專利名稱：：涂布裝置及涂布方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種涂布裝置及涂布方法。技術(shù)背景以往，作為涂布裝置，公知有一種具有對(duì)狹縫和排出口的大小進(jìn)行調(diào)整用的多個(gè)差動(dòng)螺釘?shù)难b置(例如參照專利文獻(xiàn)1和專利文獻(xiàn)2)。在這種涂布裝置中，在將縫模放置在涂布涂布液的玻璃基板上方的狀態(tài)下，若沿長(zhǎng)邊方向的狹縫寬度因自重所引起的撓曲而變化，則旋轉(zhuǎn)所述差動(dòng)螺釘，使整個(gè)狹縫寬度變得均勻。專利文獻(xiàn)1:日本專利特開平9-131561號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2:日本專利特開2004-283820號(hào)公報(bào)然而，在上述以往的涂布裝置中完全沒有考慮以下方面。即，在涂布涂布液時(shí)，隨著內(nèi)壓力的上升，構(gòu)成縫模的各唇部左右張開，狹縫寬度會(huì)發(fā)生變化，但卻并未采取相應(yīng)的對(duì)策。另外，各唇部左右并不對(duì)稱，為了將唇部之間彼此相連，需要用于安裝完全不同的差動(dòng)螺釘?shù)臋C(jī)構(gòu)，從而構(gòu)造復(fù)雜化，涂布裝置變得昂貴。
發(fā)明內(nèi)容因此，本發(fā)明所要解決的技術(shù)課題是提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單且廉價(jià)、但可獲得膜厚均勻的涂膜的涂布裝置及涂布方法。作為用于解決上述技術(shù)問(wèn)題的技術(shù)方案，本發(fā)明的涂布裝置包括涂布噴嘴，該涂布噴嘴由一對(duì)塊體構(gòu)成，在所述兩個(gè)塊體之間形成有用于儲(chǔ)藏涂布液的儲(chǔ)藏部、以及從該儲(chǔ)藏部向所述兩個(gè)塊體的前端延伸的用于排出涂布液的狹縫，所述涂布噴嘴具有連結(jié)所述兩個(gè)塊體的連結(jié)部件、以及在比所述連結(jié)部件更靠近儲(chǔ)藏部的位置上沿著該儲(chǔ)藏部并排設(shè)置的多個(gè)緊固部件，所述各緊固部件可根據(jù)從狹縫排出的涂布液所形成的涂膜的膜厚對(duì)所述兩個(gè)塊體的緊固狀態(tài)進(jìn)行調(diào)整。采用該結(jié)構(gòu)，在使涂布液通過(guò)狹縫排出時(shí)，即使內(nèi)壓力上升，狹縫的寬度尺寸沿長(zhǎng)邊方向變動(dòng)，所形成的涂膜的膜厚產(chǎn)生偏差，也可通過(guò)利用各緊固部件對(duì)兩個(gè)塊體的緊固狀態(tài)進(jìn)行調(diào)整來(lái)應(yīng)對(duì)。g卩，通過(guò)對(duì)沿狹縫并排的多個(gè)部位中的任一處的各緊固部件的緊固狀態(tài)進(jìn)行調(diào)整，可對(duì)長(zhǎng)邊方向上各區(qū)域內(nèi)的涂布液的排出量進(jìn)行調(diào)整，并從下一次的涂膜形成起使膜厚變得均勻。.最好在所述塊體中的任意一方上沿所述儲(chǔ)藏部形成有多個(gè)貫通孔，在所述塊體中的余下的另一方上，在與所述貫通孔對(duì)應(yīng)的位置上形成有陰螺紋部，所述緊固部件由插通所述貫通孔并與所述陰螺紋部旋合的螺栓構(gòu)成。采用該結(jié)構(gòu)，盡管結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單且廉價(jià)，但也可容易地對(duì)各區(qū)域的緊固狀態(tài)進(jìn)行調(diào)整。