專利名稱：描繪裝置、電光裝置及電子設備的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及描繪裝置，特別是涉及能夠進行穩(wěn)定的液滴噴出的描繪裝置，以及由這種描繪裝置所制的電光裝置和電子設備。
背景技術：
以前，向在液晶顯示裝置等上使用的濾色器等上液滴噴出油墨等描繪液的液滴噴出裝置中，例如具有噴出油墨的噴墨頭。在該噴墨頭上設有噴出油墨的油墨噴嘴，從該油墨噴嘴噴出的油墨著落到濾色器上。具體說，在噴墨頭上被配置有壓電元件等，在該壓電元件上一旦被加上電壓，在電壓作用下壓電元件變形，油墨被從油墨噴嘴處噴出。因此為油墨噴出易于控制的噴墨頭。
這種油墨噴出方式，被稱為噴墨方式。
因此，這種噴墨方式的噴墨頭，如圖12所示，在噴墨頭1背面一側(cè)排列著許多油墨噴嘴(例如180個/1列)37，從該油墨噴嘴一會兒噴出液態(tài)油墨，一會兒停止噴出，因而長時間使用，無論如何油墨噴嘴的前端部和內(nèi)部等處都會因油墨的增粘作用出現(xiàn)油墨附著等問題。
這樣附著有油墨的噴墨頭如繼續(xù)使用，因附著的油墨而使從油墨噴嘴噴出的油墨的噴出角度就會發(fā)生變化，更進一步甚至會發(fā)生油墨噴嘴被堵塞等故障，這些為造成噴墨頭噴出不良的原因。
為此，以前如圖13所示，在安放著實施油墨噴出的基板3的基板臺16上，設有從噴墨頭12油墨預噴出用的托盤9。具體說，在噴墨頭避開基板涂敷區(qū)域的位置處，形成預噴出用的托盤9。
因此，噴墨頭12在不向濾色器等噴出油墨時，被移向配置有上述油墨預噴出用的托盤9的區(qū)域，向該油墨預噴出用的托盤9噴出油墨(所謂清洗作用)。這樣，通過油墨噴嘴噴出油墨，將由于增粘作用而在油墨噴嘴的內(nèi)部等附著油墨，堵塞油墨噴嘴的問題防范于未然(專利文獻1，圖3)。
專利文獻1特開2002-264366號公報。
但是，在上述專利文獻1的以前的噴墨法中進行所謂的清洗時，存在以下問題。
a)清洗法會出現(xiàn)油墨浪費。
b)產(chǎn)生清洗時間，使整個描繪時間變長。
c)需要進行清洗的裝置，致使描繪裝置的價格高。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的課題在于，鑒于上述問題，提供一種不進行現(xiàn)有技術那樣的所謂的清洗作用，能進行穩(wěn)定的液滴噴出的描繪裝置，以及由此描繪裝置得到的電光裝置及電子設備。
為解決上述課題，本發(fā)明的描繪裝置為在基板上涂敷在溶劑中溶解或者分散有描繪材料而構成的描繪液的裝置，其特征在于，具備具有在上述基板上噴出上述描繪液的液滴噴出頭的液滴噴出裝置、安放上述基板的基板臺、能夠相對移動上述噴出頭或上述基板臺的位置的移動裝置、和控制上述液滴噴出頭或基板臺的至少一方的控制裝置，并且在上述液滴噴出頭或基板臺的至少一方或兩方上設置有溶劑流出防止裝置。由此，利用溶劑流出防止裝置在液滴噴出頭或基板臺表面上形成溶劑氣氛，防止溶劑從液滴噴出噴嘴的噴嘴孔蒸發(fā)。
當上述溶劑比空氣輕時，溶劑流出裝置可以在液滴噴出頭的液滴噴出側(cè)周圍環(huán)繞設置擋壁。這樣，擋壁內(nèi)成為溶劑氣氛，可以防止描繪液干燥。
通過使上述擋壁的下端部與基板間的間隙在0.05mm以上，可以實現(xiàn)穩(wěn)定良好的描繪。
通過使上述擋壁的高度為0.1～0.4mm，可以實現(xiàn)穩(wěn)定良好的描繪。
通過使上述擋壁向液滴噴出側(cè)傾斜，即使在移動時溶劑也不保持在擋壁內(nèi)部，進一步防止了溶劑的流出。
通過在上述基板臺的一部分上設有能夠使溶劑揮發(fā)的溶劑存留處，溶劑可在擋壁內(nèi)充滿，即使是描繪剛開始也可以形成溶劑蒸汽氣氛。
