專利名稱：：制造方法、傳送裝置和具有硬涂層的功能性薄膜與具有防反射層的功能性薄膜的制作方法
技術(shù)領域：
：本發(fā)明涉及使用具有用于在連續(xù)傳送的支持體上涂布涂布液而形成的涂膜中吹附千燥風，從而蒸發(fā)涂膜中的溶劑，獲得功能性膜的干燥區(qū)的干燥裝置的功能性薄膜的制造方法、傳送裝置和它們的制造方法、使用傳送裝置制造的具有硬涂層的功能性薄膜和具有防反射層的功能性薄膜。
背景技術(shù)：
：目前，作為在連續(xù)移動的帶狀支持體上涂布涂布液的方法，提出了各種方案，例如，對于這些各種涂布方式，在EdwardCohen、EdgarGutoff著"ModernCoatingandDryingTechnology"中有所描述。另外，不僅已知單層涂布，還已知通過使用滑動涂布器、擠壓涂布器或簾涂器等具有多個狹縫的涂布器，同時進行多層涂布。通常用和產(chǎn)業(yè)用面化銀感光材料、熱敏材料、熱顯影感光材料、光致抗蝕劑、在以液晶顯示器(以下筒稱為LCD)或有機電致發(fā)光(以下，簡稱為有機EL)等為代表的電機光學面板的儀器等可以通過如下制備在連續(xù)傳送的帶狀支持體之上涂布來自涂布器的有機溶劑類或水類涂布液，形成涂布面，然后在干燥裝置中干燥具有涂膜的帶狀支持體，從而制造。另外，作為在連續(xù)移辨的帶狀支持體上涂布涂布液，然后干燥的方法,在上述的EdwardCohen、EdgarGutoff著"ModernCoatingandDryingTechnology"中提出了各種方法。最通常的是在干燥盒中供應溫風，通過該溫風干燥涂膜，將氣化了的溶劑與氣流一并排出體系外的方法。另外，還已知在使用可燃性有機溶劑的情況下，供應惰性氣體代替空氣，具有基本上不會爆炸的安全機構(gòu)的裝置.本發(fā)明的使用只要是通過溫風干燥的方式、裝置，可以是空氣、也可以是惰性氣體，沒有特別的限定。千燥工序由于剛涂布后的涂膜面暴露于以加熱的氛圍氣、氣體作為氛圍氣中，因此是對涂膜面的性狀產(chǎn)生影響的重要工序。作為通常在干燥工序中的涂膜面中產(chǎn)生的問題，已知由于氣體吹附，涂膜表面混亂，失去表面的平滑度，產(chǎn)生所謂的斑狀不均勻，由于干燥工序內(nèi)溫度、氣體風量等偏差，會產(chǎn)生不均勻。尤其是在涂布液的溶劑中使用有機溶劑的情況下，已知這樣的傾向強烈。在不能正常進行千燥的情況下，已知會在所得涂膜的外觀中產(chǎn)生不均勻或缺陷，或者涂膜中的殘留溶劑不是適當量，在殘留溶劑量中產(chǎn)生偏差，對最終的涂膜質(zhì)量產(chǎn)生影響。迄今為止，對于涂膜面的干燥進行了很多研究。例如，已知由具有涂膜的支持體內(nèi)面吹附干燥氣體，一邊在懸浮支持的狀態(tài)下傳送涂布支持體，一邊使在涂膜面上供應千燥風的多個干燥風供應裝置的寬度沒有明顯長于涂膜面的寬度，能將超過涂膜寬度方向兩端的千燥風量抑制為最小限度，可以防止在涂膜寬度方向兩端附近產(chǎn)生的斑狀不均勻。(例如，參見專利文獻l)。專利文獻1記載的千燥方法是與現(xiàn)有輥傳送方式的干燥裝置相比，在涂膜面的故障對策中有效的技術(shù)，但針對如下項目的對策不足。1)由于用于使涂布支持體漂浮而供應的干燥氣體轉(zhuǎn)回涂膜面而造成涂膜面混亂的對策不足。2)伴隨著用于使涂布支持體漂浮而供應的干燥氣體吹附在涂布支持體內(nèi)面的量導致的涂覆支持體振動產(chǎn)生的涂膜面混亂的對策不足。3)涂布支持體的穩(wěn)定漂浮對策不足。因此，對于要求更高質(zhì)量的以最近的LCD或有機EL等為代表的電機光學面板的儀器中必須的功能性膜的制備，還沒有足夠的對策，現(xiàn)狀是需要檢查成品的質(zhì)量，生產(chǎn)率降低。由于該狀況，期望開發(fā)不需要依賴質(zhì)量檢查，可以制備更高質(zhì)量、更高生產(chǎn)率的功能性膜的涂膜干燥方法。專利文獻l:特表2001-506178號公報
發(fā)明內(nèi)容發(fā)明要解決的課題本發(fā)明是鑒于上述課題而作出的，其目的是提供一種將在連續(xù)傳送的帶狀支持體上涂布在溶劑中溶解或分散固體成分的涂布液，形成涂膜，在將涂膜中的溶劑蒸發(fā)除去時，使用用于制備更高質(zhì)量、更高生產(chǎn)率的功能性膜的干燥裝置的功能性膜的制造方法、傳送裝置和它們的制造方法，使用傳送裝置制造的具有硬涂層的功能性膜和具有防反射層的功能性膜。用于解決課題的手段本發(fā)明的上述目的通過下述結(jié)構(gòu)實現(xiàn)。1.制造方法，在連續(xù)傳送的帶狀支持體之上涂布在溶劑中溶解或分散了固體成分的涂布液，形成涂膜后，蒸發(fā)上述涂膜中的溶劑，獲得功能性膜的千燥時，由沿上述支持體的傳送方向設置的具有多個吹出口的傳送裝置向上述支持體的非涂布面?zhèn)却蹈綒怏w，漂浮支持上述支持體并傳送，從而制造功能性薄膜，其特征在于，上述傳送裝置在傳送方向上交互具有凹部和具有上述吹出口的凸部，多個相鄰的上述差為10Pa~1000Pa，由上述吹出口噴出氣體。2.如上述l所述的制造方法，其特征在于，上述傳送裝置的上述支持體的非涂布面中上述反壓的最大值為10Pa1000Pa。3.如上述1或2所述的制造方法，其特征在于，上述反壓之差全部滿足10Pa~1000Pa的相鄰的上述凸部和上述凹部，在一個相鄰的上述凸部和上述凹部吻合的上述支持體的傳送方向的長度為50mm~500mrn。4.如上述1~3任一項所述的制造方法，其特征在于，由上述吹7出口噴出的氣體對支持體的支持在涂膜中固體成分濃度為80體積％以下之間是連續(xù)的。5.如上述1~4任一項所述的制造方法，其特征在于，上述反壓之差全部滿足10Pa1000Pa的相鄰的上述凸部和上述凹部在上述凸部面向上述支持體的上述非涂布面的面的總面積與上述凹部面向上述支持體的上述非涂布面的面的總面積之比為6:4~9:1。6.如上述15任一項所述的制造方法，其特征在于，就上述反壓之差全部滿足10Pa~1000Pa的相鄰的上述凸部和上述凹部來講，上述凹部上面與上述支持體的距離為上述凸部上面與上述支持體的距離的5倍以上。7.如上述1~6任一項所述的制造方法，其特征在于，上述吹出口在支持體寬度方向的長度為支持體寬度的±60腿的范圍內(nèi)。8.如上述1~7任一項所述的制造方法，其特征在于，具有多個上述凸部和上述凹部的上述傳送裝置的上述多個凸部以曲率半徑為5m~100ra的拱形狀配置，具有產(chǎn)生反壓的上述吹出口的上述凸部的上面與支持體基本平行。9.如上述18任一項所述的制造方法，其特征在于，上述傳送裝置中上述支持體的傳送張力為100N/m~600N/m。10.如上述1~9任一項所述的制造方法，其特征在于，上述傳送裝置內(nèi)傳送的上述支持體在與傳送方向垂直的截面形狀為兩頂端向下的拱形狀的狀態(tài)下傳送。11.如上述1~10任一項所述的制造方法，其特征在于，上述功能性膜為硬涂層。12.如上述1~11任一項所述的制造方法，其特征在于，上述支持體包括三乙?；w維素。13.傳送裝置，在連續(xù)傳送的帶狀支持體之上涂布在溶劑中溶解或分散了固體成分的涂布液，形成涂膜后，蒸發(fā)上述涂膜中的溶劑，獲得功能性膜的干燥時，由沿上述支持體的傳送方向設置的具有多個吹出口的傳送裝置向上述支持體的非涂布面?zhèn)却蹈綒怏w，從而漂浮支持上述支持體并傳送，其特征在于，在傳送方向上交互具有凹部和具有上述吹出口的凸部，在多個相鄰的上述凸部和上述凹部中，為了使上述凸部上方存在的上述支持體的非涂布面中的反壓與上述凹部上方存在的上述支持體的非涂布面中的反壓之差為10Pa~1000Pa，由上迷吹出口噴出氣體。14.如上述13所述的傳送裝置，其特征在于，上述支持體的非涂布面中上述反壓的最大值為10Pa~1000Pa。15.如上述13或14所述的傳送裝置，其特征在于，上述反壓之差全部滿足10Pa1000Pa的相鄰的上述凸部和上述凹部的一個的上述凸部在上述支持體傳送方向的長度為50mm500mm。16.如上述13~15任一項所述的傳送裝置，其特征在于，就上述反壓之差全部滿足10Pa~1000Pa的相鄰的上述凸部和上述凹部來講，上述凸部面向上迷支持體的上述非涂布面的面的總面積與上述凹部面向上述支持體的上述非涂布面的面的總面積之比為6:4~9:1。17.如上述13~16任一項所述的傳送裝置，其特征在于，上述反壓之差全部滿足10Pa1000Pa的相鄰的上述凸部和上述凹部是上述凹部上面與上述支持體的距離為上述凸部上面與上述支持體的距離的5倍以上。18.如上述1317任一項所述的傳送裝置，其特征在于，上述吹出口在支持體寬度方向的長度為支持體寬度的±60咖的范圍內(nèi)。19.如上述1318任一項所述的傳送裝置，其特征在于，上述傳送裝置的形狀是曲率半徑為5m~100m的拱形狀的形狀，具有產(chǎn)生反壓的上述吹出口的上述凸部的上面與支持體基本平行。20.如上述1319任一項所述的傳送裝置，其特征在于，上述傳送裝置中上述支持體的傳送張力為100N/m~600N/m。21.具有硬涂層的功能性薄膜，其特征在于，使用上述1~12任一項所述的制造方法制造。22.具有防反射層的功能性薄膜，其特征在于，使用上述1~12任一項所述的制造方法制造。此外，在本發(fā)明中，以下所述的構(gòu)成也是優(yōu)選的實施方式'1.支持體傳送方法，其特征在于，在連續(xù)傳送的帶狀支持體上涂布在溶劑中溶解或分散固體成分的涂布液，形成涂膜后，蒸發(fā)上述涂膜中的溶劑，獲得功能性膜的干燥時，由沿上述支持體的傳送方向設置的具有多個吹出口的傳送裝i向在上述支持體的非涂布面?zhèn)却蹈綒怏w，從而漂浮支持上述支持體并傳送的傳送方法中，在由上述吹出口噴出的氣體與上述支持體的非涂布面之間產(chǎn)生的反壓以上述支持體的傳送方法變化幅度計，為10Pa1000Pa。2.如上述l所述的支持體傳送方法，其特征在于，上述反壓的最大值為10Pa~1000Pa,3.如上述l或2所述的支持體傳送方法，其特征在于，上述反壓增減的間隔在支持體的傳送方向上，為50mm500mm。4.如上述1~3任一項所述的支持體傳送方法，其特征在于，通過上述吹出口噴出的氣體對支持體的支持在涂膜中固體成分濃度為80體積％以下之間持續(xù)。5.支持體的傳送裝置，其特征在于，在連續(xù)傳送的帶狀支持體上涂布在溶劑中溶解或分散了固體成分的涂布液，形成涂膜后，蒸發(fā)上述涂膜中的溶劑，獲得功能性膜的干燥時，由沿上述支持體的傳送方向設置的具有多個吹出口的傳送裝置向上述支持體的非涂布面?zhèn)却蹈綒怏w，從而漂浮支持上述支持體并傳送的傳送裝置中，使在相鄰的上述漂浮支持單元之間，具有由上述吹出口噴出的氣體向上述支持體寬度方向逃逸的空間。6.如上述5所述的支持體的傳送裝置，其特征在于，上述支持體通過漂浮單元支持的反壓面的總面積與未支持的非反壓面的總面積之比為6:4~9:1。7.如上述5或6所述的支持體的傳送裝置，其特征在于，作為上述空間底面的漂浮支持單元的安裝面與支持體的距離是漂浮支持單元的上面與上述支持體距離的5倍以上。8.如上述5~7任一項所述的支持體的傳送裝置，其特征在于，上述吹出口支持體寬度方向的長度為支持體寬度的±60mm。9.如上述5~8任一項所述的支持體的傳送裝置，其特征在于，上述漂浮支持單元設置成曲率半徑為5m100m的拱形狀，產(chǎn)生反壓的該漂浮支持單元的上面與支持體基本平行。10.如上述5~9任一項所述的支持體的傳送裝置，其特征在于，通過上述漂浮支持單元對支持體的漂浮支持在涂膜中固體成分濃度為80體積°/。以下之間持續(xù)。11.如上述5~10任一項所迷的支持體的傳送裝置，其特征在于，通過上述漂浮支持單元支持的支持體非涂布面的反壓可以在最大值為10Pa~1000Pa之間變化，12.如上述511任一項所述的支持體的傳送裝置，其特征在于，通過上述漂浮支持單元支持的支持體非涂布面的反壓以該支持體傳送方向的變化幅度計，為10Pa~1000Pa。13.如上述512任一項所述的支持體的傳送裝置，其特征在于，通過上述漂浮支持單元支持的支持體非涂布面的反壓變化間隔在支持體的傳送方向上為50mm~500mm。14.涂膜的干燥方法，其特征在于，在連續(xù)傳送的帶狀支持體上涂布在溶劑中溶解或分散了固體成分的涂布液，形成涂膜后，蒸發(fā)上述涂膜中的溶劑，獲得功能性膜的干燥時，由沿上述支持體的傳送方向設置的上述支持體的非涂布面?zhèn)榷鄠€吹出口的傳送裝置向上述支持體的非涂布面?zhèn)却蹈綒怏w，從而漂浮支持上述支持體并傳送，且使上述涂膜中溶劑蒸發(fā)的傳送方法中，使由上述吹出口噴出的氣體與上述支持體的非涂布面之間產(chǎn)生的反壓在上述支持體傳送方向的變化幅度為10Pa~1000Pa。15.如上述14所述的涂膜干燥方法，其特征在于，上述反壓的最大值為10Pa~1000Pa。16.如上述14或15所述的涂膜干燥方法，其特征在于，上述反壓增減的間隔在支持體的傳送方向上，為50mm~500mm。17.如上述14~16任一項所述的涂膜千燥方法，其特征在于，由上述吹出口噴出的氣體對支持體的支持在涂膜中固體成分濃度為80體積％以下之間持續(xù)。18.涂膜干燥裝置，其特征在于，在連續(xù)傳送的帶狀支持體上涂布在溶劑中溶解或分散了固體成分的涂布液，形成涂膜后，蒸發(fā)上述涂膜中的溶劑，獲得功能性膜的干燥時，由沿上述支持體的傳送方向設置的上迷支持體的非涂布面?zhèn)榷鄠€吹出口的傳送裝置向上述支持體的非涂布面?zhèn)却蹈綒怏w，從而漂浮支持上述支持體并傳送，且使上迷涂膜中溶劑蒸發(fā)的涂膜的干燥裝置中，使在上述支持體的傳送方向上相鄰的上迷漂浮支持單元之間，具有由上述吹出口噴出的氣體向上述支持體的寬度方向逃逸的空間。19.如上述18所述的涂膜干燥裝置，其特征在于，上述支持體通過漂浮支持單元支持的反壓面的總面積與沒有支持的非反壓面的總面積比為6:4~9:1。20.