本發(fā)明屬于金剛石線鋸制線技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種能保持線徑穩(wěn)定的樹脂金剛線鋸制備方法。

背景技術(shù)：

近年來，用樹脂金剛石線鋸切割晶硅片的方式得到了越來越廣泛的應(yīng)用。樹脂金剛石線鋸切割晶硅片具有切片效率高、切縫小、出片率高、切片表面質(zhì)量好等特點(diǎn)，而傳統(tǒng)的游離砂漿切割技術(shù)會被逐漸淘汰。

在切割晶硅片時，一卷線的線徑變化過大將會導(dǎo)致晶硅片厚薄差別過大，影響切割質(zhì)量。因此，如何保持樹脂金剛石線的一致性、穩(wěn)定性至關(guān)重要。而在樹脂金剛石線鋸的制備過程中，樹脂混合液漿料的粘度穩(wěn)定性，對保持產(chǎn)品的線徑穩(wěn)定有至關(guān)重要的作用。為了保持制線初期到后期樹脂金剛石線鋸的穩(wěn)定，就要求制線前后樹脂混合液的粘度變化幅度不能太大。因?yàn)槌跗谡扯忍土耍瑪y帶金剛石能力小，成品的金剛石顆粒數(shù)較少，影響切割能力，最后還會導(dǎo)致漿料中的金剛石堆積、線經(jīng)偏小等問題。而制線后期隨著時間的延長，漿料粘度升高，金剛線的線經(jīng)就變大了，線徑將會超標(biāo)。因此，要保證樹脂金剛線的線徑一致，關(guān)鍵在于保持漿料粘度的穩(wěn)定。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于：克服樹脂金剛石線鋸制備過程中，因樹脂混合液漿料粘度變化而引起樹脂金剛線線徑波動，進(jìn)而影響產(chǎn)品質(zhì)量的問題，提供一種在樹脂金剛石線鋸制備過程中，能保持漿料粘度長期穩(wěn)定的制線方法，該方法不僅能夠保證樹脂金剛石線鋸制備過程中漿料的粘度穩(wěn)定，而且能夠有效的提高樹脂對金剛石顆粒的把持力，保持線徑穩(wěn)定，從而提高金剛石線鋸對晶硅片的切割能力。

為解決以上技術(shù)問題，本發(fā)明通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)：

經(jīng)過長期深入的研究發(fā)現(xiàn)，樹脂金剛石線鋸的生產(chǎn)中要保持線徑的穩(wěn)定，難點(diǎn)在于如何保證樹脂混合液漿料的粘度不發(fā)生太大的變化；進(jìn)一步研究發(fā)現(xiàn)，由于樹脂需要固化才能保證樹脂與金剛石以及樹脂與母線之間的粘結(jié)強(qiáng)度，所以樹脂混合液中必須以恰當(dāng)?shù)姆绞郊尤脒m宜的偶聯(lián)劑，幫助樹脂交聯(lián)固化。

設(shè)計一種能保持線徑穩(wěn)定的樹脂金剛石線鋸制備方法，包括以下步驟：

（1）用表面處理液對金剛石微粉進(jìn)行預(yù)處理；

（2）進(jìn)行常規(guī)樹脂混合液漿料的配制；

（3）將步驟（1）預(yù)處理過的金剛石微粉加入到步驟（2）配制的樹脂混合液漿料中；

（4）在樹脂混合液漿料中加入偶聯(lián)劑，攪拌均勻；

（5）把步驟（4）所得樹脂混合液漿料倒入金剛石線鋸制線機(jī)，進(jìn)行樹脂金剛石線鋸的制備。

優(yōu)選的，步驟（1）所述表面處理液由硅烷偶聯(lián)劑、醇和水以重量比1～3：3～8：1～3均勻混合制成。

優(yōu)選的，步驟（1）具體操作為：將表面處理液與金剛石微粉以重量比1～5:1混合，在40～80℃下攪拌2～6小時。

優(yōu)選的，步驟（1）所述金剛石微粉的粒度為5～50μm。

優(yōu)選的，步驟（4）所述偶聯(lián)劑為氨基硅烷偶聯(lián)劑（KH-550、KH-792、SCA-1503）、環(huán)氧基硅烷偶聯(lián)劑（KH-560）、硫基硅烷偶聯(lián)劑（KH-590）、甲基丙烯酰氧基硅烷偶聯(lián)劑（KH-570）中的至少一種。

本發(fā)明具有以下積極有益技術(shù)效果：

（1）與傳統(tǒng)方法相比，在樹脂混合液漿料粘度相近的情況下，本發(fā)明先用表面處理液對金剛石微粉進(jìn)行處理，能使樹脂液漿料的初始粘度與后期粘度變化不大，進(jìn)而使得制備的樹脂金剛線初始線徑與后期線徑同樣變化不大；而采用傳統(tǒng)方法制備的樹脂混合液漿料的初始粘度與后期粘度變化較大，線徑也存在較大差異。

（2）本發(fā)明方法制備的樹脂金剛石線鋸的切割量也大于傳統(tǒng)方法制備的；從電鏡照片中（見圖1、圖2）可以看到，傳統(tǒng)方法制備的樹脂金剛石線鋸的金剛石分布不均勻、顆粒數(shù)較少，存在局部線徑增粗，線徑不穩(wěn)定的現(xiàn)象；而本發(fā)明方法備的產(chǎn)品金剛石分布均勻，線徑穩(wěn)定。