當上述溶劑比空氣重時，上述溶劑流出防止裝置可在上述基板臺的周圍處環(huán)繞設置擋壁。這樣，在基板臺表面形成溶劑氣氛，溶劑不會從在該溶劑氣氛內(nèi)移動的液滴噴出頭蒸發(fā)，可消除油墨噴嘴堵塞的問題。
通過使在上述基板臺周圍環(huán)繞設置的擋壁高度為0.5mm以上，能夠進行可靠的液滴噴出，防止噴頭的干燥。
通過設置向基板臺表面供給上述重于空氣的溶劑的溶劑供給裝置，即使在描繪開始階段，也能使基板表面形成溶劑氣氛。
也可以，上述溶劑使用比溶解描繪材料溶劑的蒸氣比重高的溶劑，在溶劑流出防止裝置內(nèi)形成該蒸汽氣氛。
可以使用上述薄膜形成裝置制造出高品質(zhì)的電光裝置。
可以獲得裝有使用上述薄膜形成裝置所制造的高品質(zhì)電光裝置的電子設備。


圖1為第1實施方式的描繪裝置的主要部分的簡圖。
圖2為第1實施方式的其他描繪裝置的主要部分的簡圖。
圖3為第1實施方式的其他描繪裝置的主要部分的簡圖。
圖4為第2實施方式的描繪裝置的主要部分的簡圖。
圖5為第2實施方式的描繪裝置的主要部分的簡圖。
圖6為第1實施方式的描繪裝置的簡要結構圖。
圖7為第1實施方式的液滴噴出頭的簡圖。
圖8為第1實施方式的液滴噴出頭的簡圖。
圖9為液晶面板的結構圖。
圖10為個人電腦的立體圖。
圖11為移動電話的立體圖。
圖12為液滴噴出噴嘴的簡13為具有液晶噴墨法的清洗部的結構圖。
圖中1第1基板；2密封部；3液晶；4第2基板；10薄膜形成裝置；11涂敷液；12液滴噴出頭；13液滴噴出裝置；14移動裝置；15控制裝置；51、61擋壁；52溶劑；62溶劑蒸汽供給裝置；63容器；64供給噴嘴。
具體實施例方式
以下，通過發(fā)明的實施方式詳細說明本發(fā)明的內(nèi)容，本發(fā)明不僅限于此。
圖1至圖5為本實施方式的描繪裝置的結構圖。圖6為描繪裝置的簡圖。圖7及圖8為液滴噴出頭的簡圖。圖9為液晶面板的結構圖。圖10為個人電腦的立體圖。圖11為移動電話的立體圖。
第一實施方式首先，參照圖9就作為本發(fā)明的電光裝置的液晶顯示板的結構進行說明。本實施方式的液晶顯示板100，有對面配置的第一基板1和第二基板4，在第一基板1和第二基板4的內(nèi)側(cè)面分別形成有液晶顯示元件106、107。
具體說，如圖9所示，在第一基板1上依次形成反射膜(鋁等)101、濾色器(CF)102、外涂層(OVC)103、透明電極104以及取向膜105，構成第一基板側(cè)的液晶顯示元件106。
在對面的第二基板4上，形成透明電極104以及取向膜105。透明電極104由ITO(Indium Tin Oxide)及其他透明材料形成，被加工成規(guī)定的圖案，構成第二基板側(cè)的液晶顯示元件106。取向膜105由聚酰亞胺(PI)等的膜形成，并被取向(rubbing處理)處理。
這樣分別形成有液晶顯示元件的第一基板1和第二基板4，在兩基板之間內(nèi)側(cè)分散有導電性的間隙保持粒子110的密封部2被形成大致矩形狀，通過作為間隔體的間隙保持粒子111以規(guī)定的間隙，即所謂的單元間隙密封。因此，依靠該密封部2在第一基板1和第二基板4之間被劃成液晶區(qū)域。
以下，就制造本實施方式的液晶顯示裝置的描繪裝置，參照圖6進行說明。
本實施方式的描繪裝置10，如圖6所示，被用來在液晶顯示裝置中形成在其基板上形成的例如薄膜(液晶)等，在本實施方式中，為在形成有液晶顯示元件106的第一基板1的表面一側(cè)、向形成有以框狀形成的密封部2的內(nèi)部液滴噴出液晶3的裝置。之后，貼合上形成有對面的液晶顯示元件107的第二基板4，形成如圖4所示的液晶顯示裝置。
