專利名稱：薄板材表面處理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及薄板材表面處理裝置。即，例如用于印刷線路基板制造工序，對(duì)被運(yùn)送的印刷線路板材噴射處理液，進(jìn)行表面處理的表面處理裝置。
各種薄板材，例如印刷線路基板、彩色濾鏡用的玻璃板、等離子顯示(PDP)用的玻璃板等電子零件用的薄板，是在切成預(yù)定尺寸后，進(jìn)行各種藥液處理、多次清洗處理等的表面處理而制成的。
這些表面處理中，薄板材外表面的均勻表面處理和成本是最重要的課題。下面，以作為上述薄板材代表例的印刷線路基板的制造工序?yàn)槔?，進(jìn)行說明。
圖5A是現(xiàn)有技術(shù)的第一實(shí)施例的正面圖，圖5B是現(xiàn)有技術(shù)的第一實(shí)施例的平面圖，圖5C是現(xiàn)有技術(shù)的第二實(shí)施例的主要部分正面圖。圖6A是印刷線路基板(材)的現(xiàn)有技術(shù)中的滯留液例，圖6B是印刷線路基板(材)的現(xiàn)有技術(shù)中的噴射軌跡，圖6C是印刷線路基板(材)的現(xiàn)有技術(shù)中的正常例。
印刷線路基板1是連續(xù)地經(jīng)過以下工序制成的把在絕緣基材上粘貼著銅箔的印刷線路基板材2切斷→穿孔用的開孔加工、研磨、鍍層→抗蝕劑的涂敷、干燥或貼面→照射電路用底片使其曝光→顯影→腐蝕→電路部分等的抗蝕劑的剝離等。
該印刷線路基板材2的顯影、腐蝕、剝離等各工序中，分別是一邊運(yùn)送印刷線路基板材2，一邊用噴嘴3、4噴射顯影液、腐蝕液、剝離液等的處理液A，進(jìn)行顯影、腐蝕、剝離等的藥液處理。另外，這些各工序和其它的制造工序中，附帶地進(jìn)行噴射水洗液的清洗工序。
藥液處理和清洗處理等的表面處理，已往是這樣進(jìn)行的。
在顯影裝置、腐蝕裝置、剝離裝置等的表面處理裝置5、6中，用對(duì)應(yīng)配置著的多個(gè)噴嘴3、4，對(duì)被運(yùn)送機(jī)(圖未示)以水平姿勢(shì)運(yùn)送過來的印刷線路基板材2噴射處理液A，這樣，印刷線路基板材2被進(jìn)行表面處理。
處理液A從配管P被分送到噴管7、8后，從以一定間隔固定配置在平行噴射管7、8上的多個(gè)噴嘴3、4中噴出。
圖5A和圖5B所示第一實(shí)施例表面處理裝置5中，噴嘴3朝著正下方(或正上方)地固定配置在噴管7上，該噴管7沿左右寬度方向B固設(shè)著。處理液A以垂直于印刷線路基板材2的噴射角度從噴嘴3中噴出。
圖5C所示第二實(shí)施例表面處理裝置6中，噴管8沿著前后運(yùn)送方向C排列，并且以其軸為中心朝左右寬度方向B連續(xù)地往復(fù)擺動(dòng)。噴嘴4固定配置在該噴管8上，該噴嘴4隨著噴管8的擺動(dòng)，朝左右寬度方向B作搖頭動(dòng)作地往復(fù)擺動(dòng)，以從左方向到右方向擺動(dòng)變位的噴射角度，將處理液A噴射到印刷線路基板材2上。
第三實(shí)施例表面處理裝置(圖未示)中，噴管8沿前后運(yùn)送方向C排列，朝左右寬度方向B連續(xù)地往復(fù)動(dòng)作。該例中，噴嘴4也朝左右寬度方向B連續(xù)地水平往復(fù)動(dòng)，以朝著右方向或左方向一邊變位一邊朝正下方(或正上方)以直角的噴射角度，將處理液A噴射到印刷線路基板材2上。
上述現(xiàn)有技術(shù)存在以下問題。
a，圖5A和圖5B所示第一實(shí)施例表面處理裝置5中，如圖5A所示，從朝正下方(或正上方)固定著的各噴嘴3中噴射處理液A，所以，在印刷線路基板材2上，有從各噴嘴3噴射的處理液A相互間達(dá)不到的部分，產(chǎn)生空白區(qū)域D。
圖5C所示第二實(shí)施例的搖頭擺動(dòng)式表面處理裝置6和圖未示第三實(shí)施例水平往復(fù)動(dòng)式表面處理裝置，是為了消除上述第一實(shí)施例中產(chǎn)生的空白區(qū)域D而研究出的。
b，但是，在該第二實(shí)施例和第三實(shí)施例的表面處理裝置6等中，如圖6A所示，噴射出的處理液A，在印刷線路基板材2的外表面中央部，形成隆起的濃滯留液E。
即，噴射出的處理液A，朝左右寬度方向B在印刷線路基板材2的外表面流動(dòng)，進(jìn)行了外表面的表面處理后，應(yīng)該從左右兩側(cè)流下，流出。
而第二實(shí)施例和第三實(shí)施例的表面處理裝置6等中，由于各噴嘴4作搖頭擺動(dòng)或水平往復(fù)動(dòng)，所以，在寬度方向B相互間噴射的處理液A彼此影響，處理液A不能順利地朝左右寬度方向B流動(dòng)，而朝四面八方無秩序地紊流，結(jié)果容易在中央部產(chǎn)生滯留液E。另外，在上述的第一實(shí)施例中，也產(chǎn)生該紊流和滯留液E。
