專利名稱：涂敷膜形成方法以及涂敷膜形成裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于在物體的表面形成具有各種的功能的涂敷膜的方法以及 裝置。
背景技術(shù)：
作為用于從多種氣體或液體的混合物分離特定的氣體或液體的過濾器，已 知有在多孔體的表面形成分離膜的過濾器。該分離膜的形成是通過在要形成分 離膜的多孔體的表面涂敷分離膜的前驅(qū)體的溶液而形成涂敷膜(制膜)，并對 其進行干燥、熱處理來實現(xiàn)。
另夕卜，在印刷電路板的制作中具有在基板表面形成厚度均勻的抗蝕膜的工 序，該抗蝕膜的形成通過在基板的表面涂敷抗蝕液來實現(xiàn)。
這樣，在制作在其表面形成具有各種功能的膜的物品時，作為在規(guī)定的物 體(涂敷對象物)的表面涂敷用于形成膜的液體(涂敷液)的方法， 一直以來
廣泛使用浸漬法。該方法例如專利文獻1 3所記載的那樣，按照將涂敷對象物 浸漬在填滿容器(浸漬槽)的涂敷液中，在放置某種程度的時間后，將涂敷對 象物從涂敷液中撈起的順序進行。
然而，在這種現(xiàn)有的涂敷方法中，在涂敷對象物的體積大或重量重的場合， 伴隨浸漬和撈起的涂敷對象物的上下移動中需要大規(guī)模的裝置，確保移動作業(yè) 的安全性也困難，而且，想要在多個涂敷對象物上一次形成涂敷膜的場合，必 需支撐各個涂敷對象物使其上下移動。再有，想要僅在涂敷對象物的表面的一 部分形成涂敷膜的場合，浸漬在涂敷液之前，必需用密封材料覆蓋其以外的整 個部分，花費時間和勞力。
專利文獻l:特開2007-38210號公報
專利文獻2:特許第3652053號7>才艮
專利文獻3:特開平5 -67861號公報 發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明是鑒于這種現(xiàn)有技術(shù)的情況而提出的方案，目的在于提供一種不需 要用于使涂敷對象物移動的大規(guī)模的裝置，能夠更簡單且安全地在涂敷對象物 上形成涂敷膜的涂敷膜形成方法以及涂敷膜形成裝置。
為了達到上述目的，根據(jù)本發(fā)明可提供以下涂敷膜形成方法以及涂敷膜形 成裝置。
(1) 一種涂敷膜形成方法，將要形成涂敷膜的涂敷對象物設(shè)置在浸漬槽 內(nèi)，將用于形成上述涂敷膜的涂敷液送入上述浸漬槽內(nèi)，在使上述涂敷液的液 面上升到使上述涂敷對象物的要形成涂敷膜的部位的最上部浸泡在上述涂敷 液之后，通過將上述涂敷液向上述浸漬槽外排出而使上述涂敷液的液面降下 去，從而在上述涂敷對象物上形成涂敷膜。
(2) 根據(jù)方案(1 )記載的涂敷膜形成方法，上述涂敷液向浸漬槽的送入 所引起的液面的上升以及上述涂敷液向浸漬槽外的排出所引起的液面的下降， 通過容納上述涂敷液并利用導(dǎo)管與上述浸漬槽連通的溶液容器的升降來進行。
(3 )根據(jù)方案(1 )記載的涂敷膜形成方法，上述涂敷液向浸漬槽的送入 所引起的液面的上升以及上述涂敷液向浸漬槽外的排出所引起的液面的下降， 通過設(shè)置在導(dǎo)管上的泵來進行，該導(dǎo)管連通容納了上述涂敷液的溶液容器和上 述浸漬槽。
(4)根據(jù)方案(1 )記載的涂敷膜形成方法，使上述涂敷液的液面以一定 速度下降。
