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一種適用于二極管的清洗液的制作方法

文檔序號(hào):12456754閱讀:241來(lái)源:國(guó)知局
本發(fā)明涉及一種清洗液,特別涉及一種適用于二極管的清洗液。
背景技術(shù)
:二極管是現(xiàn)代微電子工業(yè)發(fā)展的基礎(chǔ),二極管已經(jīng)成熟并且大量的應(yīng)用于電子行業(yè)的各個(gè)領(lǐng)域,隨著現(xiàn)在微電子工業(yè)的迅猛發(fā)展,二極管已經(jīng)成為企業(yè)利潤(rùn)最多的一部分,為了保證一定的利潤(rùn),首先要保證二極管的質(zhì)量,我們都知道二極管的制作工藝中需要對(duì)二極管進(jìn)行清洗,如果開(kāi)發(fā)一種成本低且清潔度高的清洗液是至關(guān)重要的。經(jīng)檢索發(fā)現(xiàn),專利CN104232368A提出了一種二極管用清洗液,清洗液包括濃度為99.5%的EDTA4-6kg,純水14-16kg,濃度為25-28%的氨水600-800ml。本發(fā)明清洗液對(duì)多種污染物都具有良好的清潔效果,但其腐蝕效果低,不能保證二極管表面光滑。因此,研發(fā)一種緩釋效果好,可避免二極管表面嚴(yán)重腐蝕及提高表面光滑度的適用于二極管的清洗液是非常有必要的。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種緩釋效果好,可避免二極管表面嚴(yán)重腐蝕及提高表面光滑度的適用于二極管的清洗液。為解決上述技術(shù)問(wèn)題,本發(fā)明的技術(shù)方案為:一種適用于二極管的清洗液,其創(chuàng)新點(diǎn)在于:所述清洗液是由以下重量份的組分組成:季銨氫氧化物6-10份,氧化劑15-45份,緩蝕劑1-3份,脂肪醇聚氧乙烯醚3-5份,乙醇8-10份,氫氧化鈉12-16份和去離子水20-40份。進(jìn)一步地,所述的季銨氫氧化物為十六烷基三甲基氫氧化銨或季銨聚酰芳胺。進(jìn)一步地,所述的氧化劑為硝酸鐵。進(jìn)一步地,所述的緩蝕劑為苯丙氯三唑或咪唑或兩者的混合物。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于:本發(fā)明適用于二極管的清洗液,與傳統(tǒng)二極管清洗液相比,在配方中增加了緩蝕劑,進(jìn)而提高了二極管的緩蝕效率,能夠有效抑制二極管的腐蝕,提高其表面的光滑度;且二極管的清洗液中合理配置各有效組分及溶劑的用量,尤其是最佳配比組合后,在室溫下就能夠快速、徹底的降低清洗液本身的表面張力,使得清洗液具有很高的清潔效果。具體實(shí)施方式下面的實(shí)施例可以使本專業(yè)的技術(shù)人員更全面地理解本發(fā)明,但并不因此將本發(fā)明限制在所述的實(shí)施例范圍之中。實(shí)施例1本實(shí)施例適用于二極管的清洗液,其是由以下重量份的組分組成:十六烷基三甲基氫氧化銨6份,硝酸鐵45份,苯丙氯三唑3份,脂肪醇聚氧乙烯醚5份,乙醇10份,氫氧化鈉12份和去離子水40份。實(shí)施例2本實(shí)施例適用于二極管的清洗液,其是由以下重量份的組分組成:十六烷基三甲基氫氧化銨10份,硝酸鐵15份,苯丙氯三唑1份,脂肪醇聚氧乙烯醚3份,乙醇8份,氫氧化鈉16份和去離子水20份。實(shí)施例3本實(shí)施例適用于二極管的清洗液,其是由以下重量份的組分組成:十六烷基三甲基氫氧化銨8份,硝酸鐵30份,苯丙氯三唑2份,脂肪醇聚氧乙烯醚4份,乙醇9份,氫氧化鈉14份和去離子水30份。實(shí)施例4本實(shí)施例適用于二極管的清洗液,其是由以下重量份的組分組成:十六烷基三甲基氫氧化銨8份,硝酸鐵30份,咪唑2份,脂肪醇聚氧乙烯醚4份,乙醇9份,氫氧化鈉14份和去離子水30份。實(shí)施例5本實(shí)施例適用于二極管的清洗液,其是由以下重量份的組分組成:季銨聚酰芳胺8份,硝酸鐵30份,苯丙氯三唑2份,脂肪醇聚氧乙烯醚4份,乙醇9份,氫氧化鈉14份和去離子水30份。實(shí)施例6本實(shí)施例適用于二極管的清洗液,其是由以下重量份的組分組成:季銨聚酰芳胺8份,硝酸鐵30份,咪唑2份,脂肪醇聚氧乙烯醚4份,乙醇9份,氫氧化鈉14份和去離子水30份。實(shí)施例7本實(shí)施例適用于二極管的清洗液,其是由以下重量份的組分組成:十六烷基三甲基氫氧化銨8份,硝酸鐵30份,苯丙氯三唑和咪唑的混合物2份,脂肪醇聚氧乙烯醚4份,乙醇9份,氫氧化鈉14份和去離子水30份。實(shí)施例8本實(shí)施例適用于二極管的清洗液,其是由以下重量份的組分組成:季銨聚酰芳胺8份,硝酸鐵30份,苯丙氯三唑和咪唑的混合物2份,脂肪醇聚氧乙烯醚4份,乙醇9份,氫氧化鈉14份和去離子水30份。為了測(cè)試實(shí)施例1~8適用于二極管的清洗液,將經(jīng)清洗液清洗后的二極管進(jìn)行腐蝕實(shí)驗(yàn),其測(cè)試性能結(jié)果見(jiàn)下表:靜腐蝕率/(nm/min)腐蝕后表面粗糙度Rn/nm電流I/ρA電勢(shì)E/mv緩蝕效率η/%實(shí)施例1271.67.272163.9899.1實(shí)施例2261.67.256164.2198.9實(shí)施例3271.57.168164.2699.2實(shí)施例415.44.2598.6105.8832.7實(shí)施例5261.57.236164.7699.3實(shí)施例615.64.6592.8106.2435.1實(shí)施例7281.37.132165.1299.8實(shí)施例8281.47.147165.2499.6由上表可以看出,實(shí)施例1-8在配方中增加了緩蝕劑,進(jìn)而提高了二極管的緩蝕效率,緩蝕效率最高可達(dá)99.8%,能夠有效抑制二極管的腐蝕,提高其表面的光滑度;且通過(guò)實(shí)施例1-8各實(shí)施例的對(duì)比,由測(cè)試結(jié)果可以看出,緩蝕劑為苯丙氯三唑和咪唑的混合物使,緩蝕效果最佳,因而實(shí)施例7為最佳實(shí)施例。以上顯示和描述了本發(fā)明的基本原理和主要特征以及本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解,本發(fā)明不受上述實(shí)施例的限制,上述實(shí)施例和說(shuō)明書(shū)中描述的只是說(shuō)明本發(fā)明的原理,在不脫離本發(fā)明精神和范圍的前提下,本發(fā)明還會(huì)有各種變化和改進(jìn),這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本發(fā)明范圍內(nèi)。本發(fā)明要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書(shū)及其等效物界定。當(dāng)前第1頁(yè)1 2 3 
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