這里，作為形成密封部的密封劑，可以用市場上所銷售的粘著材料代用，但是為了保持基板間的厚度，設定液晶量，使用分散有間隙保持粒子的粘著劑為好。
此外，密封部形成后，通過在該基板上散布間隙保持粒子，可使基板間隔保持均勻。
另外，通過利用液滴噴出裝置噴出分散有間隙保持粒子液晶，可省略散布間隙保持粒子的工序。
上述密封劑可使用熱硬化粘著劑和光硬化粘著劑，間隙保持粒子可用二氧化硅粒子、聚苯乙烯粒子等塑料粒子以及在二氧化硅粒子的周圍復合了熱可塑性樹脂的粒子。因此在由在基板上形成的框狀的密封部包圍的部分上，利用液滴噴出噴嘴平面狀涂敷計算量的液晶。
由此得到的基板與其它基板粘合后，通過使粘著劑硬化，可以得到液晶顯示元件。作為粘合條件在真空狀態(tài)下進行為好。
本實施方式的描繪裝置10，如圖6所示，具備具有在形成有液晶顯示元件的第一基板1的表面上噴出例如液晶等描繪液11的液滴噴出頭12的液滴噴出裝置13、使液滴噴出頭12與基板1的位置相對移動的移動裝置14、控制液滴噴出裝置13及移動裝置14的控制裝置15。
上述移動裝置14，如圖6所示，由在基板臺16上安放的基板1的上方、將液滴噴出頭12向下方一側(cè)支撐并通過移動自如的支架18沿X軸方向移動自如的頭支撐部17，和相對于上方的液滴噴出頭12將基板臺16與基板一起沿Y軸方向移動的臺驅(qū)動部19所構成。
上述頭支撐部17，具有可以將液滴噴出頭12相對于基板1沿其垂直軸方向(Z軸)以任意速度移動且可定位的例如直線電機等機構，和通過以垂直軸為中心使液滴噴出頭12旋轉(zhuǎn)、而可以相對于下方的基板1設定成任意角度的步進電機等機構。
上述臺驅(qū)動部19，具有以垂直軸為中心使基板臺16回轉(zhuǎn)、可相對于上方的液滴噴出頭12設定成任意角度的θ軸臺20，和使基板臺16相對于液滴噴出頭12沿水平方向(Y方向)移動并定位的臺21。并且，θ軸臺20由步進電機等構成，臺21由直線電機等構成。
上述噴出裝置13，具有液滴噴出頭12和借助管22與其相連接的儲液箱23。儲液箱23是用來貯存描繪液11的，借助管22將該描繪液11供給液滴噴出頭12。根據(jù)這種結構，液滴噴出裝置13將貯存在儲液箱23中的描繪液11從液滴噴出頭12噴出，將其涂敷在基板1上。上述液滴噴出頭12，通過例如壓電元件壓縮液室，用此壓力將液滴(液狀材料)噴出，有排列成一列或數(shù)列的多個噴嘴(噴嘴孔)作為這種液滴噴出頭12的一例，參照圖7、圖8進行說明。如圖7、圖8所示，液滴噴出頭12有例如不銹鋼制的噴嘴板31和振動板32，用分隔部件33將兩者接合起來。在噴嘴板31和振動板32之間通過分隔部件被形成多個空間34與存液處35。在各個空間34與存液處35的內(nèi)部充滿了液狀材料(未圖示)，各個空間34與存液處35通過供給口36聯(lián)通。另外，在噴嘴板31上形成有用于從各空間34噴射液體材料11的微孔的噴嘴37。此外，在振動板32上形成有向存液處35供給描繪液11的孔37。
在與朝向振動板32的空間的面相反的一側(cè)的面上，如圖7、圖8所示接合有壓電元件38。該壓電元件38，如圖8所示位于一對電極39、39之間，通電后以向外側(cè)突出的方式撓曲。因此，基于這樣的結構，接合有壓電元件38的振動板32，與壓電元件38呈一體同時向外側(cè)撓曲，由此，空間34的內(nèi)部容積增大。因此與增大的容積等量的液狀材料從存液處35經(jīng)供給口36流入空間34。另外，當由此狀態(tài)解除向壓電元件38通電時，壓電元件38與振動板32均返回原來的狀態(tài)。因此，由于空間34也返回到原來的容積，空間內(nèi)部的描繪液11的壓力上升，從噴嘴37向基板1噴出液狀材料的霧狀液滴。