另外，作為用于解決上述技術(shù)問(wèn)題的技術(shù)方案，本發(fā)明的涂布方法利用具有所述調(diào)整部件的涂布裝置，并包括涂布工序，在該涂布工序中，在使所述涂布噴嘴在與狹縫正交的方向上相對(duì)于被涂布面相對(duì)平行地移動(dòng)的同時(shí)，使涂布液從所述儲(chǔ)藏部通過(guò)所述狹縫排出；測(cè)量工序，在該測(cè)量工序中，對(duì)獲得的涂膜的膜厚進(jìn)行測(cè)量；以及調(diào)整工序，在該調(diào)整工序中，根據(jù)膜厚的測(cè)量結(jié)果利用所述各緊固部件對(duì)所述兩個(gè)塊體的緊固狀態(tài)進(jìn)行調(diào)整。由此，由于根據(jù)膜厚的測(cè)量結(jié)果，利用各緊固部件對(duì)緊固狀態(tài)進(jìn)行調(diào)整，因此很容易把握為獲得均勻的膜厚而需要調(diào)整哪個(gè)緊固部件，可高效地進(jìn)行膜厚的均勻化。最好所述涂布工序在利用所述所有的緊固部件緊固了所述兩個(gè)塊體的狀態(tài)下進(jìn)行，所述調(diào)整工序?qū)υ谒鰷y(cè)量工序中所獲得的膜厚比預(yù)先設(shè)定的目標(biāo)值小的區(qū)域內(nèi)的緊固部件的緊固狀態(tài)予以解除。由此，可在涂布前使狹縫的間隔成為由加工精度確定的規(guī)定值。另外，由于根據(jù)涂布后獲得的膜厚的測(cè)量結(jié)果對(duì)小于目標(biāo)值的區(qū)域內(nèi)的緊固部件的緊固狀態(tài)予以解除，因此在下一次涂布時(shí)，能可靠地增大該部分的膜厚。另外，作為用于解決上述技術(shù)問(wèn)題的技術(shù)方案，本發(fā)明涂布方法利用所述調(diào)整部件為螺栓的涂布裝置，并包括涂布工序，在該涂布工序中，在使所述涂布噴嘴在與狹縫正交的方向上相對(duì)于被涂布面相對(duì)平行地移動(dòng)的同時(shí)，使涂布液從所述儲(chǔ)藏部通過(guò)所述狹縫吐出；測(cè)量工序，在該測(cè)量工序中，對(duì)獲得的涂膜的膜厚進(jìn)行測(cè)量；以及拆下工序，在該拆下工序中，將在所述測(cè)量工序中所獲得的膜厚比預(yù)先設(shè)定的目標(biāo)值小的區(qū)域內(nèi)的螺栓拆下。由此，只需用將連結(jié)兩個(gè)塊體的多個(gè)螺栓中的某些個(gè)拆下而解除連結(jié)這樣的極其簡(jiǎn)單的方法就可防止涂膜膜厚的偏差，可大幅度提高作業(yè)性。最好在所述測(cè)量工序中，使測(cè)量膜厚的位置與緊固所述兩個(gè)塊體的螺栓的位置對(duì)應(yīng)，在所述拆下工序中，根據(jù)在所述測(cè)量工序中的膜厚的測(cè)量結(jié)果，將檢測(cè)到比目標(biāo)值小的值的位置上的螺栓拆下。此時(shí)，無(wú)需使測(cè)量膜厚的位置與緊固兩個(gè)塊體的螺栓的位置之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系一一對(duì)應(yīng)，例如，也可以是多對(duì)一或一對(duì)多。采用本發(fā)明，由于利用沿儲(chǔ)藏部設(shè)置的多個(gè)部位上的緊固部件對(duì)兩個(gè)塊體的緊固狀態(tài)進(jìn)行調(diào)整，因此結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，而且可以廉價(jià)地制作。