如上述18或19所述的涂膜干燥裝置，其特征在于，作為上述空間底面的漂浮支持單元的安裝面與支持體的距離為漂浮支持單元的上面與上述支持體的距離的5倍。21.如上述18~20任一項所述的涂膜干燥裝置，其特征在于，上述吹出口在支持體寬度方向的長度為支持體寬度的土60mm。22.如上迷18~21任一項所述的涂膜干燥裝置，其特征在于，上述多個漂浮支持單元設置為曲率半徑為5m~100m的拱形狀，產(chǎn)生反壓的該漂浮支持單元的上面與支持體基本平行。23.如上述18~22任一項所述的涂膜干燥裝置，其特征在于，通過上述漂浮支持對支持體的漂浮支持在涂膜中固體成分濃度為80體積％以下之間持續(xù)。24.如上述1823任一項所述的涂膜干燥裝置，其其特征在于，通過上述漂浮支持單元支持的支持體非涂布面的反壓在最大值為10Pa~1000Pa之間變化。25.如上述1824任一項所述的涂膜干燥裝置，其特征在于，通過上述漂浮支持單元支持的支持體非涂布面的反壓以該支持體傳送方向的變化幅度計，為10Pa~1000Pa。26.如上述18~25任一項所述的涂膜干燥裝置，其特征在于，通過上述漂浮支持單元支持的支持體非涂布面反壓的變化間隔在支持體的傳送方向上為50mm500咖。27.具有透明硬涂層的光學材料，其特征在于使用上述1~4任一項所述的傳送方法制備。28.具有透明硬涂層的光學材料，其特征在于使用上述5~13任一項所述的傳送裝置制備，29.具有透明硬涂層的光學材料，其特征在于使用上述14~17任一項所述的干燥方法制備。30.具有透明硬涂層的光學材料，其特征在于使用上述18~26任一項所述的干燥裝置制備。31.具有防反射層的光學材料，其特征在于使用上述14任一項所述的傳送方法制備。32.具有防反射層的光學材料，其特征在于使用上述5~13任一項所述的傳送裝置制備。33.具有防反射層的光學材料，其特征在于使用上述M17任一項所述的干燥方法制備。34.具有防反射層的光學材料，其特征在于使用上述18~26任一項所述的干燥裝置制備。發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明，可以提供使用在連續(xù)傳送的支持體上涂布在溶劑中溶解或分散了固體成分的涂布液而形成的涂膜，從涂膜中蒸發(fā)除去溶劑，獲得更高質(zhì)量，更,高產(chǎn)率的功能性膜的干燥裝置的功能性薄膜的制造方法、傳送裝置和它們的制造方法、使用傳送裝置制造的具有硬涂層的功能性薄膜和具有防反射層的功能性薄膜，能容易地制備要求更高質(zhì)量的，以最近的LCD或有機EL等為代表的電機光學面板的儀器中必須的功能性膜。圖1是在連續(xù)傳送的被涂布體上涂布涂布液而形成涂膜，蒸發(fā)除去涂膜中溶劑的涂布千燥裝置的示意圖。圖2是圖1中所示傳送裝置的放大概略圖。圖3是圖1中所示傳送裝置的概略展開圖。圖4是圖1的AA，概略截面圖。符號說明1涂布干燥裝置2支持體供應部分202支持體3涂布部分4涂布液供應部分5第1干燥部分501第1干燥裝置501b、501c排氣口501d防風板502第1干燥吹風裝置503傳送裝置503a漂浮氣體總管503al漂浮支持單元503a2上面503a3吹出口503a4、503a5空間503b安裝面503c氣體供應口6第2千燥部分601第2干燥裝置7涂膜固化處理部分701固化裝置8回收部分9涂膜9a功能性膜具體實施例方式參照圖1~圖4對本發(fā)明的實施方式進行說明，但本發(fā)明并不限定于此。在制造本發(fā)明功能性膜的制造方法中，其特征在于，傳送裝置在傳送方向上交互具有凹部和具有上述吹出口的凸部，多個相鄰的上述與和上述凸部相鄰的上述凹部與上述支持體的非涂布面之間的反壓之差為10Pa~1000Pa，由上述吹出口噴出氣體。另外，本發(fā)明中所謂的功能性薄膜，廣義是指在帶狀支持體上涂布而形成涂膜面的薄膜。作為功能性薄膜的例子，可以列舉通常用和產(chǎn)業(yè)用卣化銀感光材料、熱敏材料、熱顯影感光材料、光致抗蝕劑和在以液晶顯示器(LCD)或有機EL顯示器等為代表的顯示器中使用的各種光學薄膜等。圖1是將在連續(xù)傳送的帶狀支持體上涂布涂布液，從而形成的涂膜中的溶劑蒸發(fā)除去的涂布和干燥裝置的示意圖。在圖中，1表示涂布.干燥裝置。涂布干燥裝置1具有支持體供應部分2、涂布部分3、涂布液供應部分4、第1干燥部分5、第2干燥部分6、涂布固化處理部分7和回收部分8。在支持體供應部分2中，供應巻繞在巻芯上的輥狀支持體201。涂布部分3具有在從支持體供應部分2反復輸出的連續(xù)傳送的帶狀支持體202上涂布在溶劑中使固體成分溶解或分散的涂布液的涂布器301和支持帶狀支持體202的支持輥302。作為涂布器301，沒有特別的限定，可以列舉例如滑動型沖模涂布器、擠壓型沖模涂布器、簾型沖模涂布器、簾噴型沖模涂布器、照相凹版涂布器、線棒涂布器、浸涂器、反轉(zhuǎn)輥涂布器、噴墨等，可以根據(jù)需要適當選擇。本圖表示使用擠壓型沖模涂布器的情況。涂布液供應部分4具有制備在溶劑中溶解或分散固體成分的涂布液的涂布液的儲存涂布液的送液釜401和向涂布器301中輸送涂布液的送液泵402。第1干燥部分5具有第1千燥裝置501、在第1干燥裝置501中收容的第1干燥吹風裝置502、傳送裝置503。501a表示在第1干燥裝置501中設置的支持體202的入口。在第1干燥部分5中，通過涂布部分3的涂布器301，在帶狀支持體202上涂布涂布液，形成涂膜9的帶狀支持體202在傳送裝置503中，在涂膜9中的固體成分濃度為80%以下之間漂浮支持，傳送并進行干燥。另外，所謂的固體成分濃度為80%,是指例如涂布液制備時，固體成分濃度為50體積％，但在涂布后，通過蒸發(fā)除去涂膜中的溶劑，體積中所占的固體成分濃度上升，達到80體積％。第1干燥吹風裝置502包含具有在涂膜9中吹附氣體(干燥風)的多個吹出口502al的吹附裝置的第1氣體(干燥風)總管502a。502a2表示在第1氣體(干燥風)總管502a中供應干燥風的干燥風供應管.502a3表示氣體(干燥風)的排氣口。吹出口502al的數(shù)量根據(jù)涂膜的種類改變，因此可以根據(jù)需要進行設置。另外，對干燥方法沒有特別的限定，可以列舉例如加熱器加熱法、干燥風吹附法等，可以根據(jù)需要適當選擇。在本圖中，表示使用干燥風吹附裝置的情況。傳送裝置503具有在支持體202的傳送方向上設置作為在支持體202的非涂布面202a側(cè)吹附氣體的多個吹出口503a3(參見圖2)的凸部的多個漂浮支持單元503al的漂浮支持裝置的漂浮氣體總管503a。另外，所謂的非涂布面，是指與涂布支持體202的涂膜9的面相反側(cè)的面(內(nèi)面)。漂浮支持單元503al安裝在漂浮氣體總管503a的安裝面503b上。503c表示在漂浮氣體總管503a的側(cè)面503d上設置的氣體供應口。在本圖中，省略了向漂浮用氣體總管503a中的氣體供應管和排氣管。關(guān)于傳送裝置503，在圖2~圖4中詳細說明。在傳送裝置503中，通過從漂浮用氣體總管503a的吹出口503a3(參見圖2)向非涂布面?zhèn)却蹈降臍怏w，使支持體202成為漂浮支持的狀態(tài)。通過漂浮支持裝置實現(xiàn)的漂浮支持優(yōu)選在涂膜中的固體成分濃度在80體積％以下之間持續(xù)。在第1千燥部分5中，相對于從吹出口503a3(參見圖2)向非涂布面?zhèn)却蹈降臍怏w溫度，干燥風的溫度考慮到將向支持體產(chǎn)生的熱損傷抑制為最小限,存在涂膜面促進干燥等，優(yōu)選在ior;10ox:的范圍內(nèi)較高。另外，通過從吹出口噴出的氣體對支持體的支持優(yōu)選在剛涂布之后，在涂膜中的固體成分濃度為80體積％以下之間持續(xù)，還可以在涂布后一會兒傳送開始，通過氣體開始對支持體進行支持。另外，漂浮傳送中的涂膜中固體成分濃度(體積％)還可以將涂布條件輸入模擬軟件，通過模擬求出。第2干燥部分6具有第2干燥裝置601和在第2干燥裝置601中收容的第2干燥風吹附裝置602。在第2干燥部分6中，接著第1干燥部分5，進行如下的干燥使涂膜9中固體成分濃度達到80%以下干燥的支持體202的涂膜9進一步除去殘留的溶劑，在移出笫2干燥部分6時，形成基本上除去涂膜9中溶劑狀態(tài)的功能性膜9a。第2干燥吹附裝置602包含具有在支持體202的涂膜9中吹附氣體(干燥風)的多個吹出口602al的第2吹附裝置的第2氣體(干燥風)總管602a。602a2表示在第2氣體(干燥風)總管60h中供應干燥風的干燥風供應管。602a3表示氣體(干燥風)的排氣口。吹出口602al的數(shù)量根據(jù)涂膜的種類改變，因此可以根據(jù)需要進行設置。602a4表示在支持體202的內(nèi)面(非涂布面)接觸支持，傳送支持體202的傳送輥。601a表示第2干燥裝置601的出口。另外，對干燥方法沒有特別的限定，可以列舉例如加熱器加熱法、干燥風吹附法等，可以根據(jù)需要適當選擇。在本圖中，表示使用干燥風吹附裝置的情況。在涂膜中使用能量線固化材料的情況下，在從涂膜蒸發(fā)除去溶劑，千燥后，進行涂膜固化處理，從而獲得目的的功能性膜。涂膜固化處理部分7表示設置用于在第2干燥部分中所形成功能性膜9a固化處理的固化裝置701。涂膜固化處理部分7的設置位置只要在干燥終點以后，就沒有特別的限定，例如，可以在第2干燥裝置601中，也可以在以外。本圖表示設置在第2干燥裝置601以外的情況，固化裝置701根據(jù)功能性膜9a的種類有所不同，可以使用例如低壓水銀燈、中壓水銀燈、高壓水銀燈、超高壓7jC銀燈、碳弧燈、金屬卣化物燈、氙燈等。照射條件根據(jù)各個燈有所不同，照射光量可以根據(jù)功能性膜9a的種類適當設定。在回收部分8中，在巻芯上巻繞具有在涂膜固化處理部分7中處理的功能性膜9a的支持體202,作為輥狀支持體202b回收.另外，優(yōu)選將巻繞在巻芯上，形成功能性膜9a的支持體202冷卻(例如冷卻至室溫)。發(fā)明人進行了精心的研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)，在蒸發(fā)除去涂膜9中溶劑時，第1干燥部分5中的涂膜9呈現(xiàn)在干燥初期階段具有流動性的狀態(tài)，具有該流動性的區(qū)間是容易發(fā)生涂膜故障的區(qū)間。尤其是涂膜中固體成分濃度在80體積％以下的區(qū)間是容易發(fā)生涂膜故障的區(qū)間。在該區(qū)間中，在伴隨著支持體202中產(chǎn)生變形(傳送方向的褶皺)、漂浮支持的不穩(wěn)定而產(chǎn)生支持體202的表皮粘連時，支持體202上涂布的涂膜9即使在涂布時，在支持體上均勻形成，也會由于重力和表面張力產(chǎn)生的均鍍，涂膜表面形成符合支持體202變形的狀態(tài)，如果在該狀態(tài)下干燥固化，則功能性膜的厚度在支持體202內(nèi)不同，產(chǎn)生涂膜厚度的誤差。另外，在由第l千燥裝置501內(nèi)傳送裝置503的多個漂浮支持單元503al的吹出口503a3(參見圖2)向非涂布面(內(nèi)面)側(cè)吹附的氣體轉(zhuǎn)回涂膜9面上的情況下，會產(chǎn)生涂膜面的混亂，產(chǎn)生涂膜厚度的誤差。本發(fā)明涉及用于在本圖中所示的第1干燥部分中，尤其是將具有涂膜中固體成分濃度為80體積％以下的涂膜的支持體涂膜干燥，防止涂膜面混亂，獲得均勻厚度涂膜的具有涂膜的支持體的傳送方法、傳送裝置、干燥方法、干燥裝置。圖2是圖1中所示傳送裝置的放大概略圖，圖2(a)是圖1P表示部分的放大概略圖。圖2(b)是圖2(a)Q表示部分的方法概略圖，圖中，503e表示漂浮用氣體總管503a的底面，503f表示短邊側(cè)的側(cè)面，503g表示其它短邊側(cè)的側(cè)面。漂浮用氣體總管503a為具有設置多個漂浮支持單元503al的拱形狀表面503b、設置氣體供應口503c的側(cè)面503d、側(cè)面503h(參見圖4)、底面503e和側(cè)面503f(503g)的箱形結(jié)構(gòu)。由氣體供應口503c供應的氣體具有以下作用從漂浮支持單元503al的吹出口503a3噴出，漂浮支持支持體202，同時，對支持體202進行溫度調(diào)整。此時，作為凸部的漂浮支持單元503al具有至少1個吹出口503a3，作為凹部的拱形狀表面503b還可以具有或沒有吹出口。在本圖中，與漂浮氣體總管503a對向的支持體202的非涂布面202a內(nèi)，與漂浮支持單元503al的上面503a2對向的面是通過漂浮支持單元503al支持的面。該面稱為反壓面，沒有通過漂浮支持單元503al支持的面(不與漂浮支持單元503al的上面503a2對向的面)稱為非反壓面。箭頭H表示支持體202的傳送方法。在箭頭H的傳送方向上傳送時，由于非涂布面202a的氣體導致的反壓變化幅度在傳送方向上為10Pa~1000Pa。在反壓的卑化幅度不足10Pa的情況下，逃逸通道狹小，如果給予漂浮所必須的反壓，那樣從狹小空間中噴出的氣體是高速的，會轉(zhuǎn)回涂膜面，另外，由于支持體產(chǎn)生表皮粘連，涂膜混亂，'因此是不優(yōu)選的。如果超過1000Pa的情況下，逃逸通道太寬，對于支持體造成反壓不足，不能穩(wěn)定地漂浮支持，由于支持體產(chǎn)生表皮粘連，涂膜混亂，因此不優(yōu)選。另外，凸部與支持體的非涂布面間的反壓是在漂浮支持單元(凸部)503al和支持體202之間，將頂端開口為直徑lmm、內(nèi)徑0.5mm的SUS制的管插入支持體寬度中央位置，設置成漂浮支持單元上面與管頂端相接，(從支持體內(nèi)面至圖2(b)表示的距離B相差的位置)，連接千代田計測工業(yè)社制造的7乂義夕-y-'-W081，使與該管連通，從而測定靜壓的值。