專利名稱：液滴噴出方法、電光學(xué)裝置及電子設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及液滴噴出方法、電光學(xué)裝置及電子設(shè)備。
背景技術(shù)：
噴墨打印機(jī)的液滴噴頭能以點(diǎn)狀噴出微小的墨滴，在墨滴的大小和間距(pitch)的均勻性方面精度極高。該技術(shù)被應(yīng)用在各種產(chǎn)品，例如電光學(xué)裝置等的制造領(lǐng)域。例如，也可以應(yīng)用在形成液晶裝置的濾色器層或有機(jī)EL顯示裝置的發(fā)光部等的膜的情況。
具體而言，使液滴噴頭中包含特殊的墨水或感光性樹脂液等(功能液)，對(duì)設(shè)置于基板上的被噴出部噴出該功能液的液滴(例如，參照專利文獻(xiàn)1。)。近年來(lái)，由于用于電光學(xué)裝置的濾色器或發(fā)光部上大多形成有多種顏色，所以，將多種功能液通過(guò)不同的裝置一次一種地噴在基板上。
可是，在使用專利文獻(xiàn)1所述的裝置的情況下，由于通過(guò)不同的裝置對(duì)基板一次一種地噴出多種功能液的一種，所以整體的噴出時(shí)間變長(zhǎng)。鑒于此，為了縮短噴出時(shí)間，考慮用1個(gè)裝置噴出所有種類的功能液。
另外，設(shè)置于基板上的被噴出部與功能液的液滴相比，通常容積較大，通過(guò)一次掃描，功能液不能完全填滿，所以進(jìn)行多次掃描。在該多次掃描中，公開有下述方法例如，使新液滴彈落于已在被噴出部上彈落的功能液液滴間的區(qū)域上，來(lái)填埋被噴出部的底面。
專利文獻(xiàn)1特開2004-267927號(hào)公報(bào)但是，為了使新液滴如上述那樣準(zhǔn)確地彈落于功能液的液滴之間，需要進(jìn)行細(xì)微的控制來(lái)調(diào)節(jié)彈落位置，而實(shí)際上這是極困難的。另外，在采用上述方法的情況下，由于彈落位置被限定于噴出區(qū)域中的狹窄區(qū)域，并且彈落的液滴不能充分地?cái)U(kuò)開，所以液滴會(huì)被偏置地配置。在這種情況下，由于所形成的功能液的膜不均勻，所以例如在電光學(xué)裝置中，會(huì)成為顯示不均的原因。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于上述問(wèn)題，本發(fā)明的目的在于提供可容易調(diào)節(jié)功能液的彈落位置，并可防止功能液的膜不均勻地形成的液滴噴出方法、電光學(xué)裝置及電子設(shè)備。
為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明所涉及的液滴噴出方法，一邊使基板和噴出噴頭相對(duì)掃描，一邊在所述基板上的多個(gè)被噴出部上噴出功能液的液滴，其特征在于，所述被噴出部以矩陣狀排列在所述基板上，在通過(guò)多次掃描對(duì)所述各被噴出部噴出所述功能液的液滴時(shí)，各掃描都以避開從已經(jīng)噴出到所述各被噴出部的液滴的彈落部分別在所述矩陣的行方向及列方向直線狀延伸的區(qū)域的方式，使新噴出的液滴彈落。
根據(jù)本發(fā)明，由于在被噴出部排列成矩陣狀的情況下，當(dāng)向各被噴出部多次噴出功能液的液滴時(shí)，以避開從已經(jīng)噴出到所述各被噴出部的液滴的彈落部分別在矩陣的行方向及列方向直線狀延伸的區(qū)域的方式，使新噴出的液滴彈落，所以，不需要在以填埋該彈落部之間的方式使功能液的液滴彈落時(shí)進(jìn)行的細(xì)微調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)彈落功能液的液滴的位置將變得極其容易，也可防止功能液的膜形成得不均勻。
在此，例如參照?qǐng)D17，對(duì)“從已經(jīng)噴出有液滴的彈落部分別在矩陣的行方向及列方向直線狀延伸的區(qū)域”進(jìn)行說(shuō)明。圖17中，圓部分170A表示“已經(jīng)噴出有液滴的彈落部”，斜線部170B表示“從彈落部分別在矩陣的行方向及列方向直線狀延伸的區(qū)域”。如該圖所示，認(rèn)為該區(qū)域是不包含彈落部自身的區(qū)域。
另外，優(yōu)選使所述新噴出的液滴彈落在所述被噴出部中的與所述已經(jīng)噴出有液滴的彈落部平面重合的位置上。
根據(jù)本發(fā)明，由于新噴出的液滴彈落在與已經(jīng)噴出有液滴的彈落部平面重合的位置上，只要每次噴出時(shí)都彈落在相同的位置即可，所以，液滴彈落位置的調(diào)節(jié)變得容易。另外，在本發(fā)明中，雖然彈落位置受限制，但是，由于已經(jīng)彈落的液滴借助新彈落液滴的沖擊，在被噴出部?jī)?nèi)擴(kuò)開，所以，也可防止功能液的膜形成得不均勻。
另外，優(yōu)選在由所述多次掃描進(jìn)行的每一次噴出中，以所述多個(gè)彈落部配置在所述矩陣的行方向及列方向中的至少一方的方式噴出所述功能液的液滴，使所述新噴出的液滴彈落在相對(duì)于連結(jié)所述多個(gè)彈落部的中心部之間的直線而錯(cuò)開的位置。