(5 ) —種涂敷膜形成裝置(第一涂敷膜形成裝置)，用于通過在涂敷對象 物的表面的至少一部分涂敷涂敷液來形成涂敷膜，具備容納上述涂敷對象物 的浸潰槽；容納上述涂敷液的溶液容器；使上述溶液容器升降的升降裝置；連 通上述溶液容器和上述浸漬槽的導(dǎo)管；以及設(shè)置在上述導(dǎo)管上的閥。
(6) —種涂敷膜形成裝置(第二涂敷膜形成裝置)，用于通過在涂敷對象 物的表面的至少一部分涂敷涂敷液來形成涂敷膜，具備容納上述涂敷對象物 的浸漬槽；容納上述涂^:液的溶液容器；連通上述溶液容器和上述浸漬槽的導(dǎo) 管；以及設(shè)置在上述導(dǎo)管上的泵。
(7) 根據(jù)方案(5 )記載的涂敷膜形成裝置，上述溶液容器可調(diào)節(jié)其內(nèi)部壓力。(8 )根據(jù)方案(5 ) ~ ( 7 )任一項記載的涂敷膜形成裝置，具備密封上述 涂敷對象物的上端外周面及下端外周面與上述浸漬槽的內(nèi)周面之間的密封部 件。
(9 )根據(jù)方案(8 )記載的涂敷膜形成裝置，具備用于對由上述浸漬槽的 內(nèi)周面、上述涂敷對象物的外周面和上述密封部件形成的空間供給加壓氣體的 加壓氣體供給裝置。
(10)根據(jù)方案(5) (9)任一項記載的涂敷膜形成裝置，上述涂敷對 象物是整體形狀(千/y7形狀)的多孔體。
根據(jù)本發(fā)明的涂敷膜形成方法，不移動涂敷對象物，而是通過涂敷液的 液面的上升以及下降，就能進行用于在涂敷對象物上形成涂敷膜的操作，因此 不需要用于使涂敷對象物移動的大規(guī)模的裝置，而且也沒有伴隨大型的涂敷對 象物的移動作業(yè)的危險，可以進行簡單安全的涂敷膜形成。而且，如果使液面 的下降速度為一定，則與涂敷對象物的重量、形狀無關(guān)而能夠形成均勻厚度的 膜。另外，通過在浸漬槽內(nèi)設(shè)置多個涂敷對象物，從而能夠在多個涂敷對象物 上同時形成涂敷膜，能夠縮短作業(yè)時間。
才艮據(jù)本發(fā)明的涂敷膜形成裝置，可以容易實施上述本發(fā)明的涂敷膜形成方 法，能夠享受利用該涂敷膜形成方法得到的效果。而且，在涂敷對象物為具有 與外部連通的內(nèi)部空間的管形狀或整體形狀的物品的場合，想要僅在包圍該內(nèi) 部空間的內(nèi)表面上形成涂敷膜時，通過具備密封上述涂敷對象物的上端外周面 及下端外周面與浸漬槽的內(nèi)周面之間的密封部件，即使不用密封材料覆蓋涂敷 對象物的外周面整體，也能夠防止涂敷液向外周面的附著，因此能夠減少工時。 再有，在該涂敷對象物為多孔體的場合，具備用于對由上述浸漬槽的內(nèi)周面、 上述涂敷對象物的外周面和上述密封部件形成的空間導(dǎo)入加壓氣體的加壓氣 體供給裝置，如果在向該空間供給加壓氣體的同時進行涂敷液的送入，則通過 加壓氣體流入多孔體的細孔內(nèi)而使得細孔內(nèi)被加壓，能夠抑制涂敷液浸透到該 細孔內(nèi)，能夠利用上述內(nèi)表面形成厚度均勻的涂敷膜。而且，如果使用可調(diào)節(jié) 內(nèi)部壓力的溶液容器，則在送入涂敷液時，能夠?qū)θ芤喝萜鲀?nèi)部進行加壓而加 快向浸漬槽的液體輸送速度，由此，也能夠抑制涂敷液向細孔內(nèi)的浸透。