c，在第二實(shí)施例和第三實(shí)施例中，如圖6B所示，處理液A以條紋狀軌跡F噴射到印刷線路基板材2的外表面。即，在第二實(shí)施例和第三實(shí)施例的表面處理裝置6等中，由于噴嘴4朝左右寬度方向B作搖頭擺動(dòng)和水平往復(fù)動(dòng)，處理液A以鋸齒狀條紋軌跡朝左右噴射。
這種條紋狀軌跡F的產(chǎn)生，可以通過控制運(yùn)送印刷線路基板材2的運(yùn)送機(jī)速度來消除。但是，微調(diào)噴嘴4的搖頭擺動(dòng)和水平往復(fù)動(dòng)的距離、時(shí)間、運(yùn)送機(jī)的運(yùn)送速度，使之相匹配不是容易的事，另外，為了處理的迅速化，要求提高運(yùn)送速度，所以現(xiàn)實(shí)中條紋狀軌跡F的消除是困難的。
另外，上述現(xiàn)有技術(shù)的第一實(shí)施例、第二實(shí)施例、第三實(shí)施例表面處理裝置5、6等中，如上所述，由于產(chǎn)生空白區(qū)域D、滯留液E、條紋狀軌跡F，所以，印刷線路基板材2的表面處理不均勻。
即，在處理液A的空白區(qū)域D與其以外的部位、在處理液A的滯留液E部位與其以外的部位、處理液A的條紋狀軌跡F部位與其以外的部位，產(chǎn)生處理液A的濃淡，導(dǎo)致處理液A對(duì)印刷線路基板材2外表面的處理不均勻。
例如，造成顯影處理、腐蝕處理、剝離處理等的藥液處理或水清洗處理不均勻，產(chǎn)生處理的遲速差、過量或不足部位、不均勻現(xiàn)象，從而引起所形成的電路9寬度不均勻等問題。對(duì)于要求電路9的高密度化、微細(xì)化、高精度化的印刷線路基板1來說，上述問題是絕對(duì)不能容許的。
上述現(xiàn)有技術(shù)的問題，是處理不均勻化。
在該現(xiàn)有技術(shù)的第一實(shí)施例、第二實(shí)施例、第三實(shí)施例表面處理裝置5、6等中，由于上述的處理不均勻，制造出的印刷線路基板1不合品多，成品率低生產(chǎn)性差，制造成本高。
另外，在上述第二實(shí)施例、第三實(shí)施例的表面處理裝置6等中，為了使噴管8和噴嘴4搖頭往復(fù)擺動(dòng)或水平往復(fù)動(dòng)，要對(duì)所有的噴管8附設(shè)搖頭擺動(dòng)和水平往復(fù)動(dòng)機(jī)構(gòu)，這樣，提高了裝置的設(shè)備費(fèi)。所以上述現(xiàn)有技術(shù)的問題，是成本高。
為了解決上述問題，本發(fā)明者經(jīng)銳意研究提出了本發(fā)明。本發(fā)明的目的是提供一種薄板材表面處理裝置，本發(fā)明的裝置中，以朝左右寬度方向傾斜的噴射角度固定住噴嘴，消除空白區(qū)域、滯留液、條紋狀軌跡等，使處理均勻化。另外，制造成本和設(shè)備費(fèi)也降低。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案如下。
本發(fā)明的薄板材表面處理裝置，對(duì)被運(yùn)送的薄板材從對(duì)應(yīng)配置著的多個(gè)噴嘴噴射處理液，進(jìn)行該薄材的表面處理；其特征在于，該噴嘴相對(duì)于運(yùn)送方向是朝著左右的寬度方向，并以傾斜的噴射角度固定配置著。
在本發(fā)明的薄板表面處理裝置中，該薄板材被傳送機(jī)以水平姿勢(shì)運(yùn)送，該傳送機(jī)備有上下地挾住該薄板材運(yùn)送的多個(gè)運(yùn)送輥；該噴嘴分別位于與形成在運(yùn)送輥間的各前后間隔間對(duì)應(yīng)的位置，并且，在每個(gè)該前后間隔朝著左方向或右方向；從該噴嘴噴射的處理液，以朝左方向或右方向傾斜的噴射角度噴射到該薄板材上，在該薄板材的外表面上，形成無滯留液、無紊流的朝左方向或右方向的規(guī)則流。
在本發(fā)明的薄板表面處理裝置中，朝左方向的噴嘴和朝右方向的噴嘴，在整個(gè)裝置中約為相同數(shù)目。
在本發(fā)明的薄板表面處理裝置中，噴嘴的傾斜噴射角度是可變更調(diào)節(jié)的，可用適當(dāng)?shù)慕嵌裙潭ā?br> 在本發(fā)明的薄板表面處理裝置中，配置著限制輥，該限制輥限制從該噴嘴對(duì)薄板材噴射的處理液在薄板材的外表面上朝前后運(yùn)送方向流動(dòng)；該限制輥沿著左右寬度方向并面臨著薄板材外表面配置，并且留有前后間隔地每?jī)蓚€(gè)一組，該噴嘴位于與該前后間隔對(duì)應(yīng)的位置。
在本發(fā)明的薄板表面處理裝置中，噴嘴在前后左右配置著多個(gè)，并且，前后配置著的噴嘴相互間，不處于相對(duì)位置而是左右錯(cuò)開。
在本發(fā)明的薄板表面處理裝置中，噴嘴在前后左右配置著多個(gè)，并且，朝左方向的該噴嘴，前后配置著的噴嘴相互間，不處于相對(duì)位置，而是左右錯(cuò)開，另外，朝右方向的該噴嘴，前后配置著的噴嘴相互間，不處于相對(duì)位置，而是左右錯(cuò)開。