沒有通過漂浮支持單元支持的位置，即在漂浮支持單元與,漂浮單元之間(凹部)反壓的測定同樣使用SUS制的管，在凹部上部支持體寬度中央位置，從支持內(nèi)面向圖2(b)標記的距離B相差的位置配置頂端，測定靜壓，從而測定凹部與支持體非涂布面之間的反壓，在本發(fā)明中，作為反壓之差滿足10Pa~1000Pa的凸部與凹部在凸部上方存在的支持體非涂布面反壓的最大值，優(yōu)選為10Pa~1000Pa.支持體202傳送方向的張力考慮到通過與反壓平衡獲得的支持體漂浮量，優(yōu)選為100N/cm~400N/cm。另外，張力是由在傳送線中設置的張力收集輥中施加的力換算出的值。傳送張力更優(yōu)選為150N/cm~350N/cm。尤其是在支持體為纖維素酯薄膜的情況下，傳送張力優(yōu)選為150N/cm~350N/cm。在傳送方向上傳送時，使由于非涂布面的氣體導致的反壓變化幅度在傳送方向上為10Pa~1000Pa，從而能獲得如下效果。1)可以穩(wěn)定地漂浮支持支持體并傳送，抑制由于表皮粘連導致的涂膜混亂，能夠形成膜厚均勻，沒有不均勻、混亂的功能性膜。2)可以通過在支持體中施加壓力，延伸褶皺，通過均鍍抑制涂膜厚度不均勻的產(chǎn)生，能夠形成膜厚均勻，沒有不均勻、混亂的功能性膜。503a2表示漂浮支持單元503al的上面。漂浮支持單元503al安裝在漂浮用氣體總管503a的拱形狀安裝面(表面)503b上，形成在支持體202的傳送方向設置為拱形狀的狀態(tài)。設置為拱形狀的多個漂浮支持單元503al的曲率半徑考慮到反壓與張力的平衡、穩(wěn)定的傳送性、支持體的褶皺等，優(yōu)選為5m100m。另外，曲率半徑是由漂浮支持單元503al的頂上位置坐標計算出的值。在橫向上看傳送裝置時，凸部上面中央點分別圓滑連接成的線優(yōu)選是曲率半徑為5m100m的拱形狀。此外，拱形狀最高部分與最低部分的差優(yōu)選為1~20mm。通過形成曲率半徑為5m~100m的拱形狀可以獲得如下效果。1)可以更平衡地實現(xiàn)穩(wěn)定漂浮、穩(wěn)定傳送、支持體的褶皺糾正，20能夠形成膜厚均勻，沒有不均勻、混亂的功能性膜。503a4表示由漂浮支持單元的上面503a2和由吹出口503a噴出的氣體漂浮的非涂布面形成的空間，503a5表示由漂浮支持單元503al的安裝面(表面)503b和由吹出口503a噴出的氣體漂浮的非涂布面形成的空間。B表示空間503a4的距離(漂浮量)，C表示空間503a5的距離。距離(漂浮量)B考慮到支持體，尤其是兩頂端部分的變形、支持體的表皮粘連、吹附空氣的風速、吹附空氣向涂膜的轉(zhuǎn)回、支持體的張力、反壓等，優(yōu)選為3mm~50mm。與傳送的支持體傳送方向垂直的截面形狀在頂端部分下方為向下拱形狀的情況下，是指與支持體頂端部分的距離。在本發(fā)明中所述的凸部和支持體的非涂布面之間，是圖2(b)所示的距離B，此外，在凹部與支持體的非涂布面之間，是圖2(b)所示的距離C。距離C考慮到支^+體的表皮粘連、吹附空氣的量、反壓等，優(yōu)選為距離B的5倍以上，更優(yōu)選為5~100倍。另外，距離(漂浮量)B和距離C可以從寬度方向，通過直接測量等測定。另外，在與傳送的支持體傳送方向垂直的截面形狀為拱形狀的情況下，是指支持體頂端部分與凹部、凸部上面的距離。通過使距離C為距離B的5倍以上，可以獲得如下效果。1)沒有了由于排出的氣體引起涂膜形成帶狀被涂布體的振動，可以穩(wěn)定的漂浮支持并傳送，能夠形成膜厚均勻，沒有不均勻、混亂的功能性膜。在空間503a4中，非涂布面的反壓增加，在空間503a5中，非涂布面的反壓減少。反壓增加、反壓減少的間隔考慮到裝置的制造成本、支持體的表皮粘連、從吹出口噴出氣體的排出等，在被涂布體的傳送方向上優(yōu)選為50mm500咖。在本發(fā)明中所述支持體的傳送方向上，所謂一個相鄰的凸部和凹部吻合的長度，在反壓之差滿足10Pa1000Pa條件的區(qū)域中，是圖2(b)中所示的長度D，即，1個上面503a2的長度與1個安裝面503b的總長。通過使反壓增加、反壓減少的間隔在被涂布體的傳送方向上為50mm~500mm,能獲得如下效果。l)可以穩(wěn)定地漂浮支持并傳送，能夠形成膜厚均勻，沒有不均勻、混亂的功能性膜，在空間503a4中，在非涂布面上施加的反壓最大值考慮到由于支持體，尤其是兩頂端部分變形導致的與漂浮支持單元的接觸、支持體的表皮粘連、吹附空氣向涂膜的轉(zhuǎn)回等，優(yōu)選為10Pa~1000Pa。通過使在非涂布面上施加的反壓最大值為10Pa~1000Pa，能獲得如下效果。l)可以穩(wěn)定地漂浮支持并傳送，能夠形成膜厚均勻，沒有不均勻、混亂的功能性膜，箭頭G表示從漂浮支持單元503al的吹出口503a3噴出的氣體方向，氣體相對于非涂布面，考慮到背面與非涂布面的平行穩(wěn)定性、在支持體202傳送方向上的漂浮穩(wěn)定性等，優(yōu)選在法線方向上噴出。從吹出口503a3噴出的氣體由空間503a4和空間503a5向支持體的寬度方向流動，由排氣口501b(501c)(參見圖4)排出。支持體202通過由漂浮支持單元503al的吹出口503a3噴出的氣體漂浮支持，在箭頭H的傳送方向上傳送并進行干燥。由吹出口503a3噴出氣體的風速考慮到支持體的變形、振動、漂浮穩(wěn)定性等，優(yōu)選為5m/s~20m/s。氣體的風速是通過熱線風速計測定的值。圖3是圖1中所示傳送裝置的概略展開圖。圖中，I表示漂浮支持單元503al的上面503a2的寬度，J表示吹出口503a3的寬度。寬度J相對于支持體202(參見圖1)的寬度，考慮到支持體202(參見圖l)頂端部分的漂浮性、平面性、由漂浮支持單元503al的吹出口503a3噴出的氣體向膜表面的轉(zhuǎn)回等，優(yōu)選在±60匪的范圍內(nèi)。圖中的箭頭表示由吹出口503a3噴出的氣體在支持體的非涂布面上沖突，由空間503a4和空間503a5向支持體的寬度方向流動的方向。其他符號與圖2相同定義。通過使吹出口503a3的寬度相對于支持體202(參見圖l)的寬度在士60mm的范圍內(nèi)，能獲得如下效果。l)可以穩(wěn)定地漂浮支持并傳送，能夠形成膜厚均勻，沒有不均勻、混亂的功能性膜。在本發(fā)明中，在反壓之差滿足10Pa~1000Pa的全部相鄰的凸部和凹部中，與凸部的支持體非涂布面對向的面的總面積和與凹部的支持體非涂布面對向的面的總面積之比優(yōu)選為6:4~9:1.本發(fā)明中所謂的與凸部的支持體非涂布面對向的面，是指圖2(a)中上面503a2的總面積，此外，所謂與凹部的支持體非涂布面對向的面，是指圖2(a)中具有安裝面503b的總面積。支持體202通過漂浮支持單元支持的反壓面的總面積(在本圖中，表示通過8個漂浮支持單元支持的總計)考慮到支持體202的溫度控制、振動控制、傳送裝置的大小等，與支持體202沒有通過漂浮支持單元支持的非反壓面的總面積之比優(yōu)選為6:4~9:1。在本發(fā)明中，反壓面和非反壓面的面積決定是按照如下方式進行。反壓面的總面積一個漂浮支持單元上面?zhèn)魉头较虻拈L度x支持體的寬度x漂浮支持單元的數(shù)量非反壓面的總面積在傳送方向上相鄰的漂浮支持單元與漂浮支持單元間的傳送方向長度x支持體的寬度x漂浮支持單元與漂浮支持單元間的數(shù)量通過使反壓面的總面積與非反壓面的總面積之比為6:4~9:1，能獲得如下效果。l)可以穩(wěn)定地漂浮支持并傳送，能夠形成膜厚均勻，沒有不均勻、混亂的功能性膜。圖4是圖1的AA，概略截面圖。圖中，503cl表示向漂浮用氣體總管中的氣體供應管。501b表示從漂浮用氣體總管503a的漂浮支持單元503al的吹出口503a3(參見圖2)噴出氣體的排氣管。501d表示用于防止從吹出口503a3(參見圖2)噴出的氣體轉(zhuǎn)回涂膜9的防風板，優(yōu)選由漂浮用氣體總管503a的側(cè)面503h向外側(cè)設置。頂端部分501d在沒有與漂浮支持的支持體202寬度頂端部分接觸的附近，彎曲成L字型。通過防風板501d,由吹出口503a3(參見圖3)噴出的氣體在支持體202的非涂布面(內(nèi)面)沖突后，由空間503a4和空間503a5(參見圖2)向?qū)挾确较蚺懦觯ㄟ^防風板501d和第1干燥裝置501的側(cè)壁501f的空間501h，介由排氣管501b排出。圖中的箭頭表示氣體的流動方向。另外，與防風板501d相同，防風板設置在漂浮用氣體總管503a的相反側(cè)，使由吹出口503a3(參見圖3)噴出的氣體排出。其它符號與圖1、圖2相同定義。作為具有通過圖1~圖4所示涂布干燥裝置制造的功能層的材料，沒有特別的限制，可以列舉通常用和產(chǎn)業(yè)用鹵化銀感光材料、熱敏材料、熱顯影感光材料、光致抗蝕劑、在以LCD或有機EL等為代表的電機光學面板的儀器用中使用的各種光學材料，其中，優(yōu)選用于制造具有以特別要求高性能的LCD或有機EL等為代表的電機光學面板的儀器用中使用的功能層的光學材料。作為本發(fā)明帶狀被涂布體中使用的材料，沒有特別的限定，可以列舉例如纖維素酯類薄膜、聚酯類薄膜、聚碳酸酯類薄膜、聚丙烯酸酯類薄膜、聚砜(還包括聚醚砜)類薄膜、聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚對萘二曱酸乙二醇酯薄膜、聚乙烯薄膜、聚丙烯薄膜、賽璐玢、纖維素二乙酸酯薄膜、纖維素三乙酸酯、纖維素乙酸酯丁酸酯薄膜、聚偏二氯乙烯、聚乙烯醇薄膜、乙烯乙烯醇薄膜、間規(guī)聚苯乙烯類薄膜、聚碳酸酯薄膜、環(huán)烯烴聚合物薄膜(7*-卜》(JSR公司制造)、才凈少夕義、七才凈7(以上為日本七才》公司制造))、聚甲基戊烯薄膜、聚醚酮薄膜、聚醚酮酰亞胺薄膜、聚酰胺薄膜、氟樹脂薄膜、尼龍薄膜、聚甲基丙烯酸曱酯薄膜、丙烯酸酯薄膜等。這些薄膜可以是通過熔融擠出法制造的薄膜，也可以是通過溶液流延制膜制造的薄膜?？梢愿鶕?jù)制造的產(chǎn)品進行適當選擇。在這些材料中，作為光學材料，纖維素酯在透明性、耐熱性和與液晶的匹配性優(yōu)異，固有雙折射率較低，光彈性系數(shù)小，因此特別優(yōu)選使用。三乙酰基纖維素與聚對苯二甲酸乙二醇酯等相比，在形成薄膜狀時平滑性較差，因此通過采用本發(fā)明的制造方法，本發(fā)明的效果能更顯著地顯現(xiàn)。因此，更優(yōu)選在三乙酰基纖維素的制造中采用本發(fā)明。本發(fā)明的纖維素酯是包含脂肪酸?；?、取代或未取代芳香族酰基中的任意結(jié)構(gòu)，單獨或混合酸酯.在芳香族?；?，在芳香族環(huán)是苯環(huán)時，作為苯環(huán)取代基的例子，包括囟素原子、氰基、烷基、烷氧基、芳基、芳基氧基、?；?、碳酰胺基、磺酰胺基、酰脲基、芳烷基、硝基、烷氧基羰基、芳基氧基羰基、芳烷基氧基羰基、氨基甲酰基、氨磺?；?、酰基氧基、烯基、炔基、烷基磺?；?、芳基氧基磺?；⑼榛酋Ｑ趸头蓟趸酋；?S-R、-NH-C0-0R、-PH-R、-P(-R)2、-P-H-0-R、-P(-R)(-0-R)、-P(-0-R)2、-PH(-0)-R-P(-0)(-R)2、-PH(=0)-0-R、-P(=0)(-R)(-0-R)、-P(=0)(-0-R)2、-0-PH(-0)-R、-0-PH(=0)(-R)2-0-PH(-0)-0-R、-O-P卜O)(-R)(-O-R)、-O-P(-O)(-0-R)2、-NH-PH(-O)-R、-NH-P(-O)(-R)(-O-R)、-NH-P(-O)(-0-R)2、-SiH廣R、-SiH(-R)2、-Si(-R)3、-0-SiH2-R、-O-SiH一(-R)2和-0-Si(-R)3。上述R是脂肪族基、芳香族基或雜環(huán)基。取代基的數(shù)量優(yōu)選為1個~5個，進一步優(yōu)選為1個~4個，更優(yōu)選為1個~3個，最優(yōu)選為1個或2個。作為取代基，優(yōu)選卣素原子、氰基、烷基、烷氧基、芳基、芳基氧基、酰基、碳酰胺基、磺酰胺基和酰脲基，進一步優(yōu)選為囟素原子、氰基、烷基、烷氧基、芳基氧基，最優(yōu)選為卣素原子、烷基和烷氧基。在上述卣素原子中，包括氟原子、氯原子、溴原子和碘原子。上述烷基任選具有環(huán)狀結(jié)構(gòu)或支鏈。烷基的碳原子數(shù)優(yōu)選為1~20，進一步優(yōu)選為1~12，更優(yōu)選為1~6，最優(yōu)選為1~4。在烷基的例子中，包括曱基、乙基、丙基、異丙基、丁基、叔丁基、己基、環(huán)己基、辛基和2-乙基己基。上述烷氧基任選具有環(huán)狀結(jié)構(gòu)或支鏈。烷氧基的碳原子數(shù)優(yōu)選為1~12，更優(yōu)選為1~6，最優(yōu)選為1~4。烷氧基還可以被其它烷氧基取代。在烷氧基的例子中，包括甲氧基、乙氧基、2-甲氧基乙氧基、2-甲氧基-2-乙氧基乙氧基、丁基氧基、己基氧基和辛基氧基。上述芳基的碳原子數(shù)優(yōu)選為6~20，更優(yōu)選為6~12。在芳基的例子中，包括苯基和萘基.上述芳基氧基的碳原子數(shù)優(yōu)選為6~20,更優(yōu)選為6~12.在芳基氧基的例子中，包括苯氧基和萘氧基。上述?；奶荚訑?shù)優(yōu)選為1~20，更優(yōu)選為1~12。在?；睦又?，包括甲?；?、乙酰基和苯甲?；?。上述碳酰胺基的碳原子數(shù)優(yōu)選為1~20，更優(yōu)選為1~12。在碳酰胺基的例子中，包括乙酰胺和苯曱酰胺.上述磺酰胺基的碳原子數(shù)優(yōu)選為1~20，更優(yōu)選為1~12。在磺酰胺基的例子中，包括甲磺酰胺、苯磺酰胺和對甲苯磺酰胺。上述酰脲基的碳原子數(shù)優(yōu)選為1~20，更優(yōu)選為1~12。在酰脲基的例子中，包括(無取代)酰脲。上述芳烷基的碳原子數(shù)優(yōu)選為7~20，更優(yōu)選為7~12,在芳烷基的例子中，包括芐基、乙氧苯基和萘甲基。上述烷氧基羰基的碳原子數(shù)優(yōu)選為1~20，更優(yōu)選為2~12。