另外，在涂敷液的液面的上升及下降上使用泵的場合，雖然存在因泵的脈動而在液面的下降速度上稍微產(chǎn)生不均的可能性，但卻有能夠使裝置小型化的 優(yōu)點。另一方面，在涂敷液的液面的上升及下降上利用溶液容器的升降的場合， 盡管與使用泵的場合相比較，裝置稍微大型化，但由于沒有泵之類的脈動，因 此容易將液面的下降速度保持一定，且容易形成厚度均勻的涂敷膜。而且，由 于不使用泵，因此在將溶解性、揮發(fā)性、易燃性高的有機溶劑或酸、堿之類的 腐蝕性高的溶液作為涂敷液的場合，在安全性和耐久性方面是有利的。


圖1是表示本發(fā)明的第一涂敷膜形成裝置的實施方式的一例的概要圖。
圖2是表示本發(fā)明的第二涂敷膜形成裝置的實施方式的一例的概要圖。 圖3是表示圖l及圖2所示的涂敷膜形成裝置的浸漬槽的內(nèi)部的概要圖。 圖4是表示本發(fā)明的涂敷對象物的一例的立體圖。 圖5是表示本發(fā)明的涂敷對象物的另一個例子的立體圖。 圖中
l一涂敷對象物，2—隔室，3 —空心部，4一玻璃密封，5—涂敷液，10— 第一涂敷膜形成裝置，11—溶液容器，12—升降裝置，13—導(dǎo)管，14—閥，15 —送氣管，16—閥，17—壓力計，20—第二涂敷膜形成裝置，21—溶液容器， 23—導(dǎo)管，24—泵，30—浸漬槽，31 —密封部件，32—空間，33—送氣孔，34 一送氣管，35—調(diào)節(jié)閥，36—壓力計，41—液面，51 —支撐部，42—支柱。
具體實施例方式
以下，基于具體的實施方式對本發(fā)明進行說明，但是本發(fā)明并不限定于這 里所做的解釋，只要在不脫離本發(fā)明的范圍內(nèi)，基于本領(lǐng)域技術(shù)人員的知識， 可加以各種變更、修正、改進。
如上所述，本發(fā)明的涂敷膜形成方法如下將要形成涂敷膜的涂敷對象物 設(shè)置在浸漬槽內(nèi)，將用于形成上述涂敷膜的涂敷液送入上述浸漬槽內(nèi)，在使上 述涂敷液的液面上升到使上述涂敷對象物的要形成涂敷膜的部位的最上部浸 泡在上述涂敷液之后，將上述涂敷液向上述浸漬槽外排出而使上述涂敷液的液 面降下去，從而在上述涂敷對象物上形成涂敷膜。
即、本發(fā)明的涂敷膜形成方法將涂敷對象物浸泡在涂敷液中，然后使其從 涂敷液中向該液面的上方脫離的一系列的涂敷膜形成工序(制膜工序)，不是如上述現(xiàn)有技術(shù)那樣利用涂敷對象物的上下移動來進行，而是利用涂敷液的液 面的上升及下降來進行。
根據(jù)該方法，無需使涂敷對象物移動就能夠進行涂敷膜的形成，因此不需 要用于使涂敷對象物移動的大規(guī)模的裝置。而且，即使涂敷對象物是大型的， 也沒有伴隨其移動作業(yè)的危險，再有，如果使涂敷液的液面下降時的下降速度 一定，則與涂敷對象物的重量、形狀無關(guān)而能夠形成厚度均勻的膜。另外，即 使在想要在多個涂敷對象物上同時形成涂敷膜的場合，也無需像現(xiàn)有技術(shù)那樣 支撐各個涂敷對象物使其移動，只要將多個涂敷對象物設(shè)置在浸漬槽內(nèi)，然后 按照與在 一 個涂敷對象物上形成涂敷膜的情況完全 一樣的操作進行涂敷膜的 形成，因此無需花費時間和勞力，能夠縮短作業(yè)時間。
在本發(fā)明的涂#丈膜形成方法中，涂敷液向浸漬槽的送入所引起的液面的上