在本發(fā)明的薄板表面處理裝置中，表面處理裝置用于印刷線路基板的制造工序，該薄板材由印刷線路基板材構(gòu)成，該處理液由顯影液、腐蝕液、剝離液或水洗液等構(gòu)成。
本發(fā)明由于這樣構(gòu)成，如下所述，該表面處理裝置，例如用于印刷線路基板的制造工序，對(duì)被傳送機(jī)的運(yùn)送輥挾住并以水平姿勢(shì)運(yùn)送的印刷線路基板材等的薄板材，從各噴嘴噴射顯影液、腐蝕液、剝離液或水洗液等的處理液。
噴嘴位于與運(yùn)送輥的前后間隔間對(duì)應(yīng)的位置，在每個(gè)前后間隔朝著左方向或右方向，朝左方向的噴嘴和朝右方向的噴嘴，在整個(gè)裝置中約為相同個(gè)數(shù)。噴嘴以傾斜的噴射角度固定配置著，但其噴射角度是可變更的。
從噴嘴噴射的處理液，在薄板材的外表面上一邊朝左方向或右方向流，一邊進(jìn)行表面處理后，從左右兩側(cè)流下。
還配置著兩個(gè)一組的限制輥，使噴嘴位于其前后間隔間的對(duì)應(yīng)位置時(shí)，限制處理液向前后方向流動(dòng)。這樣，可切實(shí)使處理液向左方向或右方向流動(dòng)。限制輥可以兼采用運(yùn)送輥，也可以采用專門設(shè)置的輥。
另外，由于這樣規(guī)則地形成處理液的流動(dòng)，所以，在薄板材上不產(chǎn)生處理液的空白區(qū)域、紊流、滯留液、條紋狀軌跡等。另外，前后左右地配置著的多個(gè)噴嘴，前后配置著的噴嘴相互間不處于相向位置，而是錯(cuò)開位置時(shí)，處理液噴射在薄板材上的噴射部位不重合。
這樣，薄板材被濃淡均勻的處理液均勻地進(jìn)行藥液處理、清洗處理等的表面處理，可避免處理的遲速差、過量或不足、不均勻等。
下面，參照附圖所示實(shí)施例詳細(xì)說明本發(fā)明。


圖1是本發(fā)明的薄板材表面處理裝置之實(shí)施例的正面圖。
圖2是上述實(shí)施例的平面圖。
圖3是上述實(shí)施例的側(cè)面圖。
圖4A是本發(fā)明實(shí)施例的主要部分正面圖，圖4B是本發(fā)明實(shí)施例的另一主要部分正面圖，圖4C是本發(fā)明實(shí)施例的噴嘴的正面圖，圖4D是本發(fā)明實(shí)施例的主要部分側(cè)面圖，圖4E是本發(fā)明實(shí)施例的主要部分平面圖。
圖5A是現(xiàn)有技術(shù)的第一實(shí)施例的正面圖，圖5B是現(xiàn)有技術(shù)的第一實(shí)施例的平面圖，圖5C是現(xiàn)有技術(shù)的第二實(shí)施例的主要部分正面圖。
圖6A是印刷線路基板(材)的現(xiàn)有技術(shù)中的滯留液例，圖6B是印刷線路基板(材)的現(xiàn)有技術(shù)中的噴射軌跡，圖6C是印刷線路基板(材)的現(xiàn)有技術(shù)中的正常例。
本發(fā)明的表面處理裝置10，例如用于印刷線路基板1的制造工序。先參照?qǐng)D6C說明印刷線路基板1。
印刷線路基板1，可用于各種OA機(jī)器的基板、移動(dòng)電話的基板、電腦的基板、計(jì)算機(jī)的基板、其它電子機(jī)器的基板等，其制造工序也是多種多樣的。印刷線路基板1的種類，大體上有單面基板、雙面基板、多層基板(包含最近的組裝工序)、柔性基板等。最近也出現(xiàn)了半導(dǎo)體芯片·封裝纏繞的CSP、PBGA。
近年來，印刷線路基板1越來越小型化、輕量化、精細(xì)化、極薄化、柔性化、多層化等，尤其是要求形成在外表面的電路9高密度化、微細(xì)化、高精度化等。
該印刷線路基板1，例如是連續(xù)地經(jīng)過下述工序制成的把作為薄板材的印刷線路基板材2依次疊層、切斷→穿孔用的開孔加工、鍍層→抗蝕劑的涂敷、干燥或貼面→曝光→顯影→腐蝕→電路9部分抗蝕劑的剝離等。
下面，詳細(xì)說明該印刷線路基板1的制造方法。先在聚酰亞胺樹脂或其它樹脂或玻璃布制的絕緣基材的兩面，用熱壓等方法將銅箔粘貼疊層后，進(jìn)行清洗和研磨。然后進(jìn)行軟腐蝕，使銅箔表面粗糙化。經(jīng)過該前處理工序后，得到兩面粘貼著銅箔的疊層板即印刷線路基板材2，將該印刷線路基板材2切斷為工件尺寸。
接著，實(shí)施了穿孔用的開孔加工后，進(jìn)行清洗和兩面研磨，再實(shí)施板鍍，在穿孔內(nèi)壁實(shí)施鍍層，使形成在表面的電路9與形成在背面的電路9之間導(dǎo)通。
(另外，也可以僅在絕緣基材的一面粘貼銅箔，形成單面銅箔疊層板，將該單面銅箔疊層板作為印刷線路基板材2，這時(shí)，僅在一面實(shí)施下述的感光抗蝕劑的涂敷、曝光、顯影、腐蝕、剝離等，本發(fā)明中，該單面基板用的印刷線路基板材2也可用于印刷線路基板1。本說明中下同。)穿孔是在一片印刷線路基板材2(印刷線路基板1)上，形成數(shù)百、數(shù)千個(gè)極小徑的孔。
