本發(fā)明涉及樹(shù)脂加工，尤其涉及一種靜電耗散聚醚醚酮組合物。

背景技術(shù)：

1、基于聚醚醚酮的高溫樹(shù)脂擁有優(yōu)良的耐化學(xué)品性、可加工性和耐熱性，使得其適用于高性能要求的半導(dǎo)體制程中的各種制具，比如晶元盒、光罩夾、光罩盒等。而在半導(dǎo)體制程中，這一類制具要求：(1)穩(wěn)定的表面電阻率106～109，達(dá)到靜電耗散的功能，防止晶元因?yàn)殪o電積累而損壞；(2)同時(shí)要求表面效果好，光滑無(wú)麻點(diǎn)，從而在使用過(guò)程中與接觸的物品摩擦小，不易損壞。因此，本領(lǐng)域亟需要產(chǎn)生一種具有改進(jìn)的表面效果和穩(wěn)定的表面電阻率的聚醚醚酮組合物。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中所存在的不足，本發(fā)明提供了一種靜電耗散聚醚醚酮組合物，利用此種聚醚醚酮組合物制得的產(chǎn)品表面光滑無(wú)麻點(diǎn)，且表面電阻率穩(wěn)定。

2、本發(fā)明的上述技術(shù)目的是通過(guò)以下技術(shù)方案得以實(shí)現(xiàn)的：

3、一種靜電耗散聚醚醚酮組合物，包括以下重量份的物質(zhì)：聚醚醚酮樹(shù)脂90-95，碳納米管2-5，導(dǎo)電微粉3-8，亞磷酸三苯酯1-3，二氧化鉛1-3。

4、本發(fā)明進(jìn)一步設(shè)置為：所述碳納米管為多壁碳納米管。

5、本發(fā)明進(jìn)一步設(shè)置為：所述導(dǎo)電微粉為導(dǎo)電炭黑、導(dǎo)電石墨、磨碎碳纖維中的一種或多種。

6、本發(fā)明進(jìn)一步設(shè)置為：包括以下重量份的物質(zhì)：聚醚醚酮樹(shù)脂90，碳納米管2，導(dǎo)電微粉8，亞磷酸三苯酯3，二氧化鉛3。

7、本發(fā)明進(jìn)一步設(shè)置為：所述聚醚醚酮樹(shù)脂從擠出機(jī)上游主加料口加入擠出機(jī)；碳納米管、導(dǎo)電微粉、亞磷酸三苯酯和二氧化鉛通過(guò)螺桿式側(cè)面進(jìn)料機(jī)加入擠出機(jī)。

8、本發(fā)明進(jìn)一步設(shè)置為：所述聚醚醚酮組合物通過(guò)雙螺桿擠出加工造粒得到，所述雙螺桿長(zhǎng)徑比40：1至48：1。

9、本發(fā)明進(jìn)一步設(shè)置為：所述聚醚醚酮樹(shù)脂從擠出機(jī)上游主加料口加入擠出機(jī)；碳納米管、導(dǎo)電微粉、亞磷酸三苯酯和二氧化鉛通過(guò)螺桿式側(cè)面進(jìn)料機(jī)加入擠出機(jī)。

10、本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn)：

11、1、本發(fā)明組合物制成的產(chǎn)品具有穩(wěn)定的表面電阻率106～109，達(dá)到靜電耗散的功能。

12、2、本發(fā)明組合物制成的產(chǎn)品表面效果好，光滑無(wú)麻點(diǎn)。

技術(shù)特征：

1.一種靜電耗散聚醚醚酮組合物，其特征在于：包括以下重量份的物質(zhì)：聚醚醚酮樹(shù)脂90-95，碳納米管2-5，導(dǎo)電微粉3-8，亞磷酸三苯酯1-3，二氧化鉛1-3。

2.如權(quán)利要求1所述的一種靜電耗散聚醚醚酮組合物，其特征在于：所述碳納米管為多壁碳納米管。

3.如權(quán)利要求1所述的一種靜電耗散聚醚醚酮組合物，其特征在于：所述導(dǎo)電微粉為導(dǎo)電炭黑、導(dǎo)電石墨、磨碎碳纖維中的一種或多種。

4.如權(quán)利要求1所述的一種靜電耗散聚醚醚酮組合物，其特征在于：包括以下重量份的物質(zhì)：聚醚醚酮樹(shù)脂90，碳納米管2，導(dǎo)電微粉8，亞磷酸三苯酯3，二氧化鉛3。

5.如權(quán)利要求1所述的一種靜電耗散聚醚醚酮組合物，其特征在于：所述聚醚醚酮樹(shù)脂從擠出機(jī)上游主加料口加入擠出機(jī)；碳納米管、導(dǎo)電微粉、亞磷酸三苯酯和二氧化鉛通過(guò)螺桿式側(cè)面進(jìn)料機(jī)加入擠出機(jī)。

6.如權(quán)利要求1-5所述的一種靜電耗散聚醚醚酮組合物，其特征在于：所述聚醚醚酮組合物通過(guò)雙螺桿擠出加工造粒得到，所述雙螺桿長(zhǎng)徑比40：1至48：1。

7.如權(quán)利要求6所述的一種靜電耗散聚醚醚酮組合物，其特征在于：所述聚醚醚酮樹(shù)脂從擠出機(jī)上游主加料口加入擠出機(jī)；碳納米管、導(dǎo)電微粉、亞磷酸三苯酯和二氧化鉛通過(guò)螺桿式側(cè)面進(jìn)料機(jī)加入擠出機(jī)。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種靜電耗散聚醚醚酮組合物，包括以下重量份的物質(zhì)：聚醚醚酮樹(shù)脂90?95，碳納米管2?5，導(dǎo)電微粉3?8，亞磷酸三苯酯1?3，二氧化鉛1?3。本申請(qǐng)的技術(shù)方案所制備的組合物，其生產(chǎn)的產(chǎn)品具有穩(wěn)定的表面電阻率106～109，達(dá)到靜電耗散的功能，防止晶元因?yàn)殪o電積累而損壞；同時(shí)表面效果好，光滑無(wú)麻點(diǎn)，從而在使用過(guò)程中與接觸的物品摩擦小，不易損壞。

技術(shù)研發(fā)人員：張國(guó)榮
受保護(hù)的技術(shù)使用者：湖州藍(lán)鑫高分子材料有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/2