專利名稱：一種超細(xì)微粉拋光膜的制備方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于超精密拋光的超細(xì)微粉拋光膜的制備方法。
背景技術(shù)：
近幾年，隨著信息技術(shù)、光學(xué)技術(shù)的發(fā)展，對(duì)硬脆性材料，如硅片，光學(xué)玻璃等，不僅需求量增大，而且對(duì)其質(zhì)量、精度都提出了很高的要求。對(duì)于這些材料的加工，目前普遍使用的是游離磨料研磨拋光。但是，由于研磨液體在放置過(guò)程中容易產(chǎn)生沉淀而且隨著磨料粒度的減小，磨料很容易產(chǎn)生團(tuán)聚現(xiàn)象，這些都會(huì)對(duì)加工后的工件表面質(zhì)量產(chǎn)生影響。在加工過(guò)程中磨料流體的流動(dòng)性很大，只能在拋光盤(pán)表面停留片刻，因此磨料浪費(fèi)非常嚴(yán)重，研磨效率很低，磨料流體廢液還會(huì)嚴(yán)重污染環(huán)境。為了解決超細(xì)磨料的團(tuán)聚問(wèn)題，同時(shí)為了提高加工效率和減少磨料的浪費(fèi)，使用固結(jié)磨料工具拋光來(lái)代替游離磨料研磨拋光已經(jīng)成為一種趨勢(shì)。
本發(fā)明基于超細(xì)磨料的團(tuán)聚難題，同時(shí)為了提高加工效率和減少磨料的浪費(fèi)，提出一種基于溶膠凝膠的超細(xì)微粉拋光膜的制備方法。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種超細(xì)微粉拋光膜的制備方法，其可使超細(xì)微粉在結(jié)合劑中均勻分布。
本發(fā)明的技術(shù)方案是這樣的一種超細(xì)微粉拋光膜的制備方法，通過(guò)下列步驟實(shí)現(xiàn)第一步，在常溫常壓下，將超細(xì)微粉放入重量百分比濃度為1-5％的海藻酸鈉溶液中，用攪拌器進(jìn)行攪拌，使得超細(xì)微粉在海藻酸鈉溶液中能夠均勻分散，形成均勻的混合溶液，其中超細(xì)微粉占此混合溶液的重量百分比的1-30％；第二步，將第一步所得的含有超細(xì)微粉的海藻酸鈉混合溶液涂覆于一種網(wǎng)格狀結(jié)構(gòu)的紡織物之上并將此紡織物粘貼固定在一拋光基盤(pán)上，將涂覆于紡織物之上的含有超細(xì)微粉的藻酸鈉鹽溶液進(jìn)行平整化處理從而得到薄膜；第三步，將第二步所得的涂覆著薄膜的拋光基盤(pán)放入重量百分比濃度為0.5-2.0％的Ca2+溶液中進(jìn)行迅速固化并放置幾個(gè)小時(shí)，從而制備成拋光膜。
上述Ca2+溶液為氯化鈣溶液。
上述超細(xì)微粉可以是金剛石、氧化鋁、碳化硅、氧化硅、氧化鐵、氧化鈰中的一種或幾種的混合物。
上述超細(xì)微粉粒度大約在1-40μm。
上述紡織物為無(wú)紡布。
本發(fā)明與傳統(tǒng)的超細(xì)微粉固結(jié)制造方法最大不同之處在于事先將超細(xì)微粉放置于藻酸鈉鹽溶液中，經(jīng)過(guò)攪拌，超細(xì)微粉可以在溶液中均勻的分散開(kāi)，然后將含有超細(xì)微粉的藻酸鈉鹽溶液涂覆于一種網(wǎng)格狀結(jié)構(gòu)的無(wú)紡布之上并用雙面膠粘貼在拋光基盤(pán)上，利用一種抹平裝置進(jìn)行平整化處理做成薄膜形狀，然后將其放入含Ca2+的溶液中進(jìn)行迅速固化并放置幾個(gè)小時(shí)，在拋光膜的制造的過(guò)程中，由于凝膠速度很快，整個(gè)固化時(shí)間約為0.5-1秒，因此不會(huì)造成超細(xì)微粉的沉積。本發(fā)明所提供的方法可從根本上解決超細(xì)微粉在固結(jié)過(guò)程中的團(tuán)聚問(wèn)題，從而可以使工件達(dá)到納米級(jí)的加工精度。