然后，對(duì)印刷線路基板材2進(jìn)行再清洗、研磨、清洗、干燥等后，涂敷抗蝕劑、即作為耐堿性或耐酸性保護(hù)膜的感光劑，并使其干燥，這樣進(jìn)行了涂膜化處理。
然后，在兩面、即表面和背面的外表面的電路9形成面上，照射電路9的底片電路照片使其曝光后，感光劑被曝光，留下硬化了的電路9部分，其它不要的部分，借助處理液A即顯影液的噴射而被溶解除去。
然后，對(duì)該印刷線路基板材2進(jìn)行清洗、干燥后，這樣，感光劑硬化，留下被復(fù)蓋保護(hù)的電路9部分的銅箔，上述感光劑被溶解除去的不要部分的銅箔，借助處理液A即腐蝕液的噴射，被溶解除去·腐蝕。
然后，清洗、干燥后，留下的上述硬化的電路9部分的感光劑，借助處理液A即剝離液的噴射被溶解除去后，再清洗、干燥，結(jié)果由剩下的銅箔形成預(yù)定的電路9，得到印刷線路基板1。
經(jīng)過這些工序制成的印刷線路基板1，在后處理工序中，形成電路9的保護(hù)復(fù)蓋膜。
印刷線路基板1的縱橫尺寸例如為550mm×550mm,500mm×500mm,500mm×300mm，其厚度極薄，在絕緣基材的部分例如為0.06mm，在銅箔制的電路9部分，例如為0.18μm至55μm。
該印刷線路基板1，即使是由4層等多層疊置而成的多層基板，其整體厚度也是極薄的，例如從1.0mm到0.8mm甚至到0.4mm。電路9的寬度也極微細(xì)化，例如從70μm到50μm，甚至從30μm到20μm，也有希望電路9的寬度為20μm，電路9間空間為30μm的要求。形成有電路9的外表面的周緣端部，有10mm左右寬度的捏手余量，作為耳部。
印刷線路基板1如上述地制成。
下面，參照?qǐng)D1、圖2、圖3、圖4A～圖4E等說明本發(fā)明的表面處理裝置10。
該表面處理裝置10，從對(duì)應(yīng)配置著的多個(gè)噴嘴11，向被運(yùn)送的印刷線路基板材2等的薄板材噴射處理液A，進(jìn)行其外表面的表面處理。圖示例的表面處理裝置10，用于上述印刷線路基板1的制造工序。薄板材由印刷線路基板材2構(gòu)成，處理液A由顯影液、腐蝕液、剝離液或水洗液等構(gòu)成，表面處理是進(jìn)行顯影、腐蝕、剝離、清洗等。
下面，說明表面處理裝置10用于該印刷線路基板1制造工序的例子。
在印刷線路基板1的制造工序中的前述顯影、腐蝕、剝離等各工序中，在被稱為顯影裝置、腐蝕裝置、剝離裝置的表面處理裝置10的處理室12內(nèi)，一邊運(yùn)送印刷線路基板材2，一邊從噴嘴11噴射作為顯影液、腐蝕液(蝕刻液)、剝離液等藥液的處理液A，這樣，進(jìn)行作為顯影、腐蝕、剝離等藥液處理·化學(xué)處理的表面處理。
在該顯影、腐蝕、剝離等各工序以及其它工序中，如前所述，附帶地進(jìn)行清洗工序。即，在清洗用的處理室12內(nèi)，一邊運(yùn)送印刷線路基板材2，一邊從噴嘴11噴射作為水洗液的處理液，這樣進(jìn)行作為清洗處理的表面處理。
先說明該表面處理裝置10的傳送機(jī)13。
如圖1、圖3所示，在處理室12內(nèi)，印刷線路基板材2以橫的水平姿勢(shì)被傳送機(jī)13運(yùn)送，傳送機(jī)13備有多個(gè)上下挾著印刷線路基板材2運(yùn)送的運(yùn)送輥14。
即，在處理室12內(nèi)，平行于左右寬度方向B、并且沿前后運(yùn)送方向C配置著多條水平的傳送軸15，各傳送軸15上，分別同軸也配置著運(yùn)送輥14。
該運(yùn)送輥14由長(zhǎng)圓柱形直輥·挾輥構(gòu)成，其長(zhǎng)度稍長(zhǎng)于印刷線路基板材2的寬度。該傳送軸15和運(yùn)送輥14，配置在印刷線路基板材2的上下并挾著印刷線路基板材2運(yùn)送。
該傳送軸15和運(yùn)送輥14的形態(tài)，可以有各種。圖3所示例中，全部同直徑的運(yùn)送輥14，沿運(yùn)送方向C每間隔一個(gè)地上下相對(duì)，挾入印刷線路基板材2。
即，圖示例中的運(yùn)送輥14，上下緊密地排列著，并且，每隔一個(gè)輥有一對(duì)上下輥(在上側(cè)、下側(cè)分別隔著3個(gè)輥)，形成相當(dāng)于該一個(gè)輥的前后間隔16，上側(cè)的各前后間隔16和下側(cè)的各前后間隔16不相向，沿運(yùn)送方向C錯(cuò)開。
傳送軸15和運(yùn)送輥14的形態(tài)，不限定于該圖示例，也可以采用其它各種形態(tài)。如圖4D所示，上側(cè)或下側(cè)的與前后間隔相向位置的運(yùn)送輥14，比其它輥的直徑大，可以更切實(shí)地支承受噴射處理液A壓力的印刷線路基板材2。
另外，傳送軸15和運(yùn)送輥14的位置、運(yùn)送輥14的直徑組合等，也可以采用各種方案，只要是能上下地挾住印刷線路基板材2運(yùn)送、以及相對(duì)于上側(cè)或下側(cè)的前后間隔16與下側(cè)或上側(cè)相向的位置，能支承印刷線路基板材2者均可。
