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自動浸板機的制作方法

文檔序號:3773663閱讀:407來源:國知局
專利名稱:自動浸板機的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實用新型涉及一種半導(dǎo)體加工設(shè)備,涉及將半導(dǎo)體元件浸一層 液態(tài)物質(zhì)的設(shè)備,具體地說是涉及一種自動浸板機。
背景技術(shù)
目前,在半導(dǎo)體的加工構(gòu)成中需要件加工的元件浸一層液體,有
的起保護作用,有的是工藝的需要;現(xiàn)有的浸液過程是人工浸潤,具
有質(zhì)量不穩(wěn)定,容易產(chǎn)生有害操作,效率低等缺點。
發(fā)明內(nèi)容
本實用新型的目的就是針對上述存在的問題,提供一種構(gòu)造簡單, 無污染、能自動連續(xù)作業(yè)的自動浸板機。
本實用新型的是這樣實現(xiàn)的自動浸板機,包括機架、轉(zhuǎn)盤、電 機、液槽,其特征在于轉(zhuǎn)盤具有機械手,液槽在轉(zhuǎn)盤的下部,機械 手長度達到液槽內(nèi),轉(zhuǎn)盤固定在機架上,轉(zhuǎn)盤與電機相連;所述的機 械手在轉(zhuǎn)盤上以轉(zhuǎn)盤圓心為圓心,呈放射分布。
本實用新型的有益效果是由于采取了以上結(jié)構(gòu),使得這樣的 自動浸板機具有使用方便、結(jié)構(gòu)簡單、能連續(xù)浸液,提高生產(chǎn)率降 低勞動強度的優(yōu)點。

圖l是本實用新型自動浸板機的結(jié)構(gòu)示意圖其中;1、機架 2、轉(zhuǎn)盤 3、機械手4、液槽 5、電機
具體實施方式,
以下結(jié)合附圖對本實用新型作進一步的描述。
如圖l所示自動浸板機,包括機架1、轉(zhuǎn)盤2、電機5、液槽4, 其特征在于轉(zhuǎn)盤2具有機械手3,液槽4在轉(zhuǎn)盤2的下部,機械手 3長度達到液槽4內(nèi),轉(zhuǎn)盤2固定在機架1上,轉(zhuǎn)盤2與電機5相連; 所述的機械手3在轉(zhuǎn)盤上以轉(zhuǎn)盤圓心為圓心,呈放射分布。
機械手3抓住所浸物體,轉(zhuǎn)盤2運轉(zhuǎn),到達液槽4進行浸液,轉(zhuǎn) 出晾干,可以實現(xiàn)連續(xù)作業(yè)。
權(quán)利要求1、自動浸板機,包括機架、轉(zhuǎn)盤、電機、液槽,其特征在于轉(zhuǎn)盤具有機械手,液槽在轉(zhuǎn)盤的下部,機械手長度達到液槽內(nèi),轉(zhuǎn)盤固定在機架上,轉(zhuǎn)盤與電機相連。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的浸板機,其特征在于所述的機械手 在轉(zhuǎn)盤上以轉(zhuǎn)盤圓心為圓心,呈放射分布。
專利摘要本實用新型涉及一種半導(dǎo)體加工設(shè)備,涉及將半導(dǎo)體元件浸一層液態(tài)物質(zhì)的設(shè)備,具體地說是涉及一種自動浸板機。自動浸板機,包括機架、轉(zhuǎn)盤、電機、液槽,轉(zhuǎn)盤具有機械手,液槽在轉(zhuǎn)盤的下部,機械手長度達到液槽內(nèi),轉(zhuǎn)盤固定在機架上,轉(zhuǎn)盤與電機相連;所述的機械手在轉(zhuǎn)盤上以轉(zhuǎn)盤圓心為圓心,呈放射分布。這樣的自動浸板機具有使用方便、結(jié)構(gòu)簡單、能連續(xù)浸液,提高生產(chǎn)率降低勞動強度的優(yōu)點。
文檔編號B05C3/02GK201308880SQ20082022109
公開日2009年9月16日 申請日期2008年11月19日 優(yōu)先權(quán)日2008年11月19日
發(fā)明者暖 宋, 張根清, 歐陽進民 申請人:河南久大電子電器有限公司
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