升以及涂敷液向浸漬槽外的排出所引起的液面的下降，不^r利用哪種方法進行 都可以，但是作為最佳的方法之一，可列舉通過容納涂敷液并利用導(dǎo)管與浸漬 槽連通的溶液容器的上升來進行的方法。
具體地說，首先，使溶液容器上升，直到溶液容器內(nèi)的涂敷液的液面到達 設(shè)置在浸漬槽內(nèi)的涂敷對象物的要形成涂敷膜的部位的最上部的高度。由此， 涂敷液從溶液容器內(nèi)通過管道送入浸漬槽內(nèi)，而連通的溶液容器和浸漬槽的內(nèi) 部的涂敷液在大氣壓下其液面一致，因此送入到浸漬槽的涂^:液的液面也到達 上述最上部的高度。這樣，在做成涂敷對象物的要形成涂敷膜的部位浸泡在涂 敷液中的狀態(tài)之后，使溶液容器下降，直到溶液容器內(nèi)的涂敷液的液面到達比 涂敷對象物的最下部靠下方的位置。由此，浸漬槽內(nèi)的涂敷液的液面也到達比 上述最下部靠下方的位置，通過該液面的下降在涂敷對象物上形成涂敷膜。
另外，作為上述方法以外的方法，例如利用設(shè)置在連通容納了涂敷液的溶 液容器與浸漬槽的導(dǎo)管上的泵，進行液面的上升以及下降也可以。即、首先， 通過使泵旋轉(zhuǎn)(正轉(zhuǎn))，將溶液容容器內(nèi)的涂敷液通過導(dǎo)管送入浸漬槽，使浸 漬槽內(nèi)的涂敷液的液面上升到設(shè)置于浸漬槽內(nèi)的涂敷對象物的要形成涂敷膜 的部位的最上部。然后，通過使泵反轉(zhuǎn)，從而排出浸漬槽內(nèi)的涂敷液，使浸漬 槽內(nèi)的涂敷液的液面下降到比設(shè)置在浸漬槽內(nèi)的涂敷對象物的最下部靠下方 的位置。通過該液面的下降在涂敷對象物上形成涂敷膜。在本發(fā)明中，使涂敷液的液面上升時的速度(上升速度)沒有特別限定， 但是例如在涂敷對象物為多孔體的場合，若涂敷液浸透到其細孔內(nèi)，則存在難 以形成表面平滑、厚度均勻的涂敷膜的情況，因此，在這種情況下，從縮短涂 敷對象物與涂敷液接觸的時間而抑制向細孔內(nèi)的浸透的觀點來看，優(yōu)選將液面
從涂敷對象物的最下部到達要形成涂敷膜的部位的最上部的時間設(shè)為10 ~ 60 秒左右。還有，該時間在如上所述利用溶液容器的升降來進行液面的上升及下 降的場合，可以利用溶液容器的上升速度進行控制，^f旦是也可以在連通溶液容 器和浸漬槽的導(dǎo)管上設(shè)置閥，并通過在關(guān)閉該閥的狀態(tài)下對溶液容器內(nèi)部預(yù)先 加壓，或者使溶液容器預(yù)先上升后再打開閥的操作，從而加快浸漬槽內(nèi)的液面 的上升速度。在如上所述使用泵進行液面的上升及下降的場合，可以通過另外 設(shè)置輸送液體用的導(dǎo)管進行上述溶液容器內(nèi)部加壓的操作，或者通過泵的輸出 調(diào)節(jié)來控制該時間。
另外，使涂敷液的液面下降時的速度(下降速度)也沒有特別限定，但由 于該速度對形成于涂敷對象物上的涂敷膜的厚度產(chǎn)生影響，因此根據(jù)作為目的 的涂敷膜的厚度，優(yōu)選在0.1 20cm/分左右的范圍適當(dāng)設(shè)定。該下降速度例如
容器的下降速度進行控制，另外，在如上所述^f吏用泵進行液面的上升及下降的 場合，能夠利用泵的輸出調(diào)節(jié)進行控制。還有，為了使涂敷膜的厚度均勾，優(yōu) 選將下降速度設(shè)為一定，根據(jù)該觀點，最好是通過不發(fā)生如泵那樣的脈動的溶 液容器的升降來進^f于液面的上升及下降。