并且，作為液滴噴出頭12的方式，也可使用上述壓電元件的壓電噴射式以外的方式，可以用超聲波電機、直線電機等施加振動，或者在儲液箱內(nèi)施加壓力，使描繪液11的液晶從上述微孔噴射出來。在這里，儲液箱內(nèi)的液晶事先脫泡處理為好。另外，液滴噴出頭13，將儲液箱內(nèi)的液晶或液晶與低粘性揮發(fā)性液體的混合物加熱，經(jīng)該物質(zhì)的膨脹發(fā)泡，從微孔噴出液晶，即構成所謂的氣泡噴射(注冊商標)方式。另外，使得液晶的射出可在真空中、減壓下、大氣壓或加壓下等所希望的壓力下進行。
上記控制裝置15，為由進行裝置整體的控制的微處理器等的CPU、具有各種信號輸出輸入功能的電腦等組成的裝置，如圖6所示，通過分別電連接在液滴噴出裝置13及移動裝置14上，能對液滴噴出裝置13的噴出動作及移動裝置14的移動動作中的至少一方進行控制，在本實施方式中對兩方進行控制。
因此，利用這種結構，可調(diào)整液狀噴出液的噴出條件，控制形成的薄膜(液晶)等的膜厚。
即，控制裝置15，作為控制上述膜厚的功能，具有調(diào)整液狀噴出液向基板的噴出間隔的控制功能、調(diào)整平均1點的液狀噴出液的噴出量的控制功能、每進行噴出時設定作為各種噴出條件之一的噴嘴的排列方向與移動機構的移動方向之間的角度的控制裝置、在基板上分開多個區(qū)域并在各區(qū)域設置噴出條件的控制功能。
并且，控制方式15作為調(diào)整上述噴出間隔的控制機構，具有通過調(diào)整基板1與液滴噴出頭12的相對移動速度來調(diào)整噴出間隔的控制功能、通過調(diào)整移動裝置上的噴出的時間間隔來調(diào)整噴出間隔的控制功能、任意設定多個噴嘴中同時噴出涂敷液的噴嘴并調(diào)整噴出間隔的控制功能。
另外，如圖1(a)、(b)所示，在本實施方式中，在液滴噴出頭12的里面一側(cè)圍設有作為溶劑流出防止裝置的擋壁51。由于該圍設的矩形擋壁51的存在，如圖1(b)所示，作為涂敷液11的描繪液的組成材料的溶劑蒸汽S充滿擋壁51內(nèi)。其結果，通過在上述擋壁51內(nèi)滯留的溶劑蒸汽S，能夠減少溶劑從噴嘴孔的蒸發(fā)量，防止描繪液的高粘度化，消除因形成皮膜等造成的孔堵塞等問題。
即、當溶劑蒸汽的濃度在平衡濃度以上時，因理論上沒有溶劑的蒸發(fā)，所以組成描繪液的溶劑不會從噴頭內(nèi)向氣相中移動(蒸發(fā))，防止了描繪液粘度的提高。
由此，能使描繪液重量的變動少于清洗，這樣就適合于要求高精度的液滴噴出的領域。
另外，不需要現(xiàn)有技術中的清洗，減少了描繪液的浪費。在使用易干油墨的場合，需要經(jīng)常清洗，其結果，與描繪的油墨量相比，清洗使用的油墨量還要多，因而能夠使描繪液有效地用于描繪。并且，在噴出高價格的油墨或如用于生物用途那樣的合成量很少的油墨的場合，因不要清洗，故特別適宜。
由于不需要現(xiàn)有技術那樣的清洗，故可縮短描繪時間，能提高生產(chǎn)效率。
與現(xiàn)有技術相比較，不再需要進行清洗的各種控制裝置，裝置的結構得以簡化。
這里，當在上述液滴噴出頭12的背面一側(cè)設有擋壁51時，所用溶劑最好比空氣輕。
另外，可以用比溶解所使用的描繪材料的溶劑的蒸汽比重還重的溶劑，在擋壁51內(nèi)形成溶劑蒸汽S滯留的環(huán)境。
另外，本實施方式中，上述擋壁51的下端部51a與基板1間的間隙優(yōu)選在0.05mm以上，更優(yōu)選在0.1mm以上。這是因為間隙不足0.05mm時，不能進行順暢的描繪。
上述擋壁51的高度優(yōu)選為0.1mm～0.4mm，更優(yōu)選為0.2～0.4mm。這是因為不足0.1mm時不能有效地發(fā)揮防止溶劑流出的效果。