在烷氧基羰基的例子中，包括甲氧基羰基。上述芳基氧基羰基的碳原子數(shù)優(yōu)選為7~20，更優(yōu)選為7~12.在芳基氧基羰基的例子中，包括苯氧基羰基。上述芳烷基氧基羰基的碳原子數(shù)優(yōu)選為8~20，更優(yōu)選為8~12。在芳烷基氧基羰基的例子中，包括千基氧基羰基。上述氨基甲?；奶荚訑?shù)優(yōu)選為1~20,更優(yōu)選為1~12。在氨基曱?；睦又校?未取代)氨基曱酰基和N-曱基氨基甲?；?。上述氨磺?；奶荚訑?shù)優(yōu)選為20以下，更優(yōu)選為12以下。在氨磺?；睦又校?未取代)氨磺?；蚇-甲基氨磺?；Ｉ鲜鲺；趸奶荚訑?shù)優(yōu)選為1~20，更優(yōu)選為2~12。在?；趸睦又邪ㄒ阴Ｑ趸捅郊柞Ｑ趸Ｉ鲜鱿┗奶荚訑?shù)優(yōu)選為2~20，更優(yōu)選為2~12。在烯基的例子中，包括乙烯基、烯丙基和異丙烯基。上述炔基的碳原子數(shù)優(yōu)選為2~20，更優(yōu)選為2~12。在炔基的例子中，包括噻嗯基。上述烷基磺?；奶荚訑?shù)優(yōu)選為1~20，更優(yōu)選為1~12,上述芳基磺?；奶荚訑?shù)優(yōu)選為6~20，更優(yōu)選為6~12。上述烷基氧基磺?；奶荚訑?shù)優(yōu)選為1~20，更優(yōu)選為1~12。上述芳基氧基磺?；奶荚訑?shù)優(yōu)選為6~20，更優(yōu)選為6~12。上述烷基磺?；趸奶荚訑?shù)優(yōu)選為1~20，更優(yōu)選為1~12。上述芳基氧基磺酰基的碳原子數(shù)優(yōu)選為6~20,更優(yōu)選為6~12。在本發(fā)明的纖維素酯中，在纖維素羥基部分的氫原子是與脂肪族?；闹舅狨r，脂肪族?；奶荚訑?shù)為2~20，具體地說，可以列舉乙?；?、丙酰基、丁酰基、異丁酰基、戊?；⑿挛祯；⒓乎；⑿刘；⒃鹿瘐；?、硬脂?；?。在本發(fā)明中，上述脂肪族?；侵高€具有取代基的基團，作為取代基，可以列舉在上述芳香族?；?，當芳香族環(huán)是苯環(huán)時，作為苯環(huán)的取代基例示的基團。另外，在上述纖維素酯的酯化了的取代基是芳香環(huán)時，在芳香族環(huán)上取代的取代基X的數(shù)量為1~5個，優(yōu)選為1~3個，特別優(yōu)選為1或2個。此外，在芳香族環(huán)上取代的取代基數(shù)量為2個以上時，彼此可以相同，也可以不同，另外，還可以彼此連接，形成縮合多環(huán)化合物(例如，萘、茚、二氫化茚、菲、喹啉、異喹啉、色烯、色滿、酞噪、吲哚、二氫吲哚等)。在上述纖維素酯中，可以將包含具有選自取代或未取代的脂肪族?；⑷〈蛭慈〈姆枷阕艴；娜我环N結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)用作本發(fā)明纖維素酯中使用的結(jié)構(gòu)，這些可以是纖維素的單獨或混合酸酯，也可以將2種以上纖維素酯混合使用。作為本發(fā)明中的纖維素酯，優(yōu)選選自纖維素乙酸酯、纖維素丙酸酯、纖維素丁酸酯、纖維素乙酸酯丙酸酯、纖維素乙酸酯丁酸酯、纖維素乙酸酯鄰苯二甲酸酯和纖維素鄰笨二曱酸酯的至少1種。作為混合脂肪酸酯的取代度，更優(yōu)選纖維素乙酸酯丙酸酯或纖維素乙酸酯丁酸酯的低級脂肪酸酯是在具有碳原子數(shù)為2~4的?；鳛槿〈?，以乙?；娜〈葹閄，丙?；蚨□；娜〈葹閅時，包含同時滿足下式(I)和(II)的纖維素酯的纖維素樹脂，式(I)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage28</formula>其中，特別優(yōu)選使用纖維素乙酸酯丙酸酯，其中，優(yōu)選1.9《X《2.5，0.1<Y<0.9。未用上述酰基取代的部分通常以羥基的形式存在。這些物質(zhì)可以通過/^知的方法合成.此外，本發(fā)明中使用的纖維素酯優(yōu)選使用重均分子量Mw/數(shù)均分子量Mn比為1.5~5.5的纖維素酯，特別優(yōu)選為2.0~5.0，更優(yōu)選為2.5~5.0，更優(yōu)選使用3.0~5.0的纖維素酯。本發(fā)明中使用的纖維素酯的原料纖維素，可以是木材漿，也可以是棉花絨，木材漿可以是針葉樹，也可以是寬葉樹，更優(yōu)選針葉樹。從制膜時剝離性的觀點出發(fā)，優(yōu)選使用棉花絨。由它們制備的纖維素酯可以適當混合，或單獨使用。例如，可以以來自棉花絨的纖維素酯來自木材漿(針葉樹)的纖維素酯木材漿(寬葉樹)之比率為100:0:0、90:10:0、85:15:0、50:50:0、20:80:0、10:90:0、0:100:0、0:0:100、80:10:10、85:0:15、40:30:30使用。作為本發(fā)明的涂布液，優(yōu)選含有0.5~20質(zhì)量％的高分子成分。作為高分子成分，可以列舉明膠、甲基纖維素、羧甲基纖維素、聚丙烯酸、聚乙烯醚、聚乙烯醇、聚乙烯基吡咯烷酮、天然橡膠等。作為含有這些高分子成分的涂布液，沒有特別的限制，例如，可以列舉通常用和產(chǎn)業(yè)用卣化銀感光材料、熱敏材料、熱顯影感光材料、光致抗蝕劑、在以LCD或有機EL等為代表的電機光學面板的儀器用涂布液。作為電機光學面板用的儀器，為了改善CRT或液晶顯示裝置的視辨性，可以列舉能形成在顯示裝置前面張貼的防反射層。然而，在如電視這樣的大畫面顯示裝置中，直接與物體接觸，容易產(chǎn)生擦傷。因此，通常為了防止擦傷，可以使用在支持體上形成透明硬涂層的光學材料或形成防反射層的光學材料。以下，對在支持體上形成透明硬涂層的光學材料、或形成防反射層的光學材料進行說明。對具有透明硬涂層的光學材料進行說明。作為透明硬涂層，優(yōu)選使用活性線固化樹脂層。所謂的活性線固化樹脂層，是指以通過紫外線或電子束這樣的活性線照射，經(jīng)過交聯(lián)反應等固化的樹脂為主成分的層，作為活性線固化樹脂，優(yōu)選使用包括具有乙烯性不飽和雙鍵的單體的成分，通過照射紫外線或電子束這樣的活性線固化，從而形成硬涂層。作為活性線固化樹脂，可以列舉紫外線固化性樹脂或電子束固化性樹脂等為代表的樹脂，優(yōu)選通過紫外線照射固化的樹脂.作為紫外線固化性樹脂，優(yōu)選使用例如紫外線固化型聚氨酯丙烯酸酯類樹脂、紫外線固化型聚酯丙烯酸酯類樹脂、紫外線固化型環(huán)氧丙烯酸酯類樹脂、紫外線固化型多元醇丙烯酸酯類樹脂或紫外線固化型環(huán)氧樹脂等。紫外線固化型丙烯酸酯聚氨酯類樹脂通常使得將聚酯多元醇與異氰酸酯單體或預聚物反應獲得的生成物進一步與2-羥基乙基丙烯酸酯、2-羥基乙基甲基丙烯酸酯(以下，在丙烯酸酯中，作為包括甲基丙烯酸酯的物質(zhì)，僅表示為丙烯酸酯)、2-羥基丙基丙烯酸酯等具有羥基的丙烯酸酯類單體反應而容易地獲得?？梢允褂美缣亻_昭59-151110號中記載的物質(zhì)。優(yōu)選使用例如IOO份--:T4'7夕17-806(大日本油墨(林)制造)與1份3口凈-卜L(日本聚氨酯(林)制造)的混合物等。作為紫外線固化型聚酯丙烯酸酯類樹脂，可以列舉通常由聚酯多元醇與2-羥基乙基丙烯酸酯、2-羥基丙烯酸酯類單體反應而容易形成的物質(zhì)，可以使用特開昭59-151112號中記載的物質(zhì)。作為外線固化型環(huán)氧丙烯酸酯類樹脂的具體例，可以列舉以環(huán)氧丙烯酸酯為低聚物，在其中添加反應性稀釋劑、光反應引發(fā)劑，使反應而生成的物質(zhì)，可以使用特開平1-105738號中記栽的物質(zhì)。作為紫外線固化型多元醇丙烯酸酯類樹脂的具體例，可以列舉三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、二(三羥甲基丙烷)四丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、烷基改性二季戊四醇五丙烯酸酯等。作為這些紫外線固化性樹脂的光反應引發(fā)劑，具體地說，可以列舉苯甲偶姻及其衍生物、苯乙酮、二苯酮、羥基二苯酮、米貴酮、(X-戊肟酯、噻噸酮等以及它們的衍生物。還可以與光增敏劑一并使用。上述光反應引發(fā)劑也可以用作光增敏劑。另外，在使用環(huán)氧丙烯酸酯類光反應引發(fā)劑時，可以使用正丁胺、三乙胺、三正丁基膦等增敏劑，在紫外線固化樹脂組合物中使用的光反應引發(fā)劑或光增敏劑相對于IOO質(zhì)量份該組合物，為O.1~15質(zhì)量份，優(yōu)選為1~10質(zhì)量份。作為樹脂單體，例如，作為不飽和雙鍵為1個的單體，可以列舉丙烯酸曱酯、丙烯酸乙酯、丙烯酸丁酯、丙烯酸千基酯、丙烯酸環(huán)丙基酯、乙酸乙烯基酯、苯乙烯等通常的單體。另外，作為具有二個以上不飽和雙鍵的單體，可以列舉乙二醇二丙烯酸酯、丙二醇二丙烯酸酯、二乙烯基苯、1，4-環(huán)己烷二丙烯酸酯、1，4-環(huán)己基二甲基二丙烯酸酯、上述的三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯等。作為可以在本發(fā)明中使用的紫外線固化樹脂的市售品，可以適當選擇Tf力才7卜^-KRBY系列KR-400、KR-410、KR-550、KR-566、KR-567、BY-320B(旭電4匕(林)制造)；3-工4"-卜'A-101-KK、A-101-WS、C-302、C-401-N、C-501、M-lOl、M-102、T-102、D-102、NS-101、FT-102Q8、MAG-1-P20、AG-106、M-IOIC(廣榮化學(林)制造)；七4力匕*-厶PHC2210(S)、PHCX-9(K-3)、PHC2213、DP-10、DP-20、DP-30、PI000、PllOO、P1200、P1300、P1400、P1500、P1600、SCR900(大日精化工業(yè)(抹)制造);KRM7033、KRM7039、KRM7130、KRM7131、UVECRYL29201、UVECRYL29202(夕*4七/k.工-少—匕*-(林)制造)；RC—5015、RC-5016、RC-5020、RC-5031、RC-5100、RC-5102、RC-5120、RC-5122、RC-5152、RC-5171、RC-5180、RC-5181(大日本油墨化學工業(yè)(株)制造)；才-k少夕久No.340夕y弋(中國涂料(林)制造)卜'H-601、RC-750、RC-700、RC-600、RC-500、RC-611、RC-612(三洋化成工業(yè)(林)制造)；SP-1509、SP-1507(昭和高分子(株)制造)；RCC-15C-義^Y川》(林)制造)、7口-少夕J^M-6100、M-8030、M-8060(東亞合成(林)制造)等而使用。另外，作為具體的化合物例，可以列舉三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、二(三羥曱基丙烷)四丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、烷基改性二季戊四醇五丙烯酸酯等。這些活性線固化樹脂層可以通過照相凹版涂布、浸涂、反向涂布、線棒涂布、沖模涂布、噴墨法等公知的方法涂布。作為用于通過光固化反應將紫外線固化性樹脂固化，形成固化涂膜層的光源，只要是能產(chǎn)生紫外線的光源，就可以沒有限制地使用?？梢允褂美绲蛪核y燈、中壓水銀燈、高壓水銀燈、超高壓水銀燈、碳弧燈、金屬閨化物燈、氙燈等。照射條件根據(jù)各個燈有所不同，活性線的照射量優(yōu)選為5~150mJ/cm2,特別優(yōu)選為20~100mJ/cm2。另外，在照射活性線時，優(yōu)選在薄膜的傳送方向上施加張力的同時進行，更優(yōu)選還在寬度方向上施加張力的同時進行。施加的張力優(yōu)選為30~300N/m。作為紫外線樹脂層組合物涂布液的有機溶劑，例如，可以從烴類(甲苯、二甲苯)、醇類(甲醇、乙醇、異丙醇、丁醇、環(huán)己醇)、酮類(丙酮、曱乙酮、甲基異丁基酮)、酯類(乙酸甲酯、乙酸乙酯、乳酸甲酯)、二醇醚類、其他有機溶劑中適當選擇，或?qū)⑺鼈兓旌鲜褂?。?yōu)選使用含有5質(zhì)量％以上，更優(yōu)選為5~80質(zhì)量％以上的丙二醇單烷基醚(作為烷基的碳原子數(shù)為1~4)或丙二醇單烷基醚乙酸酯(作為烷基的碳原子數(shù)為1~4)等的上述有機溶劑。另外，在紫外線固化樹脂層組合物涂布液中，特別優(yōu)選添加硅氧烷化合物。優(yōu)選添加例如聚醚改性硅氧烷油等。聚醚改性硅氧烷油的數(shù)均分子量例如為1000~100000,優(yōu)選為2000~50000，數(shù)均分子量不足1000的話，涂膜的干燥性降低，相反，如果數(shù)均分子量超過100000，則在涂膜表面存在難以排出的傾向。作為硅氧烷化合物的市售品，可以列舉并優(yōu)選使用DKQ8-779(夕'31々3--歹y社制造的商品名)、SF3771、SF8410、SF8411、SF8419、SF8421、SF8428、SH200、SH510、SH1107、SH3749、SH3771、BX16-034、SH3746、SH3749、SH8400、SH3771M、SH3772M、SH3773M、SH3775M、BY-16-837、BY-16-839、BY-16-869、BY-16-870、BY-16-004、BY-16-891、BY-16-872、BY-16-874、BY22-008M、BY22一012M、FS-1265(以上為東k-7社制造的商品名)、KF-lOl、KF-100T、KF351、KF352、KF353、KF354、KF355、KF615、KF-618、KF-945、KF6004、夕y3-》X-22-945、X22-160AS(以上，為信越化學工業(yè)社制造的商品名)、XF3940、XF3949(以上為東芝〉y3-》社制造的商品名)、，*4》口；/LS-009(楠本化成社制)、y，V-乂k410(共榮社油脂化學工業(yè)(林)制造)、TSF4440、TSF4441、TSF4445、TSF4446、TSF4452、TSF4460(GE東芝'〉卩3-;/社制)、BYK-306、BYK-330、BYK-307、BYK-341、BYK-344、BYK-361(匕*、7夕少；、—^\A》社制)、日本jl-力-(林)制造的L系列(例如L7001、L-7006、L-7604、L-9000)、Y系列、FZ系歹'J(FZ-2203、FZ—2206、FZ-2207)等。