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高分子化合物、表面處理劑、使用表面處理劑的層積體、晶體管、層積體的制造方法與流程

文檔序號:11444898閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種具有優(yōu)異的穩(wěn)定性和對基板的密合性、能夠?qū)嵤o電解鍍覆布線的化合物。本發(fā)明的高分子化合物具有由下述式(1)表示的結(jié)構(gòu)單元。式(1)中,R1表示氫或甲基,m表示2~20的整數(shù),Q表示感光性離去基團。

技術(shù)研發(fā)人員:川上雄介;小泉翔平;杉崎敬
受保護的技術(shù)使用者:株式會社尼康
技術(shù)研發(fā)日:2016.04.08
技術(shù)公布日:2017.08.29
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