專利名稱：涂敷裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種涂敷裝置，特別地，涉及一種適合在作為液晶基板制造工序之一的抗蝕液涂敷工序中使用的涂敷裝置。
背景技術(shù)：
迄今為止，在作為液晶基板制造工序之一的抗蝕液涂敷工序中，使用如圖8所示的涂敷裝置{參考專利文獻日本特愿2004-058914(日本特開2005-246201)}。圖8是現(xiàn)有的涂敷裝置20的結(jié)構(gòu)圖。并且，對與后述的本發(fā)明的涂敷裝置1相同的結(jié)構(gòu)元素，以與涂敷裝置1中的符號相同的符號來表示。
如圖8所示，現(xiàn)有的涂敷裝置20的結(jié)構(gòu)包括儲液罐4、載物臺5、涂敷頭(日語口金)6、涂敷頭驅(qū)動裝置7、輸液泵80、第一開閉閥11、第二開閉閥12以及控制裝置30等。在涂敷裝置20中，伴隨輸液泵80中的柱塞P的往復(fù)驅(qū)動，通過使第一開閉閥11和第二開閉閥12交替開閉，將從吸入口81吸入的抗蝕液從排出口82排出。進而，在排出抗蝕液時，涂敷頭驅(qū)動裝置7使涂敷頭6和玻璃基板K成為接近的狀態(tài)，同時通過使涂敷頭6向X方向移動，將從狹縫狀的開口部621滲出的抗蝕液涂敷到玻璃基板K的表面。涂敷裝置20中的輸液泵80使用O型密封圈N來作為密封泵體83和柱塞P之間的間隙G的密封材料。
若使用上述輸液泵80，由于在O型密封圈N與泵體83的內(nèi)周面之間產(chǎn)生摩擦，所以O(shè)型密封圈N的磨耗較快。此外，有時還會產(chǎn)生顆粒。因此，必須頻繁地更換O型密封圈N，存在著作業(yè)成本和零部件成本提高，并且由于生產(chǎn)線的臨時中斷而產(chǎn)生生產(chǎn)效率降低的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于上述問題而進行的，其目的在于提供一種涂敷裝置，其具有將抗蝕液導(dǎo)入涂敷頭的輸液泵，并可以實現(xiàn)延長輸液泵中密封部件的使用壽命。
為解決上述課題，本發(fā)明的第1方面的涂敷裝置1具有儲液罐4，其存儲涂敷液；載物臺5，其保持作為涂敷對象的基板K；涂敷頭6，其具有狹縫狀的開口部621，并被架設(shè)在載物臺5的上方；輸液泵8，其通過使吸入動作和排出動作交替進行，從而將儲液罐4內(nèi)的涂敷液導(dǎo)入涂敷頭6中；第一開閉閥11，其設(shè)置在輸液泵8的吸入口C12與儲液罐4之間，當(dāng)進行上述吸入動作時成為打開狀態(tài)，當(dāng)進行上述排出動作時成為關(guān)閉狀態(tài)；第二開閉閥12，其設(shè)置在輸液泵8的排出口C13與涂敷頭6之間，當(dāng)進行上述排出動作時成為打開狀態(tài)，當(dāng)進行上述吸入動作時成為關(guān)閉狀態(tài)；以及驅(qū)動裝置7，其在使狹縫狀的開口部621與基板K接近的狀態(tài)下，使涂敷頭6與基板K相對移動，其特征在于，上述輸液泵8具有泵體C，其具有吸入口C12與排出口C13；柱塞P，其設(shè)置為可沿泵體C的軸線J1方向在泵體C內(nèi)部往復(fù)移動；膜狀密封部件F，其用于密封泵體C與柱塞P之間的間隙G；柱塞驅(qū)動裝置PD，其用于驅(qū)動柱塞P。
在本發(fā)明的第2方面的涂敷裝置中，上述膜狀密封部件F由撓性材料制成的蓋狀(cap)體構(gòu)成，在將該蓋狀體的開口端部F2固定在泵體C的內(nèi)周面上的狀態(tài)下，用該蓋狀體的主體部F3包覆柱塞P，同時，在泵體C與柱塞P之間的間隙G中，通過在下側(cè)折回形成的U字形折回部F1來密封該間隙G。