另外，圖示例中，是在上側(cè)和下側(cè)雙方都形成前后間隔16，但是，如果印刷線路基板材2是單面基板用時(shí)，則僅形成在任一方。
表面處理裝置10的傳送機(jī)13如上述地構(gòu)成。
下面，說明該表面處理裝置10的噴嘴11。
如圖1、圖2、圖3等所示，與泵(圖未示)連接并壓送處理液A的配管P，與多個(gè)分支的噴管17連接。
在圖示例中，各噴管17平行于左右寬度方向B，并沿前后運(yùn)送方向C以一定間距配置著10幾根。隔著被運(yùn)送的印刷線路基板材2和傳送機(jī)13的運(yùn)送輥14，分別相向地配置在其上側(cè)和下側(cè)。
在該各噴管17上，沿著寬度方向B以一定間距配置著例如10個(gè)噴嘴11。即，在處理室12內(nèi)的全部區(qū)域內(nèi)，前后、左右以一定間距配置著多個(gè)噴嘴11。該噴嘴11和噴管17如圖示例所示，當(dāng)印刷線路基板材2是雙面基板用時(shí)，分別配置在上側(cè)和下側(cè)，當(dāng)印刷線路基板材2是單面基板用時(shí)，僅配置在一側(cè)。
另外，如圖4D所示，與圖1、圖2、圖3所示例相反，各噴管17平行于前后運(yùn)送方向C，沿著左右寬度方向B以一定間距配置著多根。在該前后配置著的各噴管17上，以預(yù)定間隔配置著多個(gè)噴嘴11。
在圖2中，未示出傳送機(jī)13和運(yùn)送輥14。
如圖2所示，各噴嘴11朝向與運(yùn)送方向C垂直的左右寬度方向B。噴嘴11如圖3所示，分別位于與各前后間隔16(該前后間隔16形成在傳送機(jī)13的運(yùn)送輥14間)間對(duì)應(yīng)的位置，并且，如圖3所示，在每個(gè)前后間隔16，朝向左方向(圖4B)或朝向右方向(圖4A)。
在圖2所示例中，無論是配置在上側(cè)的噴嘴11還是配置在下側(cè)的噴嘴11，朝向?qū)挾确较駼左方向的噴嘴列11和朝向右方向的噴嘴列11，都是一列列地依次交替地沿運(yùn)送方向C配置著。
朝左方向的噴嘴11和朝右方向的噴嘴11，至整個(gè)裝置中其個(gè)數(shù)約相同(包含完全相同)。結(jié)果，作為表面處理裝置10整體而言，朝左方向的噴嘴11和朝右方向的噴嘴11，其個(gè)數(shù)約相同即可。
朝向左方向的噴嘴11和朝向右方向的噴嘴11，也可以兩列地、三列地等依次交替地配置。另外，也可以在處理室12內(nèi)的上流部和下流部交替地配置。另外，當(dāng)表面處理裝置10由兩個(gè)室的處理室12構(gòu)成時(shí)，也可以在上流側(cè)處理室12和下流側(cè)處理室12交替地配置。
圖示例中，是在1根噴管17上配置多個(gè)噴嘴11，但也可以在1根噴管17上配置少數(shù)個(gè)或1個(gè)噴嘴11。這時(shí)也同樣地，朝左方向的噴嘴和朝右方向的噴嘴在整個(gè)裝置中約為相同個(gè)數(shù)。
在圖1～圖3中，噴嘴11相對(duì)于沿左右寬度方向B配置的噴管17，朝前后運(yùn)送方向C突設(shè)著。在圖4D中，噴嘴11相對(duì)城沿前后運(yùn)送方向C配置的噴管17，朝左右寬度方向B突設(shè)著。
如圖1、圖4A、圖4B、圖4C所示，噴嘴11相對(duì)于運(yùn)送方向C是朝著左右寬度方向B，并以傾斜的噴射角度G固定配置著。無論是朝左方向的噴嘴11還是朝右方向的噴嘴11，均以與水平30度、45度、60度等傾斜的噴射角度G固定在噴管17上。
即，配置在印刷線路基板材2上側(cè)的噴嘴11，其噴射角度G是從水平往下方傾斜。配置在印刷線路基板材2下側(cè)的噴嘴11，其噴射角度G是從水平往上方傾斜。
圖示例中，上側(cè)的各噴嘴11相互的噴射角度G，設(shè)定為同一角度。下側(cè)的各噴嘴11相互的噴射角度G，也設(shè)定為同一角度。上側(cè)和下側(cè)的兩噴射角度G也設(shè)定為同一角度。
該噴嘴11的傾斜的噴射角度G可變更調(diào)節(jié)，可用適當(dāng)?shù)慕嵌裙潭ā?br> 如圖4C所示，噴嘴11由本體部18和前端噴射口19構(gòu)成，本體部18樞接在噴管17上，并以適當(dāng)?shù)膰娚浣嵌菺安裝固定著，但該噴射角度G可以變更。通過變更該噴射角度G，可自由地變更調(diào)節(jié)從噴射口19噴出的處理液A的噴射角度G。通過變更調(diào)節(jié)該噴射角度G，可以適當(dāng)?shù)卦O(shè)定噴射到印刷線路基板材2上的處理液A的噴射壓、處理液A的流動(dòng)速度等。
表面處理裝置10的噴嘴11如上述地構(gòu)成。
下面，說明在該表面處理裝置10中，從噴嘴11噴射的處理液A等。
從噴嘴11噴射的處理液A，如圖4A～圖4D等所示，以向左方向或向右方向傾斜的噴射角度G，對(duì)印刷線路基板材2進(jìn)行噴射后，如圖4E所示，在印刷線路基板材2的外表面，形成向左方向或向右方向的、無滯留液和紊流的規(guī)則流。