（3）本發(fā)明用表面處理液對金剛石微粉表面進(jìn)行預(yù)處理，在金剛石微粉表面形成了一層偶聯(lián)劑薄膜，這樣有利于金剛石微粉與樹脂混合液漿料的結(jié)合，提高樹脂對金剛石的把持力，提高切割強(qiáng)度。

（4）本發(fā)明選用了新型的偶聯(lián)劑加入方式，在提高樹脂固化強(qiáng)度的同時還能保持樹脂混合液的粘度不發(fā)生明顯的變化，達(dá)到了制備線徑穩(wěn)定的樹脂金剛石線鋸的目的。

（5）本發(fā)明采用分步（分兩步加入：表面預(yù)處理時加一次，配置樹脂混合液漿料時再加一次）加入偶聯(lián)劑的方法制備樹脂金剛石線鋸，既提高了樹脂對金剛石的把持力，同時也保證了樹脂混合液漿料的粘度，制備出線徑穩(wěn)定的產(chǎn)品。

附圖說明

圖1為采用傳統(tǒng)方法制備的樹脂金剛石線鋸。

圖2為采用本發(fā)明方法制備的樹脂金剛石線鋸。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合實(shí)施例來說明本發(fā)明的具體實(shí)施方式，但以下實(shí)施例只是用來詳細(xì)說明本發(fā)明，并不以任何方式限制本發(fā)明的范圍。

實(shí)施例1

一種能保持線徑穩(wěn)定的樹脂金剛石線鋸制備方法，包括以下步驟：

（1）將硅烷偶聯(lián)劑、醇和水以重量比2：5：2均勻混合制成表面處理液；再將表面處理液與金剛石微粉以重量比3:1混合，在60℃下攪拌4小時進(jìn)行預(yù)處理；

（2）進(jìn)行常規(guī)樹脂混合液漿料的配制：稱取納米氧化鋁10重量份，然后加入甲醇25重量份用玻璃棒攪拌均勻，最后加入可溶性酚醛樹脂50重量份，并充分?jǐn)嚢枋箻渲芙猓?/p>

（3）將步驟（1）預(yù)處理過的金剛石微粉加入到步驟（2）配制的樹脂混合液漿料中；

（4）在樹脂混合液漿料中加入KH-550，攪拌均勻，測量樹脂混合液漿料的初始粘度；

（5）把步驟（4）所得樹脂混合液漿料倒入金剛石線鋸制線機(jī)，進(jìn)行樹脂金剛石線鋸的制備，制線結(jié)束后，進(jìn)行電鏡觀察（見圖2），并對線徑進(jìn)行檢測，并把剩余的漿料倒出，進(jìn)行第二次粘度檢測，檢測結(jié)果見表1。

實(shí)施例2

一種能保持線徑穩(wěn)定的樹脂金剛石線鋸制備方法，包括以下步驟：

（1）將硅烷偶聯(lián)劑、醇和水以重量比1：3：1均勻混合制成表面處理液；再將表面處理液與金剛石微粉以重量比1:1混合，在50℃下攪拌3小時進(jìn)行預(yù)處理；

（2）進(jìn)行常規(guī)樹脂混合液漿料的配制：與實(shí)施例1相同；

（3）將步驟（1）預(yù)處理過的金剛石微粉加入到步驟（2）配制的樹脂混合液漿料中；

（4）在樹脂混合液漿料中加入KH-550，攪拌均勻，測量樹脂混合液漿料的初始粘度；

（5）把步驟（4）所得樹脂混合液漿料倒入金剛石線鋸制線機(jī)，進(jìn)行樹脂金剛石線鋸的制備，制線結(jié)束后，進(jìn)行電鏡觀察，并對線徑進(jìn)行檢測，并把剩余的漿料倒出，進(jìn)行第二次粘度檢測，檢測結(jié)果見表1。

實(shí)施例3

一種能保持線徑穩(wěn)定的樹脂金剛石線鋸制備方法，包括以下步驟：

（1）將硅烷偶聯(lián)劑、醇和水以重量比3：7：3均勻混合制成表面處理液；再將表面處理液與金剛石微粉以重量比5:1混合，在70℃下攪拌4小時進(jìn)行預(yù)處理；

（2）進(jìn)行常規(guī)樹脂混合液漿料的配制：與實(shí)施例1相同；

（3）將步驟（1）預(yù)處理過的金剛石微粉加入到步驟（2）配制的樹脂混合液漿料中；

（4）在樹脂混合液漿料中加入KH-550，攪拌均勻，測量樹脂混合液漿料的初始粘度；

（5）把步驟（4）所得樹脂混合液漿料倒入金剛石線鋸制線機(jī)，進(jìn)行樹脂金剛石線鋸的制備，制線結(jié)束后，進(jìn)行電鏡觀察，并對線徑進(jìn)行檢測，并把剩余的漿料倒出，進(jìn)行第二次粘度檢測，檢測結(jié)果見表1。

對比例1

一種樹脂金剛石線鋸制備方法，包括以下步驟：

（1）進(jìn)行常規(guī)樹脂混合液漿料的配制：與實(shí)施例1相同；

（2）將金剛石微粉加入到配制的樹脂混合液漿料中；

（3）在樹脂混合液漿料中加入KH-550，攪拌均勻，測量樹脂混合液漿料的初始粘度；

（4）把步驟（3）所得樹脂混合液漿料倒入金剛石線鋸制線機(jī)，進(jìn)行樹脂金剛石線鋸的制備，制線結(jié)束后，進(jìn)行電鏡觀察（見圖1），并對線徑進(jìn)行檢測，并把剩余的漿料倒出，進(jìn)行第二次粘度檢測，檢測結(jié)果見表1。

表1 漿料粘度及金剛石線鋸線徑對比

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