另外，可以使兩個(gè)塊體構(gòu)成為夾著狹縫呈面對(duì)稱，因此在這點(diǎn)上也可以簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu)。圖1是表示本實(shí)施形態(tài)的涂布裝置的整體的概略說(shuō)明圖。圖2(a)是表示圖1的涂布噴嘴的剖視圖，圖2(b)是側(cè)視圖。圖3是表示在被涂布部件的表面上形成的涂膜的測(cè)量方法的說(shuō)明圖。圖4是表示在將所有第二螺栓都緊固了的狀態(tài)下，即拆下了0個(gè)螺拴時(shí)進(jìn)行涂布時(shí)獲得的膜厚的曲線圖。圖5表示的是在兩側(cè)各拆下了5個(gè)部位上的第二螺栓的狀態(tài)下，即兩端拆下了io個(gè)螺拴時(shí)進(jìn)行涂布時(shí)獲得的膜厚的曲線圖。圖6(a)是在將所有螺栓都緊固了的狀態(tài)下的涂布噴嘴的側(cè)視圖，圖6(b)是在涂布液排出前的狀態(tài)下的仰視圖，圖6(C)是涂布過(guò)程中的仰視圖，圖6(d)是被涂布部件及涂膜的剖視圖，圖6(e)是側(cè)視圖。圖7(a)是在兩側(cè)各拆下了五個(gè)部位上的第二螺栓拆下了的狀態(tài)下的涂布噴嘴的側(cè)視圖，圖7(b)是在涂布液排出前的狀態(tài)下的仰視圖，圖7(c)是涂布過(guò)程中的仰視圖，圖7(d)是被涂布部件及涂膜的剖視圖，圖7(e)是側(cè)視圖。(符號(hào)說(shuō)明)1涂布液槽2涂布液泵2a缸體2b活塞2c驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)3涂布噴嘴4支撐臺(tái)5控制裝置6A第一配管6B第二配管6C第三配管6D第四配管7三通閥7a、7b、7c端口8被涂布部件9a、9b塊體10第一螺栓11第二螺栓12涂膜13儲(chǔ)藏部14狹縫14a排出口15側(cè)板16a、16b、16c貫通孔17a、17b、17c陰螺紋18壓力泄放閥具體實(shí)施方式下面參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)進(jìn)行說(shuō)明。圖1是本實(shí)施形態(tài)的涂布裝置的概略說(shuō)明圖。該涂布裝置大致包括涂布液槽l、涂布液泵2、涂布噴嘴3、支撐臺(tái)4、以及控制裝置5。在涂布液槽1中儲(chǔ)藏有涂布液，涂布液槽1通過(guò)第一配管6A與三通閥7的端口7a相連。作為涂布液，例如可使用在玻璃基板上涂布的PDP用玻璃漿液。但是，涂布液并不局限于此，可根據(jù)被涂布部件8的種類從以往公知的各種涂布液中選擇合適的涂布液。涂布液泵2將涂布液槽1中的涂布液向涂布噴嘴3壓送。涂布液泵2包括缸體2a、在缸體2a的內(nèi)部滑動(dòng)的同時(shí)往復(fù)移動(dòng)的活塞2b、以及用于驅(qū)動(dòng)該活塞2b的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)2c。作為驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)2c，可使用直線電動(dòng)機(jī)和伺服電動(dòng)機(jī)。另外，涂布液泵2通過(guò)第二配管6B與三通閥7的端口7b相連。圖2是涂布噴嘴3的詳細(xì)圖。