即，處理液A從噴嘴11的噴射口19噴射出后，以漸漸擴(kuò)散開的狀態(tài)隨著壓力噴射到印刷線路基板材2的外表面。然后，從朝左方向的噴嘴11噴射出的處理液A，朝著左方向在印刷線路基板材2的外表面上規(guī)則地流動(dòng)，從朝右方向的噴嘴11噴射出的處理液A，朝著右方向在印刷線路基板材2的外表面上規(guī)則地流動(dòng)，這樣，在印刷線路基板材2的外表面，進(jìn)行預(yù)定的顯影、腐蝕、剝離、清洗等的表面處理。
然后，處理液A從印刷線路基板材2的外表面左右兩側(cè)流下、流出。
在處理室12的下部，形成液槽20，從印刷線路基板材2流下、流出的處理液A，流下到該液槽20被回收儲(chǔ)存。被儲(chǔ)存的處理液A根據(jù)需要被加強(qiáng)處理后，通過泵再次壓送到配管P，循環(huán)使用。
如圖4D所示，在圖示例中還配置了限制輥21。
該限制輥21的作用是，限制從噴嘴11噴射到印刷線路基板材2上的處理液A在印刷線路基板材2的外表面朝前后運(yùn)送方向C流動(dòng)。
該限制輥21，沿著左右寬度方向B，并且面臨著印刷線路基板材2的外表面配置，留有前后間隔22地每一組有兩個(gè)。噴嘴11位于該限制輥21的前后間隔22間。
圖示例中，運(yùn)送輥14兼作為該限制輥21。
即，限制輥21如上所述，具有阻止處理液A朝運(yùn)送方向C流動(dòng)的作用，它也可以是專門設(shè)置的輥，配置在傳送機(jī)13的運(yùn)送輥14之間。即，在運(yùn)送輥14的前后間隔16間，設(shè)置與運(yùn)送輥14不同的專用限制輥21，在與處理液A的流動(dòng)寬度相一致的前后間隔22中，以兩個(gè)一組的方式配置限制輥21，使噴嘴11對(duì)應(yīng)地位于該前后間隔22間的中心線上。
而圖示例中，是將傳送機(jī)13的運(yùn)送輥14兼作為限制輥21使用的。即，把運(yùn)送輥14的前后間隔16設(shè)定為與處理液A的流動(dòng)寬度相一致的前后間隔22中，并且使噴嘴11對(duì)應(yīng)地位于該前后間隔16間的中心線上，這樣，運(yùn)送輥14可兼作為兩個(gè)一組的限制輥21。圖1、圖2中的23，是噴管17的支承部的一部分。
被噴射的處理液A等是上述的形態(tài)。
本發(fā)明如上所述地構(gòu)成，其動(dòng)作如下。
該表面處理裝置10例如用于印刷線路基板1的制造工序。印刷線路基板材2被傳送機(jī)13的運(yùn)送輥14上下挾住地以水平姿勢(shì)朝運(yùn)送方向C運(yùn)送，從對(duì)應(yīng)配置著的各噴嘴11，向該印刷線路基板材2噴射顯影液、腐蝕液、剝離液或水洗液等處理液A(見圖1、圖2、圖3)。
噴嘴11分別位于與各前后間隔16(該前后間隔16形成在運(yùn)送輥14間)間對(duì)應(yīng)的位置，并且，在每個(gè)前后間隔16朝著寬度方向B的左方向或右方向。朝左方向的噴嘴11和朝右方向的噴嘴11，在整個(gè)裝置中為約相同個(gè)數(shù)。
噴嘴11以傾斜的噴射角度G固定配置著。該噴射角度G是可以變更的，可以用適當(dāng)?shù)慕嵌裙潭?見圖4C)。
從噴嘴11噴射的處理液A，以朝左方向或朝右方向向斜下方傾斜的噴射角度G，向印刷線路基板材2噴射，在印刷線路基板材2的外表面朝左方向或右方向規(guī)則地流動(dòng)后，從左右兩側(cè)流下、流出(見圖4A～圖4E)。
沿著左右寬度方向B并面臨著印刷線路基板材2配置著限制輥21，使噴嘴11對(duì)應(yīng)地位于該兩個(gè)一組的限制輥21的前后間隔22之間，由該限制輥21阻止處理液A向前后運(yùn)送方向C流動(dòng)(見圖4D)。
這樣，上述處理液A的朝左方向或右方向的流動(dòng)切實(shí)地規(guī)則化。該限制輥21可以兼采用傳送機(jī)13的運(yùn)送輥14，也可以在運(yùn)送輥14之間的配置專用輥。
這樣，該處理液A在印刷線路基板材2的外表面上朝左方向或右方向流動(dòng)，對(duì)印刷線路基板材2的外表面進(jìn)行顯影、腐蝕、剝離、清洗等的表面處理。
該表面處理裝置10具有下述的第一、第二優(yōu)點(diǎn)。
第一，如上所述，在印刷線路基板材2的外表面，處理液A形成規(guī)則的流動(dòng)，所以，不產(chǎn)生處理液A達(dá)不到的空白區(qū)域D(見圖5B)，處理液A也不朝四面八方紊流，在中央部不產(chǎn)生處理液A的滯留液E(見圖6A)，處理液A也沒有條紋狀軌跡F(見圖6B)(不必考慮運(yùn)送速度的匹配)。
因此，印刷線路基板材2的外表面，被無濃淡均勻的處理液A進(jìn)行均勻的藥液處理、清洗處理等的表面處理。
即，印刷線路基板材2的表面處理、即顯影處理、腐蝕處理、剝離處理等的藥液處理和清洗處理，不產(chǎn)生處理的遲速差、過量或不足、不均勻等，被切實(shí)均勻地實(shí)施處理。
