本發(fā)明屬于硅片加工，具體涉及一種硅片脫膠劑及其制備方法。

背景技術(shù)：

1、硅片脫膠劑是在半導(dǎo)體制造過程中用于幫助硅片(晶圓)從其承載框架或基底上分離的化學(xué)物質(zhì)。脫膠劑需要能夠在不損害硅片表面或內(nèi)部微細(xì)結(jié)構(gòu)的情況下，有效地移除硅片與框架之間的粘合劑。脫膠劑的選擇和使用方法取決于多種因素，包括硅片的材料、粘合劑的類型、加工溫度，以及所需的脫膠速度和效率。在半導(dǎo)體行業(yè)中，脫膠劑的選擇和使用是一個精細(xì)的工藝步驟，需要考慮到環(huán)境影響、成本效益以及對產(chǎn)品質(zhì)量的影響。

2、目前太陽能硅片脫膠工藝一般為：控制合理的噴淋壓力和時間通過物理噴淋將硅片表面附著的硅粉、金屬雜質(zhì)、切割液等雜質(zhì)去除，然后將硅片浸泡在一定濃度和溫度的脫膠劑與純水或回用水混合的溶液中，使膠粘劑軟化和破壞，最后通過一定時間的漂洗，將硅片表面殘留的膠雜質(zhì)、硅粉、脫膠劑去除，從而實現(xiàn)硅片的脫膠。

3、硅片脫膠劑使用純水混合使用的成本十分高，因此在實際生產(chǎn)工藝中，往往使用回用水與之混合使用。所用回用水(如切片廢水的壓濾水)，會含有微量金屬離子，相較于純水其水質(zhì)穩(wěn)定性較差，會對脫膠劑的脫膠效果造成一定的影響；且回用水中的微生物含量較高，若一直循環(huán)利用，會導(dǎo)致脫膠劑溶液完成脫膠后排放出來的溶液里含有大量微生物，對于后續(xù)回收再利用帶來非常大的困難，且不利于脫膠。

4、因此，亟需提供一種硅片脫膠劑，能夠適應(yīng)回用水水質(zhì)，抑制微生物生長，減少回用水對脫膠效果的影響。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明旨在至少解決上述現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一。為此，本發(fā)明提出一種硅片脫膠劑及其制備方法。本發(fā)明提供的硅片脫膠劑，能夠適應(yīng)回用水水質(zhì)，抑制微生物生長，減少回用水對脫膠效果的影響。

2、本發(fā)明提供了一種硅片脫膠劑。

3、具體地，一種硅片脫膠劑，按重量份數(shù)計，包括以下組分：50-70份乳酸、6-12份檸檬酸、10-15份酒石酸、1-5份滲透劑、1-5份抗菌劑、1-8份有機溶劑、5-20份水；所述滲透劑包括壬基酚聚氧乙烯醚和/或辛基酚聚氧乙烯醚；所述抗菌劑包括酚類抗菌劑和季銨鹽抗菌劑。

4、在本發(fā)明的一些實施例中，所述硅片脫膠劑，按重量份數(shù)計，包括以下組分：50-65份乳酸、8-12份檸檬酸、10-15份酒石酸、3-5份滲透劑、1-5份抗菌劑、1-8份有機溶劑和5-15份水。

5、在本發(fā)明的一些實施例中，所述酚類抗菌劑包括對羥基苯甲酸酯和/或五氯苯酚；所述季銨鹽抗菌劑包括苯扎氯銨和/或氯化十六烷基吡啶。

6、在本發(fā)明的一些實施例中，所述酚類抗菌劑與所述季銨鹽抗菌劑的質(zhì)量比為(0.3-3)：1；優(yōu)選地，所述酚類抗菌劑與所述季銨鹽抗菌劑的質(zhì)量比為(0.5-2)：1；進一步優(yōu)選地，所述酚類抗菌劑與所述季銨鹽抗菌劑的質(zhì)量比為(0.8-1.5)：1。

7、在本發(fā)明的一些實施例中，所述滲透劑包括壬基酚聚氧乙烯醚和辛基酚聚氧乙烯醚。優(yōu)選地，所述壬基酚聚氧乙烯醚和所述辛基酚聚氧乙烯醚的質(zhì)量比為(0.5-2)：1。

8、在本發(fā)明的一些實施例中，所述有機溶劑為醇、酯或醚類溶劑。優(yōu)選地，所述有機溶劑選自乙醇、異丙醇、乙酸乙酯、二乙醚中的至少一種。

9、在本發(fā)明的一些實施例中，按重量份數(shù)計，所述硅片脫膠劑還包括1-5份潤濕劑。所述潤濕劑為聚氧乙烯醇、聚氧乙烯硬脂酸酯、十二烷基酸鈉中的一種或多種組合。

10、在本發(fā)明的一些實施例中，按重量份數(shù)計，所述硅片脫膠劑還包括1-5份潤滑劑。

11、在本發(fā)明的一些實施例中，所述潤滑劑為多元醇聚醚。優(yōu)選地，所述潤滑劑選自聚乙二醇和/或聚丙二醇。

12、在本發(fā)明的一些實施例中，所述硅片脫膠劑的ph值范圍為0.5-3.0，密度范圍1.0-2.0g/cm3。優(yōu)選地，所述硅片脫膠劑的ph值范圍為0.5-2.0，密度范圍1.0-1.5g/cm3。