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明一種超細(xì)微粉拋光膜的制備方法，通過(guò)如下步驟實(shí)現(xiàn)第一步，在常溫常壓下，將粒度大約在1-40μm的超細(xì)微粉放入重量百分比濃度為1-5％的海藻酸鈉溶液中，此處的超細(xì)微粉可為金剛石、氧化鋁、碳化硅、氧化硅、氧化鐵、氧化鈰中的一種或幾種的混合物，用攪拌器進(jìn)行攪拌，使得超細(xì)微粉在海藻酸鈉溶液中能夠均勻分散，形成均勻的混合溶液，其中超細(xì)微粉占此混合溶液的重量百分比的10％；第二步，將第一步所得的含有超細(xì)微粉的海藻酸鈉混合溶液涂覆于一種網(wǎng)格狀結(jié)構(gòu)的無(wú)紡布之上并用雙面膠粘貼在拋光基盤(pán)上，使用一種抹平裝置將涂覆于無(wú)紡布之上的含有超細(xì)微粉的藻酸鈉鹽溶液進(jìn)行平整化處理從而做成薄膜；第三步，將第二步所得的涂覆著薄膜的拋光基盤(pán)放入重量百分比濃度為0.5-2.0％的氯化鈣溶液中進(jìn)行迅速固化并放置幾個(gè)小時(shí)，從而制備成拋光膜。
權(quán)利要求
1.一種超細(xì)微粉拋光膜的制備方法，其特征在于通過(guò)下列步驟實(shí)現(xiàn)第一步，在常溫常壓下，將超細(xì)微粉放入重量百分比濃度為1-5％的海藻酸鈉溶液中，用攪拌器進(jìn)行攪拌，使得超細(xì)微粉在海藻酸鈉溶液中能夠均勻分散，形成均勻的混合溶液，其中超細(xì)微粉占此混合溶液的重量百分比的1-30％；第二步，將第一步所得的含有超細(xì)微粉的海藻酸鈉混合溶液涂覆于一種網(wǎng)格狀結(jié)構(gòu)的紡織物之上并將此紡織物粘貼固定在一拋光基盤(pán)上，將涂覆于紡織物之上的含有超細(xì)微粉的藻酸鈉鹽溶液進(jìn)行平整化處理從而得到薄膜；第三步，將第二步所得的涂覆著薄膜的拋光基盤(pán)放入重量百分比濃度為0.5-2.0％的Ca2+溶液中進(jìn)行迅速固化并放置幾個(gè)小時(shí)，從而制備成拋光膜。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超細(xì)微粉拋光膜的制備方法，其特征在于上述Ca2+溶液為氯化鈣溶液。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超細(xì)微粉拋光膜的制備方法，其特征在于上述超細(xì)微粉可以是金剛石、氧化鋁、碳化硅、氧化硅、氧化鐵、氧化鈰中的一種或幾種的混合物。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超細(xì)微粉拋光膜的制備方法，其特征在于上述超細(xì)微粉粒度大約在1-40μm。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超細(xì)微粉拋光膜的制備方法，其特征在于上述紡織物為無(wú)紡布。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種超細(xì)微粉拋光膜的制備方法，其特點(diǎn)在于將超細(xì)磨料加入海藻酸鹽溶液中，用攪拌器進(jìn)行充分?jǐn)嚢枋沟贸?xì)微粉在藻酸鈉鹽溶液中均勻分布；然后將含有超細(xì)微粉的藻酸鈉鹽溶液涂覆于一種網(wǎng)格狀結(jié)構(gòu)的無(wú)紡布之上并用雙面膠粘貼在拋光基盤(pán)上，利用一種抹平裝置進(jìn)行平整化處理做成薄膜形狀，然后將其放入含Ca
文檔編號(hào)C09G1/02GK1843701SQ200610040168
公開(kāi)日2006年10月11日 申請(qǐng)日期2006年4月30日 優(yōu)先權(quán)日2006年4月30日
發(fā)明者徐西鵬, 劉娟, 于怡青 申請(qǐng)人:華僑大學(xué)