涂布噴嘴3用作為連結(jié)部件的第一螺栓10和作為緊固部件的第二螺栓ll將一對(duì)塊體9a、9b形成為一體，利用未圖示的升降裝置進(jìn)行升降，并利用未圖示的進(jìn)給裝置進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)。另外，涂布噴嘴3朝著載放在支撐臺(tái)4上的被涂布部件8將從涂布液泵2壓送來(lái)的涂布液排出，從而形成涂膜12。兩個(gè)塊體9a、9b由不銹鋼(例如SUS630)形成。另外，在兩個(gè)塊體9a、9b之間形成有儲(chǔ)藏涂布液的儲(chǔ)藏部13、以及從該儲(chǔ)藏部13向前端的排出口14a延伸的狹縫14。在此，將供給到儲(chǔ)藏部13中的涂布液所產(chǎn)生的內(nèi)壓力設(shè)為0.20.3MPa。另外，狹縫14的寬度尺寸為100500ym之間的尺寸，設(shè)定為一定寬度。各個(gè)塊體9a、％為夾著狹縫14呈面對(duì)稱的構(gòu)造。在兩個(gè)塊體9a、9b的兩側(cè)通過(guò)螺釘緊固等安裝有用于閉鎖儲(chǔ)藏部13和狹縫14的側(cè)板15。在一個(gè)塊體9a上，在其長(zhǎng)邊方向上分別形成有三行貫通孔16a、16b、16c。在上側(cè)的兩行貫通孔16a、16b中插通有第一螺栓10。最下行的貫通孔16c沿著儲(chǔ)藏部13形成，并插通有第二螺栓ll。另外，在另一個(gè)塊體9b上，在與所述各貫通孔16a、16b、16c對(duì)應(yīng)的位置上分別形成有陰螺紋部17a、17b、17c。由此，可使插通所述各貫通孔16a、16b、16c的螺栓10、11與陰螺紋部17a、17b、17c分別旋合，并將塊體9a、9b形成為一體。第一螺栓10用于連結(jié)兩個(gè)塊體9a、9b，利用扭力扳手等以規(guī)定緊固力緊固。另一方面，第二螺栓ll不僅連結(jié)兩個(gè)塊體9a、9b，還如后面所述，可通過(guò)適當(dāng)拆下而在長(zhǎng)邊方向的各位置上對(duì)排出涂布液時(shí)因內(nèi)壓力而張開的狹縫14的寬度尺寸進(jìn)行變更。另外，第一螺栓用的貫通孔16a、16b和陰螺紋部17a、17b也可以上下兩排地使位置沿水平方向錯(cuò)開半個(gè)間距形成。涂布噴嘴3通過(guò)第三配管6C與三通閥7的端口7c相連。從第三配管6C的途中分支出壓力泄放用的第四配管6D的一端。第四配管6D的另一端向大氣開放。在第四配管6D上設(shè)置有由常閉的開關(guān)型電磁閥等構(gòu)成的壓力泄放閥18。支撐臺(tái)4由花崗巖制的平臺(tái)等構(gòu)成，在支撐臺(tái)4上載放有PDP(等離子顯示板)用玻璃基板等被涂布部件8。控制裝置5對(duì)包括涂布液泵2、涂布噴嘴3、三通閥7和壓力泄放閥18在內(nèi)的涂布裝置整體的動(dòng)作進(jìn)行控制。在從涂布液槽1向涂布液泵2吸引涂布液時(shí)，使端口7a、7b連通，并使端口7c與其它的端口7a、7b遮斷，利用驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)2c使活塞2b在缸體2a內(nèi)朝著容積增大的方向移動(dòng)。涂布液槽1內(nèi)的涂布液經(jīng)由第一配管6A、三通閥7和第二配管6B被吸引到涂布液泵2內(nèi)。在將涂布液從涂布液泵2向涂布噴嘴3壓送時(shí)，使端口7b、7c連通，并使端口7a與其它的端口7b、7c遮斷，利用驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)2c使活塞2b在缸體2a內(nèi)朝著容積減小的方向移動(dòng)。