根據(jù)本發(fā)明，由于在多次噴出的每一次中，以彈落部在矩陣的行方向及列方向中的至少一方鄰接的方式噴出功能液的液滴，來(lái)將液滴新彈落在相對(duì)于連結(jié)該彈落部的中心部之間的直線而錯(cuò)開的位置，所以，可將液滴彈落在整個(gè)被噴出部。由此，可使功能液平坦地形成在被噴出部上。
本發(fā)明的另一觀點(diǎn)所涉及的電光學(xué)裝置，其特征在于，包含利用上述的液滴噴出方法噴出有所述功能液的基板。
根據(jù)本發(fā)明，由于利用可容易調(diào)節(jié)功能液的彈落位置、并可防止功能液的膜形成得不均勻的液滴噴出方法，噴出功能液的液滴，所以，可得到顯示均勻的電光學(xué)裝置。
本發(fā)明的另一觀點(diǎn)所涉及的電子設(shè)備，其特征在于，搭載有上述的電光學(xué)裝置。
根據(jù)本發(fā)明，由于搭載有顯示均勻的電光學(xué)裝置，所以可得到顯示性能優(yōu)良的電子設(shè)備。
另外，本發(fā)明所涉及的液滴噴出裝置，一邊使基板和噴出噴頭相對(duì)掃描，一邊對(duì)所述基板上的多個(gè)被噴出部噴出功能液的液滴，具有處理部，其控制所述功能液的液滴對(duì)在所述基板上以矩陣狀排列的所述被噴出部進(jìn)行噴出；所述處理部控制新彈落液滴的噴出，使得在通過(guò)多次掃描對(duì)各被噴出部噴出所述功能液的液滴時(shí)，各掃描都避開從已經(jīng)噴出到所述各被噴出部的液滴的彈落部分別在所述矩陣的行方向及列方向直線狀延伸的區(qū)域。
根據(jù)本發(fā)明，由于在向各被噴出部多次噴出功能液的液滴時(shí)，以避開從已經(jīng)噴出到所述各被噴出部的液滴的彈落部分別在所述矩陣的行方向及列方向直線狀延伸的區(qū)域的方式，控制新彈落的液滴對(duì)以矩陣狀排列的被噴出部進(jìn)行的噴出，所以在各被噴出部，可減輕因多次掃描改變位置而以矩陣狀彈落的液滴產(chǎn)生的不均勻等。


圖1是表示本發(fā)明實(shí)施方式所涉及的液晶裝置的結(jié)構(gòu)的立體圖。
圖2是表示本實(shí)施方式所涉及的濾色器基板的結(jié)構(gòu)的俯視圖。
圖3是表示本實(shí)施方式所涉及的液滴噴出裝置的整體結(jié)構(gòu)的立體圖。
圖4是表示本實(shí)施方式所涉及的液滴噴出裝置的滑架的結(jié)構(gòu)的俯視圖。
圖5是表示本實(shí)施方式所涉及的液滴噴出裝置的噴頭的外部結(jié)構(gòu)的俯視圖。
圖6是表示本實(shí)施方式所涉及的液滴噴出裝置的噴頭的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的圖。
圖7是表示本實(shí)施方式所涉及的液滴噴出裝置的控制部結(jié)構(gòu)的框圖。
圖8是表示本實(shí)施方式所涉及的液滴噴出裝置的噴頭驅(qū)動(dòng)部的結(jié)構(gòu)的圖。
圖9是表示本實(shí)施方式所涉及的液滴噴出裝置的噴頭的配置的圖。
圖10是表示本實(shí)施方式所涉及的液滴噴出方法的圖(之一)。
圖11是表示本實(shí)施方式所涉及的液滴噴出方法的圖(之二)。
圖12是表示本實(shí)施方式所涉及的液滴噴出方法的圖(之三)。
圖13是表示本發(fā)明的第2實(shí)施方式所涉及的液滴噴出方法的圖(之一)。
圖14是表示本發(fā)明的第2實(shí)施方式所涉及的液滴噴出方法的圖(之二)。
圖15是表示本發(fā)明的第2實(shí)施方式所涉及的液滴噴出方法的圖(之三)。
圖16是表示本發(fā)明所涉及的電子設(shè)備的結(jié)構(gòu)的立體圖。
圖17是表示彈落部和其周圍區(qū)域的圖。
圖中1-液晶裝置；2-有源矩陣基板；3-濾色器基板；10A-基體；16-濾色器；18、18R、18G、18B-被噴出部；100-液滴噴出裝置(噴出裝置)；103-滑架(carriage)；106-載物臺(tái)(stage)；111、111R、111G、111B-液體材料；114、114R、114G、114B-噴頭；114P-噴頭群；114G-噴頭；118-噴嘴；300-便攜電話。
具體實(shí)施例方式
(第1實(shí)施方式)下面，參照附圖，對(duì)本發(fā)明的第1實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。在下面的圖中，為了將各部件做成能認(rèn)知的大小，對(duì)比例尺進(jìn)行適當(dāng)?shù)母淖儭?br> (電光學(xué)裝置)圖1是表示本實(shí)施方式所涉及的液晶裝置1的結(jié)構(gòu)的立體圖。
如該圖所示，液晶裝置1構(gòu)成為以液晶面板40和背光燈41為主體的結(jié)構(gòu)。液晶面板40的結(jié)構(gòu)如下有源矩陣基板2和濾色器基板3介由密封材料26粘著在一起，在該有源矩陣基板2和濾色器基板3及密封材料26之間夾持有液晶6。圖中以虛線表示的顯示區(qū)域2a是顯示圖像或動(dòng)畫等的區(qū)域。
另外，本實(shí)施方式的液晶裝置1采用了使用雙端子型非線性元件即薄膜二極管(TFD)元件作為開關(guān)元件的有源矩陣方式的液晶裝置，當(dāng)然也可以使用例如將薄膜晶體管(TFT)元件作為開關(guān)元件的液晶裝置、或無(wú)源矩陣方式的液晶裝置。而且，液晶面板40是通過(guò)將兩枚大張的母基板粘合、切斷而形成的(得到多個(gè))。兩張母基板有生成濾色器基板3的濾色器側(cè)母基板、和生成有源矩陣基板2的有源矩陣側(cè)母基板。