這些成分能提高在基材或底層上的涂布性。在層疊體最表面層添加的情況下，不僅能提高涂膜的疏油、疏水性、防污性，還能有效發(fā)揮表面耐擦傷性。這些成分相對于涂布液中的固體成分，優(yōu)選在0.01~3質(zhì)量％的范圍內(nèi)添加。作為紫外線固化性樹脂組合物涂布液的涂布方法，可以使用上述的方法。在設置硬涂層的情況下，硬涂層在潮濕狀態(tài)下的膜厚為5~40jam，優(yōu)選為520jLim，更優(yōu)選為5~10jnm。此外，在潮濕狀態(tài)下的粘度為1~20raPas,優(yōu)選為5~10mPas。另外，優(yōu)選鉛筆硬度為2H~8H的硬涂層。特別優(yōu)選為3H6H。鉛筆硬度表示在將制備硬涂層薄膜試樣在溫度25C、相對濕度60%的條件下調(diào)濕2小時后，使用JIS-S-6006規(guī)定的試驗用鉛筆，根據(jù)JIS-K-5400規(guī)定的鉛筆硬度評價方法，施加lkg的重量，用各硬度的鉛筆來回刮擦10次，確認完全沒有擦傷的刮擦次數(shù)。紫外線固化性樹脂組合物可以在涂布干燥中或后，照射紫外線，為了獲得上述的5-150mJ/cW的活性線照射量，作為照射時間，可以為0.1秒~5分鐘左右，從紫外線固化性樹脂的固化效率或操作效率的觀點出發(fā)，更優(yōu)選為0.1~10秒。另外，這些活性線照射部分的照度優(yōu)選為50~150mW/m2。由上述方法形成的硬涂層的膜厚，優(yōu)選為2-20Mm。更優(yōu)選為2~10pm。對具有防反射層的光學材料進行說明。本發(fā)明光學材料中使用的防反射層可以是僅為低折射率層的單層結(jié)構(gòu)，或具有多層的折射率層的任一種結(jié)構(gòu)。通常，防反射層由于在被涂布體上硬涂層(透明硬涂層或防眩層)的表面上產(chǎn)生光學干涉，使反射率降低，可以考慮折射率、膜厚、層數(shù)量、層順序等進行層疊。防反射層可以是組成比被涂布體折射率高的高折射率層和比被涂布體折射率低的低折射率層的結(jié)構(gòu)，特別優(yōu)選為由3層以上折射率層構(gòu)成的防反射層，優(yōu)選從被涂布體側(cè)開始，折射率不同的3層按照中折射率層(比被涂布體或硬涂層折射率高，比高折射率層折射率低的層)/高折射率層/低折射率層的順序?qū)盈B。硬涂層也可以兼為高折射率層。以本發(fā)明涉及的低折射率層、中折射率層和高折射率層的涂布方式形成時的總濕潤膜厚優(yōu)選為5~20Mm，更優(yōu)選為515Min。此夕卜，作為各折射率層涂布液的粘度，優(yōu)選為l~20mPa.s，更優(yōu)選為1~5mPas。在以下示出本發(fā)明涉及的防反射層優(yōu)選層結(jié)構(gòu)的例子。其中，/表示層疊結(jié)構(gòu)。被涂布體/硬涂層/低折射率層被涂布體/硬涂層/高折射率層/低折射率層被涂布體/硬涂層/中折射率層/高折射率層/低折射率層被涂布體/防帶電層/硬涂層/中折射率層/高折射率層/低折射率層被涂布體/硬涂層/中折射率層/高折射率層/低折射率層被涂布體/硬涂層/高折射率層/低折射率層/高折射率層/低折射率層(低折射率層)在本發(fā)明中使用的低折射率層中，優(yōu)選使用以下的中空二氧化硅類微粒.(中空二氧化硅類微粒)中空微粒是(I)由多孔顆粒和在該多孔顆粒表面設置的涂覆層構(gòu)成的復合顆粒、或(II)在內(nèi)部具有空洞，且內(nèi)容物被溶劑、氣體或多孔物質(zhì)填充的空洞顆粒。另外，在低折射率層中，只要含有(I)復合顆?；?II)空洞顆粒的任一種即可，也可以含有兩者。另外，空洞顆粒是在內(nèi)部具有空洞的顆粒，空洞被顆粒壁包圍。在空洞內(nèi)，制備時被使用的溶劑、氣體或多孔物質(zhì)等內(nèi)容物填充.該中空球狀微粒的平均粒徑期望為5~300nm，優(yōu)選在10200mn的范圍內(nèi)。使用的中空球狀微?？梢愿鶕?jù)形成透明涂膜的厚度適當選擇，期望在形成的低折射率層等透明涂膜的膜厚2/3~1/10的范圍內(nèi)。這些中空球狀微粒為了形成低折射率層，優(yōu)選在適當溶劑中分散的狀態(tài)下使用。作為分散介質(zhì)，優(yōu)選水、醇(例如曱醇、乙醇、異丙醇)和酮(例如甲乙酮、甲基異丁基酮)、酮醇(例如二丙酮醇)。復合顆粒涂覆層的厚度或空洞微粒的顆粒壁厚度期望為1~20mn,優(yōu)選在2-15nm的范圍內(nèi)。在復合顆粒的情況下，在涂覆層厚度不足lnm時，無法完全覆蓋顆粒，作為后述涂布液成分的聚合度低的硅酸單體、低聚物等容易進入復合顆粒的內(nèi)部，使內(nèi)部的多孔性減少，無法充分獲得低折射率的效果。另外，如果涂覆層的厚度超過20認，則上述硅酸單體、低聚物無法進行內(nèi)部，使復合顆粒的多孔性(細孔容積)降低，無法充分獲得低折射率的效果。另外，在空洞顆粒的情況下，在顆粒壁厚度不足lnm的情況下，無法維持顆粒形狀，另外，即使厚度超過20nm，也無法充分體現(xiàn)低折射率的效果。復合顆粒的涂覆層或空洞顆粒的顆粒壁優(yōu)選以二氧化硅為主成分。另外，還可以含有二氧化硅以外的成分，具體地說，可以列舉A1203、B203、Ti02、Zr02、Sn02、Ce02、P203、Sb203、Mo03、Zn02、W。3等。作為構(gòu)成復合顆粒的多孔顆粒，可以列舉由二氧化硅構(gòu)成的顆粒、由二氧化硅和二氧化硅以外的無機化合物構(gòu)成的顆粒、由CaF2、NaF、NaAlF"MgF等構(gòu)成的顆粒。其中，特別優(yōu)選由二氧化硅和二氧化硅以外的無機化合物的復合氧化物構(gòu)成的多孔顆粒。作為二氧化硅以外的無機化合物，可以列舉A1力3、B203、Ti02、Zr02、Sn02、Ce02、P203、Sb203、Mo03、Zn02、W03等的1種或2種以上，在這樣的多孔顆粒中，以Si02表示二氧化硅、以氧化物換算(M0X)表示二氧化硅以外的無機化合物時的摩爾比M(USi02期望為0.0001~1.0，優(yōu)選在0.001~0.3的范圍內(nèi)，多孔顆粒的摩爾比M07Si02不足0.0001的顆粒難以獲得，即使獲得，細孔容積也小，無法獲得折射率低的顆粒。另外，多孔顆粒的摩爾比MOx/Si02如果超過1.0，則二氧化硅之比率減少，因此細孔容積增加，更難以獲得折射率低的顆粒。這樣的多孔顆粒的細孔容積期望為0.l~1.5ml/g，優(yōu)選在O.2~1.5ml/g的范圍內(nèi)。細孔容積不足0.1ml/g的話，無法獲得折射率足夠低的顆粒，如果超過1.5ml/g，則微粒的強度降低，所得涂膜的強度降低。另外，這樣的多孔顆粒的細孔容積可以通過水銀壓入法求出。另外，作為空洞顆粒的內(nèi)容物，可以列舉在顆粒制備時使用的溶劑、氣體、多孔物質(zhì)等。在溶劑中，還可以含有在空洞顆粒制備時使用的顆粒前體的未反應物、使用的催化劑等。另外，作為多孔物質(zhì)，可以列舉由在上述多孔顆粒中例示的化合物構(gòu)成的物質(zhì)。這些內(nèi)容物可以是由單一成分構(gòu)成的物質(zhì)，也可以是多種成分的混合物。作為這樣的中空球狀微粒的制造方法，優(yōu)選采用例如特開平7-133105號公報的段落編號~中公開的復合氧化物膠體顆粒的制備方法。由此獲得的中空微粒的折射率由于內(nèi)部是空洞，因此折射率較低，使用其的本發(fā)明中使用的低折射率層的折射率優(yōu)選為1.30-1.50，更優(yōu)選為1.35~1.44。具有外殼層，內(nèi)部是多孔或空洞的中空二氧化硅類微粒的低折射率層涂布液中的含量(質(zhì)量)優(yōu)選為10~80質(zhì)量％，更優(yōu)選為20~60質(zhì)量％。(四烷氧基硅烷化合物或其水解物)在本發(fā)明的低折射率層中，作為溶膠凝膠材料，優(yōu)選含有四烷氧基硅坑化合物或其水解物。作為本發(fā)明中使用的低折射率層用的材料，還優(yōu)選使用除上述無機硅氧化物以外，具有有機基團的硅氧化物。這些物質(zhì)通常稱為溶膠凝膠材料，可以使用金屬烷氧化物、有機烷氧基金屬化合物及其水解物。特別優(yōu)選為烷氧基硅烷、有機烷氧基硅垸及其水解物。作為這些的例子，可以列舉四烷氧基硅烷(四曱氧基硅烷、四乙氧基硅烷等)、烷基三烷氧基硅烷(甲基三曱氧基硅烷、乙基三甲氧基硅烷等)、芳基三烷氧基硅烷(苯基三甲氧基硅烷等)、二烷基二烷氧基硅烷、二芳基二烷氧基硅烷等。本發(fā)明中使用的低折射率層優(yōu)選含有上述硅氧化物和下述硅烷偶聯(lián)劑。作為具體的硅烷偶聯(lián)劑的例子，可以列舉甲基三甲氧基硅烷、甲基三乙氧基硅烷、曱基三甲氧基乙氧基硅烷、曱基三乙酰氧基硅烷、甲基三丁氧基硅烷、乙基三甲氧基硅烷、乙基三乙氧基硅烷、乙烯基三曱氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、乙烯基三乙酰氧基硅烷、乙酰基三甲氧基乙氧基硅烷、苯基三甲氧基硅烷、苯基三乙氧基硅烷、苯基三乙酰氧基硅烷等。另外，作為相對于硅，具有2個取代烷基的硅烷偶聯(lián)劑的例子，可以列舉二曱基二曱氧基硅烷、苯基曱基二甲氧基硅烷、二曱基二乙氧基硅烷、苯基甲基二乙氧基硅烷等。作為硅烷偶聯(lián)劑的具體例，可以列舉信越化學工業(yè)林式會社制造的KBM-303、KBM-403、KBM-402、KBM-403、KBM-1403、KBM-502、KBM-503、KBE-502、KBE-503、KBM-603、KBE-603、KBM-903、KBE-903、KBE-9103、KBM-802、KBM-803等。這些硅烷偶聯(lián)劑優(yōu)選預先在必要量的水中水解。如果將硅烷偶聯(lián)劑水解，則上述硅氧化物顆粒和具有有機基團的硅氧化物表面容易反應，形成更牢固的膜。另外，還可以預先在涂布液中加入水解的硅烷偶聯(lián)劑。另外，低折射率層還可以含有5~50質(zhì)量％量的聚合物.聚合物具有粘合微粒，維持含有空隙的低折射率層結(jié)構(gòu)的功能。聚合物的使用量可以調(diào)整為不會填充空隙，可以維持低折射率層的強度。聚合物的量優(yōu)選為低折射率層總量的10~30質(zhì)量％。為了通過聚合物粘合微粒，優(yōu)選(1)在微粒的表面處理劑中結(jié)合聚合物、(2)以微粒為核，在其周圍形成聚合物殼、或(3)作為微粒間的粘合劑，使用聚合物.粘合劑聚合物優(yōu)選為具有飽和烴或聚醚作為主鏈的聚合物，更優(yōu)選為具有飽和烴作為主鏈的聚合物。粘合劑聚合物優(yōu)選是交聯(lián)的。具有飽和烴作為主鏈的聚合物優(yōu)選通過乙烯性不飽和單體的聚合反應獲得。為了獲得交聯(lián)的粘合劑聚合物，優(yōu)選使用具有2個以上乙烯性不飽和基團的單體。作為具有2個以上乙烯性不飽和基團的單體的例子，可以列舉多元醇與(曱基)丙烯酸的酯(例如，乙二醇二(曱基)丙烯酸酯、1，4-環(huán)己烷二丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(曱基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三(曱基)丙烯酸酯、三羥甲基乙烷三(曱基)丙烯酸酯、二季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、I,2,3-環(huán)己烷四甲基丙烯酸酯、聚氨酯聚丙烯酸酯、聚酯聚丙烯酸酯)、乙烯基苯及其衍生物(例如，1，4-二乙烯基苯、4-乙烯基苯甲酸-2-丙烯酰基乙基酯、1，4-二乙烯基環(huán)己酮)、乙烯基砜(例如，二乙烯基砜)、丙烯酰胺(例如亞曱基二丙烯酰胺)和甲基丙烯酰胺。另外，本發(fā)明中使用的低折射率層還可以是通過熱或電離放射線交聯(lián)的含氟樹脂(以下，也稱為"交聯(lián)前的含氟樹脂")的交聯(lián)構(gòu)成的低折射率層。作為交聯(lián)前的含氟樹脂，可以優(yōu)選列舉由含氟乙烯基單體和用于賦予交聯(lián)性基團的單體形成的含氟共聚物。作為上述含氟乙烯基單體單元的具體例，可以列舉例如氟代烯烴類(例如，氟代乙烯、二氟偏乙烯、四氟乙烯、六氟乙烯、六氟丙烯、全氟-2，2-二甲基-1，3-二間二氧雜環(huán)戊烯等)、(甲基)丙烯酸的部分或完全氟化烷基酯衍生物類(例如，匕*義3-卜6FM(大阪有機化學社制造)或M-202(/4埼》社制造)等)、完全或部分氟化乙烯基醚類等。作為用于賦予交聯(lián)性基團的單體，除了縮水甘油基丙基丙烯酸酯、乙烯基三甲氧基硅烷、Y-甲基丙烯酰基氧基丙烯三甲氧基硅烷、乙烯基縮水甘油基醚等那樣在分子內(nèi)預先具有交聯(lián)性官能團的乙烯基單體以外，可以列舉具有羧基、羥基、氨基或磺酸基等的乙烯基單體(例如，(甲基)丙烯酸、羥甲基(曱基)丙烯酸酯、羥基烷基(甲基)丙烯酸酯、烯丙基丙烯酸酯、羥基烷基乙烯基醚、羥基烷基烯丙基醚等)。后者是在特開平10-25388號、特開平10-147739號中有記栽在共聚后，通過添加具有能與聚合物中官能團反應的基團和另外1個以上反應性基團的化合物，從而導入交聯(lián)結(jié)構(gòu)。