專利名稱：一種增大粉塵過(guò)濾功能的涂膠機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于芯片制造領(lǐng)域，具體是有關(guān)一種通過(guò)提高過(guò)濾網(wǎng)的面積來(lái)增大粉塵過(guò)濾功能的涂膠機(jī)。
背景技術(shù)：
在芯片制造過(guò)程中，為了刻蝕的需要，經(jīng)常會(huì)在硅片上根據(jù)刻蝕的形狀涂抹光刻膠，所以涂膠機(jī)是一種經(jīng)常使用的設(shè)備。然而，在使用過(guò)程中，光刻膠會(huì)產(chǎn)生大量的光刻膠粉塵，需要用過(guò)濾網(wǎng)將其過(guò)濾。由于涂膠機(jī)的產(chǎn)能較高，隨之而產(chǎn)生的光刻膠粉塵就比較多。在過(guò)濾網(wǎng)上的粉塵過(guò)多時(shí)其會(huì)自過(guò)濾網(wǎng)上脫落，如果落在硅片上，會(huì)極大影響硅片的品質(zhì)。
現(xiàn)有的粉塵過(guò)濾網(wǎng)形狀如圖1所示，其為涂膠機(jī)具有上杯盤11、內(nèi)杯盤12及下杯盤13，在下杯盤13的下方具有兩個(gè)排氣口131，一過(guò)濾網(wǎng)14罩在上述排氣口131上。由于排氣口131的直徑較小，導(dǎo)致過(guò)濾網(wǎng)14本身就只能做的更小。隨著過(guò)濾網(wǎng)14上粉塵的累積，過(guò)濾網(wǎng)14的排氣功能會(huì)降低，從而各杯盤內(nèi)的排氣壓力就會(huì)上升，杯盤內(nèi)的風(fēng)速就會(huì)減小，此時(shí)粉塵就會(huì)掉落在制品硅片上，影響制品的成品率。所以，為了保證制品不受影響，必須在12小時(shí)內(nèi)更換一次粉塵過(guò)濾網(wǎng)14，增加了操作工的作業(yè)強(qiáng)度，降低了設(shè)備的使用效率。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種增大粉塵過(guò)濾功能的涂膠機(jī)，其可以通過(guò)增加過(guò)濾網(wǎng)的面積來(lái)增大涂膠機(jī)過(guò)濾粉塵的功能。
本發(fā)明采用如下的技術(shù)方案一種增大粉塵過(guò)濾功能的涂膠機(jī)，包括上、下兩個(gè)杯盤及過(guò)濾網(wǎng)，其中所述過(guò)濾網(wǎng)設(shè)置于上下杯盤之間。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是由于過(guò)濾網(wǎng)設(shè)置于上下杯盤之間，所以其面積大幅增加，從而過(guò)濾網(wǎng)的過(guò)濾功能也大幅增加，因此涂膠機(jī)具有較強(qiáng)的過(guò)濾功能。


圖1為現(xiàn)有技術(shù)的一種涂膠機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2是本發(fā)明一種增大粉塵過(guò)濾功能的的涂膠機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖3是本發(fā)明一種增大粉塵過(guò)濾功能的涂膠機(jī)的過(guò)濾網(wǎng)的結(jié)構(gòu)正視圖。
圖4是本發(fā)明一種增大粉塵過(guò)濾功能的涂膠機(jī)的杯盤內(nèi)涂膠機(jī)的粉塵與風(fēng)速的關(guān)系圖，其中橫軸表示風(fēng)速，單位為m/s，而縱軸表示粉塵數(shù)。
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步描述。