第二，采用該表面處理裝置10，可容易地制造具有預(yù)定電路9寬度的印刷線路基板1(見圖6C)，在印刷線路基板1的制造工序中，大幅度減少不合格品率，并且處理液A的使用量也可減少。
而且，在該表面處理裝置10中，噴嘴11和噴管17都是固定的。即，在表面處理裝置10中不必附設(shè)使噴嘴11和噴管17搖頭擺動(dòng)的機(jī)構(gòu)(見圖5C)和水平往復(fù)動(dòng)的機(jī)構(gòu)等。
這樣，該表面處理裝置10中，其噴嘴11朝著寬度方向B傾斜地固定，其構(gòu)造簡(jiǎn)單。
上面是對(duì)本發(fā)明表面處理裝置10的動(dòng)作的說明。
另外，在上述圖2等所示的例中，各噴嘴11在前后左右以預(yù)定間隔配置著多個(gè)，但觀察前后各噴嘴11時(shí)，其相互間為相向的位置關(guān)系。即，前后噴嘴11分別位于沿著前后運(yùn)送方向C的平行的直線軌跡上。
但是本發(fā)明并不限定于噴嘴11這樣的配置位置關(guān)系，從前后運(yùn)送方向C觀察各噴嘴11時(shí)，其相互間也可以沿左右寬度方向B錯(cuò)開，例如，可以考慮以下各例a、b、c、d。
另外，各例a、b、c、d中，各噴嘴1 1配置在沿前后運(yùn)送方向C以預(yù)定間隔排列的各噴管17上、以及配置在沿左右寬度方向B以預(yù)定間隔排列的各噴管17上，這一點(diǎn)是共同的，上述圖2等所示例中也是共同的。
a．配置在圖2所示共14根噴管17上的各噴嘴11，全體漸漸地一點(diǎn)一點(diǎn)地依次朝左右寬度方向B的任一方錯(cuò)開，結(jié)果，例如最上流側(cè)排的噴嘴11和最下流側(cè)排的噴嘴11，在途中沿寬度方向B錯(cuò)開近1個(gè)間距，結(jié)果，成為幾乎對(duì)應(yīng)的位置。
b．與上述a例相比，前后噴嘴11也是漸漸地但更多地朝左右寬度方向B的任一方錯(cuò)開，結(jié)果，例如最上流側(cè)排的噴嘴11和最下流側(cè)排的噴嘴11，在途中反復(fù)數(shù)次地錯(cuò)開一個(gè)間距，最后成為約對(duì)應(yīng)的位置。
c．圖2中的、在每隔一根計(jì)7根噴管17上朝左方向配置一組噴嘴11，漸漸地一點(diǎn)一點(diǎn)地依次朝左右寬度方向B的任一方錯(cuò)開，結(jié)果，例如最上流側(cè)列的噴嘴11和最下流側(cè)列的噴嘴11，在途中朝寬度方向B錯(cuò)開近1個(gè)間距，成為幾乎對(duì)應(yīng)的位置。與此同時(shí)，每隔一根計(jì)7根噴管17上朝右方向配置一組的噴嘴11，也同樣地錯(cuò)開。
d．與上述c例相比，前后噴嘴11也是漸漸地但更多地朝左右寬度方向B的任一方錯(cuò)開，結(jié)果，無論是朝左方向的噴嘴11還是朝右方向的噴嘴11，例如最上流側(cè)列的噴嘴11和最下流側(cè)列的噴嘴11，在途中反復(fù)數(shù)次地錯(cuò)開一個(gè)間距，最后成為對(duì)應(yīng)的位置。
如該a、b、c、d各例所示，將前后各噴嘴11相互間左右錯(cuò)開地配置，與圖2所示的相向位置配置相比，具有以下優(yōu)點(diǎn)。
即，從噴嘴11向印刷線路基板材2噴射的處理液A，其噴射部位的重合少，從這一點(diǎn)而言，對(duì)印刷線路基板材2促進(jìn)均勻的表面處理。
即，從運(yùn)送方向C看，從噴嘴11向印刷線路基板材2噴射的處理液A的噴射部位，位于同一直線軌跡上的減少。雖然噴射部位的噴射壓最高，處理液A濃密，處理沖擊力大，但是由于噴射部位不重合，是分散的，所以，從這一點(diǎn)而言，處理液A均勻化，表面處理也均勻化。
第二，上述的圖示例，是把本發(fā)明的表面處理裝置10用于薄板材的一例即印刷線路基板1的制造工序中，但本發(fā)明并不局限于此。
例如，也可用于彩色濾鏡用的玻璃板、等離子顯示(PDP)用的玻璃板、其它薄板材。即，對(duì)運(yùn)送的各種薄板材，從噴嘴11噴射處理液A，進(jìn)行各種表面處理的工序中都可采用。
本發(fā)明的薄板材表面處理裝置，如上所述，將噴嘴以朝向左右寬度方向傾斜的噴射角度固定，具有以下效果。
第一，消除空白區(qū)域、滯留液、條紋狀軌跡等，使處理均勻化。
即，根據(jù)該薄板材表面處理裝置，從噴嘴噴射出的處理液，在薄板材外表面朝左方向或右方向規(guī)則地流動(dòng)后，從兩側(cè)流下、流出。
由于這樣地形成流動(dòng)，所以，可切實(shí)消除上述現(xiàn)有技術(shù)那樣的從各噴嘴向薄板材噴射的處理液相互間產(chǎn)生達(dá)不到的空白區(qū)域、或向四面八方流動(dòng)在中央部產(chǎn)生滯留液、或產(chǎn)生條紋狀軌跡等。薄板材的外表面被濃淡均勻的處理液進(jìn)行均勻的表面處理。