對于涂lt對象物的尺寸和形狀也沒有特別限制，4旦是在涂敷對象物如管形 狀或獨石柱那樣是具有與外部連通的內(nèi)部空間的形狀的場合，想要在包圍該內(nèi) 部空間的內(nèi)表面上形成涂敷膜時，按照涂敷液在該內(nèi)部空間內(nèi)能夠上升以及下 降的方向，將涂敷對象物設(shè)置在浸漬槽內(nèi)。例如，如圖4及圖5所示，在涂敷 對象物1為具有多個隔室(貫通孔)2的整體形狀的物品或具有空心部3的管 形狀的部件的場合，以該隔室2或空心部3的軸向為鉛垂方向的方式設(shè)置，這 .樣在這些內(nèi)部空間內(nèi)的均勻的涂敷膜形成以及涂敷液的上升以及下降都能順 利地進行，因此較好。
另外，就涂敷液的成分而言，只要根據(jù)要形成的膜 功能適當(dāng)選擇即可，例如，要在涂敷對象物上形成碳素膜作為分離膜的場合，可使用碳素膜的前軀 體(通過實施熱處理而碳化的樹脂等)的溶液作為涂敷液。
本發(fā)明的涂敷膜形成方法通過使用本發(fā)明的第 一涂敷膜形成裝置或第二 涂敷膜形成裝置可適當(dāng)?shù)貙嵤?。圖1是表示本發(fā)明的第一涂敷膜形成裝置的實
施方式的一例的概要圖，圖2是表示本發(fā)明的第二涂敷膜形成裝置的實施方式 的一例的概要圖，圖3是表示圖1以及圖2所示的涂敷膜形成裝置的浸漬槽的 內(nèi)部的概要圖。還有，圖示的實施方式表示了作為涂敷對象物l使用具有多個 隔室2的整體形狀的多孔體，并且僅在隔室2的內(nèi)周面形成涂敷膜的情況的例 子，但本發(fā)明的涂敷膜形成裝置中的涂敷對象物以及涂敷對象部位并不限定于 此。
本發(fā)明的第一涂敷膜形成裝置IO是用于通過在涂敷對象物1的表面的至 少一部分涂敷涂敷液5來形成涂敷膜的裝置，具備容納涂敷對象物1的浸漬 槽30;容納涂敷液5的溶液容器11;使溶液容器11升降的升降裝置12;連 通溶液容器11和浸漬槽30的導(dǎo)管13;以及設(shè)置在導(dǎo)管13上的閥14。其中對 于導(dǎo)管13，為了能與溶液容器ll的升降一致地自由彎曲，適合使用具有柔軟 性的橡膠制的軟管或SUS制的撓性管等。
另外，在本實施方式中，作為更次要的構(gòu)成要素，在溶液容器11的上部 設(shè)有加壓氣體供給用的送氣管15和閥16,通過該送氣管15供給加壓氣體而 使溶液容器11內(nèi)的壓力上升，或打開閥16使上升了的壓力下降，從而可調(diào)節(jié) 溶液容器11的內(nèi)部壓力。溶液容器11內(nèi)的壓力利用壓力計17監(jiān)視。
而且，作為密封涂敷對象物1的上端外周面及下端外周面與浸漬槽30的 內(nèi)周面之間的密封部件31, ^:置封裝件，由此，在由浸漬槽30的內(nèi)周面、涂 敷對象物1的外周面和密封部件31形成的空間32中，不會流入送入到浸漬槽 30的涂l史液5。
再有，在浸漬槽30上設(shè)有用于向上述空間32供給加壓氣體的送氣孔33, 通過與該送氣孔33連接的送氣管34，可從配備在外部的加壓氣體供給裝置向 上述空間32供給加壓氣體。而且，在該送氣管34上設(shè)有用于調(diào)節(jié)所供給的加 壓氣體的壓力的調(diào)節(jié)閥35和用于監(jiān)視壓力的壓力計36。