在交聯(lián)性基團的例子中，可以列舉丙烯酰基、甲基丙烯酰基、異氰酸酯基、環(huán)氧基、乙撐亞胺、哺唑啉、醛、羰基、肼、羧基、羥甲基和活性亞甲基等。含氟共聚物在組合加熱發(fā)生反應的交聯(lián)基切、或者，乙烯性不飽和基團和熱自由基產(chǎn)生劑或環(huán)氧基與熱酸產(chǎn)生劑等，通過加熱進行交聯(lián)的情況下，是熱固化型的，在組合乙烯性不飽和基團和光自由基產(chǎn)生劑、或環(huán)氧基和光酸產(chǎn)生劑等，通過光照射進行交聯(lián)的情況下，是電離放射線固化型.用于形成交聯(lián)前含氟共聚物的上述各單體的使用比例如下，含氟乙烯基單體優(yōu)選為20~70mol%，更優(yōu)選為40~70mol%,用于賦予交聯(lián)性基團的單體優(yōu)選為l~20mol%，更優(yōu)選為5~20mol%，并用的其他單體優(yōu)選為10~70mol%，更優(yōu)選為10~50mol%。本發(fā)明中使用的低折射率層采用浸涂法、空氣刮刀法、簾涂法、輥涂法、線棒涂布法、照相凹版涂布法或擠壓涂布法(美國專利2681294號)，通過涂布形成。另外，還可以同時涂布2層以上。對于同時涂布的方法，在美國專利2761791號、美國專利2941898號、美國專利3508947號、US3526528A和原崎勇次著、涂布工學、253頁、朝倉書店(1973)中有記載。本發(fā)明相關(guān)的低折射率層的膜厚優(yōu)選為50~200nm。更優(yōu)選為60~150線(高折射率層和中折射率層)在本發(fā)明中，為了降低反射率，優(yōu)選在透明支持體和低折射率層之間設置高折射率層.另外，為了降低反射率，更優(yōu)選在該透明支持體和高折射率層之間設置中折射率層。高折射率層的折射率優(yōu)選為1.55-2.30,更優(yōu)選為1.57~2.20。中折射率層的折射率調(diào)整為透明支持體的折射率與高折射率層的折射率的中間值。中折射率層的折射率優(yōu)選為1.55~1.80。高折射率層和中折射率層的厚度優(yōu)選為5nm~1iam，更優(yōu)選為10nm~0.2jim,最優(yōu)選為30nm~0.1mm。高4斤射率層和中折射率層的濁度值優(yōu)選為5%以下，更優(yōu)選為3%以下，最優(yōu)選為1%以下。高折射率層和中折射率層的強度以lkg負荷的鉛筆硬度計，優(yōu)選為H以上，更優(yōu)選為2H以上，最優(yōu)選為3H以上.本發(fā)明中使用的中、高折射率層優(yōu)選是涂布含有下述通式(l)表示的有機鈦化合物的單體、低聚物或它們的水解物的涂布液，干燥形成的折射率為1.55~2，5的層。通式(1)Ti(ORJ4式中，作為R"可以是碳原子數(shù)為1~8的脂肪族烴基，優(yōu)選為碳原子數(shù)為1~4的脂肪族烴基。另外，有機鈦化合物的單體、低聚物或它們的水解物通過使醇基水解，反應為-Ti-O-Ti-，進行交聯(lián)結(jié)構(gòu)，形成固化了的層。作為本發(fā)明中使用的有機鈦化合物的單體、低聚物，可以列舉Ti(OCH3)4、Ti(OC2H5)4、Ti(0-n-C3H7)4、Ti(0-i-C3H7)4、Ti(0-n-C4H9)4、Ti(0-n-C3H7)4的2~10聚體、Ti(0-i-C3H7)4的2~10聚物、Ti(0-n-C4H9)4的2~10聚物等作為優(yōu)選的例子。這些可以單獨使用，或?qū)?種以上組合使用。其中，特別優(yōu)選Ti(O一n-C3H7)4、Ti(0-iC3H7)4、Ti(0-n-C4H9)4、Ti(0-n-C3H7)4的2~10聚物、Ti(0-n—C4H9)4的2~10聚物。本發(fā)明中使用的有機鈦化合物的單體、低聚物或它們的水解物優(yōu)39選占涂布液中所含固體成分中的50.0-98.0質(zhì)量％。固體成分比率進一步為50質(zhì)量％~90質(zhì)量％，更優(yōu)選為55質(zhì)量％~90質(zhì)量％。此外，還優(yōu)選在涂布組合物中添加有機鈥化合物的聚合物(預先進行有機鈥化合物的水解，進行交聯(lián))或氧化鈦微粒。本發(fā)明中使用的高折射率層和中折射率層含有金屬氧化物顆粒作為微粒，更優(yōu)選含有粘合劑聚合物，在上述涂布液制備法中，如果組合水解/聚合的有機鈥化合物和金屬氧化物顆粒，則金屬氧化物顆粒和水解/聚合的有機鈦化合物牢固地粘合，可以獲得兼?zhèn)漕w粒具有的硬度和均勻膜的柔軟性的牢固涂膜。在高折射率層和中折射率層中使用的金屬氧化物顆粒優(yōu)選折射率為1.80~2.80，更優(yōu)選為1.90~2.80。金屬氧化物顆粒1次顆粒的質(zhì)量平均徑優(yōu)選為1~150nm，更優(yōu)選為1~100nm，最優(yōu)選為1~80nm,在層中的金屬氧化物顆粒的質(zhì)量平均徑優(yōu)選為l~200nm，進一步優(yōu)選為5~150nm，更優(yōu)選為10~100nm，最優(yōu)選為10-80nm。如果金屬氧化物顆粒的平均粒徑為20~30nm以上的話，通過光散射法測定，為2030nm以下的話，通過電子顯孩支鏡照相測定。金屬氧化物顆粒之比表面積以通過BET法測定的值計，優(yōu)選為10~400mVg，更優(yōu)選為20~200m7g，最優(yōu)選為30~150m7g。作為金屬氧化物顆粒的例子，是具有選自Ti、Zr、Sn、Sb、Cu、Fe、Mn、Pb、Cd、As、Cr、Hg、Zn、Al、Mg、Si、P和S的至少l種元素的金屬氧化物，具體地說，可以列舉二氧化鈦(例如金紅石、金紅石/銳鈦礦的混合結(jié)晶、銳鈦礦、無定形結(jié)構(gòu))、氧化錫、氧化銦、氧化鋅和氧化鋯。其中，特別優(yōu)選氧化鈦、氧化錫和氧化銦。金屬氧化物顆粒以這些金屬氧化物為主成分，還可以含有其他元素，所謂主成分，是指在構(gòu)成顆粒的成分中，含量(質(zhì)量％)最多的成分。作為其他元素的例子，可以列舉Ti、Zr、Sn、Sb、Cu、Fe、Mn、Pb、Cd、As、Cr、Hg、Zn、Al、Mg、Si、P和S。金屬氧化物顆粒優(yōu)選進行表面處理。表面處理可以使用無機化合物或有機化合物進行。作為在表面處理中使用的無機化合物的例子，可以列舉氧化鋁、二氧化硅、氧化鋯和氧化鐵。其中，優(yōu)選氧化鋁和二氧化硅.作為在表面處理中使用的有機化合物的例子，可以列舉多元醇、鏈醇胺、硬脂酸、硅烷偶聯(lián)劑和鈦酸酯偶聯(lián)劑。其中，最優(yōu)選硅烷偶聯(lián)劑。高折射率層和中折射率層中的金屬氧化物顆粒之比例優(yōu)選為5~65體積％，進一步優(yōu)選為10~60體積。/。，更優(yōu)選為20~55體積％.上述金屬氧化物顆粒在為介質(zhì)中分散了的分散體的狀態(tài)下，向用于形成高折射率層和中折射率層的涂布液中供應。作為金屬氧化物顆粒的分散介質(zhì)，優(yōu)選使用沸點為60170t:的液體。作為分散溶劑的具體例，特別優(yōu)選水、醇類(例如，甲醇、乙醇、異丙醇、丁醇、節(jié)醇)、酮類(例如丙酮、曱乙酮、甲基異丙基酮、環(huán)己酮)、酯類(例如乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸丙酯、乙酸丁酯、甲酸甲酯、甲酸丙酯、甲酸丁酯)、脂肪族烴類(例如己烷、環(huán)己烷)、卣代烴類(例如二氯曱烷、氯仿、四氯化碳)、芳香族烴類(例如苯、曱苯、二甲苯)、酰胺類(例如，二曱基曱酰胺、二曱基乙酰胺、正甲基吡咯烷酮)、醚類(例如二乙醚、二喝烷、四氫呋喃)、醚醇類(例如，1-甲氧基-2-丙醇)。其中，特別優(yōu)選曱苯、二曱苯、甲乙酮、甲基異丁基酮、環(huán)己酮和丁醇。另外，金屬氧化物顆?？梢允褂梅稚C，在介質(zhì)中分散。作為分散機的例子，可以列舉砂碾磨(例如，具有銷的珠磨)、高速葉輪磨、卵石磨、輥磨、立式球磨機和膠體磨。特別優(yōu)選妙-碾磨和高速葉輪磨。另外，還可以進行預備分散處理。作為在預備分散處理中使用的分散機的例子，可以列舉球磨、三輥磨、捏合機和擠壓機。本發(fā)明中使用的高折射率層和中折射率層優(yōu)選使用具有交聯(lián)結(jié)構(gòu)的聚合物(以下，也稱為交聯(lián)聚合物)作為粘合劑聚合物。作為交聯(lián)聚合物的例子，可以列舉聚烯烴等具有飽和烴鏈的聚合物、聚醚、聚脲、聚氨酯、聚酯、聚胺、聚酰胺和蜜胺樹脂等交聯(lián)物。其中，優(yōu)選聚烯烴、聚醚和聚氨酯的交聯(lián)物，更優(yōu)選聚烯烴和聚醚的交聯(lián)物，最優(yōu)選聚烯烴的交聯(lián)物。作為本發(fā)明中使用的單體，最優(yōu)選具有2個以上乙烯性不飽和基團的單體，作為其例子，可以列舉多元醇與(甲基)丙烯酸的酯(例如，乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、1，4-環(huán)己烷二丙烯酸酯、季戊四醇四(曱基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三(曱基)丙烯酸酯、三羥曱基乙烷三(曱基)丙烯酸酯、二季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、1，2，3-環(huán)己烷四甲基丙烯酸酯、聚氨酯聚丙烯酸酯、聚酯聚丙烯酸酯)、乙烯基苯及其衍生物(例如，1,4-二乙烯基苯、4-乙烯基苯曱酸-2-丙烯?；一?、1，4-二乙烯基環(huán)己酮)、乙烯基砜(例如，二乙烯基砜)、丙烯酰胺(例如亞甲基二丙烯酰胺)和曱基丙烯酰胺。具有陰離子性基團的單體和具有氨基或季銨基的單體也可以使用市售的單體。作為優(yōu)選使用的市售具有陰離子性基團的單體，可以列舉KAYAMARPM-21、PM~2(以上為日本化藥(林)制造)、AntoxMS-60、MS-2N、MS-NH4(以上為日本乳化劑(林)制造)、T口-少夕^M-5000、M-6000、M-8000系列(以上為東亞合成化學工業(yè)(林)制造)、匕'義3-卜#2000系列(大阪有機化學工業(yè)(林)制造)、---:7口》，47GX-8289(第一工業(yè)制藥(林)制造)、NK酯CB-1、A-SA(以上為新中村化學工業(yè)(林)制造)、AR-100、MR-100、MR-200(以上為第八化學工業(yè)(林)制造)等。另外，作為優(yōu)選使用的市售具有氨基或季銨基的單體，可以列舉DMAA(大阪有機化學工業(yè)(林)制造)、DMAEA、DMAPAA(以上為興人(林)制造)、7'k-QA(日本油脂(林)制造)、---7口>f7C-1615(笫一工業(yè)制藥(林)制造)等。聚合物的聚合反應可以使用光聚合反應或熱聚合反應。特別優(yōu)選光聚合反應。為了聚合反庫，優(yōu)選使用聚合引發(fā)劑。例如，可以列舉用于形成硬涂層的粘合劑聚合物的熱聚合引發(fā)劑和光聚合引發(fā)劑。作為聚合引發(fā)劑，還可以使用市售的聚合引發(fā)劑。除了聚合引發(fā)劑以外，還可以使用聚合促進劑。聚合引發(fā)劑與聚合促進劑的添加量優(yōu)選在單體總量的0.2~10質(zhì)量％的范圍內(nèi)。在防反射層的各層或其涂布液中，除了上述成分(金屬氧化物顆粒、聚合物、分散介質(zhì)、聚合引發(fā)劑、聚合促進劑)以外，還可以添加阻聚劑、均鍍劑、增粘劑、防著色劑、紫外線吸收劑、硅烷偶聯(lián)劑、防帶電劑或粘合付與劑。在涂布中~高折射率層和低折射率層后，為了促進含有金屬烷氧化物的組合物水解或固化，優(yōu)選照射活性能量線。更優(yōu)選每涂布一層，就照射活性能量線。本發(fā)明中使用的活性能量線只要是通過紫外線、電子束、Y射線等可以活化化合物的能量源，就沒有限制，優(yōu)選紫外線、電子束，尤其是從操作簡便，容易獲得高能量的觀點出發(fā)，優(yōu)選紫外線。作為使紫外線反應性化合物光聚合的紫外線光源，只要是能產(chǎn)生紫外線的光源，就可以任意使用。可以使用例如低壓水銀燈、中壓水銀燈、高壓水銀燈、超高壓水銀燈、碳弧燈、金屬卣化物燈、氙燈等。另外，還可以使用ArF準分子激光燈、KrF準分子激光燈、準分子燈或同步加速器放射光等。照射條件根據(jù)各個燈有所不同，照射光量優(yōu)選為20mJ/cm2~10000mJ/cm2，更優(yōu)選為100mJ/cm2~2000mJ/cm2，特別優(yōu)選為400mJ/cm2~2000mJ/cm2。實施例以下，通過列舉實施例對本發(fā)明進行詳細說明，但本發(fā)明并不限定于這些。實施例1《纖維素酯薄膜的制備》如下制備各種添加液、各種摻雜物，制備作為樹脂薄膜基材的纖維素酯薄膜。(纖維素酯薄膜的制備)(氧化硅分散液A的制備):r工口'-^R972V(日本7工口'》Vl^(林)制造)lkg乙醇9kg以上使用溶解器攪拌混合30分鐘后，使用7》卜》；f-卩》型高壓分散裝置進行分散，制備氧化硅分散液A。(添加液B的制備)纖維素三乙酸酯(乙?；娜〈?.88)6kg二氯曱烷140kg將以上加入密閉容器中，加熱，攪拌至完全溶解，過濾。向其中加入10kg上述氧化硅分散液A并攪拌，再攪拌30分鐘后，過濾，制備添加液B。(摻雜物C的制備)二氯曱烷440kg乙醇35kg纖維素三乙酸酯(乙?；娜〈?.88)100kg三苯基磷酸酯10kg乙基鄰苯二曱酰亞胺乙二醇酯2kgf5匕'7326(f,《義N少弋，^4少$力^乂社制造)0.3kgf5匕*》109(弋卩f14少$力^乂社制造)0.5kgf3匕'y171(千^》《，二弋，于4少《力/k乂社制造)0.5kg將上述溶劑加入密閉容器中，攪拌并加入剩余材料，加熱，攪拌至完全溶解，混合。將摻雜物降低至流延的溫度，靜置一晚，進行脫泡操作后，使用安積濾紙(林)制的安積濾紙No.244過濾溶液。