請(qǐng)參閱圖2及圖3所示，本發(fā)明的增大粉塵過(guò)濾功能的涂膠機(jī)具有兩個(gè)涂抹光刻膠的上杯盤21、下杯盤22，且在其之間還具有內(nèi)杯盤23，一過(guò)濾網(wǎng)24設(shè)置于內(nèi)杯盤23與下杯盤22之間，上述過(guò)濾網(wǎng)24呈圓臺(tái)形構(gòu)造。下杯盤22的下方左右兩端具有排氣口221，且于其頂部中間位置具有開口222。所述過(guò)濾網(wǎng)24罩于上述開口222上，且其上具有兩個(gè)手把241，可以方便抓握，且在其側(cè)部具有面積較大的過(guò)濾面242。
在TEL公司的2臺(tái)MARK-8涂膠裝置上，分別采用舊型號(hào)的粉塵過(guò)濾網(wǎng)及新型號(hào)的粉塵過(guò)濾網(wǎng)。隨著時(shí)間的推移，其各自的風(fēng)速發(fā)生了不同程度的變化。舊的粉塵過(guò)濾網(wǎng)在經(jīng)過(guò)12小時(shí)的使用之后，其風(fēng)速已接近于規(guī)格值5.6m/s，而新的粉塵過(guò)濾網(wǎng)在經(jīng)過(guò)24小時(shí)的使用之后，其風(fēng)速仍可達(dá)到6.0m/s以上。規(guī)格值5.6m/s被認(rèn)為是粉塵會(huì)對(duì)制品有影響的警戒值，如圖4所示，由于在24小時(shí)內(nèi)可以維持在5.6m/s以上的風(fēng)速，所以可以認(rèn)為本發(fā)明的采用新型號(hào)的粉塵過(guò)濾網(wǎng)涂膠機(jī)可以滿足我們對(duì)制品的要求，并可以有效延長(zhǎng)使用壽命，提高設(shè)備的使用效率。
綜上所述，本發(fā)明完成了發(fā)明人的發(fā)明目的，由于過(guò)濾網(wǎng)的有效工作面積大幅度增加，所以可以有效降低粉塵過(guò)濾網(wǎng)的交換頻度，其交換頻度從原來(lái)的2次/日降低到1次/日，提高了設(shè)備的持續(xù)使用效率。
權(quán)利要求
1.一種增大粉塵過(guò)濾功能的涂膠機(jī)，包括上、下兩個(gè)杯盤及過(guò)濾網(wǎng)，其特征在于所述過(guò)濾網(wǎng)設(shè)置于上下杯盤之間。
2.如權(quán)利要求1所述的增大粉塵過(guò)濾功能的涂膠機(jī)，其特征在于所述下杯盤上有兩個(gè)排氣口。
3.如權(quán)利要求1所述的增大粉塵過(guò)濾功能的涂膠機(jī)，其特征在于所述上下杯盤之間還有一個(gè)內(nèi)杯盤。
4.如權(quán)利要求1所述的增大粉塵過(guò)濾功能的涂膠機(jī)，其特征在于所述過(guò)濾網(wǎng)呈圓臺(tái)形。
5.如權(quán)利要求4所述的增大粉塵過(guò)濾功能的涂膠機(jī)，其特征在于所述過(guò)濾網(wǎng)一體設(shè)置，覆蓋于下杯盤的開口上。
6.如權(quán)利要求5所述的增大粉塵過(guò)濾功能的涂膠機(jī)，其特征在于所述過(guò)濾網(wǎng)上具有過(guò)濾面。
7.如權(quán)利要求5所述的增大粉塵過(guò)濾功能的涂膠機(jī)，其特征在于所述過(guò)濾網(wǎng)上具有手把。
全文摘要
本發(fā)明有關(guān)一種增大粉塵過(guò)濾功能的涂膠機(jī)，包括上、下兩個(gè)杯盤及過(guò)濾網(wǎng)，上下兩個(gè)杯盤上均有兩個(gè)排氣口，所述過(guò)濾網(wǎng)呈圓臺(tái)形，且其設(shè)置于上下杯盤之間。由于過(guò)濾網(wǎng)設(shè)置于上下杯盤之間，所以其面積可設(shè)置地較大，從而可以提高過(guò)濾網(wǎng)的過(guò)濾性能，使得過(guò)濾網(wǎng)的風(fēng)速在規(guī)格值以上可以維持在24小時(shí)以上。
文檔編號(hào)B05C11/10GK1788860SQ200410089600
公開日2006年6月21日 申請(qǐng)日期2004年12月15日 優(yōu)先權(quán)日2004年12月15日
發(fā)明者徐哲峰, 楊震宇, 張鵬 申請(qǐng)人:上海華虹Nec電子有限公司