在使用該第一涂敷膜形成裝置10的涂敷膜的形成中，首先，將涂敷對象物1設(shè)置在浸漬槽30內(nèi)。作為本實施方式的涂敷對象物1的整體形狀的多孔 體是以在隔室的內(nèi)周面上形成分離膜，并作為液體分離用的過濾起來使用為目 的的部件，如圖3所示，在其端面和端面附近的外周部分實施了用于防止液體 泄漏的玻璃密封4。若在設(shè)置涂敷對象物l時，如上所述配置密封部件(封裝 件)31，則涂敷液5不會流入到上述空間32,因此無需形成涂敷膜的涂敷對 象物1的外周面即使不用密封材料覆蓋其整體，也能避免涂敷液5的附著。而 且，想要在包含外周面在內(nèi)的涂敷對象物1的整個表面上形成涂敷膜的場合， 不需要這種密封部件31。另外，與本實施方式相反，想要僅在涂敷對象物1 的外周面形成涂敷膜的場合，以用掩蔽材料等封閉了隔室2的開口端的狀態(tài)設(shè) 置在浸漬槽30內(nèi)，以免涂J丈液流入到隔室2內(nèi)。
另一方面，在關(guān)閉閥14的狀態(tài)下在溶液容器11中填滿涂敷液5，使溶液 容器11上升，直到其液面41到達比涂敷對象物1的上端的高度靠上方的位置。 若在該狀態(tài)下打開閥14,則溶液容器11內(nèi)的涂敷液5被送入浸漬槽30內(nèi)。 而且，溶液容器11的上升也可以在打開閥14的狀態(tài)下進行。另外，為了加快 被送入到浸漬槽30內(nèi)的涂H液5的液面42的上升，也可以在打開閥14之前 從送氣管15向溶液容器11內(nèi)供給加壓氣體而使內(nèi)部壓力上升。
這樣，被送入浸漬槽30的涂敷液5從涂敷對象物1的隔室2的下端流入 隔室2內(nèi)，使其液面42逐漸上升，到達與溶液容器11內(nèi)的涂敷液5的液面 41相同的高度，即比涂敷對象物1的上端的高度靠上方的位置。而且，向溶 液容器ll內(nèi)供給加壓氣體使內(nèi)部壓力上升的場合，釋放溶液容器ll內(nèi)的壓力， 在成為大氣壓的狀態(tài)下，兩液面41、 42的高度相同。
另外，如本實施方式所述，涂敷對象物1為具有多個隔室2的整體形狀的 多孔體的場合，若在向上述空間32供給加壓氣體的同時向設(shè)置在浸漬槽30 內(nèi)的涂敷對象物1的隔室2內(nèi)送入涂敷液5，則供給到上述空間32的加壓氣 體流入多孔體的細孔中而使得細孔內(nèi)被加壓，因此涂敷液5幾乎不浸透到細孔 內(nèi)，其大部分僅附著在包圍隔室2的內(nèi)周面上，其結(jié)果，可得到表面平滑、厚 度均勻的涂敷膜。供給的加壓氣體的壓力最好是作為由壓力計35測量的值為 1 1000kPa。于是，涂敷對象物1的細孔內(nèi)的壓力也成為大概1 1000kPa。
這樣，在成為要形成涂敷膜的隔室2的整個內(nèi)周面浸泡在涂敷液中的狀態(tài)后，使溶液容器ll下降。而且，向溶液容器ll內(nèi)供給加壓氣體而^f吏內(nèi)部壓力
上升的場合，打開閥16釋放溶液容器11內(nèi)的壓力后使溶液容器11下降。若 這樣使溶液容器11降下去，則溶液容器11內(nèi)的涂lt液5的液面41也下降， 隨之浸漬槽30內(nèi)的涂敷液(涂敷對象物的隔室內(nèi)的涂lt液)5的液面42也同 樣地下降，因此若使溶液容器11下降到該液面42來到比涂敷對象物1的下端 靠下方的位置，則成為涂敷對象物1從涂敷液5中向該液面42的上方脫離的 狀態(tài)。
