專利名稱：點膠機的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種點膠機，主要是指用于在硅片表面勻上一層均勻膠面 的裝置。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體芯片加工工藝中，廣泛應(yīng)用氧化、淀積、光刻、刻蝕、離子注入 和金屬化等幾個主要步驟，其中光刻工藝則是刻蝕前必不可少的工藝手段， 而光刻工藝中首先要進行的就是在硅片上勻膠，即在硅片的表面上均勻的涂 覆一層光刻膠，以用于后續(xù)的曝光、顯影、腐蝕等?，F(xiàn)有涂覆光刻膠的方法 一般是先將硅片放置在勻膠臺上，然后由人工手持點膠瓶，對準勻膠臺硅片 中心點膠，勻膠臺快速啟動和高速轉(zhuǎn)動利用離心力將光刻膠快速的勻在硅片 上，并保證硅片上光刻M度的一致性和均勻性.上述方法已使用多年，但
仍存在一些問題1、人工點膠時，其點膠位置不易控制，容易偏離其硅片中 心，而導(dǎo)致勻膠后整個硅片上的光刻J^度不均勻，甚至部分周邊未涂上膠， 從而影響產(chǎn)品質(zhì)量；2、人工點膠時，由于每次擠壓點膠瓶的用力不一致，其 點膠的量不易控制，實踐中操作者往往多點膠，從而造成不必要的材料浪費； 3、人工點膠時，必須先將光刻膠分裝到點膠瓶中，在分裝過程中光刻膠容易 在點膠瓶內(nèi)形成氣泡，該氣泡在硅片上勻膠破^會導(dǎo)致光刻膠的厚度不均 勻，影響產(chǎn)品質(zhì)量，且在原料的多次分裝中耽誤工作時間，影響生產(chǎn)效率， 還容易造成材料的浪費。
因此，本實用新型從改進現(xiàn)有技術(shù)角度出發(fā)，提供一種點膠機來克服現(xiàn)有 技術(shù)中的不足.
發(fā)明內(nèi)容
本實用新型提供一種點膠機，其目的是解決人工點膠時，其點膠位置以及 點膠量不易控制，造成原料浪費，且生產(chǎn)效率不高、 >品質(zhì)量較低的問題。 為達到上述目的，本實用新型采用的技術(shù)方案是 一種點膠機，包括
一工作臺；
一機架，所脅架與工作臺固定連接；
一點膠閥，包括進膠口及點膠口，該點膠閥位于工作臺上方，并相對機架 在縱向滑動連接，其點膠口朝向工作臺臺面；
一氣缸，該氣缸安裝在機架上，其作用端與點膠閥相連，并在縱向作用于 點膠閥；
一可容納光刻膠的密閉式置料筒，其上設(shè)有笫一連接孔和第二連接孔，其 中第二連接孔與點膠閥上的進膠 口經(jīng)管道連接；
一氣源；
一氣源控制器，該氣源控制器的進氣口與氣源連接，第一出氣口與氣缸連 接，第二出氣口與置料筒上的第一連接孔連接。
上述技術(shù)方案中的有關(guān)內(nèi)容解釋如下
1、 上述方案中，所述工作臺臺面指設(shè)在工作臺上的勻膠臺.
2、 上述方案中，所述氣源為一空壓機.
本實用新型工作原理是以點膠機來控制光刻膠的點膠量及點膠位置，其 氣源是一空壓機，藉由空壓機將壓縮空氣輸出至氣源控制器中，經(jīng)氣源控制 器調(diào)節(jié)其壓力后輸入至盛有光刻膠的密閉式置料筒，從而光刻膠被壓縮到點 膠閥中，此時由氣源控制器控制氣缸推動點膠閥到點膠位，再由控制器控制 點膠閥打開閥門，使光刻膠從點膠口擠出進行點膠，從而完成點膠工作。
由于上述技術(shù)方案運用，本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列優(yōu)點
1、 由于本實用新型釆用氣缸來控制點膠閥行程，并將點膠閥點膠口朝向 工作臺臺面相對固定在機架上，確保了其點膠位置固定，使得每次點膠都能 夠準確的點在勻膠臺上的硅片中心.
2、 由于本實用新型由控制器控制點膠閥閥門的開放，使點膠時間受到了 控制，從而有效的控制了每次的點膠量，避免了光刻膠的浪費，節(jié)省了原料。
3、 由于本實用新型采用，密閉式置料筒來盛裝光刻膠，其盛裝量可供一 天點膠使用，避免了以往反復(fù)將光刻膠分裝到點膠瓶中的繁瑣，同時避免了 在分裝過程中光刻膠的浪費，減少了操作人員的工作量，提高了生產(chǎn)效率； 另外，也避免了光刻膠在分裝過程中容易在點膠瓶內(nèi)形成氣泡，而導(dǎo)致產(chǎn)品 質(zhì)量下降的問題.


