本發(fā)明涉及感光性介電材料，具體而言，涉及感光性聚酰亞胺組合物、圖形的制造方法、固化物和電子部件。

背景技術(shù)：

1、隨著半導(dǎo)體封裝密度的逐漸增加，pspi材料也逐漸向低溫固化、高感度、高分辨率、低翹曲應(yīng)力等方向發(fā)展。

2、有文獻報道了降低pi聚合物的玻璃化溫度并輔以熱堿產(chǎn)生劑的方式(wo2018225676a1)，這種方式可以實現(xiàn)200-230溫度下的低溫固化，獲得優(yōu)異密合性的負性pspi固化物，但是這種方式并不能實現(xiàn)高感度和高分辨率以及低翹曲應(yīng)力的要求。

3、另有文獻報道了采用化學(xué)亞胺化的帶有酚羥基或羧基的pi聚合物，輔以合適的交聯(lián)劑的方式(cn102575139a)，這種方式可以實現(xiàn)200-230溫度下的低溫固化，獲得了優(yōu)異耐化學(xué)性的正性pspi固化物，但是這種方式對耐化學(xué)性的提升也即為有限，而且這種組合物的感度普遍較低。

4、另有文獻報道了采用帶有酚羥基的聚合物，如聚對羥基苯乙烯或酚醛樹脂，輔以交聯(lián)劑，外加橡膠粒子增韌的方式(wo2008026406a1)，獲得了200溫度下的低溫固化，但是其感度較快分辨率較高，翹曲應(yīng)力低的組合物，但是這種方式獲得的固化物機械性能較差，韌性提升有限，可能會帶來可靠性異常的問題。

5、鑒于此，特提出本發(fā)明。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于提供感光性聚酰亞胺組合物、圖形的制造方法、固化物和電子部件。

2、本發(fā)明是這樣實現(xiàn)的：

3、第一方面，本發(fā)明提供一種感光性聚酰亞胺組合物，其包括成分(a)可溶于堿性水溶液的接枝聚合物，其選自下述結(jié)構(gòu)式所示的化合物：

4、

5、其中，ar1選自4價有機基團，ar2選自2價有機基團；m+n＝5～200，n/(m+n)＝0.05～1，k＝2～10；

6、成分(b)光敏劑；

7、成分(c)熱交聯(lián)劑；其包括成分(c1)含有環(huán)氧基的交聯(lián)劑和成分(c2)含有ch2or′的交聯(lián)劑；r′表示氫原子或1價的有機基團；

8、成分(d)硅烷偶聯(lián)劑。

9、第二方面，本發(fā)明提供一種圖形的制造方法，其包含將前述實施方式中任一項所述的感光性聚酰亞胺組合物涂布在支撐基板上；

10、優(yōu)選地，還包括：涂布后依次進行干燥、曝光、顯影以及加熱處理；

11、優(yōu)選地，所述曝光的工序中使用的光源為i射線。

12、第三方面，本發(fā)明提供一種固化物，所述固化物通過將前述實施方式中任一項所述的感光性聚酰亞胺組合物固化而形成；

13、優(yōu)選地，所述固化物包括表面保護膜或?qū)娱g絕緣膜。

14、第四方面，本發(fā)明提供一種電子部件，所述電子部件包括前述實施方式所述的固化物。

15、本發(fā)明具有以下有益效果：本發(fā)明實施例通過選擇特定地組分使得形成的感光性聚酰亞胺組合物具有優(yōu)異的靈敏度和分辨率，具有高化學(xué)穩(wěn)定性和粘結(jié)性以及低溫固化(180-200)后翹曲應(yīng)力低的優(yōu)勢。同時，該感光性聚酰亞胺組合物曝光于紫外光的部分易溶于堿性水溶液，而未曝光于紫外光的部分不溶于堿性水溶液，因而能夠有效地復(fù)制精細的圖案。

技術(shù)特征：

1.一種感光性聚酰亞胺組合物，其特征在于，其包括成分(a)可溶于堿性水溶液的接枝聚合物，其選自下述結(jié)構(gòu)式所示的化合物：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性聚酰亞胺組合物，其特征在于，ar1每次出現(xiàn)時相同或不同地選自下述式2-1至式2-9所示的4價有機基團中的任意一種：

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性聚酰亞胺組合物，其特征在于，所述光敏劑選自醌二疊氮化合物。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性聚酰亞胺組合物，其特征在于，所述成分(c1)選自式4-1所示化合物；

5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項所述的感光性聚酰亞胺組合物，其特征在于，以所述成分(a)的含量為100重量份計，所述成分(b)的含量為5-20重量份，所述成分(c)的含量為5重量份以上，其中c1的含量為5-15重量份，c2的含量為0.1-15份，，所述成分(d)的含量為0.5-15重量份。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項所述的感光性聚酰亞胺組合物，其特征在于，所述感光性聚酰亞胺組合物還含有溶劑和流平劑中的任意一種或至少兩種的組合；

7.一種圖形的制造方法，其特征在于，其包含將權(quán)利要求1-6中任一項所述的感光性聚酰亞胺組合物涂布在支撐基板上；

8.一種固化物，其特征在于，所述固化物通過將權(quán)利要求1-6中任一項所述的感光性聚酰亞胺組合物固化而形成；

9.一種電子部件，其特征在于，所述電子部件包括權(quán)利要求8所述的固化物。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的電子部件，其特征在于，所述電子部件包括半導(dǎo)體裝置。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及感光性介電材料技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及感光性聚酰亞胺組合物、圖形的制造方法、固化物和電子部件。感光性聚酰亞胺組合物包括成分(a)可溶于堿性水溶液的接枝聚合物，其選自下述結(jié)構(gòu)式所示的化合物：其中，Ar1選自4價有機基團，Ar2選自2價有機基團；m+n＝5～200，n/(m+n)＝0.05～1，k＝2～10；成分(b)光敏劑；成分(c)熱交聯(lián)劑；其包括成分(c1)含有環(huán)氧基的交聯(lián)劑和成分(c2)含有CH<subgt;2</subgt;OR′的交聯(lián)劑；成分(d)硅烷偶聯(lián)劑。該感光性聚酰亞胺組合物具有及其優(yōu)異的靈敏度、分辨率和能成復(fù)制精細的圖案，且在200下固化后翹曲應(yīng)力低、具有高化學(xué)穩(wěn)定性和粘結(jié)性。

技術(shù)研發(fā)人員：劉斌,張兵,向文勝,趙建龍,胡澤明,洪勇波,劉壯,程晉廣
受保護的技術(shù)使用者：江蘇艾森半導(dǎo)體材料股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/9