13、本發(fā)明還提供了一種硅片脫膠劑的制備方法。

14、具體地，一種硅片脫膠劑的制備方法，包括以下步驟：

15、將乳酸、酒石酸、檸檬酸和水，混合分散；然后加入剩余組分，經(jīng)分散，制得硅片脫膠劑。

16、相比現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明的有益效果在于：

17、(1)本發(fā)明提供的硅片脫膠劑，以乳酸、酒石酸、檸檬酸構(gòu)建酸性體系，配合滲透劑、抗菌劑和有機溶劑等組分的使用；并以壬基酚聚氧乙烯醚和/或辛基酚聚氧乙烯醚為滲透劑，以酚類抗菌劑和季銨鹽抗菌劑為抗菌劑，形成脫膠劑體系。該脫膠體系結(jié)合酚類抗菌劑、季銨鹽抗菌劑抑菌特性和表面活性劑的特性，與酒石酸等酸液特性，能夠減少水質(zhì)穩(wěn)定性差的回用水對脫膠效果的影響，抑制微生物生長，提高脫膠效果，減少硅片脫膠劑的消耗量。相較于傳統(tǒng)脫膠劑，本發(fā)明提供的硅片脫膠劑更能滿足硅片實際生產(chǎn)加工的需要。

18、(2)本發(fā)明提供的硅片脫膠劑能夠最大程度上提升脫膠劑的利用率，且適用于多種膠水體系和脫膠條件，其適應(yīng)性強，應(yīng)用范圍廣。

技術(shù)特征：

1.一種硅片脫膠劑，其特征在于，按重量份數(shù)計，包括以下組分：50-70份乳酸、6-12份檸檬酸、10-15份酒石酸、1-5份滲透劑、1-5份抗菌劑、1-8份有機溶劑、5-20份水；所述滲透劑包括壬基酚聚氧乙烯醚和/或辛基酚聚氧乙烯醚；所述抗菌劑包括酚類抗菌劑和季銨鹽抗菌劑。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片脫膠劑，其特征在于，按重量份數(shù)計，包括以下組分：50-65份乳酸、8-12份檸檬酸、10-15份酒石酸、3-5份滲透劑、1-5份抗菌劑、1-8份有機溶劑和5-15份水。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的硅片脫膠劑，其特征在于，所述酚類抗菌劑包括對羥基苯甲酸酯和/或五氯苯酚；所述季銨鹽抗菌劑包括苯扎氯銨和/或氯化十六烷基吡啶。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的硅片脫膠劑，其特征在于，所述酚類抗菌劑與所述季銨鹽抗菌劑的質(zhì)量比為(0.3-3)：1。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的硅片脫膠劑，其特征在于，所述酚類抗菌劑與所述季銨鹽抗菌劑的質(zhì)量比為(0.5-2)：1。

6.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的硅片脫膠劑，其特征在于，所述滲透劑包括壬基酚聚氧乙烯醚和辛基酚聚氧乙烯醚；所述壬基酚聚氧乙烯醚和所述辛基酚聚氧乙烯醚的質(zhì)量比為(0.5-2)：1。

7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的硅片脫膠劑，其特征在于，按重量份數(shù)計，所述硅片脫膠劑還包括1-5份潤濕劑；所述潤濕劑為聚氧乙烯醇、聚氧乙烯硬脂酸酯、十二烷基酸鈉中的一種或多種組合。

8.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的硅片脫膠劑，其特征在于，按重量份數(shù)計，所述硅片脫膠劑還包括1-5份潤滑劑；所述潤滑劑為多元醇聚醚。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的硅片脫膠劑，其特征在于，所述硅片脫膠劑的ph值范圍為0.5-3.0，密度范圍1.0-2.0g/cm3。

10.權(quán)利要求1-9中任一項所述的硅片脫膠劑的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：將乳酸、酒石酸、檸檬酸和水，混合分散；然后加入剩余組分，經(jīng)分散，制得硅片脫膠劑。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明屬于硅片加工技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種硅片脫膠劑及其制備方法。該硅片脫膠劑，按重量份數(shù)計，包括以下組分：50?70份乳酸、6?12份檸檬酸、10?15份酒石酸、1?5份滲透劑、1?5份抗菌劑、1?8份有機溶劑、5?20份水；滲透劑包括壬基酚聚氧乙烯醚和/或辛基酚聚氧乙烯醚；抗菌劑包括酚類抗菌劑和季銨鹽抗菌劑。本發(fā)明提供的硅片脫膠劑，能夠減少水質(zhì)穩(wěn)定性差的回用水對脫膠效果的影響，抑制微生物生長，提高脫膠效果，減少硅片脫膠劑的消耗量。相較于傳統(tǒng)脫膠劑，本發(fā)明提供的硅片脫膠劑更能滿足硅片實際生產(chǎn)加工的需要。

技術(shù)研發(fā)人員：施幸伶,全曉冬,畢喜行,付明全,徐志群
受保護的技術(shù)使用者：廣東金灣高景太陽能科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/2