圖2是表示濾色器基板3的結(jié)構(gòu)的圖。圖2(a)是表示濾色器基板3的整體結(jié)構(gòu)的圖，圖2(b)是放大表示濾色器基板3的一部分的圖。
如圖2(a)所示，濾色器基板3是通過(guò)例如玻璃或塑料等透明材料而形成的矩形基板。在濾色器基板3上設(shè)置有遮光層13，與由遮光層13圍成的區(qū)域(像素區(qū)域)對(duì)應(yīng)，矩陣狀地設(shè)置具有作為各像素的紅色層16R、綠色層16G、藍(lán)色層16B的濾色器16。另外，在本實(shí)施方式中，該濾色器16的紅色層16R、綠色層16G、藍(lán)色層16B是通過(guò)噴墨方式形成的，是從后述的液滴噴出裝置向各像素區(qū)域噴出液體材料而形成的，所以在以下說(shuō)明中，也將該設(shè)置為矩陣狀的像素區(qū)域稱作“被噴出部”。
另外，在濾色器基板3上，以覆蓋該濾色器16的方式形成有涂敷層(未圖示)，在涂敷層上形成有取向膜(未圖示)。該取向膜是由例如聚酰亞胺等構(gòu)成，表面經(jīng)過(guò)研磨處理的水平取向膜。
而且，如圖2(b)所示，對(duì)于一個(gè)紅色層16R(或綠色層16G、藍(lán)色層16B)來(lái)說(shuō)，其設(shè)置成短邊的長(zhǎng)度S例如為170μm左右，長(zhǎng)邊的長(zhǎng)度L例如為510μm左右的矩形。另外，關(guān)于鄰接的濾色器16彼此的間隔，行方向的間隔T1約為20μm，列方向的間隔T2約為40μm。
(液滴噴出裝置)接著，對(duì)本實(shí)施方式所涉及的液滴噴出裝置(以下稱作“噴出裝置”)100進(jìn)行說(shuō)明。
如圖3所示，噴出裝置100構(gòu)成為，以保持液體材料111的容器101、介由管110從容器101供給液體材料111的噴出掃描部102為主體的結(jié)構(gòu)。
液體材料111有三種，分別是例如上述液晶裝置1的構(gòu)成濾色器16的紅色層16R的材料(以下稱作“紅色液體材料”)111R、構(gòu)成綠色層16G的材料(以下稱作“綠色液體材料”)111G、和構(gòu)成藍(lán)色層16B的材料(以下稱作“藍(lán)色液體材料”)111B。
容器101具有保持紅色液體材料111R的紅色材料容器101R、保持綠色液體材料111G的綠色材料容器101G、和保持藍(lán)色液體材料111B的藍(lán)色材料容器101B，其用于分別保持上述的三種液體材料111(111R、111G、111B)。在各容器101中，安裝有例如未圖示的壓力泵。通過(guò)驅(qū)動(dòng)該壓力泵向容器101內(nèi)部施加壓力，來(lái)使液體材料111從容器101內(nèi)向噴出掃描部102供給。
這里，作為紅色液體材料111R，例如使用如下的溶液，即在將紅色的無(wú)機(jī)顏料(例如紅色氧化鐵(III)或鎘紅等)分散到聚氨基甲酸酯低聚物之后，添加二甘醇-丁醚乙酸酯作為溶劑，并且添加非離子系界面活性劑作為分散劑，將粘度調(diào)整到規(guī)定范圍而得到的溶液。
另外，作為綠色液體材料111G，例如使用如下的溶液，即在將綠色的無(wú)機(jī)顏料(例如，氧化鉻綠或鈷綠等)分散到聚氨基甲酸酯低聚物之后，添加環(huán)己酮以及乙酸丁酯作為溶劑，并添加非離子系界面活性劑作為分散劑，將粘度調(diào)整到規(guī)定范圍而得到的溶液。
另外，作為藍(lán)色液體材料111B，例如使用如下的溶液，即在將藍(lán)色的無(wú)機(jī)顏料(例如，群藍(lán)或普魯士藍(lán)等)分散到聚氨基甲酸酯低聚物之后，添加二甘醇-丁醚乙酸酯作為溶劑，并添加非離子系界面活性劑作為分散劑，將粘度調(diào)整到規(guī)定范圍而得到的溶液。
噴出掃描部102具有保持多個(gè)噴頭114(參照?qǐng)D4)的滑架103、控制滑架103的位置的滑架位置控制裝置104、保持構(gòu)成濾色器側(cè)母基板的基體10A的載物臺(tái)106、控制載物臺(tái)106的位置的載物臺(tái)位置控制裝置108、和控制部112。另外，實(shí)際上在噴出裝置100上設(shè)置有多個(gè)(例如10個(gè))滑架103。在圖3中，為了簡(jiǎn)化說(shuō)明，圖示了1個(gè)滑架103來(lái)進(jìn)行說(shuō)明。
滑架位置控制裝置104具有如下功能，即根據(jù)來(lái)自控制部112的信號(hào)，使滑架103沿著X軸方向或Z軸方向移動(dòng)。載物臺(tái)位置控制裝置108具有如下功能，即根據(jù)來(lái)自控制部112的信號(hào)，使載物臺(tái)106沿著Y軸方向移動(dòng)。
如上所述，滑架103通過(guò)滑架位置控制裝置104的控制在X軸方向移動(dòng)。另一方面，載物臺(tái)106通過(guò)載物臺(tái)位置控制裝置108的控制在Y軸方向移動(dòng)。即，通過(guò)滑架位置控制裝置104以及載物臺(tái)位置控制裝置108，使得噴頭114相對(duì)載物臺(tái)106的相對(duì)位置發(fā)生改變。