在本發(fā)明的第3方面的涂敷裝置中，泵體C中的非接液室R2與真空泵9連接。
在本發(fā)明的第4方面的涂敷裝置中，具有正壓施加裝置10，其將預(yù)定的正壓施加到上述儲液罐4內(nèi)。
在本發(fā)明的第5方面的涂敷裝置中，上述柱塞驅(qū)動裝置PD以這樣的速度來驅(qū)動柱塞P，即，使進行吸入動作時的柱塞P的移動速度比進行排出動作時的柱塞P的移動速度要低。并且，雖然在輸液泵8的液室R1中涂敷液被壓送，但如果以輸液泵8作為基準(zhǔn)進行觀察的話，則為吸入涂敷液的形態(tài)，因此，在此處仍舊采用本發(fā)明第一方面的“吸入動作”這一表現(xiàn)。
在本發(fā)明的第6方面的涂敷裝置中，上述柱塞驅(qū)動裝置PD以這樣的方式來驅(qū)動柱塞P，即，使進行吸入動作時的柱塞P在加速開始階段的時間-速度之間的關(guān)系為大致呈S字的曲線形狀。并且，雖然在輸液泵8的液室R1中，涂敷液被壓送，但如果以輸液泵8作為基準(zhǔn)進行觀察的話，則為吸入涂敷液的形態(tài)，因此，在此處仍舊采用本發(fā)明第一方面的“吸入動作”這一表現(xiàn)。
在本發(fā)明的第7方面的涂敷裝置中，上述輸液泵8以其排出口C13設(shè)置在泵體C的頂部且泵體C的軸線J1與鉛直軸平行的方式被立起設(shè)置并使用。
本發(fā)明的第8方面的涂敷裝置，設(shè)置有涂敷液檢測傳感器D，其用于檢測從膜狀密封部件F泄漏的涂敷液，根據(jù)該涂敷液檢測傳感器D的檢測信號，使第一開閉閥11成為關(guān)閉狀態(tài)。
發(fā)明的效果根據(jù)本發(fā)明，在具有將涂敷液導(dǎo)入涂敷頭的輸液泵的涂敷裝置中，能夠?qū)崿F(xiàn)延長輸液泵中密封部件的使用壽命。
根據(jù)本發(fā)明的第1、2方面，由于使用膜狀密封部件F作為密封泵體C與柱塞P之間的間隙G的密封部件，因此，很少產(chǎn)生磨耗或顆粒。
根據(jù)本發(fā)明的第3方面，通過使非液室R2成為真空狀態(tài)，從而使膜狀密封部件F與柱塞P的外周面及泵體C的內(nèi)周面之間的密接性變好，在膜狀密封部件F上不會形成凹凸、皺褶、或者折痕等。
根據(jù)本發(fā)明的第4方面，流入到泵體C的液室R1中的涂敷液，由于通過正壓施加裝置10被加壓，因此，可以對在柱塞P向進行吸入動作側(cè)移動時液室R1內(nèi)產(chǎn)生的壓力減小給予補償。從而，由于不會在液室R1內(nèi)產(chǎn)生變化率較大的瞬時壓力變動，因此防止對膜狀密封部件F施加不合理的壓力，可以實現(xiàn)延長膜狀密封部件F的壽命。
根據(jù)本發(fā)明的第5、6方面，柱塞P由于在進行吸入動作時平穩(wěn)地下降，所以不會在液室R1內(nèi)產(chǎn)生變化率較大的瞬時壓力變動。因此，可以防止對膜狀密封部件F施加不合理的壓力，能夠?qū)崿F(xiàn)延長膜狀密封部件F的壽命。
根據(jù)本發(fā)明的第7方面，氣泡容易從排出口C13逸出，氣泡成為深入U字形折回部F1的底部停留的狀態(tài)，或者成為接觸于U字形折回部F1的底部上的狀態(tài)的情況將變得非常少。因此，不會在膜狀密封部件F的接受液體部產(chǎn)生局部的壓力變動，根據(jù)該點，也能夠?qū)崿F(xiàn)延長膜狀密封部件F的壽命。
