一種平板玻璃基板減薄預清洗用清洗液及其應用
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及一種TFT-LCD(薄膜晶體管液晶顯示器:Thin film TransistorLiquid Crystal Display)平板玻璃基板減薄預清洗用清洗液，具體涉及用于清洗平板玻璃基板減薄過程中玻璃基板表面上殘留的UV固化膠膜用清洗液。
【背景技術】
[0002]隨著手機，平板電腦等對液晶屏的厚度要求高，一般初次制備好的液晶屏要進行薄型化處理，或稱其為減薄處理，玻璃基板薄型化作為顯示產品薄型化的核心已成為終端顯示產品薄型化的前提和動力。減薄處理的方法是用氫氟酸蝕刻，其工藝過程一般為封膠一一減薄一一研磨，其中封膠工序是由于液晶玻璃屏采用雙面粘接而成，氫氟酸蝕刻時容易從縫隙處侵入液晶屏內部，影響產品性能，所以，蝕刻之前需要對液晶玻璃的邊緣進行密封處理，即用光固化封邊膠通過光固硬化從而將液晶玻璃四邊封止??；減薄工序包括預清洗單元、蝕刻單元、清洗單元及干燥單元等，其中的預清洗單元是將封膠過的玻璃基板在一定溫度下浸入清洗液以去除表面的有機、無機雜質及固體顆粒等；最后，研磨工序是為獲得光亮、平整的表面。
[0003]在減薄工藝中，其封膠工序中膠液不可避免的會外溢到玻璃基板表面，雖然經擦拭，但是還會留下一層薄薄的有機膜，這層有機膜在隨后的封邊膠UV固化過程中也會被固化從而粘附到玻璃基板表面，形成UV固化膠殘余物，而UV固化膠殘余物在玻璃基板預清洗過程中很難被清洗掉，從而在后續(xù)蝕刻工藝中會阻礙蝕刻液對玻璃基板的刻蝕，導致玻璃基板蝕刻不均一，而被UV固化膠殘余物覆蓋的位置會形成個凸起，如果被UV固化膠殘余物覆蓋的位置形成缺陷，經過刻蝕會導致缺陷擴大，最后在研磨工藝中由于這類缺陷的存在，會導致玻璃基板受力不均造成碎片，產品良率顯著降低。
[0004]目前，玻璃基板減薄用的清洗液組合物主要是有強堿、表面活性劑、極性有機溶劑和水等組成，使用過程中首先將該清洗液與水按一定的比例混合，隨后將封膠后的玻璃基板浸入清洗液中，在45?90°C下浸泡清洗玻璃基板，該類清洗液對表面上的有機、無機雜質及固體顆粒等有效，但是不能完全去除玻璃基板表面上的UV固化膠殘余物，清洗能力不足。
[0005]強堿能夠溶解UV固化膠和/或刻蝕所產生的UV固化膠殘余物，強堿含量過低時，清洗液對UV固化膠殘余物的去除能力不足；但是強堿含量過高時，清洗液易造成封邊膠的腐蝕，對封邊膠的耐酸堿性能提出更高要求，增加生產成本。
[0006]極性有機溶劑能夠溶解UV固化膠殘余物，提高清洗液對有機物的清洗能力。極性有機溶劑含量過低時，清洗液對UV固化膠殘余物的去除能力不足；但極性有機溶劑含量過高時，清洗液中的強堿含量相應降低，使得清洗液對UV固化膠殘余物的去除能力減弱。另夕卜，若單獨試用高沸點的非質子性極性溶劑，則由于其極性過強而導致固化后的封邊膠被清洗掉，導致酸堿液滲入液晶屏。若單獨試用芳香族烴化合物作為有機溶劑，則由于其極性偏弱難以清洗掉玻璃表面的UV固化膠殘余物。
[0007]此外，對于含有陽離子類、陰離子類、非離子類表面活性劑的清洗液，其發(fā)泡性成為問題，為了得到充分的清洗效果就必須使用大量的新的清洗液，廢液處理量增大，因而存在環(huán)境負荷較大的問題，對環(huán)境造成一定污染。
[0008]綜上所述，現有的平板玻璃基板減薄預清洗用的清洗液對玻璃基板上的UV固化膠殘余物清洗能力不足，或者清洗后產生的廢液對環(huán)境造成了一定污染。

【發(fā)明內容】