這樣，通過使涂l丈液5的液面42降下去，,人而在隔室2的整個內(nèi)周面上 形成涂敷膜。而且，用于使溶液容器11上升及下降的升降裝置12的結(jié)構(gòu)沒有 特別限定，但是根據(jù)使涂敷膜的厚度均勻的觀點，優(yōu)選構(gòu)成為能夠在保持一定 速度的同時進行升降。本實施方式中的升降裝置12具備支撐溶液容器11的 支撐部51;以及使支撐部51沿著在鉛垂方向豎立設(shè)置的支柱52升降的驅(qū)動 裝置(未圖示)，驅(qū)動裝置適合使用例如變頻方式的可變速馬達等。
本發(fā)明的第二涂敷膜形成裝置20是用于通過在涂敷對象物1的表面的至 少一部分涂敷涂敷液5來形成涂敷膜的裝置，具備容納涂敷對象物1的浸漬 槽30;容納涂敷液5的溶液容器21;連通溶液容器21和浸漬槽30的導(dǎo)管23; 以及設(shè)置在導(dǎo)管23上的閥24。
另外，在本實施方式中的浸漬槽30的結(jié)構(gòu)也包含次要的構(gòu)成要素，由于 與上述的第一涂敷膜形成裝置10的實施方式中的浸漬槽30的結(jié)構(gòu)相同，因此 省略關(guān)于其詳細的說明。
在使用了該第二涂敷膜形成裝置20的涂敷膜的形成中，首先與使用了上 述第一涂敷膜形成裝置10的實施方式同樣，也將涂敷對象物1設(shè)置在浸漬槽 30內(nèi)。
其次，通過使泵24旋轉(zhuǎn)(正轉(zhuǎn))，從而將填滿溶液容器21內(nèi)的涂敷液5 通過導(dǎo)管23送入浸漬槽30內(nèi)。這樣，被送入到浸漬槽30內(nèi)的涂敷液5從涂 敷對象物1的隔室2的下端流入隔室2內(nèi)，使其液面42逐漸上升，將利用該 泵24的涂敷液5的送入進行至液面42到達比涂敷對象物1的上端的高度靠上 方的位置。
而且，如本實施方式所述，涂敷對象物1為具有多個隔室2的整體形狀的多孔體的場合，與上述第一涂敷膜形成裝置10的實施方式同樣，若在向由浸
漬槽30的內(nèi)周面、涂敷對象物l的外周面、密封部件(封裝件)31形成的空 間32供給加壓氣體的同時向設(shè)置在浸漬槽30內(nèi)的涂敷對象物1的隔室2內(nèi)送 入涂敷液5,則供給到上述空間32的加壓氣體流入多孔體的細孔中而使得細 孔內(nèi)被加壓，因此涂敷液幾乎不浸透到細孔內(nèi)，其大部分僅附著在包圍隔室的 內(nèi)周面上，可得到表面平滑、厚度均勻的涂敷膜。
這樣，在成為要形成涂敷膜的隔室2的整個內(nèi)周面浸泡在涂敷液5中的狀 態(tài)后，通過使泵24反轉(zhuǎn)，從而排出浸漬槽30內(nèi)的涂虞i液(涂敷對象物的隔室 內(nèi)的涂敷液)5而使液面42降下去，將利用該泵24的反轉(zhuǎn)的涂敷液5的排出 進行至液面42到達比涂敷對象物1的下端靠下方的位置，成為涂敷對象物1 從涂敷液5中向該液面42的上方脫離的狀態(tài)。通過這樣使涂敷液5的液面降 下去，從而在隔室2的整個內(nèi)周面上形成涂敷膜。
實施例
以下，基于實施例對本發(fā)明進行更加詳細的說明，但本發(fā)明并不限定于這 些實施例。