涂布液從涂布液泵2經(jīng)由第二配管6B、三通閥7、第三配管6C向涂布噴嘴3壓送。下面對(duì)上述結(jié)構(gòu)的涂布裝置的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。首先，在利用第一螺栓10形成一體的兩個(gè)塊體9a、9b上將所有的第二螺栓11插通、旋合，獲得規(guī)定的緊固力。在此，如圖2所示，塊體9a、9b使用的是縱向尺寸(Ll)X橫向尺寸(L2)為150ramX2000ram的部件。另夕卜，在各個(gè)塊體9a、9b上沿橫向分別形成有三行貫通孔16a、16b、16c和陰螺紋部17a、17b、17c。它們各列的間隔(L3)為80mm的間距，形成有25個(gè)，離開兩側(cè)的距離(L4)分別為40mm。另外，各行的間隔(L5)以30mm的間距形成。各螺栓IO、11使用的是M8的六角孔螺栓。如上所述，在圖2屮設(shè)定了各部的尺寸(L1L5)，但它們只要在下面的范圍內(nèi)即可。即，只要是Ll二100200mm，L2=15002500,，L3二50100mm，L4=2040mm，L5=2050mm即可。另外，使所得的涂布噴嘴3位于載放在支撐臺(tái)4上的被涂布部件8(例如玻璃基板)的一端側(cè)上方，對(duì)儲(chǔ)藏部13供給涂布液，并使涂布液通過(guò)狹縫14從排出口Ma排出，同時(shí)使涂布噴嘴3相對(duì)于被涂布部件8朝著另一端側(cè)水平移動(dòng)。由此，可在被涂布部件8的表面上形成涂膜12。然后，如下地對(duì)形成的涂膜12的膜厚進(jìn)行測(cè)量(測(cè)量工序)。即，如圖3所示，使用未圖示的器具來(lái)刮掉涂膜12的一部分，使被涂布部件8的表面露出。接著，如圖3(c)所示，通過(guò)使用激光的以往周知的方法對(duì)從基準(zhǔn)位置到被涂布部件8的上表面為止的距離(下側(cè)值)、以及從基準(zhǔn)位置到涂膜12的上表面為止的距離(上側(cè)值)進(jìn)行測(cè)量。在刮掉部分的兩側(cè)進(jìn)行該測(cè)量，并根據(jù)下式算出膜厚。數(shù)1膜厚=(上側(cè)值l+上側(cè)值2)/2—(下側(cè)值l+下側(cè)值2)/2其結(jié)果是，獲得的測(cè)量結(jié)果如下表所示，標(biāo)繪了這些值的曲線圖如圖4所示。表1<table>tableseeoriginaldocumentpage10</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage11</column></row><table>圖6示意地表示在將所有的螺栓10、11都緊同了的狀態(tài)下的狹縫14的排出口14a的變化情況。排出口14a.的寬度尺寸為100500ym之間的尺寸，調(diào)整為一定寬度，圖中為了說(shuō)明而進(jìn)行了夸張地表示。如圖6(b)所示，排出前的排出口14a的寬度尺寸被調(diào)整為一定間隔。另外，在涂布液的排出過(guò)程中，如上所述，作用有0.20.3MPa的內(nèi)壓力。因此，塊體9a、9b欲以相互背離的形態(tài)變形。但是，塊體9a、9b的兩端部由側(cè)板15問(wèn)定，該變形被阻止。另外，涂布噴嘴3由剛件較高的不銹鋼制成，但由于仝長(zhǎng)為2000腿，因此無(wú)法排除在中央部的變形。因此，如圖6(c)所示，排出口14a成為越靠近中央部越寬的形狀，從而涂布液在中央部被大量排出。閑此，可推測(cè)如圖6(d)所不，涂布在被涂布部件8的表面卜.