即，通過(guò)使滑架103以及載物臺(tái)106中的兩方或任一方移動(dòng)，使得滑架103可以掃描載物臺(tái)106(或由載物臺(tái)106保持的基體10A)。下面，對(duì)在本實(shí)施方式中，通過(guò)使滑架103靜止、使載物臺(tái)106移動(dòng)來(lái)進(jìn)行掃描的情況進(jìn)行說(shuō)明。
圖4是從載物臺(tái)106一側(cè)觀察1個(gè)滑架103的圖，與圖4的紙面垂直的方向是Z軸方向。另外，圖4紙面的左右方向是X軸方向，紙面的上下方向是Y軸方向。
如該圖所示，滑架103保持分別具有相同結(jié)構(gòu)的多個(gè)噴頭114。在噴頭114上有三種噴頭，分別是噴出液體材料111中的紅色液體材料111R的噴頭114R、噴出綠色液體材料111G的噴頭114G、噴出藍(lán)色液體材料111B的噴頭114B。
在滑架103上，于2處設(shè)置有噴頭群114P。在各噴頭群114P中，沿Y軸方向直線狀分別設(shè)置有2個(gè)噴頭114R、2個(gè)噴頭114G、2個(gè)噴頭114B。因此，在1個(gè)滑架103上，分別設(shè)置有4個(gè)噴頭114R、4個(gè)噴頭114G、4個(gè)噴頭114B，噴頭114的數(shù)量總計(jì)為12個(gè)。
圖5是表示噴頭114的底面114a的圖。底面114a的形狀是具有相對(duì)向的2條長(zhǎng)邊以及相對(duì)向的2條短邊的矩形。該底面114a朝載物臺(tái)106一側(cè)(圖中的Z軸方向)。噴頭114的長(zhǎng)邊方向和圖中的X軸方向平行，并且，噴頭114的短邊方向與圖中Y軸方向平行。
另外，在該底面114a上，在X軸方向配置兩列(噴嘴列116A和噴嘴列116B)噴嘴118，每列例如為90個(gè)。而且，各噴嘴118的噴嘴直徑r約為30μm。噴嘴列116A側(cè)的噴嘴118和噴嘴列116B側(cè)的噴嘴118，分別在各列中以規(guī)定的噴嘴間距LNP(LNP約為140μm)配置。
并且，噴嘴列116B的各噴嘴118的位置，相對(duì)于噴嘴列116A的各噴嘴118被配置成僅以噴嘴間距LNP的一半長(zhǎng)度(約為70μm)向X軸方向的負(fù)方向(圖5的下方向)錯(cuò)位。另外，在噴頭114上設(shè)置的噴嘴列也可以不是兩列?？梢栽黾恿袛?shù)，例如為3列、4列、…M列(M為自然數(shù))，或者還可以是1列。
由于噴嘴列116A以及噴嘴列116B分別由90個(gè)噴嘴構(gòu)成，所以，在1個(gè)噴頭114上設(shè)置有180個(gè)噴嘴。其中，從噴嘴列116A的兩端至第五個(gè)噴嘴不噴出液體材料111(休止噴嘴圖5中被虛線包圍的部分)。
同樣，從噴嘴列116B的兩端至第五個(gè)噴嘴也是不噴出液體材料111的休止噴嘴(圖5中被虛線包圍的部分)。因此，在噴頭114上的180個(gè)噴嘴118中，除了兩端的20個(gè)噴嘴以外的160個(gè)噴嘴118，被設(shè)置成噴出液體材料111(噴出噴嘴)。
本說(shuō)明書中，在噴嘴列116A所包含的90個(gè)噴嘴118中，將從圖中上端數(shù)第六個(gè)噴嘴118標(biāo)記為噴頭114的“基準(zhǔn)噴嘴118R”。即，噴嘴列116A的80個(gè)噴出噴嘴中，位于圖中最上部的噴出噴嘴是噴頭114的“基準(zhǔn)噴嘴118R”。另外，由于對(duì)于所有的噴頭114來(lái)說(shuō)，只要“基準(zhǔn)噴嘴118R”的指定方法相同即可，所以“基準(zhǔn)噴嘴118R”的位置不是上述位置也可以。
接著，對(duì)噴頭114的內(nèi)部結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。如圖6(a)以及圖6(b)所示，各個(gè)噴頭114是噴墨式噴頭。更具體而言，各個(gè)噴頭114具有振動(dòng)板126和噴嘴板128。在振動(dòng)板126和噴嘴板128之間設(shè)置有存液部129，其始終填充有經(jīng)由孔131從容器101供給的液體材料111。
另外，在振動(dòng)板126和噴嘴板128之間設(shè)置有多個(gè)隔壁122。而且，由振動(dòng)板126、噴嘴板128和一對(duì)隔壁122圍成的部分是腔120。腔120按每個(gè)噴嘴118而設(shè)置，因此，腔120的數(shù)量和噴嘴118的數(shù)量相同。液體材料111經(jīng)由在一對(duì)隔壁122之間設(shè)置的供給口130，從存液部129供給到腔120中。
在振動(dòng)板126上，振動(dòng)件124位于與各個(gè)腔120相對(duì)應(yīng)的位置。振動(dòng)件124具有壓電元件124C、夾著壓電元件124C的一對(duì)電極124A和124B。通過(guò)在該一對(duì)電極124A和124B之間施加驅(qū)動(dòng)電壓，從對(duì)應(yīng)的噴嘴118噴出液體材料111。另外，調(diào)整噴嘴118的形狀，使得從噴嘴118在Z軸方向噴出液狀材料。另外，也可以取代壓電元件而具有電熱變換元件。即，可以具有利用由電熱變換元件引起的材料的熱膨脹來(lái)噴出液體材料111的結(jié)構(gòu)。
接著，說(shuō)明控制部112的結(jié)構(gòu)。圖7是表示控制部112的結(jié)構(gòu)的框圖。