[0009]本發(fā)明所要解決的技術問題是:提供一種不僅可以除去有機、無機雜質或固體顆粒，還可以去除UV固化殘余物、環(huán)境友好且可在較大的溫度范圍內使用的平板玻璃基板減薄預清洗用的清洗液。
[0010]為解決上述技術問題，本發(fā)明所采用的技術方案為:一種平板玻璃基板減薄預清洗用清洗液，按質量百分含量，其組分為:氫氧化鉀I?20%，醇胺I?15%，砜和/或亞砜類化合物5?35%，醇類化合物I?25%，表面活性劑0.1?15%，剩余量為水。
[0011]所述的醇胺為一乙醇胺、三乙醇胺、二甘醇胺、異丙醇胺、甲基二乙醇胺、二甲基乙醇胺、羥乙基乙二胺中的一種或多種；
[0012]所述的醇胺優(yōu)選百分含量為1%?8%;其百分比過低，去油污效果會不好，相容性差；百分比過高，會降低玻璃基板的防腐性。
[0013]所述的砜和/或亞砜類化合物選自下述物質中的一種或多種:2，4- 二羥基二苯諷，4-輕基-4-異丙氧基一■苯諷，3, 3- 一■硝基一■苯諷，二甲基鵬化亞諷，4, 4-雙(4-氣基苯氧基)二苯砜，氟甲基苯基砜，二苯并噻吩砜，3，3- 二氨基-4，4- 二羥基二苯砜，甲巰基甲基對甲苯砜，3-甲氧基羰基-3-亞砜，芐基甲基砜，二 [4-(2-羥基乙氧基)苯基]砜，3-氨苯基三氟甲基砜，二(對硝基苯)硫砜，3，4-二溴代環(huán)丁砜，3-甲基環(huán)丁砜，4-羥基-4-芐氧基二苯砜，2，4- 二甲基環(huán)丁砜，苯基乙烯基亞砜，4-氯苯基甲基砜，對氟苯甲砜，4-甲基磺酰芐溴乙基乙烯基砜，聯-(4-氯二苯砜)，甲磺酰乙酮，2，2-磺酰基雙乙醇，反-1，2-雙(苯基磺?；?乙烯，4，4-雙(3-氨基苯氧基)二苯基砜，芐基苯基砜，乙烯砜，氯甲基苯砜，2-氯乙基苯基砜，3-環(huán)丁烯砜，烯丙基苯砜，3，3-二氨基二苯砜，甲基甲基硫代甲砜，硫代氯甲酸苯酯三甲基氯化亞砜，正丁基亞砜，四甲基亞砜，妥曲珠利砜，異丙基甲基砜，三甲基溴化亞砜，二正十二烷基二乙基亞砜，甲乙基亞砜，2-氯乙基-4-氯苯砜，雙二甲苯基砜，反式苯基肉桂砜，3-庚基硫砜，甲硫威砜，N-乙酰氨苯砜，二溴亞砜，2-氟苯基甲基砜，硝甲基苯諷，2_氣乙基4_氣苯基諷，4, 4- 二漠二苯諷，3-甲基-3-環(huán)丁稀諷，雙[3，5- 二漠-4- (2-輕乙氧基)苯基]砜，3-氨基環(huán)丁砜，苯基三甲基硅基甲砜，雙(2-乙基己基)亞砜，涕滅威亞砜，2-氯乙基對甲苯基砜，乙基異丙基砜，5-(5-異唑)噻酚-2-氯砜，4-甲氧基苯急家基砜，4-硝基聯苯砜，雙(4-異硫氰酸苯基)砜，2-溴芐基苯基砜，4-甲苯基-二碘甲基砜，亞砜，苯胺磷砜，二正辛砜，3，3，4，4-四氯環(huán)丁砜，對甲苯基乙烯基砜，二 [4-氯-3-硝基苯]砜，2-苯并惡唑酮-5-甲砜，蚜滅多亞砜，苯線磷亞砜，乙硫苯威砜，倍硫磷亞砜，硫丙磷亞砜，倍硫磷氧亞砜，甲拌磷砜，乙丙二砜，異丙嗪亞砜，叔丁基甲砜，羥胺氨苯砜，特丁磷亞砜，滅梭威亞砜，丁酮威亞砜，S-苯基硫代苯基砜，芬苯達唑砜，三氯苯達唑亞砜，特丁磷砜，2-苯基亞硫酰基乙酸甲酯氯甲基苯亞砜，甲基對甲苯亞砜，十二烷基甲基亞砜，4，4-二氟-3，3- 二硝基二苯砜，乙炔基對甲苯基砜，甲基乙烯砜，硫苯咪唑砜，2-氟-5-甲基磺酰硝基苯正丁砜，苯基TRANS-苯乙烯基砜，溴甲基苯基砜，2-苯磺酰-1，3-環(huán)庚二烯1，1-雙(苯基磺?；?