再在上述溶液中添加3kg上述添加液B,在串聯(lián)混合器(東k(林)制造的靜止型管內(nèi)混合機Hi-Mixer、SWJ)中混合，過濾，制備摻雜物C。過濾摻雜物C后，使用帶狀流延裝置，在35'C的不銹鋼帶狀支持體上均勻流延35。C的摻雜物。然后，在支持體上干燥后，由不銹鋼帶狀支持體上剝離薄膜。此時薄膜的殘留溶劑量為80%。在從不銹鋼帶狀支持體剝離后，通過維持在80'C的干燥區(qū)域中干燥1分鐘后，使用雙軸延伸拉幅機，在殘留溶劑量為3~10質(zhì)量％時，在ioot:的氣氛下，在長度方向上延伸0.98倍，在寬度方向上延伸1.1倍，放開寬度保持裝置，一邊用多個輥傳送一邊在125。C的干燥區(qū)域中結(jié)束干燥，在薄膜兩端進行寬度10mm，高度lOjam的滾花加工，制備寬度1400mm、長度2500m，膜厚80um的長幅寬幅的纖維素酯薄膜?！锻该饔餐繉有纬捎猛坎冀M合物的制備》二季戊四醇六丙烯酸酯100質(zhì)量份(包括2聚物和3聚物以上的成分)光反應引發(fā)劑(4a;!r軒工:r184f^《久《少ya于<少$力>乂社制造)4質(zhì)量份甲乙酮75質(zhì)量份混合這些材料，形成透明硬涂層形成用涂布液。《透明硬涂層的形成》使用圖1中示出的涂布干燥裝置，在準備的纖維素酯薄膜的一面上，使用擠壓型沖模涂布器，以30m/min的傳送速度，涂布制備的透明硬涂層形成用涂布液，使得涂布寬度為1200mm、濕膜厚為10Mm，然后，使具有透明硬涂層形成用涂膜的纖維素酯薄膜在第1千燥機中，在千燥風的溫度為70'C下，通過傳送裝置將其在透明硬涂層形成用涂膜中的固體成分濃度為80體積％以下之間進行漂浮支持并傳送后，在第2干燥裝置中，在干燥溫度120'C下除去涂膜中的殘留溶劑，干燥，然后在固化處理部分，以150mJ/cm2的照射強度照射紫外線，從而固化涂膜，冷卻至室溫，在回收部分中巻繞在巻芯上，制備試樣No.101~109?！对诘?干燥機中的傳送》漂浮支持單元使用寬度1450mm(支持體寬度方向)、長度220mm(支持體傳送方向)的裝置。漂浮支持單元的吹出口的寬度為1430mm(支持體寬度方向)、間隙為3mm(支持體傳送方向)、在支持體傳送方向，以100mm的間距使用3個。另外，3個吹出口的第l個設置在離側(cè)面10mm的位置，第2個設置在離第1個100mm的位置，第3個設置在離第2個100mm,離另一側(cè)面10mm的位置，漂浮支持單元是在拱徑10m(漂浮支持單元上面的傳送方向中央位置的座標配置)的漂浮氣體總管的安裝面上，以300mm的間距設置20個，使得漂浮支持單元的上面和安裝面的高度差為150mm，配置成拱形狀。通過具有該漂浮支持單元的傳送裝置對上述纖維素酯薄膜進行漂浮傳送，從而使漂浮單元支持的纖維素酯薄膜的面積和未支持的面積比為7.3:2.7，形成吹出口寬度相對于纖維素酯薄膜的寬度為+30mm，反壓變化的間隔在傳送方向上為150mm的關(guān)系。根據(jù)傳送裝置的其它條件按照如下方式設定從漂浮支持單元的吹出口向非涂布面吹附氣體的溫度為(氣體溫度表示通過設置在漂浮支持單元內(nèi)的測溫管測定的值)、從漂浮支持單元的吹出口向非涂布面吹附氣體的風速為15m/s(氣體的風速表示通過熱線風速計測定的值)、傳送方向的張力為180N/m(張力表示在傳送線中設置的張力收集輥測定的值)。由此，纖維素酯薄膜的傳送狀態(tài)如下漂浮支持單元的上面與纖維素酯薄膜反壓面的距離(漂浮量)為15mm，漂浮支持單元的安裝面與纖維素酯薄膜非涂布面的距離為165mm、反壓的最大值為100Pa。另外，反壓的測定表示在漂浮支持單元與支持體之間插入外形lmm,內(nèi)徑0.5mm的SUS制管，通過高性能微差壓計測定靜壓的值。由該條件，在傳送方向上，按照表l中示出的方式，通過非涂布面的氣體改變反壓，并通過傳送裝置漂浮傳送具有透明硬涂層形成用涂膜的纖維素酯薄膜。反壓的變化通過改變吹附的風速進行，由此，還能改變纖維素酯薄膜與漂浮支持單元上面的距離。《評價》對于制備的各試樣No.101~109，按照下述方式試驗膜厚均勻性，在表l中示出根據(jù)下述的評價等級進行評價的結(jié)果。<膜厚均勻性(涂膜厚的誤差)的試驗方法>對制備的試樣在寬度上，以100mm的間距取12點，在長度方向上間距2m的位置上再取12點，總計24點上，使用大塚電子(林)制造的光千涉膜厚計FE-3000測定膜厚，通過下式計算，獲得膜厚均勻性。涂膜厚的誤差-{(最大膜厚-最小膜厚)/平均膜厚}xl00(%)膜厚均勻性的評價等級A:涂膜厚的誤差不足4%B:涂膜厚的誤差為4%以上，不足8%C:涂膜厚的誤差為8%以上，不足12%D:涂膜厚的誤差為12%以上，，不足18%E:涂膜厚的誤差為18%以上表1<table>tableseeoriginaldocumentpage47</column></row><table>實施例2與實施例1中制備的試樣No.104相同，使用與具有透明硬涂層的纖維素酯薄膜相同的材料，在同樣條件下制備，在透明硬涂層上，使用擠壓型沖模涂布器涂布后述的中折射率層形成用涂布液，然后在第l干燥機中，在千燥風的溫度為80'C，通過傳送裝置，在中折射率層形成用涂膜中的固體成分濃度為80體積％以下之間一邊漂浮支持具有中折射率層形成用涂膜的纖維素酯薄膜一邊傳送后，在第2干燥裝置中，在干燥溫度120C下除去涂膜中的殘留溶劑，干燥，然后在固化處理部分，以300mJ/cm'的照射強度照射紫外線，從而固化涂膜，冷卻至室溫，在回收部分中巻繞在巻芯上。然后，在中折射率層之上涂布高折射率層形成用涂布液，在與中折射率層相同的傳送條件、干燥條件下干燥后，在同樣條件下固化涂膜，冷卻至室溫，在回收部分中巻繞在巻芯上。然后，在高折射率層之上涂布低折射率層形成用涂布液，在與中折射率層相同的傳送條件、干燥條件下干燥后，在同樣條件下固化涂膜，冷卻至室溫，在回收部分中巻繞在巻芯上，形成試樣No.201~209。另外，各折射率層的膜厚為0.1vim?！对诘?干燥機中的傳送》漂浮支持單元使用漂浮支持單元使用寬度1450mm(支持體寬度方向)、長度220mm(支持體傳送方向)的裝置。漂浮支持單元的吹出口的寬度為1430mm(支持體寬度方向)、間隙為3mm(支持體傳送方向)、在支持體傳送方向，以100mm的間距使用3個。漂浮支持單元是在拱徑10m(漂浮支持單元上面的傳送方向中央位置的座標配置)的漂浮氣體總管的安裝面上，以300mm的間距設置20個，使得漂浮支持單元的上面和安裝面的高度差為150mm，配置成拱形狀。通過具有該漂浮支持單元的傳送裝置對上述纖維素酯薄膜進行漂浮傳送，從而使漂浮單元支持的纖維素酯薄膜的面積和未支持的面積比為7.3:2.7，形成吹出口寬度相對于纖維素酯薄膜的寬度為+30mm，反壓變化的間隔在傳送方向上為150mm的關(guān)系。根據(jù)傳送裝置的其它條件按照如下方式設定從漂浮支持單元的吹出口向非涂布面吹附氣體的溫度為40X:(氣體溫度表示通過設置在漂浮支持單元內(nèi)的測溫管測定的值)、從漂浮支持單元的吹出口向非涂布面吹附氣體的風速為15m/s(氣體的風速表示通過熱線風速計測定的值)、傳送方向的張力為180N/m(張力表示在傳送線中設置的張力收集輥測定的值)。由此，纖維素酯薄膜的傳送狀態(tài)如下漂浮支持單元的上面與纖維素酯薄膜反壓面的距離(漂浮量)為15mm,漂浮支持單元的安裝面與纖維素酯薄膜非涂布面的距離為165mm、反壓的最大值為100Pa。另外，反壓的測定表示在漂浮支持單元與支持體之間插入外形lmm，內(nèi)徑0.5mm的SUS制管，通過高性能微差壓計測定靜壓的值。由該條件，在傳送方向上，按照表2中示出的方式，通過非涂布面的氣體改變反壓，并通過傳送裝置漂浮傳送具有透明硬涂層形成用涂膜的纖維素酯薄膜。反壓的變化通過改變吹附的風速進行，由此，還能改變纖維素酯薄膜與漂浮支持單元上面的距離。由該條件，在傳送方向上，按照表l中示出的方式，通過非涂布面的氣體改變反壓，并通過傳送裝置漂浮傳送具有透明硬涂層形成用涂膜的纖維素酯薄膜。<中折射率層形成用涂布液>四丁醇鈥9.5gY—曱基丙烯氧基丙基三甲氧基硅烷0.9g陽離子性固化樹脂(KR-566旭電化工業(yè)社制造)0.9g2-丙醇75ml二甲基曱酰胺8ml10%鹽酸水溶液2.6ml(高折射率層形成用涂布液)四丁醇鈥14.5gY-甲基丙烯氧基丙基三甲氧基硅烷0.25g陽離子性固化樹脂(KR566-39旭電化工業(yè)社制造)0.25gl-丁醇75ml二曱基曱酰胺3ml10%鹽酸水溶液3ml<低折射率層形成用涂布液>四乙氧基硅烷水解物*2gY_曱基丙烯氧基丙基三甲氧基硅烷0.8g三乙基乙酰乙酸鋁0.8g2%丙酮分散微粒二氧化硅(超聲波分散)30ml(商品名7工口,〉V"日本7工口夕^(林)制造)環(huán)己酮50ml氟類表面活性劑0.lg(7*少夕F-172大日本油墨公司制)*四乙氧基硅烷水解物的制備方法在250g四乙氧基硅烷中加入380g乙醇，在該溶液中，在室溫下緩慢滴入在235g水中溶解3g鹽酸(12mol/L)的鹽酸水溶液。在滴入后，在室溫下攪拌3小時而制備?！对u價》對于制備的各試樣No.201~209，通過與實施例l相同的方法試驗膜厚均勻性，在表2中示出根據(jù)與實施例l相同的評價等級評價的結(jié)果。表2<table>tableseeoriginaldocumentpage50</column></row><table>實施例3《纖維素酯薄膜的制備》按照使用與實施例1相同材料的方法，在薄膜兩端進行寬度10mm、高度10ym的滾花加工，制備寬度1400mm、長度2500m、膜厚80um的長幅寬幅的纖維素酯薄膜。《透明硬涂層的形成》除了使用圖1中示出的涂布.干燥裝置，在制備的纖維素酯薄膜的一面上，使用擠壓型沖模涂布器，涂布制備的與實施例l相同的透明硬涂層形成用涂布液，隨時改變傳送速度，使第l干燥裝置終點的固體成分濃度M按照表3那樣改變而漂浮傳送以外，與實施例l的試樣No.104相同條件下形成涂膜，冷卻至室溫，在回收部分巻繞在巻芯上，獲得試樣No.301~304。在將濕膜厚涂布為10ym后，在笫l干燥機中，使干燥風的溫度為70t:，干燥具有透明硬涂層形成用涂膜的纖維素酯薄膜?！对u價》對于制備的各試樣No.301~304，通過與實施例l相同的方法試驗膜厚均勻性，在表3中示出根據(jù)與實施例l相同評價等級的評價結(jié)果。表3<table>tableseeoriginaldocumentpage51</column></row><table>確認本發(fā)明的有效性。實施例4按照使用與實施例1相同材料的方法，在薄膜兩端進行寬度10mm、高度10pm的滾花加工，制備寬度1400mm、長度2500m、膜厚80Mm的長幅寬幅的纖維素酯薄膜?！锻该饔餐繉拥男纬伞肥褂脠D1中示出的涂布.干燥裝置，在準備的纖維素酯薄膜的一面上，使用擠壓型沖模涂布器，以30m/min的傳送速度，涂布制備的與實施例1相同的透明硬涂層形成用涂布液，使?jié)衲ず駷?0pm，然后，具有透明硬涂層形成涂膜的纖維素酯薄膜在第1千燥機中，使干燥風的溫度為70"C，通過傳送裝置傳送具有透明硬涂層形成用涂膜的纖維素酯薄膜，在傳送方向上改變按照表4中所示方式吹出口噴出風的風速，從而通過非涂布面的氣體改變反壓最大值以外，通過與實施例1的試樣No.104同樣的條件形成涂膜，冷卻至室溫，在回收部分巻繞在巻芯上，獲得試樣No.401~408。《評價》對于制備的各試樣No.401~408，通過與實施例l相同的方法試驗膜厚均勻性，在表4中示出根據(jù)與實施例l相同評價等級的評價結(jié)果。表4<table>tableseeoriginaldocumentpage52</column></row><table>確認本發(fā)明的有效性。實施例5《纖維素酯薄膜的制備》按照使用與實施例1相同材料的方法，在薄膜兩端進行寬度10mm、高度10nm的滾花加工，制備寬度1400mm、長度2500m、膜厚80jum的長幅寬幅的纖維素酯薄膜?！锻该饔餐繉拥男纬伞肥褂脠D1中示出的涂布干燥裝置，在準備的纖維素酯薄膜的一面上，使用擠壓型沖模涂布器，涂布制備的與實施例l相同的透明硬涂層形成用涂布液，使傳送速度為30m/min，濕膜厚為10jnm,然后，具有透明硬涂層形成涂膜的纖維素酯薄膜在第l干燥機中，使干燥風的溫度為70X:,通過傳送裝置傳送具有透明硬涂層形成用涂膜的纖維素酯薄膜，在傳送方向上改變表5中所示的組合相鄰凸部(漂浮支持單元)和凹部的支持體傳送方向的長度(mm)以外，通過與實施例1的試樣No.104同樣的條件形成涂膜，冷卻至室溫，在回收部分巻繞在巻芯上，獲得試樣No.501~504?！对u價》對于制備的各試樣No.501~504,通過與實施例l相同的方法試驗膜厚均勻性，在表5中示出根據(jù)與實施例l相同評價等級的評價結(jié)果。表5<table>tableseeoriginaldocumentpage53</column></row><table>確認本發(fā)明的有效性。實施例6《纖維素酯薄膜的制備》按照使用與實施例1相同材料的方法，在薄膜兩端進行寬度10mm、高度10ijm的滾花加工，制備寬度1400mm、長度2500m、膜厚80jam的長寬纖維素酯薄膜?！锻该饔餐繉拥男纬伞肥褂脠D1中示出的涂布干燥裝置，在準備的纖維素酯薄膜的一面上，使用擠壓型沖模涂布器，涂布制備的與實施例1相同的透明硬涂層形成用涂布液，使傳送速度為30m/min，濕膜厚為10jam,然后，具有透明硬涂層形成涂膜的纖維素酯薄膜在第l干燥機中，使干燥風的溫度為70C通過傳送裝置漂浮支持具有透明硬涂層形成用涂膜的纖維素酯薄膜，一邊傳送一邊干燥，此時，按照表6所示方式，相對于由多個漂浮支持單元的多個吹出口吹附的氣體進行漂浮支持的涂膜形成帶狀涂布體非涂布面的面積，改變傳送裝置漂浮單元上面的總面積以外，通過與實施例1的試樣No.104同樣的條件形成涂膜，冷卻至室溫，在回收部分巻繞在巻芯上，獲得試樣No.601~605。