控制部112是與噴出液體材料111的時(shí)刻、滑架103的固定位置、載物臺(tái)106的移動(dòng)(移動(dòng)速度、移動(dòng)距離等)等、噴出裝置100的動(dòng)作相關(guān)地進(jìn)行總括控制的部位。
如圖7所示，控制部112具有輸入緩沖存儲(chǔ)器201、存儲(chǔ)機(jī)構(gòu)202、處理部204、掃描驅(qū)動(dòng)部206和噴頭驅(qū)動(dòng)部208，各部分之間被連接成可進(jìn)行通信。
輸入緩沖存儲(chǔ)器201從與外部連接的例如信息處理裝置等，取得用于進(jìn)行噴出液體材料111的液滴的噴出數(shù)據(jù)。輸入緩沖存儲(chǔ)器201向處理部204供給噴出數(shù)據(jù)，處理部204將噴出數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在存儲(chǔ)機(jī)構(gòu)202中。作為存儲(chǔ)機(jī)構(gòu)202，可使用例如RAM等。
處理部204訪問(wèn)在存儲(chǔ)機(jī)構(gòu)202內(nèi)存儲(chǔ)的噴出數(shù)據(jù)，并基于該噴出數(shù)據(jù)，向掃描驅(qū)動(dòng)部206以及噴頭驅(qū)動(dòng)部208提供必要的驅(qū)動(dòng)信號(hào)。
掃描驅(qū)動(dòng)部206基于該驅(qū)動(dòng)信號(hào)，向滑架位置控制裝置104以及載物臺(tái)位置控制裝置108提供規(guī)定的控制信號(hào)。另外，噴頭驅(qū)動(dòng)部208基于驅(qū)動(dòng)信號(hào)，向各噴頭114提供噴出液體材料111的噴出信號(hào)。
噴頭驅(qū)動(dòng)部208如圖8(a)所示，具有1個(gè)驅(qū)動(dòng)信號(hào)生成部203和多個(gè)模擬開關(guān)AS。模擬開關(guān)AS與噴頭114內(nèi)的振動(dòng)件124連接(具體而言，與電極124A連接。但電極124A在圖8(a)中沒有表示)。該模擬開關(guān)AS被設(shè)置成與噴嘴118分別對(duì)應(yīng)，因此，其數(shù)量設(shè)置成與噴嘴118的個(gè)數(shù)相同。
驅(qū)動(dòng)信號(hào)生成部203生成如圖8(b)所示的驅(qū)動(dòng)信號(hào)DS。驅(qū)動(dòng)信號(hào)DS被獨(dú)立地供給模擬開關(guān)AS的各個(gè)輸入端子。驅(qū)動(dòng)信號(hào)DS的電位相對(duì)于基準(zhǔn)電位V隨時(shí)間變化。即，驅(qū)動(dòng)信號(hào)DS是多個(gè)噴出波形P以噴出周期EP而重復(fù)的信號(hào)。噴出周期EP通過(guò)例如處理部204而被調(diào)節(jié)成所期望的值。可通過(guò)適當(dāng)調(diào)節(jié)該噴出周期EP生成噴出信號(hào)，能夠以規(guī)定的順序從多個(gè)噴嘴118噴出液體材料111。這樣，可控制噴出時(shí)刻。
另外，控制部112也可控制從噴嘴118噴出的液體材料111的體積?？煞謩e對(duì)各噴嘴118進(jìn)行對(duì)該液體材料111的體積控制。關(guān)于從各噴嘴118噴出的液體材料111的體積，在0pl～42pl(皮升)之間是可變的。
另外，控制部112也可以是包含了CPU、ROM、RAM的計(jì)算機(jī)。在這種情況下，控制部112的上述功能由計(jì)算機(jī)執(zhí)行的軟件程序來(lái)實(shí)現(xiàn)。當(dāng)然，控制部112也可由專用電路(硬件)實(shí)現(xiàn)。
(液晶裝置的制造方法(液滴噴出方法))接著，對(duì)如此構(gòu)成的液晶裝置1的制造工序進(jìn)行說(shuō)明。
在本實(shí)施方式中，以使用大面積的母基板一并形成多個(gè)液晶裝置，并通過(guò)切斷分離成一個(gè)一個(gè)的液晶裝置1的方法為例進(jìn)行說(shuō)明。
首先，對(duì)濾色器側(cè)母基板的形成工序進(jìn)行的說(shuō)明。
使基體10A保持在噴出裝置100的載物臺(tái)106上。在該基體10A上，以矩陣狀形成有保持濾色器16的各層的被噴出部18(18R、18G、18B參照?qǐng)D9等)。在被噴出部18R上保持紅色層16R，在被噴出部18G上保持綠色層16G，在被噴出部18B上保持藍(lán)色層16B。另外，在將基體10A保持在載物臺(tái)106上時(shí)，進(jìn)行位置調(diào)節(jié)，使得基體10A的短邊方向與X軸方向一致，長(zhǎng)邊方向與Y軸方向一致。
在該狀態(tài)下，如圖9所示，使載物臺(tái)106從圖中的左側(cè)向右側(cè)移動(dòng)。滑架103著與其相反的方向、即從圖中右側(cè)向左側(cè)在基體10A上掃描。此時(shí)，滑架103在基體10A上掃描的同時(shí)，從各噴頭114向各被噴出部18噴出液體材料111的液滴。
