1.一種氫氟酸蝕刻用樹脂薄膜形成用組合物，其包含自由基聚合引發(fā)劑和具有(甲基)丙烯?；臍浠鄱《┗衔?。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氫氟酸蝕刻用樹脂薄膜形成用組合物，其特征在于，所述具有(甲基)丙烯?；臍浠鄱《┗衔锸墙柚被姿狨ユI而具有(甲基)丙烯?；臍浠鄱《┗衔铩?/p>
3.一種氫氟酸蝕刻用樹脂薄膜，其是使用權(quán)利要求1或2所述的氫氟酸蝕刻用樹脂薄膜形成用組合物而制造的。
4.一種具有圖案的基板的制造方法，其特征在于，包括下述工序：
使用權(quán)利要求1或2所述的氫氟酸蝕刻用樹脂薄膜形成用組合物在基板上形成氫氟酸蝕刻用樹脂薄膜的工序；使該樹脂薄膜固化的工序；以及，對(duì)形成有該樹脂薄膜的基板進(jìn)行蝕刻處理而圖案化的工序。