根據(jù)本發(fā)明的第8方面，在膜狀密封部件F由于老化劣化等主要因素而破裂的情況下，由于涂敷動作臨時中斷，因此，可以防止將泄漏的抗蝕液吸入真空泵9內(nèi)。


圖1是表示本發(fā)明的涂敷裝置的外觀的立體圖。
圖2是涂敷裝置的結(jié)構(gòu)圖。
圖3是輸液泵的正面的局部剖面圖。
圖4是表示膜狀密封部件的外觀的立體圖。
圖5是表示柱塞驅(qū)動裝置將柱塞從上死點朝向下死點的方向驅(qū)動時的時間-速度的關(guān)系的曲線圖。
圖6是表示涂敷動作流程的流程圖。
圖7是進行涂敷動作時的第一開閉閥和第二開閉閥的開閉狀態(tài)與液室內(nèi)的壓力與柱塞速度之間的關(guān)系的曲線圖。
圖8是現(xiàn)有的涂敷裝置的結(jié)構(gòu)圖。
具體實施例方式
下面參考附圖，對實施本發(fā)明的最佳方式進行說明。
圖1表示本發(fā)明的涂敷裝置1的外觀的立體圖，圖2是涂敷裝置1的結(jié)構(gòu)圖，圖3是輸液泵8的正面的局部剖面圖，圖4是表示膜狀密封部件F的外觀的立體圖，圖5是表示柱塞驅(qū)動裝置PD將柱塞P從上死點朝向下死點的方向驅(qū)動時的時間-速度的關(guān)系的曲線圖。并且，圖3(A)表示柱塞P處于下死點的狀態(tài)、圖3(B)表示柱塞P處于上死點的狀態(tài)。
如圖1、2所示，涂敷裝置1的結(jié)構(gòu)包括基臺2、控制裝置3、儲液罐4、載物臺5、涂敷頭6、涂敷頭驅(qū)動裝置7、輸液泵8、真空泵9、加壓泵10、第一開閉閥11以及第二開閉閥12等。從配設(shè)在涂敷裝置1的橫側(cè)(在圖1中，為涂敷裝置1的左側(cè)或右側(cè))的未圖示的機械手中接收玻璃基板K，對玻璃基板K涂敷抗蝕液。
基臺2具有作為支撐涂敷裝置1的各結(jié)構(gòu)部的臺座的作用，主要由石材構(gòu)成。選取石材是為了將伴隨溫度變化產(chǎn)生的變形抑制到最小限度。
控制裝置3是所謂NC控制器，其通過預(yù)先安裝的程序，可控制涂敷裝置1中的各結(jié)構(gòu)部分的動作，以使涂敷裝置1進行預(yù)定的涂敷動作。
儲液罐4是用于貯存預(yù)定量的抗蝕液的密封罐，通過配管，分別連接到加壓泵10、排氣閥41以及第一開閉閥11。儲液罐4的內(nèi)部，通過加壓泵10，就可加壓到0.1MPa的程度。
載物臺5具有載物面，其可放置作為涂敷對象的玻璃基板K，并確保充分的平面度，其與基臺2同樣地由石材構(gòu)成。在其表面上貫穿設(shè)置有多個小直徑的貫通孔，它們用于吸附保持玻璃基板K，同時，還設(shè)置有可從表面出沒的多根升降銷，其用于在接收或送出玻璃基板K時，使該玻璃基板K升降。
涂敷頭6由通過涂敷頭支持部(gantry龍門架)61架設(shè)在載物臺5上的方柱狀的金屬體構(gòu)成，沿中央的長度方向形成有用于滲出抗蝕液的狹縫狀的開口部621。
涂敷頭驅(qū)動裝置7由設(shè)置在基臺2上的線性電動機71和設(shè)置在涂敷頭支持部61上的線性伺服電動機72等構(gòu)成，該涂敷頭驅(qū)動裝置7可驅(qū)動涂敷頭6分別沿圖中的X、Z方向進行直線運動。
如圖3所示，輸液泵8具有泵體C、柱塞P、膜狀密封部件F以及柱塞驅(qū)動裝置PD，并且輸液泵8在立起設(shè)置的狀態(tài)(亦即，使泵體C的軸線J1與鉛直軸平行的狀態(tài))下使用。
