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控制包含至少一個非極性嵌段和至少一個極性嵌段的嵌段共聚物的合成的方法和這樣的嵌段共聚物通過直接自組裝在納米光刻應(yīng)用中的用途與流程

文檔序號:11444951閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
控制包含至少兩個嵌段的嵌段共聚物的合成的方法,所述至少兩個嵌段包括至少一個非極性嵌段和至少一個極性嵌段,所述方法使得可特別地控制嵌段之間的比率和各嵌段的分子量,所述共聚物為意圖通過直接自組裝件(DSA)用作納米光刻方法中的掩模的嵌段共聚物,所述控制是通過在非質(zhì)子非極性介質(zhì)中的半連續(xù)陰離子聚合實現(xiàn)的并且包括下列步驟:?合成大分子引發(fā)劑形式的第一非極性嵌段,?通過在非質(zhì)子非極性溶劑中混合先前合成的大分子引發(fā)劑與堿金屬醇鹽而制備所述先前合成的大分子引發(fā)劑的溶液,?在非質(zhì)子非極性溶劑中制備極性單體的溶液,?以恒定的流量比,將兩種先前制備的大分子引發(fā)劑和極性單體的溶液注入連接至聚合反應(yīng)器的微混合器中,?收取所獲得的共聚物。

技術(shù)研發(fā)人員:C.納瓦羅;C.尼科利特;X.舍瓦利耶
受保護的技術(shù)使用者:阿科瑪法國公司
技術(shù)研發(fā)日:2015.12.15
技術(shù)公布日:2017.08.29
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