例如，在該掃描中，如圖9所示，向圖中最上行的各被噴出部18噴出紅色液體材料111R1、綠色液體材料111G1、藍(lán)色液體材料111B1的液滴。此時(shí)，可對(duì)在多行范圍內(nèi)設(shè)置的被噴出部18中的哪一行噴出液體材料111(111R1、111G1、111B1)的液滴進(jìn)行適當(dāng)設(shè)定。
接著，如圖10所示，使載物臺(tái)106從圖中右側(cè)向左側(cè)移動(dòng)。滑架103沿著與圖9所示的掃描相反的方向、即從圖中左側(cè)向右側(cè)掃描基體10A的區(qū)域W。此時(shí)，滑架103掃描基體10A的同時(shí)，從各噴頭114噴出液體材料111的液滴。
在該掃描中，對(duì)還沒有噴出液體材料111的液滴的被噴出部18噴出液體材料111。例如如圖10所示，對(duì)在圖9所示的掃描時(shí)，沒有噴出液體材料111的從圖中上方數(shù)第2行的各被噴出部18，噴出紅色液體材料111R1、綠色液體材料111G1、藍(lán)色液體材料111B1的液滴。一邊選擇在多行范圍內(nèi)設(shè)置的被噴出部18中未被噴出液體材料111(111R1、111G1、111B1)的被噴出部18的行，一邊噴出液體材料111的液滴，直到對(duì)各被噴出部18共計(jì)分別噴出1次液體材料為止，反復(fù)進(jìn)行掃描。
在以上掃描中，只不過(guò)是對(duì)各被噴出部18的一部分噴出液體材料111，對(duì)形成濾色器16的紅色層16R、綠色層16G、藍(lán)色層16B來(lái)說(shuō)處于液體材料111的體積不充足的狀態(tài)。因此，在以后的掃描中，對(duì)各被噴出部18進(jìn)行追加噴出足夠的液體材料111的掃描。
在此，參照?qǐng)D11，對(duì)從噴頭114噴出的液體材料111彈落在被噴出部18上的位置(彈落部)進(jìn)行說(shuō)明。圖11是表示液體材料111的彈落部的圖。
在各被噴出部18R、18G、18B上，將彈落部200R、200G、200B分別設(shè)定成2列3行。對(duì)于從噴頭114向一個(gè)被噴出部18進(jìn)行噴出來(lái)說(shuō)，不論是第1次、第2次、......、還是第n次，液體材料111始終彈落于彈落部200的位置。因此，以后的掃描中，在第1次噴出的液體材料111上，進(jìn)一步噴出新的液體材料111。
由此，對(duì)各被噴出部18(18R、18G、18B)的第2次以后的噴出掃描進(jìn)行具體的說(shuō)明。如圖12所示，一邊使載物臺(tái)106從圖中左側(cè)向右側(cè)移動(dòng)，使滑架103從圖中右側(cè)向左側(cè)在基體10A上掃描，一邊噴出液體材料111。該液體材料111彈落于與第1次噴出相同的位置上。即，在圖中最上行的各被噴出部18上，分別以下述方式使液滴彈落紅色液體材料111R2的液滴彈落在紅色液體材料111R1的液滴上；綠色液體材料111G2的液滴彈落在綠色液體材料111G1的液滴上；藍(lán)色液體材料111B2的液滴彈落在藍(lán)色液體材料111B1的液滴上。下面，在圖中從上數(shù)第2行、第3行、......的掃描中，反復(fù)進(jìn)行同樣的動(dòng)作，直到對(duì)被噴出部18噴出足夠的液體材料111為止，反復(fù)進(jìn)行上述動(dòng)作。
對(duì)此之后的工序進(jìn)行簡(jiǎn)單的說(shuō)明。在形成有濾色器16的基體10A上，形成未圖示的電極和布線等，并形成平坦化膜。另外，在基體10A的表面形成間隙控制用的未圖示的隔板或隔壁。以覆蓋在該基體10A上形成的布線和濾色器的方式形成取向膜，并對(duì)該取向膜實(shí)施研磨處理。取向膜可以通過(guò)涂覆或印刷例如聚酰亞胺來(lái)形成。另外，將由環(huán)氧樹脂等構(gòu)成的密封材料形成為矩形環(huán)狀，在由密封材料圍成的區(qū)域涂覆液晶。
接著，對(duì)于有源矩陣側(cè)母基板的形成來(lái)說(shuō)，是在由玻璃或塑料等透光性材料構(gòu)成的大張基材上形成布線、電極等，在形成有該布線、電極等的區(qū)域形成平坦化膜。形成平坦化膜之后，形成由聚酰亞胺等構(gòu)成的取向膜，并對(duì)該取向膜實(shí)施研磨處理。
接著，將濾色器側(cè)母基板和有源矩陣側(cè)母基板以面板狀粘合在一起。使兩基板靠近，將有源矩陣側(cè)母基板粘接在濾色器側(cè)母基板上的密封材料上。之后，在粘接后的兩母基板上形成劃線，沿著該劃線切斷面板，對(duì)切斷后的各面板進(jìn)行清洗，并在各面板上安裝驅(qū)動(dòng)器等。在各液晶面板的外側(cè)表面上粘合偏光板，安裝背光燈41，從而完成液晶裝置1。
這樣，根據(jù)本實(shí)施方式，由于在被噴出部18被排列成矩陣狀的情況下，當(dāng)噴出液體材料111的液滴時(shí)，以避開已經(jīng)噴出的液體材料111的彈落部200中，在矩陣的行方向(例如，圖11的Y方向)及列方向(例如，圖11的X方向)鄰接的彈落部200之間的區(qū)域的方式，彈落新噴出的液體材料111的液滴，所以，也不需要以填埋該彈落部200之間的方式彈落液體材料時(shí)進(jìn)行的細(xì)微調(diào)節(jié)，使得調(diào)整彈落液體材料111的液滴的位置變得極其容易，還可防止液體材料111的膜(濾色器16的各層)形成得不均勻。