乙烯，1-甲基-2-[(苯磺酰)甲基]苯甲硫甲基苯基砜，芐基砜，二乙砜，3，5- 二氯苯甲砜，2-氯苯基甲基砜，倍硫磷氧砜，3, 3, 4, 4-四氯二苯砜，久效威砜，妥曲珠利亞砜，三甲基氯化亞砜，久效威亞砜，3-氯-4，4，4-三氟-2- 丁烯基苯基砜，孟魯斯特亞砜，蚜滅多砜，丙硫咪唑亞砜，比魯卡胺亞砜，2-溴苯基甲基亞砜，4，4- 二氟苯砜，三溴甲基苯硫砜，4，4- 二環(huán)氧丙氧基二苯砜，4-羥基-4-芐氧基二苯砜，二氧亞砜，聚胺砜，4，4- 二溴二苯砜，雙-(3，4- 二甲基)二苯砜，阿米氨苯砜，久效威亞砜，3，7- 二氨基-2，8- 二甲基二苯并噻酚砜，乙丁二砜，琥珀氨苯砜，石油亞砜，4，4- 二羥乙氧基二苯砜，3-硝基-4-氯苯基甲基砜，二丙砜，地百里砜，2-溴乙基甲基砜，西維美林亞砜，4-甲氧基苯基甲基砜，3，3- 二氨基-4，4- 二氟二苯砜，4，4- 二甲氧基二苯基亞砜，三氯苯咪唑砜，豐索磷砜，六氯三亞甲基三砜，乙酰胺苯砜，4-芐氧基-4-羥基-二苯砜，芐基苯基砜，苯基砜，4，4- 二羥基-3，3，5，5-四溴二苯砜，噻唑砜，舒林砜，4-苯甲酰苯基甲基亞砜，(甲硫基)甲基P-甲苯基砜，生物素亞砜，4，4- 二甲基二苯亞砜，硫丙磷砜，2-氯苯基甲基砜，3-氟苯基甲基砜，葡胺苯砜，6，6-二溴青霉烷酸砜，3-氨基苯基砜，氯殺螨砜，涕滅威亞砜，二碘甲基對甲苯基砜，胺苯砜，噠砜，對氯甲基苯甲砜，對甲基苯甲砜，2-聯苯基三氟甲基亞砜，4-烯丙氧基-4- 二羥基二苯砜，4，4 二氯二苯砜，二甲亞砜，對甲基苯乙酸砜，4-乙?；巾?，久效威亞砜，3-硝基-4-羥基苯基甲基砜，乙烯基苯基砜，甲基硫代甲基甲砜，3 (4)-(乙烯芐基)-2-氯乙基砜，3，3- 二氨基-4，4- 二氯二苯砜，聚芳醚砜，間溴苯基甲基砜，對-氯苯基甲基亞砜，對甲苯基[2-(三甲基甲硅烷基)乙炔基]砜；
[0014]所述的醇類化合物選自下述物質中的一種或多種:丁醇、異戊醇、異辛醇、糠醇、二丙酮醇、丙烯醇、乙二醇、二乙二醇、一縮二乙二醇、對甲基苯乙醇、鄰甲氧基苯甲醇、間甲氧基苯甲醇、對甲氧基苯甲醇、鄰甲氧基苯乙醇、正戊醇、丁基卡必醇、丙二醇、山梨醇、環(huán)己醇、丙烯醇、四氟丙醇、苯甲醇、苯乙醇、鄰甲基苯甲醇、間甲基苯甲醇、對甲基苯甲醇、鄰甲基苯乙醇、間甲基苯乙醇、間甲氧基苯乙醇、對甲氧基苯乙醇、鄰氨基苯甲醇、木糖醇、2-巰基乙醇、間氨基苯甲醇、對氨基苯甲醇、鄰氨基苯乙醇、間氨基苯乙醇、對氨基苯乙醇。
[0015]所述的醇類化合物進一步優(yōu)選自二乙二醇、環(huán)己醇、一縮二乙二醇、鄰甲氧基苯乙醇、鄰甲基苯乙醇中的至少一種；
[0016]所述的醇胺、砜和/或亞砜類化合物及醇類化合物的總重占所述清洗液總重的百分比為I %?60 %，優(yōu)選10 %?45 %;其百分比過低，清洗效果會不好；百分比過高，玻璃基板的防腐性會降低。
[0017]所述的表面活性劑為烷基糖苷(APG)，是由可再生資源天然脂肪醇和葡萄糖合成的，是一種性能較全面的新型非離子表面活性劑，兼具普通非離子和陰離子表面活性劑的特性，具有高表面活性、良好的生態(tài)安全性和相溶性，是國際公認的首選“綠色”功能性表面活性劑。APG類化合物均為天然脂肪醇和葡萄糖在酸性催化劑作用下，經縮醛脫水而生成的化合物。所述的表面活性劑優(yōu)選比例為2?10%;其百分比過低，清洗效果會下降；百分比過高，清洗效果改進不明顯，清洗液本身的洗除能力下降而且會增加成本。
[0018]所述的水優(yōu)選為去離子水，是經離子交換樹脂過濾的水，所述水的電阻率至少為15兆歐。
[0019]本申請技術方案中所用試劑及原料均市售可得。
[0020]本申請所述的一種平板玻璃基板減薄預清洗用清洗液的制備方法，其步驟為:將上述組分混合均勻，即得到平板玻璃基板減薄預清洗用清洗液。
[0021]本申請公開的光刻膠清洗液的使用方法可參照如下步驟:將配制好的清洗液與純水按照一定的比例混合攪拌均勻，將封膠后的玻璃基板浸入稀釋后溫度25?60°C的