附圖1為本實用新型原理示意附圖2為本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
以上附圖中l(wèi)、光刻膠；2、置料筒；3、空壓機；5、氣源控制器；6、 氣缸；7、點膠閥；8、 iiJ^口； 9、點膠口； 10、管道；11、勻膠臺；12、機 架；13、工作臺；14、笫一連接孔；15、第二連接孔；16、第一出氣口； 17、 第二出氣口； 18、進氣口。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖及實施例對本實用新型作進一步描述 實施例
如圖1、圖2所示， 一種點膠機，用于準確控制點膠位置和根據(jù)所需控制 點膠量，包括
一工作臺13及由勻膠臺ll構(gòu)成的工作臺臺面，機架12與工作臺13固定 連接；
一點膠閥7，包括進膠口 8及點膠口 9,該點膠閥7位于工作臺13上方， 并相對機架12在縱向滑動連接，其點膠口 9朝向勻膠臺11;
一氣缸6，該氣缸6安裝在機架12上，其作用端與點膠閥7相連，并在縱 向作用于點膠閥7;
一可容納光刻膠1的密閉式置料筒2，其上設(shè)有第一連接孔14和第二連接 孔15，其中笫二連接孔15與點膠閥7上的迎歐口 8經(jīng)管道10連接； 一空壓機3;
一氣源控制器5，該氣源控制器5的進氣口 18與空壓機3連接，第一出氣 口 16與氣缸6連接，第二出氣口 17與置料筒2上的第一連接孔14連接。
以點膠機來控制光刻膠1的點膠量及點膠位置，其氣源是一空壓機3，籍 由空壓機3將壓縮空氣輸出至氣源控制器5中，經(jīng)氣源控制器5調(diào)節(jié)其壓力 后輸入至盛有光刻膠l的密閉式置料筒2，從而光刻膠1被壓縮到點膠閥7中， 此時由氣源控制器5控制氣缸6推動點膠閥7到點膠位，再由控制器6控制 點膠閥7打開閥門，使光刻膠1從點膠口 9擠出進行點膠，從而完成點膠工 作.
釆用氣釭6來控制點膠閥7的M，并將點膠閥7的點膠口 9朝向勻膠臺 11相對固定在機架12上，確保了其點膠位置固定，使得每次點膠都能夠準確 的點在勻膠臺11上的硅片中心。
由控制器5控制點膠閥7閥門的開放，使得點膠時間受到了控制，從而有 效的控制了每次的點膠量，避免了光刻膠l的浪費，節(jié)省了原料.
而采用置料筒2來盛裝光刻膠1，其中盛裝量可供一天點膠使用，避免了 以往需要反復(fù)將光刻膠l分裝到點膠瓶中，同時避免了在分裝過程中光刻膠l 的浪費，減少了操作人員的工作量，提高了生產(chǎn)效率；另外，也避免了光刻 膠l在分裝過程中容易在點膠瓶內(nèi)形成氣泡，而導(dǎo)致產(chǎn)品質(zhì)量下降的問題。
上述實施例只為說明本實用新型的技術(shù)構(gòu)思及特點，其目的在于讓熟悉此
項技術(shù)的人士能夠了解本實用新型的內(nèi)容并據(jù)以實施，并不能以此限制本實 用新型的保護范圍。凡根據(jù)本實用新型精神實質(zhì)所作的等效變化或修飾，都 應(yīng)涵蓋在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1、一種點膠機，其特征在于包括一工作臺(13)；一機架(12)，所述機架(12)與工作臺(13)固定連接；一點膠閥(7)，包括進膠口(8)及點膠口(9)，該點膠閥(7)位于工作臺(13)上方，并相對機架(12)在縱向滑動連接，其點膠口(9)朝向工作臺(13)臺面；一氣缸(6)，該氣缸(6)安裝在機架(12)上，其作用端與點膠閥(7)相連，并在縱向作用于點膠閥(7)；一可容納光刻膠的密閉式置料筒(2)，其上設(shè)有第一連接孔(14)和第二連接孔(15)，其中第二連接孔(15)與點膠閥(7)上的進膠口(8)經(jīng)管道(10)連接；一氣源；一氣源控制器(5)，該氣源控制器(5)的進氣口(18)與氣源連接，第一出氣口(16)與氣缸(6)連接，第二出氣口(17)與置料筒(2)上的第一連接孔(14)連接。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的點膠機，其特征在于所述氣源為一空壓機(3 )。
專利摘要一種點膠機，包括一工作臺；一機架，所述機架與工作臺固定連接；一點膠閥，包括進膠口及點膠口，該點膠閥位于工作臺上方，并相對機架在縱向滑動連接，其點膠口朝向工作臺臺面；一氣缸，該氣缸安裝在機架上，其作用端與點膠閥相連，并在縱向作用于點膠閥；一可容納光刻膠的密閉式置料筒，其上設(shè)有第一連接孔和第二連接孔，其中第二連接孔與點膠閥上的進膠口經(jīng)管道連接；一氣源；一氣源控制器，該氣源控制器的進氣口與氣源連接，第一出氣口與氣缸連接，第二出氣口與置料筒上的第一連接孔連接。本方案解決了人工點膠時，其點膠位置以及點膠量不易控制，造成原料浪費，且生產(chǎn)效率不高、產(chǎn)品質(zhì)量較低的問題。
文檔編號B05C5/02GK201179493SQ20082003465
公開日2009年1月14日 申請日期2008年4月16日 優(yōu)先權(quán)日2008年4月16日
發(fā)明者健 唐, 成鐵軍, 陳怡景 申請人:蘇州固锝電子股份有限公司