的涂膜12在中央部隆起，在中央部與端部之間產(chǎn)生高低差，平面度變差。在此，對(duì)需拆下的第二螺栓11的位置進(jìn)行確定(調(diào)整工序)。即，根據(jù)獲得的測(cè)量結(jié)果，可以判斷膜厚相對(duì)于目標(biāo)值(此時(shí)為300um)為負(fù)的部位在兩側(cè)分別有五個(gè)，因此將與這五個(gè)部位對(duì)應(yīng)的第二螺栓ll拆下。由此，在下一次的涂布作業(yè)中，在增大的內(nèi)壓力的影響下，可期待狹縫14的間隔在拆下了第二螺栓11的部分比上一次寬。接著，更換被涂布部件8，與上次一樣地再次形成涂膜12，并對(duì)膜厚進(jìn)行測(cè)量(測(cè)量工序)。測(cè)量結(jié)果如下表所示，標(biāo)繪了它們的值的曲線圖如圖5所示。表2<table>tableseeoriginaldocumentpage12</column></row><table>膜厚分布±3.9%(未記載的單位為！xm)圖7示意地表示在如上所述地拆下了第二螺栓11的狀態(tài)下的狹縫14的排出口14a的變化情況。如圖7(b)所示，在排出涂布液之前的狀態(tài)下，狹縫14的間隔是一定的，但在排出中，塊體9a、9b因內(nèi)壓力而變形。在此，由于兩端分別拆下了五個(gè)螺栓，因此排出口14a在該部分上容易張開，如圖7(c)所示，反而中央部的張開被抑制?？梢酝茰y(cè)，這是由涂布液的排出量在兩端部增大而導(dǎo)致在中央部的排出量減少引起的。其結(jié)果是，如圖7(d)所示，與圖6所示的場(chǎng)合相比，涂布在被涂布部件8的表面上的涂膜12的平坦度提高。艮P，比較上述兩次測(cè)量工序下的測(cè)量結(jié)果可得，前者的測(cè)量值的偏差(二最大值一最小值)為29.55uin(±4.9%)，而后者為23.2um(±3.9%)。即，在經(jīng)過(guò)調(diào)整工序后進(jìn)行涂布作業(yè)，可抑制膜厚的偏差。另外，在上述實(shí)施形態(tài)中，使螺栓與陰螺紋部17旋合，但也可做成用螺栓和螺母從兩側(cè)緊固的結(jié)構(gòu)。由此，在上述實(shí)施形態(tài)中在一個(gè)塊體9b上形成有陰螺紋部17，但也可將其做成與在另一個(gè)塊體9a上形成的貫通孔16—樣，從而可將兩個(gè)塊體9a、9b構(gòu)成為夾著狹縫14完全地面對(duì)稱。艮P，可使用同一條生產(chǎn)線來(lái)加工各個(gè)塊體9a、9b。另外，在上述實(shí)施形態(tài)中，在調(diào)整工序中將螺栓完全拆下，但也可通過(guò)調(diào)整螺栓的旋轉(zhuǎn)圈數(shù)來(lái)變更緊固狀況。由此，由于可進(jìn)行更細(xì)致的調(diào)整，因此較好。權(quán)利要求1.一種涂布裝置，其特征在于，包括涂布噴嘴，所述涂布噴嘴由一對(duì)塊體構(gòu)成，在所述兩個(gè)塊體之間形成有用于儲(chǔ)藏涂布液的儲(chǔ)藏部、以及從該儲(chǔ)藏部向所述兩個(gè)塊體的前端延伸的用于排出涂布液的狹縫，所述涂布噴嘴具有連結(jié)部件，該連結(jié)部件連結(jié)所述兩個(gè)塊體；以及多個(gè)緊固部件，該緊固部件在比所述連結(jié)部件更靠近儲(chǔ)藏部的位置上沿著該儲(chǔ)藏部并排設(shè)置，所述各緊固部件可根據(jù)從狹縫排出的涂布液所形成的涂膜的膜厚對(duì)所述兩個(gè)塊體的緊固狀態(tài)進(jìn)行調(diào)整。2.