另外，本實(shí)施方式中，由于在掃描中，新噴出的液體材料111彈落在與已經(jīng)噴出的液體材料111的液滴的彈落部200平面重合的位置，只要在每次噴出中噴出到相同的位置上即可，所以，液體材料111的噴出位置的調(diào)節(jié)變得容易。
(第2實(shí)施方式)接著，說(shuō)明本發(fā)明的第2實(shí)施方式。與第1實(shí)施方式相同，在下面的圖中，為了將各部件做成能認(rèn)知的大小，故對(duì)比例尺進(jìn)行適當(dāng)?shù)母淖?。另外，?duì)與第1實(shí)施方式相同的構(gòu)成要素賦予同一附圖標(biāo)記，并省略其說(shuō)明。在本實(shí)施方式，由于噴出液體材料111的液滴的方法與第1實(shí)施方式不同，所以，以該點(diǎn)為中心進(jìn)行說(shuō)明。另外，在本實(shí)施方式中，與第1實(shí)施方式一樣，以使用大面積的母基板一并形成多個(gè)液晶裝置，通過(guò)切斷而分離成單個(gè)的液晶裝置為例來(lái)進(jìn)行說(shuō)明。
通過(guò)與第1實(shí)施方式一樣的工序，使基體10A保持在噴出裝置100的載物臺(tái)106上，并進(jìn)行位置調(diào)節(jié)，使得基體10A的短邊方向與X軸方向一致，長(zhǎng)邊方向與Y軸方向一致。在這種狀態(tài)下，采用與第1實(shí)施方式相同的方法使噴頭114掃描，如圖13所示，對(duì)各被噴出部18分別噴出1次液體材料(紅色液體材料111R1、綠色液體材料111G1、藍(lán)色液體材料111B1)。
在此，以圖14為基礎(chǔ)，對(duì)本實(shí)施方式中液體材料的彈落位置進(jìn)行說(shuō)明。圖14是表示從噴頭114噴出的液體材料111彈落在被噴出部18上的位置的圖。
在各被噴出部18上，例如設(shè)定有彈落部200(彈落部200A、彈落部200B、彈落部200C以及彈落部200D)。各彈落部200分別設(shè)定成2列3行，在行方向(Y方向)及列方向(X方向)鄰接。對(duì)于從噴頭114向1個(gè)被噴出部18進(jìn)行噴出來(lái)說(shuō)，在第1次彈落時(shí)，液體材料111彈落在彈落部200A上；第2次彈落時(shí)，液體材料111彈落在彈落部200B上；第3次液體材料111彈落在彈落部200C上；第4次液體材料111彈落在彈落部200D上。
在配置各彈落部200時(shí)，假定可分別連結(jié)彈落部200A的中心之間、彈落部200B的中心之間、彈落部200C的中心之間、彈落部200D的中心之間的X方向及Y方向的假想線(圖中，用點(diǎn)劃線表示)，以不同的彈落部的中心避開各直線的方式、即不同的彈落部的中心不與各直線重合的方式，將彈落部200A～彈落部200D配置在相對(duì)所描繪的直線而錯(cuò)開的位置。在此，所謂“不同的彈落部”是指，例如若以彈落部200A為基準(zhǔn)，則彈落部200A以外的彈落部，即彈落部200B、彈落部200C及彈落部200D是不同的彈落部。對(duì)于彈落部200B、彈落部200C、彈落部200D也一樣。
若在圖14中進(jìn)行具體的說(shuō)明，則彈落部200B以不與連結(jié)了彈落部200A的中心之間的X方向各直線重合的方式，例如以比該直線向圖中下側(cè)錯(cuò)開的方式配置，同時(shí)，以不與Y方向的各直線重合的方式，相對(duì)于該直線向圖中右側(cè)錯(cuò)開而配置。
彈落部200C以不與連結(jié)了彈落部200A的中心之間以及彈落部200B的中心之間的X方向各直線重合的方式，例如錯(cuò)開配置在彈落部200A的直線的圖中下側(cè)、彈落部200B的圖中上側(cè)，同時(shí)，以也不與Y方向的各直線重合的方式，例如錯(cuò)開配置在彈落部200A以及彈落部200B的直線的圖中右側(cè)。
另外，彈落部200D以不與連結(jié)了彈落部200A、彈落部200B以及彈落部200C的中心之間的Y方向各直線重合的方式，例如錯(cuò)開配置在彈落部200A、彈落部200B以及彈落部200C的直線的圖中左側(cè)，同時(shí)，以也不與X方向的各直線重合的方式，例如錯(cuò)開配置在彈落部200A、彈落部200B以及彈落部200C的直線的圖中下側(cè)。
這樣，以相對(duì)于連結(jié)了同一種類的彈落部200的中心之間的直線錯(cuò)開的方式配置不同種類的彈落部200的中心。此外，在彈落部200D中，3行中的最下行(圖中，用虛線表示)沒有包括在被噴出部18的框內(nèi)。在這樣的情況下，使其不彈落在彈落部200D的最下行。
由此，在圖13所示的掃描中，液體材料111的液滴處于噴出到各被噴出部18的彈落部200A的狀態(tài)。若由該狀態(tài)對(duì)各被噴出部118進(jìn)行第2次噴出，則如圖15所示，液體材料111(紅色液體材料111R2、綠色液體材料111G2、藍(lán)色液體材料111B2)的液滴以彈落在各被噴出部18的彈落部200B的位置的方式而被噴出。
另外，雖然省略了圖示，但以在第3次噴出中，液體材料111的液滴彈落在彈落部200C上，在第4次噴出中，液體材料111的液滴彈落在彈落部200D上的方式對(duì)各噴出部18進(jìn)行噴出。以后，反復(fù)進(jìn)行這樣的掃描，直到對(duì)各被噴出部18噴出足夠的液體材料111為止。此時(shí)，也可對(duì)上述彈落部200A～彈落部200D重復(fù)噴出。