泵體C包括大致呈杯形的上側(cè)蓋體C1，其具有耳部C11；大致呈杯形的下側(cè)蓋體C2，其同樣具有耳部C21。上側(cè)蓋體C1與下側(cè)蓋體C2，在各自的耳部C11與耳部C21之間夾持膜狀密封部件F的開口端部F2，在該狀態(tài)下，通過用螺栓M1緊固該耳部C11和耳部C21，由此就可以一體地形成泵體主體。在上側(cè)蓋體C1與膜狀密封部件F之間形成液室R1，在下側(cè)蓋體C2與膜狀密封部件F之間形成真空室R2。在真空室R2中，設(shè)有液檢測傳感器D，用于檢測抗蝕液的泄漏。
在上側(cè)蓋體C1上，貫穿設(shè)置吸入口C12與排出口C13。吸入口C12與上側(cè)蓋體C1的法線方向平行地貫穿設(shè)置在上側(cè)蓋體C1的側(cè)面，并貫穿設(shè)置在當(dāng)柱塞P到達上死點位置時，在泵體C與柱塞P之間形成間隙G的范圍內(nèi)。排出口C13沿與軸線J1平行的方向，貫穿設(shè)置在上側(cè)蓋體C1的頂部。
在下側(cè)蓋體C2上，貫穿設(shè)置真空引氣口C22以及桿孔C23。真空引氣口C22通過配管連接到真空泵9。桿孔C23被設(shè)置為可使柱塞P的桿P3滑動地貫通的貫通孔，并貫穿設(shè)置在下側(cè)蓋體C2的底部。
柱塞P具有柱塞頭P1、座板P2以及桿P3。由膜狀密封部件F包覆的柱塞頭P1，借助于座板P2并通過螺栓M2與桿P3連接。穿過桿孔C23的桿P3的另一端連接到柱塞驅(qū)動裝置PD。
膜狀密封部件F由撓性材料制成的蓋狀體構(gòu)成。作為撓性材料，例如，可使用在強力的聚酯布上覆蓋橡膠后的材料，膜狀密封部件F如下述那樣密封間隙G。亦即，在將該開口端部F2固定在泵體C的內(nèi)周面的狀態(tài)下，通過該蓋狀體的主體部F3，包覆柱塞P的上部。進而，在泵體C與柱塞P之間的間隙G中，通過在下側(cè)折回，形成剖面視圖為U字形的U字形折回部F1，通過該U字形折回部F1，密封間隙G。U字形折回部F1在柱塞P的往復(fù)驅(qū)動的同時，沿與該驅(qū)動方向相同的方向，在間隙G中移動。此時，由于U字形折回部F1要滾動著在間隙G中移動，因此，既減小了磨耗損失，而且液體或氣體也沒有泄漏。
柱塞驅(qū)動裝置PD構(gòu)成為，包括伺服電動機，其具有旋轉(zhuǎn)驅(qū)動軸；以及滾珠絲杠，其將該旋轉(zhuǎn)驅(qū)動軸的旋轉(zhuǎn)運動變換為直線運動。其動作可通過編入控制裝置3中的程序進行控制。如圖5所示，當(dāng)從上死點向下死點驅(qū)動柱塞P時，柱塞驅(qū)動裝置PD被控制成在該加速開始階段中的時間-速度的關(guān)系成為大致呈S字曲線形狀。
第一開閉閥11被設(shè)置在儲液罐4與輸液泵8的吸入口C12之間，并被控制成，在進行輸液泵8的吸入動作時，使其成為打開狀態(tài)，在進行輸液泵8的排出動作時，使其成為關(guān)閉狀態(tài)。此外，液檢測傳感器D根據(jù)檢測涂敷液時的信號而控制第一開閉閥11成為關(guān)閉狀態(tài)。第二開閉閥12設(shè)置在涂敷頭6與輸液泵8的排出口C13之間，并被控制成，在進行輸液泵8的吸入動作時使其成為關(guān)閉狀態(tài)，在進行輸液泵8的排出動作時使其成為打開狀態(tài)。
其次，對如上結(jié)構(gòu)的涂敷裝置1的涂敷動作進行說明。
圖6是表示涂敷動作流程的流程圖。圖7是涂敷動作時的第一開閉閥11和第二開閉閥12的開閉狀態(tài)與液室R1內(nèi)的壓力與柱塞P的速度之間的關(guān)系曲線圖。并且，在圖5、7中，橫軸是時間軸。此外，將柱塞P從上死點朝向下死點的方向移動的速度作為正方向。
