樣品(1克)被取得且沉淀于50:50甲醇/水(10毫升)中。固體通過過濾隔離并且干燥。如果FTIR分析顯示無酰胺及酐波峰，則酰亞胺化反應(yīng)完全。溶液冷卻至室溫，并且以滴液方式添加至4公升劇烈攪拌的去離子水，使聚合物沉淀。聚合物通過過濾收集，且以1公升去離子水清洗。濾餅以1公升甲醇再次形成漿料，并且過濾。濕濾餅在空氣中干燥12小時(shí)，然后，聚合物在70℃的真空下干燥12小時(shí)。得到的聚酰亞胺聚合物(Poly-17)的分子量通過GPC測量。調(diào)配例FE-12至FE-18調(diào)配例FE-12至FE-18如用于制造調(diào)配例的一般程序中所述那樣進(jìn)行配制。調(diào)配例FE-12至FE-18使用24克一聚酰亞胺聚合物，10克一RFC化合物，1克引發(fā)劑，及65克溶劑或溶劑混合物。FE-12至FE-18的組份描述于表9。表9處理例13FE-13旋轉(zhuǎn)涂覆在硅晶圓上，形成具有從約5至約30微米厚度的涂層。經(jīng)涂覆的晶圓在120℃的加熱板上烘烤60秒。溫度以10度/分鐘的速率上升至高達(dá)200℃。達(dá)到200℃后，晶圓自加熱板移除且冷卻至室溫。獲得均一的均勻干燥膜，且通過光學(xué)顯微鏡觀察到無破裂。處理例14FE-14旋轉(zhuǎn)涂覆在硅晶圓上，形成具有從約5至約30微米厚度的涂層。經(jīng)涂覆的晶圓在110℃的加熱板上烘烤90秒。經(jīng)烘烤的晶圓以寬帶UV曝光工具(CarlSüssMA-56)進(jìn)行曝光。經(jīng)曝光的經(jīng)涂覆的晶圓在130℃的熱板上烘烤90秒且冷卻至室溫。獲得均一的均勻干燥膜，且通過光學(xué)顯微鏡觀察到無破裂。處理例15FE-16旋轉(zhuǎn)涂覆在硅晶圓上，形成具有從約5至約30微米厚度的涂層。經(jīng)涂覆的晶圓在120℃的加熱板上烘烤120秒。經(jīng)烘烤的晶圓以寬帶UV曝光工具(CarlSüssMA-56)進(jìn)行曝光。經(jīng)曝光的經(jīng)涂覆的晶圓在140℃的熱板上烘烤180秒且冷卻至室溫。獲得均一的均勻干燥膜，且通過光學(xué)顯微鏡觀察到無破裂。處理例16FE-17旋轉(zhuǎn)涂覆在硅晶圓上，形成具有從約5至約30微米厚度的涂層。經(jīng)涂覆的晶圓在130℃的加熱板上烘烤90秒。經(jīng)烘烤的晶圓以寬帶UV曝光工具(CarlSüssMA-56)進(jìn)行曝光。經(jīng)曝光的經(jīng)涂覆的晶圓在140℃的熱板上烘烤300秒且冷卻至室溫。獲得均一的均勻干燥膜，且通過光學(xué)顯微鏡觀察到無破裂。處理例17FE-18旋轉(zhuǎn)涂覆在硅晶圓上，形成具有從約5至約30微米厚度的涂層。經(jīng)涂覆的晶圓在150℃的加熱板上烘烤60秒。經(jīng)烘烤的晶圓以寬帶UV曝光工具(CarlSüssMA-56)進(jìn)行曝光。經(jīng)曝光的經(jīng)涂覆的晶圓在130℃的熱板上烘烤240秒且冷卻至室溫。獲得均一的均勻干燥膜，且通過光學(xué)顯微鏡觀察到無破裂。處理例18及19FE-12及FE-15依據(jù)處理例1處理。獲得均一的均勻干燥膜，且通過光學(xué)顯微鏡觀察到無破裂。調(diào)配例FE-19組合物是依據(jù)較早所述的一般程序，通過使用10克聚合物(Poly-1)，14克聚合物(Poly-8)，0.3克作為黏著促進(jìn)劑的三乙氧基硅烷基丙基氨甲酸酯，0.2克Ini-1，0.2克Ini-2，3.2克RFC-1，3.2克RFC-2，3.2克RFC-3，3克作為塑化劑的三丙二醇，40克GBL，15克環(huán)戊酮，及15克環(huán)己酮進(jìn)行制備。處理例20調(diào)配例19制備的組合物旋轉(zhuǎn)涂覆在硅晶圓上，形成具有7.5微米厚度的涂層。經(jīng)涂覆的晶圓在115℃烘烤3分鐘。光敏性聚酰亞胺膜以寬帶UV曝光工具(CarlSüssMA-56)經(jīng)由用于曝光的具有合意圖案的屏蔽進(jìn)行曝光。曝光劑量為450mJ/cm2。曝光后，未曝光部分通過使用含有80％的GBL及20％的環(huán)戊酮的顯影劑移除，其后以PGMEA沖洗經(jīng)顯影的膜，從而形成圖案。經(jīng)顯影的膜在90℃加熱3分鐘，獲得3micron的分辨率。然后，膜在170℃的對流烘箱中在N2氛圍下烘烤1小時(shí)。當(dāng)前第1頁1 2 3