如權(quán)利要求l所述的涂布裝置，其特征在于，在所述塊體中的任意一方上沿所述儲(chǔ)藏部形成有多個(gè)貫通孔，在所述塊體中的余下的另一方上，在與所述貫通孔對(duì)應(yīng)的位置上形成有陰螺紋部，所述緊固部件由插通所述貫通孔并與所述陰螺紋部旋合的螺栓構(gòu)成。3.—種涂布方法，其特征在于，利用權(quán)利要求l所述的涂布裝置，并包括涂布工序，在該涂布工序中，在使所述涂布噴嘴在與狹縫垂直的方向上相對(duì)于被涂布面相對(duì)平行地移動(dòng)的同時(shí)，使涂布液從所述儲(chǔ)藏部通過(guò)所述狹縫排出；測(cè)量工序，在該測(cè)量工序中，對(duì)獲得的涂膜的膜厚進(jìn)行測(cè)量；以及調(diào)整工序，在該調(diào)整工序中，根據(jù)膜厚的測(cè)量結(jié)果，利用所述各緊固部件對(duì)所述兩個(gè)塊體的緊固狀態(tài)進(jìn)行調(diào)整。4.如權(quán)利要求3的涂布方法，其特征在于，所述涂布工序在利用所述所有的緊固部件緊固了所述兩個(gè)塊體的狀態(tài)下進(jìn)行，所述調(diào)整工序?qū)υ谒鰷y(cè)量工序中所獲得的膜厚比預(yù)先設(shè)定的目標(biāo)值小的區(qū)域內(nèi)的緊固部件的緊固狀態(tài)予以解除。5.—種涂布方法，其特征在于，利用權(quán)利要求2所述的涂布裝置，并包括涂布工序，在該涂布工序中，在使所述涂布噴嘴在與狹縫垂直的方向上相對(duì)于被涂布面相對(duì)平行地移動(dòng)的同時(shí)，使涂布液從所述儲(chǔ)藏部通過(guò)所述狹縫排出；測(cè)量工序，在該測(cè)量工序中，對(duì)獲得的涂膜的膜厚進(jìn)行測(cè)量；以及拆下工序，在該拆下工序中，將在所述測(cè)量工序中所獲得的膜厚比預(yù)先設(shè)定的目標(biāo)值小的區(qū)域內(nèi)的螺栓拆下。6.如權(quán)利要求5所述的涂布方法，其特征在于，在所述測(cè)量工序中，使測(cè)量膜厚的位置與緊固所述兩個(gè)塊體的螺栓的位置對(duì)應(yīng)，在所述拆下工序中，根據(jù)在所述測(cè)量工序中的膜厚的測(cè)量結(jié)果，將檢測(cè)到比目標(biāo)值/」、的值的位置上的螺栓拆下。全文摘要本發(fā)明在于提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單且廉價(jià)、但可獲得膜厚均勻的涂膜的涂布裝置以及使用該裝置的涂布方法。該涂布裝置具有由一對(duì)塊體(9)構(gòu)成的涂布噴嘴(3)。在兩個(gè)塊體(9)之間形成有用于儲(chǔ)藏涂布液的儲(chǔ)藏部(13)；以及從該儲(chǔ)藏部(13)向所述兩個(gè)塊體(9)的前端延伸、用于排出涂布液的狹縫(14)。另外，還設(shè)置有連結(jié)兩個(gè)塊體(9)的連結(jié)部件、以及在比連結(jié)部件更靠近儲(chǔ)藏部(13)的位置上沿著該儲(chǔ)藏部(13)并排設(shè)置的多個(gè)緊固部件。各緊固部件可根據(jù)從狹縫(14)排出的涂布液所形成的涂膜(12)的膜厚對(duì)兩個(gè)塊體(9)的緊固狀態(tài)進(jìn)行調(diào)整。文檔編號(hào)B05C5/02GK101239348SQ20081000543公開日2008年8月13日申請(qǐng)日期2008年1月30日優(yōu)先權(quán)日2007年2月9日發(fā)明者戸內(nèi)八郎,松島克巳申請(qǐng)人:中外爐工業(yè)株式會(huì)社