如圖6所示，涂敷動作通過初始狀態(tài)設(shè)定步驟S1、基板保持步驟S2、液體吸入步驟S3、液體排出步驟S4、涂敷頭驅(qū)動步驟S5、以及送出基板步驟S6進行。
在初始狀態(tài)設(shè)定步驟S1中，在儲液罐4中貯存的抗蝕液，通過加壓泵10被加壓到大約0.1MPa的程度，同時，通過排氣閥41，進行預(yù)定時間的排氣。此外，輸液泵8的真空室R2，通過真空泵9被真空減壓到80kPa的程度。通過使真空室R2成為真空狀態(tài)，膜狀密封部件F與柱塞頭P1的外周面，以及與泵體C的內(nèi)周面之間的密接狀態(tài)變好，在U字形折回部F1上，不會形成凹凸、皺褶、或者折痕等。
在基板保持步驟S2中，首先，載物臺5使升降銷上升，接受從機械手送入的玻璃基板K。繼而，使升降銷下降，通過在吸附孔中產(chǎn)生負(fù)壓，使玻璃基板K被吸附保持在載物臺5上。
在液體吸入步驟S3中，如圖7中的T1部分所示，首先，第二開閉閥12通過來自控制裝置3的指示，成為關(guān)閉狀態(tài)，繼而，第一開閉閥11成為打開狀態(tài)。繼而，柱塞驅(qū)動裝置PD從上死點向下死點驅(qū)動柱塞P。此時，在液室R1內(nèi)，通過第一開閉閥11流入來自吸入口C12的抗蝕液。
已流入的抗蝕液通過加壓泵10而被加壓，因此，可以對伴隨柱塞P的下降所引起的液室R1的壓力的減小給予補償。因此，不會產(chǎn)生液室R1的急劇的壓力變動。因此，在膜狀密封部件F的U字形折回部F1中，不會產(chǎn)生不穩(wěn)定的形狀變化。U字形折回部F1可以在完好地保持U字形的狀態(tài)下，在間隙G中移動。從而，可以防止對膜狀密封部件F施加不合理的力，能夠?qū)崿F(xiàn)延長膜狀密封部件F的壽命。
假如，在沒有通過加壓泵10進行加壓的情況下，伴隨液室R1內(nèi)的急劇的壓力變動，U字形折回部F1成為不穩(wěn)定的形狀。例如，在柱塞P開始下降的瞬間，由于抗蝕液因慣性而沒有立即流入液室R1，就會產(chǎn)生液室R1的壓力瞬間急劇下降、然后又馬上急劇上升的現(xiàn)象(參考圖7中的T3部分的虛線)。通過該現(xiàn)象，液室R1與真空室R2之間的壓差就會臨時變小，就會在U字形折回部F1上形成凹凸、皺褶、或者折痕等。一旦形成這樣的變形部分，就較難恢復(fù)，伴隨柱塞P的往復(fù)次數(shù)的增加，不久就會在該部分產(chǎn)生磨耗或龜裂，成為縮短膜狀密封部件F的壽命的重大要因。
柱塞驅(qū)動裝置PD當(dāng)從上死點向下死點驅(qū)動柱塞P時，則按照如圖5所示的加速度特性進行驅(qū)動。亦即，在該加速開始階段的時間-速度的關(guān)系成為大致呈S字的曲線形狀。由于柱塞P的下降速度比上升速度要低且以很小的加速度，平穩(wěn)地進行下降，所以，在液室R1中，就不會產(chǎn)生變化率較大的瞬間壓力變動。
因此，在膜狀密封部件F的U字形折回部F1上，不會產(chǎn)生不穩(wěn)定的形狀變化。U字形折回部F1可以在完好地保持U字形的狀態(tài)下，在間隙G中移動。從而，可以防止對膜狀密封部件F施加不合理的力，可以實現(xiàn)延長膜狀密封部件F的壽命。
當(dāng)開始加速后的柱塞P達到預(yù)定的速度時，如圖5、7的T4部分所示，在預(yù)定時間內(nèi)保持該速度。當(dāng)柱塞P接近下死點時，該減速開始階段的時間-速度的關(guān)系成為與加速開始階段對稱形狀的大致呈S字的曲線形狀。