如圖2所示，上述圍設的擋壁51向液滴噴出側(cè)傾斜為好。這樣，液滴噴出頭或者基板移動時，因傾斜的擋壁51內(nèi)的存在，能夠防止溶劑的排出。
而且，如圖3所示，在上述基板臺16的一部分上設置能夠揮發(fā)溶劑52的溶劑存留處53為好。通過該溶劑存留處53，描繪開始前，在圍設的擋壁51內(nèi)充滿溶劑蒸汽S，形成溶劑氣氛即可。由此，即使在描繪開始前，在被擋壁51圍設的區(qū)域內(nèi)，也能夠形成溶劑52的氣氛，能夠防止干燥。
特別是在基板大尺寸(150cm×150cm等的基板)時，因液滴裝置的描繪區(qū)域擴大，象以前那樣設置油墨預噴出用的托盤時，扔掉的油墨量很大，且因操作臺的移動區(qū)域較寬，使該移動時間也造成浪費。本發(fā)明，不存在這種情況，而且由于在液滴噴出頭的噴出附近一直形成溶劑氣氛，故可進行穩(wěn)定噴出。
在本實施方式中，關于使用液晶作為描繪液即涂敷液11的場合進行了說明，但是本發(fā)明不限定于液晶，例如也可以應用于使用有機EL用的油墨材料(空穴材料、發(fā)光材料)的場合。
另外，本實施方式中，除液晶以外，也可以應用于濾色器、取向膜、外涂層、金屬布線等。
而且，也可以將描繪裝置應用于抗蝕層、微透鏡陣列、生物芯片(蛋白質(zhì)、遺傳基因檢查)等用途。
第二實施方式以下，就本發(fā)明的描繪裝置的第二實施方式進行說明。
如圖4所示，本實施方式的描繪裝置，在基板臺16的周邊圍設有作為溶劑防止裝置的擋壁61。由于該矩形圍設的擋壁61的存在，如圖4所示，作為描繪液的構成材料的溶劑蒸汽S充滿擋壁61內(nèi)，能夠減少在該溶劑蒸汽S內(nèi)移動的液滴噴出頭12的背面?zhèn)鹊膰娮炜赘浇拿枥L液中的溶劑的蒸發(fā)，防止描繪液的高粘度化，消除因形成皮膜等造成的孔堵塞等問題。
這里，在上述基板臺16的周圍設置擋壁61的場合，最好用比空氣重的溶劑。
所謂比空氣重的溶劑，可舉出如丙酮(蒸汽比重＝2.0)、二甲苯(蒸汽比重＝3.66)等芳香族溶劑、甲醇(蒸汽比重＝1.1)、異丙醇(蒸汽比重＝2.99)等醇類溶劑，但是本發(fā)明不限定于此。并且，所謂蒸汽比重是指以空氣為1時的溶劑蒸汽的比重。
另外，可以使用蒸汽比重比溶解所用描繪材料的溶劑重的溶劑，在擋壁61內(nèi)形成溶劑蒸汽S滯留的氣氛。
而且，上述擋壁61的高度在0.5mm以上為好。這是因為不足0.5mm時，不能有效地發(fā)揮防止溶劑流出的效果。
另外，通過液滴噴出頭12的下端部在比擋壁61低的位置移動，移動中的頭部噴嘴孔的表面被溶劑蒸汽充滿。由此能夠減少描繪液的溶劑從頭部噴嘴的蒸發(fā)，使描繪液能夠穩(wěn)定地噴出。
另外，如圖5所示，為了在上述基板臺16的擋壁61包圍的區(qū)域內(nèi)充滿溶劑蒸汽S，設置溶劑蒸氣供給裝置62為好。
該溶劑蒸氣供給裝置62具有在內(nèi)部填充有溶劑52的容器63、和從該容器63向基板1表面提供溶劑S的供給噴嘴64。由此，在描繪開始前，能夠在圍設的擋壁51內(nèi)部充滿溶劑蒸汽S，形成溶劑氣氛。其結果，即使在描繪開始前，也能在擋壁61包圍的范圍內(nèi)形成溶劑蒸汽S的氣氛，能夠防止干燥。
第3實施方式以下，就可以應用本發(fā)明的液晶顯示板的電子設備的具體例，參照圖10及圖11進行說明。
首先，就將用本發(fā)明的描繪裝置形成的液晶顯示板應用于可移動型個人電腦(所謂的筆記本電腦)的顯示部的例進行說明。圖10為表示該個人電腦結構的立體圖。如該圖所示，個人電腦91具有帶鍵盤911的本體部912、及應用了本發(fā)明的液晶顯示板的顯示部913。