《評價》對于制備的各試樣No.601~605，通過與實施例l相同的方法試驗膜厚均勻性，在表6中示出根據(jù)與實施例l相同評價等級的評價結(jié)果。表6<table>tableseeoriginaldocumentpage54</column></row><table>確認本發(fā)明的有效性。實施例7《纖維素酯薄膜的制備》按照使用與實施例1相同材料的方法，在薄膜兩端進行寬度lOmm、高度10um的滾花加工，制備寬度1400mm、長度2500m、膜厚80nim的長幅寬幅的纖維素酯薄膜?！锻该饔餐繉拥男纬伞肥褂脠D1中示出的涂布干燥裝置，在準備的纖維素酯薄膜的一面上，使用擠壓型沖模涂布器，涂布制備的與實施例相同的透明硬涂層形成用涂布液，使傳送速度為30m/min，濕膜厚為10Mm，然后，具有透明硬涂層形成涂膜的纖維素酯薄膜在第l干燥機中，使干燥風的溫度為70"下，通過傳送裝置漂浮支持具有透明硬涂層形成用涂膜的纖維素酯薄膜，一邊傳送一邊干燥，此時，按照表7所示方式，相對于漂浮支持單元的上面與非涂布面的距離，改變傳送裝置漂浮支持單元的漂浮氣體總管安裝面與非涂布面的距離以外，通過與實施例1的試樣No.104同樣的條件形成涂膜，冷卻至室溫，在回收部分巻繞在巻芯上，獲得試樣No.701~705?！对u價》對于制備的各試樣No.701~705,通過與實施例1相同的方法試驗膜厚均勻性，在表7中示出根據(jù)與實施例l相同評價等級的評價結(jié)果。表7<table>tableseeoriginaldocumentpage55</column></row><table>確認本發(fā)明的有效性。實施例8《纖維素酯薄膜的制備》按照使用與實施例1相同材料的方法，在薄膜兩端進行寬度10mm、高度10um的滾花加工，制備寬度1400mm、長度2500m、膜厚80um的長幅寬幅的纖維素酯薄膜?！锻该饔餐繉拥男纬伞肥褂脠D1中示出的涂布，干燥裝置，在準備的纖維素酯薄膜的一面上，使用擠壓型沖模涂布器，涂布制備的與實施例l相同的透明硬涂層形成用涂布液，使傳送速度為30m/min，濕膜厚為10Mm，然后，具有透明硬涂層形成涂膜的纖維素酯薄膜在第l干燥機中，使干燥風的溫度為701C,通過傳送裝置漂浮支持具有透明硬涂層形成用涂膜的纖維素酯薄膜，一邊傳送一邊干燥，此時，按照表8所示方式，相對于纖維素酯薄膜的寬度，改變傳送裝置漂浮支持單元上面的具有透明硬涂層形成用涂膜的纖維素酯薄膜寬度方向的寬度以外，通過與實施例1的試樣No.104同樣的條件形成涂膜，冷卻至室溫，在回收部分巻繞在巻芯上，獲得試樣No.801~807。寬度的改變通過切除纖維素酯薄膜的端部減小寬度，和用膠帶塞住吹出口的端部的組合進行?！对u價》對于制備的各試樣No.801~807，通過與實施例1相同的方法試驗膜厚均勻性，在表8中示出根據(jù)與實施例l相同評價等級的評價結(jié)果。表8<table>tableseeoriginaldocumentpage56</column></row><table>實施例9《纖維素酯薄膜的制備》按照使用與實施例1相同材料的方法，在薄膜兩端進行寬度10mm、高度10nm的滾花加工，制備寬度1400mm、長度2500m、膜厚80nm的長幅寬幅的纖維素酯薄膜。《透明硬涂層的形成》使用圖1中示出的涂布.干燥裝置，在準備的纖維素酯薄膜的一面上，使用擠壓型沖模涂布器，涂布制備的與實施例1相同的透明硬涂層形成用涂布液，使傳送速度為30m/min，濕膜厚為10jjm，然后，具有透明硬涂層形成涂膜的纖維素酯薄膜在第l干燥機中，使千燥風的溫度為70C，通過傳送裝置漂浮支持具有透明硬涂層形成用涂膜的纖維素酯薄膜，一邊傳送一邊干燥，此時，改變傳送裝置漂浮氣體總管的漂浮支持單元安裝面的曲率半徑，按照表9所示方式，改變曲率半徑，使漂浮支持單元安裝為拱形狀以外，通過與實施例1的試樣No.104同樣的條件形成涂膜，冷卻至室溫，在回收部分巻繞在巻芯上，獲得試樣No.901~908。另外，改變曲率半徑而安裝成拱形狀的漂浮支持單元的曲率半徑為漂浮氣體總管的漂浮氣體單元安裝面的曲率半徑?！对u價》對于制備的各試樣No.901~908,通過與實施例1相同的方法試驗膜厚均勻性，在表9中示出根據(jù)與實施例l相同評價等級的評價結(jié)果。表9<table>tableseeoriginaldocumentpage58</column></row><table>確認本發(fā)明的有效性。實施例10(被涂布體的制備)制備厚度75jum、寬度600隱、長度1000m的聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)薄膜。該PET薄膜的玻璃化轉(zhuǎn)變點為140°C。(涂布液的制備)在純水中溶解聚乙烯醇，使得作為固體成分濃度為1質(zhì)量％，從而制備涂布液。通過B型粘度計測定251C時的粘度，該涂布液為5.2mPas。(涂布)使用圖1中示出的涂布'干燥裝置，在準備的PET薄膜的一面上，使用擠壓型沖模涂布器，涂布制備的涂布液，使得傳送速度為50m/min，濕膜厚為10jam,然后，具有涂敷的PET薄膜在第1干燥機中，使干燥風的溫度為60X:，通過傳送裝置將具有涂膜的PET薄膜在傳送方向上，按照表10所示的方式，改變由于非涂布面的氣體產(chǎn)生的反壓，并使在涂膜中的固,成分濃度為80體積％以下之間，一邊漂浮支持一邊傳送后，在第2干燥裝置中，以干燥溫度100。C除去涂膜中的殘留溶劑，干燥，然后冷卻至室溫，在回收部分中巻繞在巻芯上，制備試才羊No.1001-1009。《在第1干燥機中的傳送》漂浮支持單元使用寬度650咖(支持體寬度方向)、長度220mm(支持體傳送方向)的裝置。漂浮支持單元的吹出口的寬度為630咖(支持體寬度方向)、間隙為3咖(支持體傳送方向)、在支持體傳送方向，以IOO咖的間距使用3個。漂浮支持單元是在拱徑10m(漂浮支持單元上面的傳送方向中央位置的座標配置)的漂浮氣體總管的安裝面上，以300mm的間距設置20個，使得漂浮支持單元的上面和安裝面的高度之差為150mm.通過具有該漂浮支持單元的傳送裝置對上述PET薄膜進行漂浮傳送，從而使漂浮單元支持的纖維素酯薄膜的面積和未支持的面積比為7.3:2.7，形成吹出口寬度相對于纖維素酯薄膜的寬度為+30mm，反壓變化的間隔在傳送方向上為150mm的關(guān)系。根據(jù)傳送裝置的其它條件按照如下方式設定從漂浮支持單元的吹出口向非涂布面吹附氣體的溫度為40t:(氣體溫度表示通過設置在漂浮支持單元內(nèi)的測溫管測定的值)、從漂浮支持單元的吹出口向非涂布面吹附氣體的風速為15m/s(氣體的風速表示通過熱線風速計測定的值)、傳送方向的張力為180N/m(張力表示在傳送線中設置的張力收集輥測定的值)。由此，PBT薄膜的傳碟狀態(tài)如下漂浮支持單元的上面與PET薄膜非涂布面的距離(漂浮量)為15mm,漂浮支持單元的安裝面與PET薄膜非涂布面的距離為165mm、反壓的最大值為100Pa。另外，反壓的測定表示在漂浮支持單元與支持體之間插入外形lmm、內(nèi)徑0.5mm的SUS制管，通過高性能微差壓計測定靜壓的值。由該條件，在傳送方向上，按照表l中示出的方式，通過非涂布面的氣體改變反壓，并通過傳送裝置漂浮傳送具有透明硬涂層形成用涂膜的PET薄膜。反壓的變化通過改變吹附的風速進行，由此，還能改變PET薄膜與漂浮支持單元上面的距離。《評價》對于制備的各試樣No.1001~1009，按照下述方式試驗膜厚均勻性，在表IO中示出根據(jù)與實施例l相同評價等級的評價結(jié)果。表10<table>tableseeoriginaldocumentpage60</column></row><table>確認本發(fā)明的有效性。權(quán)利要求1.制造方法，其中，在連續(xù)傳送的帶狀支持體上涂布在溶劑中溶解或分散了固體成分的涂布液，形成涂膜后，蒸發(fā)上述涂膜中的溶劑，獲得功能性膜的干燥時，由沿上述支持體的傳送方向設置的具有多個吹出口的傳送裝置向上述支持體的非涂布面?zhèn)却蹈綒怏w，漂浮支持上述支持體并傳送，從而制造功能性薄膜，其特征在于，上述傳送裝置在傳送方向上交互具有凹部和具有上述吹出口的凸部，多個相鄰的上述凸部和上述凹部為了使上述凸部和上述支持體的非涂布面之間的反壓與和上述凸部相鄰的上述凹部和上述支持體的非涂布面之間的反壓之差為10Pa～1000Pa，由上述吹出口噴出氣體。2.如權(quán)利要求1所述的制造方法，其特征在于，上述傳送裝置的上述支持體的非涂布面中上述反壓的最大值為1OPa~10OOPa。3.如權(quán)利要求1或2所述的制造方法，其特征在于，上述反壓之差全部滿足10Pa~1000Pa的相鄰的上述凸部和上述凹部，在一個相鄰50mm~500mm。4.如權(quán)利要求1~3任一項所述的制造方法，其特征在于，由上述吹出口噴出的氣體對支持體的支持在涂膜中固體成分濃度為80體積％以下之間是連續(xù)的。5.如權(quán)利要求1~4任一項所述的制造方法，其特征在于，上述反壓之差全部滿足10Pa~1000Pa的相鄰的上述凸部和上述凹部在上述凸部面向上述支持體的上述非涂布面的面的總面積與上述凹部面向上述支持體的上述非涂布面的面的總面積之比為6:4~9:1。6.如權(quán)利要求1~5任一項所述的制造方法，其特征在于，就上述反壓之差全部滿足10Pa~1000Pa的相鄰的上述凸部和上述凹部來講，上述凹部上面與上述支持體的距離為上述凸部上面與上述支持體的距離的5倍以上。7.如權(quán)利要求1~6任一項所述的制造方法，其特征在于，上述吹出口在支持體寬度方向的長度為支持體寬度的±60咖的范圍內(nèi)。8.如權(quán)利要求1~7任一項所述的制造方法，其特征在于，具有多個上述凸部和上述凹部的上述傳送裝置的上述多個凸部以曲率半徑為5m~100m的拱形狀配置，具有產(chǎn)生反壓的上述吹出口的上述凸部的上面與支持體基本平行。9.如權(quán)利要求1~8任一項所述的制造方法，其特征在于，上述傳送裝置中上述支持體的傳送張力為100N/m~600N/m。10.如權(quán)利要求1~9任一項所述的制造方法，其特征在于，上述傳送裝置內(nèi)傳送的上述支持體在與傳送方向垂直的截面形狀為兩頂端向下的拱形狀的狀態(tài)下傳送。11.如權(quán)利要求1~10任一項所述的制造方法，其特征在于，上述功能性膜為硬涂層。12.如權(quán)利要求1~11任一項所述的制造方法，其特征在于，上述支持體包括三乙?；w維素。13.傳送裝置，在連續(xù)傳送的帶狀支持體之上涂布在溶劑中溶解或分散了固體成分的涂布液，形成涂膜后，蒸發(fā)上述涂膜中的溶劑，獲得功能性膜的干燥時，由沿上述支持體的傳送方向設置的具有多個吹出口的傳送裝置的上述支持體的非涂布面?zhèn)却蹈綒怏w，從而漂浮支持上述支持體并傳送，其特征在于，在傳送方向上交互具有凹部和具有上述吹出口的凸部，在多個相鄰的上述凸部和上述凹部中，為了使存在的上述支持體的非涂布面中的反壓之差為10Pa1000Pa，由上述吹出口噴出氣體。14.如權(quán)利要求13所述的傳送裝置，其特征在于，上述支持體的非涂布面中上述反壓的最大值為10Pa1000Pa。15.如權(quán)利要求13或14所述的傳送裝置，其特征在于，上述反壓之差全部滿足10Pa~1000Pa的相鄰的上述凸部和上述凹部的一個的上述凸部在上述支持體傳送方向的長度為50mm~500mm。16.如權(quán)利要求13~15任一項所述的傳送裝置，其特征在于，上述反壓之差全部滿足10Pa~1000Pa的相鄰的上述凸部和上述凹部在上述凸部面向上述支持體的上述非涂布面的面的總面積與上述凹部面向上述支持體的上述非涂布面的面的總面積之比為6:4~9:1。17.如權(quán)利要求13~16任一項所述的傳送裝置，其特征在于，就上述反壓之差全部滿足10Pa~1000Pa的相鄰的上述凸部和上述凹部來講，上述凹部上面與上述支持體的距離為上述凸部上面與上述支持體的距離的5倍以上，18.如權(quán)利要求13~17任一項所述的傳送裝置，其特征在于，上述吹出口在支持體寬度方向的長度為支持體寬度的土6Omm的范圍內(nèi).19.如權(quán)利要求13~18任一項所述的傳送裝置，其特征在于，上述傳送裝置的形狀是曲率半徑為5m~100m的拱形狀的形狀，具有產(chǎn)生反壓的上述吹出口的上述凸部的上面與支持體基本平行。20.如權(quán)利要求13~19任一項所述的傳送裝置，其特征在于，上述傳送裝置中上述支持體的傳送張力為100N/m~600N/m。21.具有硬涂層的功能性薄膜，其特征在于，使用權(quán)利要求1~12任一項所述的制造方法制造。22.具有防反射層的功能性薄膜，其特征在于，使用權(quán)利要求1~12任一項所述的制造方法制造。全文摘要本發(fā)明提供使用用于制備更高質(zhì)量、更高產(chǎn)率的功能性膜的干燥裝置的功能性薄膜的制造方法、傳送裝置和使用這些制造方法、傳送裝置制造的具有硬涂層的功能性薄膜和具有防反射層的功能性薄膜。該制造方法的特征在于，在連續(xù)傳送的帶狀支持體上涂布涂布液，形成涂膜后，在干燥時，由沿上述支持體的傳送方向設置的具有多個吹出口的傳送裝置向在上述支持體的非涂布面?zhèn)却蹈綒怏w，漂浮支持支持體并傳送，從而制造功能性薄膜，上述傳送裝置在傳送方向上交互具有凹部和具有吹出口的凸部，多個相鄰的凸部和凹部為了使上述凸部和上述支持體的非涂布面之間的反壓與和上述凸部相鄰的上述凹部和上述支持體的非涂布面之間的反壓之差為10Pa～1000Pa，由上述吹出口噴出氣體。文檔編號B05C9/12GK101321592SQ200680045438公開日2008年12月10日申請日期2006年11月25日優(yōu)先權(quán)日2005年12月6日發(fā)明者中島孝治,南野大樹,田中武志申請人:柯尼卡美能達精密光學株式會社