在液體排出步驟S4中，如圖7的T2部分所示，首先，第一開閉閥11根據(jù)來自控制裝置3的指示，成為關(guān)閉狀態(tài)，繼而，第二開閉閥12成為打開狀態(tài)。柱塞驅(qū)動裝置PD從下死點向上死點驅(qū)動柱塞P，從排出口C13排出抗蝕液。當(dāng)柱塞P從下死點向上死點移動時，其加速開始階段的時間-速度的關(guān)系成為具有一定傾斜度的直線形狀。當(dāng)柱塞P到達預(yù)定的速度時，在預(yù)定時間內(nèi)保持該速度。當(dāng)柱塞P接近上死點時，在該減速開始階段中的時間-速度的關(guān)系成為與加速開始階段對稱形狀的、具有一定傾斜度的直線形狀。從排出口C13排出的抗蝕液，通過第二開閉閥12被導(dǎo)入涂敷頭6。
排出口C13，由于沿平行軸線J1的方向貫穿設(shè)置在上側(cè)蓋體C1的頂部，因此，液室R1內(nèi)的氣泡容易從此處逸出。亦即，可以防止氣泡的滯留，基于此點也可以實現(xiàn)延長膜狀密封部件F的壽命。其原因如下。即，由于抗蝕液在吸入動作時的減壓作用、或抗蝕液的并不充分的排氣，有時液室R1中的抗蝕液含有氣泡。在該氣泡深入U字形折回部F1的底部停留的狀態(tài)下，或者在接觸在U字形折回部F1的底部上的狀態(tài)下，在膜狀密封部件F的接液部就會產(chǎn)生局部的壓力變動，U字形折回部F1就會在不能保持均勻表面的狀態(tài)下進行移動，在U字形折回部F1上產(chǎn)生磨耗或龜裂，成為縮短膜狀密封部件F的壽命的重大要因。
此外，在膜狀密封部件F由于老化劣化等主要因素而破裂的情況下，由于設(shè)置在真空室R2內(nèi)的液檢測傳感器D檢測出抗蝕液的泄漏，控制裝置3根據(jù)該檢測信號，立即使第一開閉閥l1成為關(guān)閉狀態(tài)，臨時中斷涂敷動作，因此，可以防止泄漏的抗蝕液被真空泵9吸入。
在涂敷頭驅(qū)動步驟S5中，涂敷頭驅(qū)動裝置7首先將涂敷頭6驅(qū)動到接近玻璃基板K的位置，繼而，將涂敷頭6從涂敷開始位置X1朝向涂敷結(jié)束位置XE，按等速度進行驅(qū)動。此時，來自狹縫狀的開口部621的抗蝕液滲出，并伴隨涂敷頭6的移動，在玻璃基板K的表面上涂敷抗蝕液。若涂敷結(jié)束，使涂敷頭6停止在涂敷結(jié)束位置XE，使第二開閉閥12成為關(guān)閉狀態(tài)。進而，使涂敷頭6的調(diào)轉(zhuǎn)移動方向，在到達待機位置X0的時點停止下來。
在送出基板步驟S6中，通過破壞在載物臺5中吸附孔的真空壓，使玻璃基板K從吸附狀態(tài)釋放出來。進而，使升降銷上升，將涂敷完成后的玻璃基板K送出給機械手。之后，從機械手接受新的玻璃基板K，直到完成預(yù)定塊數(shù)的涂敷為止(在步驟S7的“是”)，都按照與上述同樣的步驟來進行涂敷動作。
以上，對本發(fā)明的實施方式進行了說明，但在上面公開的實施方式，只不過是示例而已，本發(fā)明的范圍并不僅限于這些實施方式。本發(fā)明的范圍由權(quán)利要求的范圍加以界定，進而，還應(yīng)當(dāng)包含與權(quán)利要求范圍等價的意義和范圍內(nèi)的所有的變更。
權(quán)利要求