接下來，就將本發(fā)明的液晶顯示板應用于移動電話的顯示部的例進行說明。圖11為表示該移動電話的結構的立體圖。
如該圖所示，移動電話92除具有多個操作按鈕921外，還具有與受話器922、接話器923，以及應用了本發(fā)明的液晶顯示板的顯示部924。
此外，作為能夠應用本發(fā)明的液晶顯示板的電子設備，除圖10所示個人電腦和圖11所示的移動電話之外，還可舉出液晶電視機、取景器型/監(jiān)視器直視型攝象機、汽車導航裝置、尋呼機、電子手冊、計算器、文字處理器、工作站、電視電話、POS終端、數(shù)碼相機等，并不特別限定。
另外，在上述實施方式中，作為電光裝置，就適用于液晶裝置的情況進行了說明，但本發(fā)明并不限于此，還能適用于電致發(fā)光裝置、特別是有機電致發(fā)光裝置、無機電致發(fā)光裝置、等離子顯示裝置、FED(場致發(fā)射顯示器)、LED(發(fā)光二極管)顯示裝置、電泳顯示裝置、薄型顯示管、使用液晶開關的小型電視機、使用數(shù)字微反射鏡器件(DMD)等各種電光裝置。
權利要求
1.一種描繪裝置，該裝置為在基板上涂敷在溶劑中溶解或者分散有描繪材料而構成的描繪液的裝置，其特征在于，具備具有在上述基板上噴出上述描繪液的液滴噴出頭的液滴噴出裝置、安放上述基板的基板臺、能夠相對移動上述噴出頭或上述基板臺的位置的移動裝置、和控制上述液滴噴出頭或基板臺的至少一方的控制裝置，并且在上述液滴噴出頭或基板臺的至少一方或兩方上設置有溶劑流出防止裝置。
2.根據(jù)權利要求1所述的描繪裝置，其特征在于，上述溶劑是比空氣輕的溶劑，并且溶劑流出裝置是在液滴噴出頭的液滴噴出側(cè)周圍環(huán)繞設置的擋壁。
3.根據(jù)權利要求2所述的描繪裝置，其特征在于，上述擋壁的下端部與基板之間的間隙大于或等于0.05mm。
4.根據(jù)權利要求3所述的描繪裝置，其特征在于，上述擋壁的高度為0.1～0.4mm。
5.根據(jù)權利要求2～4中任意一項所述的描繪裝置，其特征在于，上述擋壁向液滴噴出側(cè)傾斜。
6.根據(jù)權利要求1～5中任意一項所述的描繪裝置，其特征在于，在上述基板臺的一部分上設有能夠使溶劑揮發(fā)的溶劑存留處。
7.根據(jù)權利要求1所述的描繪裝置，其特征在于，上述溶劑是比空氣重的溶劑，并且上述溶劑流出防止裝置是在上述基板臺的周圍環(huán)繞設置的擋壁。
8.根據(jù)權利要求7所述的描繪裝置，其特征在于，環(huán)繞設置在上述基板臺周圍的擋壁的高度大于或等于0.5mm。
9.根據(jù)權利要求7或8所述的描繪裝置，其特征在于，設有向基板臺表面供給上述比空氣重的溶劑的溶劑供給裝置。
10.一種電光裝置，其特征在于，利用權利要求1～9中任意一項所述的描繪裝置制造。
11.一種電子設備，其特征在于，利用權利要求1～9中任意一項所述的描繪裝置制造。
全文摘要
一種描繪裝置，該裝置為向基板上涂敷在溶劑中溶解或分散有描繪材料的描繪液的描繪裝置，具備具有向上述基板上噴出上述描繪液的液滴噴出頭(12)的液滴噴出裝置(13)、安放上述基板的基板臺(16)、能夠相對移動上述噴出頭(12)或上述基板臺(16)位置的移動裝置(14)、控制上述液滴噴出頭或基板臺的至少一方的控制裝置(15)，并且在上述液滴噴出頭(12)或基板臺(16)的至少一方或兩方設置著作為溶劑流出防止裝置的擋壁(51)。由此，利用液滴噴出法穩(wěn)定地涂敷液晶等。
文檔編號B05C5/00GK1569465SQ20041003183
公開日2005年1月26日 申請日期2004年3月30日 優(yōu)先權日2003年3月31日
發(fā)明者臼井隆寬 申請人:精工愛普生株式會社