例如，用于薄板材的一例即印刷線路基板的制造工序中時(shí)，顯影、腐蝕、剝離等的藥液處理和清洗處理均勻化，可切實(shí)避免上述現(xiàn)有技術(shù)中產(chǎn)生的處理的遲速差、過量或不足部位、不均勻現(xiàn)象。這樣，對(duì)于要求形成在外表面的電路寬度均勻化等、電路的高密度化、微細(xì)化、高精度化的印刷線路基板來說，其意義尤為重大。
第二，在制造成本和設(shè)備費(fèi)方面也具有優(yōu)勢(shì)。
即，根據(jù)該薄板表面處理裝置，如上所述，由于處理均勻化，對(duì)制造的印刷線路基板等的薄板材，與上述現(xiàn)有技術(shù)相比，減少不合格品，提高成品率，并且，處理液的使用量也可減少，生產(chǎn)性好制造成本低。
另外，噴管和噴嘴，全部是固定式的，不需要象現(xiàn)有技術(shù)那樣附設(shè)搖頭擺動(dòng)機(jī)構(gòu)和水平往復(fù)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所以構(gòu)造簡(jiǎn)單，設(shè)備費(fèi)用減少。具體地說，設(shè)備費(fèi)可減少兩成左右。
因此，能解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的所有問題，本發(fā)明的效果是顯著的。
權(quán)利要求
1．薄板材表面處理裝置，對(duì)運(yùn)送的薄板材從對(duì)應(yīng)配置著的多個(gè)噴嘴噴射處理液，進(jìn)行該薄材的表面處理；其特征在于，該噴嘴相對(duì)于運(yùn)送方向是朝著左右的寬度方向，并以傾斜的噴射角度固定配置著。
2．如權(quán)利要求1所述的薄板材表面處理裝置，其特征在于，該薄板材被傳送機(jī)以水平姿勢(shì)運(yùn)送，該傳送機(jī)備有上下地挾住該薄板材運(yùn)送的多個(gè)運(yùn)送輥；該噴嘴分別位于與形成在運(yùn)送輥間的各前后間隔間對(duì)應(yīng)的位置，并且，在每個(gè)該前后間隔朝著左方向或右方向；從該噴嘴噴射的處理液，以朝左方向或右方向傾斜的噴射角度噴射到該薄板材上，在該薄板材的外表面上，形成無滯留液、無紊流的朝左方向或右方向的規(guī)則流。
3．如權(quán)利要求2所述的薄板材表面處理裝置，其特征在于，朝左方向的噴嘴和朝右方向的噴嘴，在整個(gè)裝置中約為相同數(shù)目。
4．如權(quán)利要求1所述的薄板材表面處理裝置，其特征在于，該噴嘴的傾斜噴射角度是可變更調(diào)節(jié)的，可用適當(dāng)?shù)慕嵌裙潭ā?br> 5．如權(quán)利要求1所述的薄板材表面處理裝置，其特征在于，配置著限制輥，該限制輥限制從該噴嘴對(duì)薄板材噴射的處理液在薄板材的外表面上朝前后運(yùn)送方向流動(dòng)；該限制輥沿著左右寬度方向并面臨著薄板材外表面配置，并且留有間隔地每?jī)蓚€(gè)一組，該噴嘴位于與該前后間隔對(duì)應(yīng)的位置。
6．如權(quán)利要求1所述的薄板材表面處理裝置，其特征在于，該噴嘴在前后左右配置著多個(gè)，并且，前后配置著的噴嘴相互間，不處于相對(duì)位置而是左右錯(cuò)開。
7．如權(quán)利要求1所述的薄板材表面處理裝置，其特征在于，該噴嘴在前后左右配置著多個(gè)，并且，朝左方向的該噴嘴，前后配置著的噴嘴相互間，不處于相對(duì)位置，而是左右錯(cuò)開，另外，朝右方向的該噴嘴，前后配置著的噴嘴相互間，不處于相對(duì)位置，而是左右錯(cuò)開。
8．如權(quán)利要求1或2所述的薄板材表面處理裝置，其特征在于，該表面處理裝置用于印刷線路基板的制造工序，該薄板材由印刷線路基板材構(gòu)成，該處理液由顯影液、腐蝕液、剝離液或水洗液等構(gòu)成。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種薄板材表面處理裝置,能消除空白區(qū)域、滯留液、紊流、條紋狀軌跡等,實(shí)現(xiàn)均勻的藥液處理和清洗處理,而且可降低制造成本和設(shè)備費(fèi)。其用于印刷線路基板的制造工序,對(duì)被傳送機(jī)13的運(yùn)送輥14以水平姿勢(shì)運(yùn)送的印刷線路基板材2,從對(duì)應(yīng)配置著的各噴嘴11噴射處理液。各噴嘴11分別位于與運(yùn)送輥14的各前后間隔16對(duì)應(yīng)的位置,并且朝著寬度方向B的左方向或右方向,以傾斜的噴射角度G固定配置著。
文檔編號(hào)B05D1/02GK1323660SQ0012124
公開日2001年11月28日 申請(qǐng)日期2000年8月10日 優(yōu)先權(quán)日2000年5月11日
發(fā)明者新山喜三郎, 綠川昌広, 菅原清司 申請(qǐng)人:東京化工機(jī)株式會(huì)社