1.一種涂敷裝置，具有儲液罐，其存儲涂敷液；載物臺，其保持作為涂敷對象的基板；涂敷頭，其具有狹縫狀的開口部，被架設(shè)在載物臺的上方；輸液泵，其通過使吸入動作和排出動作交替進行，從而將儲液罐內(nèi)的涂敷液導(dǎo)入涂敷頭中；第一開閉閥，其設(shè)置在輸液泵的吸入口與儲液罐之間，當(dāng)進行上述吸入動作時成為打開狀態(tài)，當(dāng)進行上述排出動作時成為關(guān)閉狀態(tài)；第二開閉閥，其設(shè)置在輸液泵的排出口與涂敷頭之間，當(dāng)進行上述排出動作時成為打開狀態(tài)，當(dāng)進行上述吸入動作時成為關(guān)閉狀態(tài)；以及驅(qū)動裝置，其在使狹縫狀的開口部與基板接近的狀態(tài)下，使涂敷頭與基板相對移動，其特征在于，上述輸液泵具有泵體，其具有吸入口與排出口；柱塞，其設(shè)置為可沿泵體的軸線方向在泵體內(nèi)部往復(fù)移動；膜狀密封部件，其用于密封泵體與柱塞之間的間隙；以及柱塞驅(qū)動裝置，其用于驅(qū)動柱塞。
2.如權(quán)利要求1所述的涂敷裝置，其特征在于，上述膜狀密封部件由撓性材料制成的蓋狀體構(gòu)成，在將該蓋狀體的開口端部固定在泵體的內(nèi)周面上的狀態(tài)下，用該蓋狀體的主體部包覆柱塞，同時，在泵體與柱塞之間的間隙中，通過在下側(cè)折回形成的U字形折回部來密封該間隙。
3.如權(quán)利要求1或2所述的涂敷裝置，其特征在于，泵體的非接液室與真空泵連接。
4.如權(quán)利要求1至3中任何一項所述的涂敷裝置，其特征在于，具有正壓施加裝置，其將預(yù)定的正壓施加到上述儲液罐內(nèi)。
5.如權(quán)利要求1至4中任何一項所述的涂敷裝置，其特征在于，上述柱塞驅(qū)動裝置以這樣的速度來驅(qū)動柱塞，即，使進行吸入動作時的柱塞的移動速度比進行排出動作時的柱塞的移動速度要低。
6.如權(quán)利要求1至5中任何一項所述的涂敷裝置，其特征在于，上述柱塞驅(qū)動裝置以這樣的方式來驅(qū)動柱塞，即，使進行吸入動作時柱塞在加速開始階段的時間—速度之間的關(guān)系為大致呈S字的曲線形狀。
7.如權(quán)利要求1至6中任何一項所述的涂敷裝置，其特征在于，上述輸液泵以其排出口設(shè)置在泵體的頂部且泵體的軸線與鉛直軸平行的方式被立起設(shè)置并使用。
8.如權(quán)利要求1至7中任何一項所述的涂敷裝置，其特征在于，設(shè)置有涂敷液檢測傳感器，其用于檢測從上述膜狀密封部件泄漏的涂敷液，根據(jù)該涂敷液檢測傳感器的檢測信號，使第一開閉閥成為關(guān)閉狀態(tài)。
全文摘要
一種涂敷裝置，具有儲液罐(4)；載物臺(5)，其保持基板(K)；涂敷頭(6)，其具有開口部(621)，被架設(shè)在載物臺的上方；輸液泵，其將涂敷液導(dǎo)入涂敷頭中；第一開閉閥(11)，其設(shè)置在輸液泵的吸入口(C12)與儲液罐之間，當(dāng)進行吸入動作時成為打開狀態(tài)，當(dāng)進行排出動作時成為關(guān)閉狀態(tài)；第二開閉閥(12)，其設(shè)置在輸液泵的排出口(C13)與涂敷頭之間，當(dāng)進行排出動作時成為打開狀態(tài)，當(dāng)進行吸入動作時成為關(guān)閉狀態(tài)；以及驅(qū)動裝置(7)，其在使狹縫狀的開口部與基板接近的狀態(tài)下，使涂敷頭與基板相對移動，輸液泵具有膜狀密封部件(F)，其密封泵體(C)與柱塞(P)之間的間隙(G)，可實現(xiàn)延長密封部件的壽命。
文檔編號B05C11/10GK1840241SQ20061006708
公開日2006年10月4日 申請日期2006年3月31日 優(yōu)先權(quán)日2005年3月31日
發(fā)明者上原淳一, 巖出卓 申請人:東麗工程株式會社