此外，由于此后的將濾色器側(cè)母基板和有源矩陣側(cè)母基板貼合而構(gòu)成液晶裝置1的工序與第1實(shí)施方式一樣，所以省略說(shuō)明。
根據(jù)本實(shí)施方式，由于在多次噴出的每一次中，以彈落部200例如在圖14的X方向及Y方向的至少一方鄰接的方式彈落液體材料111的液滴，使液體材料111的液滴新彈落在相對(duì)于連結(jié)了該彈落部200的中心部之間的直線錯(cuò)開的位置上，所以，可使液體材料111的液滴彈落在整個(gè)被噴出部18上。由此，可平坦地在被噴出部18形成液體材料111(紅色液體材料111R、綠色液體材料111G、藍(lán)色液體材料111B)。
(電子設(shè)備)接著，對(duì)于本發(fā)明所涉及的電子設(shè)備，以便攜電話為例進(jìn)行說(shuō)明。
圖16是表示便攜電話300的整體結(jié)構(gòu)的立體圖。
攜帶電話300具有框體301、設(shè)置有多個(gè)操作按鈕的操作部302、顯示圖像、動(dòng)畫和文字等的顯示部303。在顯示部303上搭載了本發(fā)明所涉及的液晶裝置1。
如上所述，由于該液晶裝置1是利用可容易調(diào)節(jié)液體材料111的液滴彈落位置，并可防止液體材料111的膜形成不均勻的液滴噴出方法，噴出功能液的液滴而形成的，所以顯示偏差較小，品質(zhì)較高。由于便攜電話300搭載了這樣的液晶裝置1，所以顯示性能優(yōu)良。
本發(fā)明的技術(shù)范圍并不限于上述實(shí)施方式，在沒有脫離本發(fā)明主旨的范圍內(nèi)可以進(jìn)行適宜的變更。
例如，以將本發(fā)明使用于在液晶裝置1的濾色器基板3上形成濾色器16的情況為例，進(jìn)行了說(shuō)明，但并不限于此，例如也可以將本發(fā)明應(yīng)用于在有機(jī)EL裝置用基板上形成有機(jī)層(發(fā)光層等)的情況。
權(quán)利要求
1.一種液滴噴出方法，一邊使基板和噴出噴頭相對(duì)掃描，一邊對(duì)所述基板上的多個(gè)被噴出部噴出功能液的液滴，所述被噴出部以矩陣狀排列在所述基板上，在通過(guò)多次掃描對(duì)所述各被噴出部噴出所述功能液的液滴時(shí)，各掃描都以避開從已經(jīng)噴出到所述各被噴出部的液滴的彈落部分別在所述矩陣的行方向及列方向直線狀延伸的區(qū)域的方式，使新噴出的液滴彈落。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液滴噴出方法，其特征在于，使所述新噴出的液滴彈落在所述被噴出部中的與所述已經(jīng)噴出有液滴的彈落部平面重合的位置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的液滴噴出方法，其特征在于，在通過(guò)所述多次掃描進(jìn)行的每一次噴出中，以所述多個(gè)彈落部配置在所述矩陣的行方向及列方向中的至少一方的方式噴出所述功能液的液滴，使所述新噴出的液滴彈落在相對(duì)連結(jié)所述多個(gè)彈落部的中心部之間的直線而錯(cuò)開的位置。
4.一種電光學(xué)裝置，包含利用權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的液滴噴出方法噴出有所述功能液的基板。
5.一種電子設(shè)備，搭載有權(quán)利要求4所述的電光學(xué)裝置。
6.一種液滴噴出裝置，一邊使基板和噴出噴頭相對(duì)掃描，一邊對(duì)所述基板上的多個(gè)被噴出部噴出功能液的液滴，所述液滴噴出裝置具有處理部，其控制所述功能液的液滴對(duì)在所述基板上以矩陣狀排列的所述被噴出部進(jìn)行噴出，所述處理部控制新彈落的液滴的噴出，使得在通過(guò)多次掃描對(duì)各被噴出部噴出所述功能液的液滴時(shí)，各掃描都避開從已經(jīng)噴出到所述各被噴出部的液滴的彈落部分別在所述矩陣的行方向及列方向直線狀延伸的區(qū)域。
全文摘要
本發(fā)明的目的在于，提供可容易調(diào)節(jié)功能液的噴出位置的液滴噴出方法、電光學(xué)裝置及電子設(shè)備。由于在被噴出部(18)以矩陣狀排列的情況下，當(dāng)噴出液體材料(111)的液滴時(shí)，以避開已經(jīng)噴出有液體材料(111)的彈落部(200)中的在矩陣的行方向(例如，圖11的Y方向)及列方向(例如，圖11的X方向)鄰接的彈落部(200)之間的區(qū)域的方式，使新噴出的液體材料(111)的液滴彈落，所以，不需要在以填埋該彈落部(200)之間的方式使液體材料彈落時(shí)進(jìn)行的細(xì)微調(diào)節(jié)，調(diào)整彈落液體材料(111)的液滴的位置變得極其容易，也可防止液體材料(111)的膜(濾色器16的各層)形成得不均勻。
文檔編號(hào)B05B13/04GK1891348SQ20061009588
公開日2007年1月10日 申請(qǐng)日期2006年6月29日 優(yōu)先權(quán)日2005年6月30日
發(fā)明者加藤剛, 有賀和巳 申請(qǐng)人:精工愛普生株式會(huì)社