(實施例1 )
將外形為圓柱狀并具有多個隔室的整體形狀的多孔體(直徑180mm、長 度1000mm、在端面上實施了玻璃密封)作為涂敷對象物，為了在其隔室內(nèi)周 面上形成由熱固性聚酰亞胺樹脂前驅(qū)體構(gòu)成的涂敷膜，在圖1所示的涂敷膜形 成裝置10的浸漬槽30內(nèi)，如圖3所示配置密封部件(封裝件)31并設(shè)置了 涂敷對象物1。而且，在關(guān)閉閥14的狀態(tài)下在溶液容器11內(nèi)填滿熱固性聚酰 亞胺樹脂前驅(qū)體的溶液，使溶液容器11上升至其液面到達比涂敷對象物1的 上端的高度靠上方的位置，并且向溶液容器11內(nèi)供給加壓氣體對溶液容器11 內(nèi)部進行了加壓。
然后，如圖3所示，在向由浸漬槽30的內(nèi)周面、涂敷對象物l的外周面 和密封部件(封裝件)31形成的空間32供給加壓氣體的同時，打開閥14將 溶液容器11內(nèi)的溶液送入到浸漬槽30內(nèi)。這樣，^皮送入到浸漬槽30內(nèi)的溶 液從浸漬槽30的下部(底部)到達涂敷對象物1的下端，然后流入隔室2內(nèi) 并使其液面逐漸上升，最后液面上升到比涂敷對象物1的上端稍微靠上方的位置，成為隔室2的整個內(nèi)周面被浸泡在溶液中的狀態(tài)。從液面到達涂敷對象物 1的下端直至到達上端的時間是40秒。
接著，打開溶液容器11上部的閥16，釋放內(nèi)部的壓力而成為大氣壓狀態(tài) 后，使溶液容器11以5cm/分的速度下降直到溶液容器11內(nèi)的液面到達比涂 敷對象物1的下端靠下方的位置。由此，浸漬槽30內(nèi)的溶液(涂敷對象物的 隔室內(nèi)的溶液)的液面也以相同速度隨之下降，在隔室2的內(nèi)周面上形成涂敷 膜。這樣，在形成了涂敷膜后，將涂敷膜表面以120。C進行預(yù)備干燥，然后以 30(TC加熱硬化。得到的膜表面平滑，厚度也大致均勻。 (實施例2 )
將外形為圓柱狀并具有多個隔室的整體形狀的多孔體(直徑180mm、長 度1000mm、在端面上實施了玻璃密封)作為涂敷對象物，為了在其隔室內(nèi)周 面上形成由熱固性聚酰亞胺樹脂前驅(qū)體構(gòu)成的涂敷膜，在圖2所示的涂敷膜形 成裝置20的浸漬槽30內(nèi)，如圖3所示配置密封部件(封裝件)31并設(shè)置了 涂敷對象物1。
然后，如圖3所示，在向由浸漬槽30的內(nèi)周面、涂敷對象物l的外周面 和密封部件(封裝件)31形成的空間32供給加壓氣體的同時，將填滿溶液容 器21內(nèi)的熱固性聚酰亞胺樹脂前驅(qū)體的溶液通過使泵24旋轉(zhuǎn)(正轉(zhuǎn))而送入 到浸漬槽30內(nèi)。這樣，被送入到浸漬槽30內(nèi)的溶液從浸漬槽30的下部(底 部)到達涂敷對象物1的下端，然后流入隔室2并使其液面逐漸上升，在液面 上升到比涂敷對象物1的上端稍微靠上方的位置的時候使泵停止。從液面到達 涂敷對象物1的下端直至到達上端的時間是60秒。
接著，通過使泵24反轉(zhuǎn)而將浸漬槽30內(nèi)的溶液(涂敷對象物的隔室內(nèi)的 溶液)排出，從而使其液面以5cm/分的速度下降，在隔室2的內(nèi)周面上形成 涂敷膜。這樣，在形成了涂敷膜后，將涂敷膜表面以12(TC進行預(yù)備干燥，然 后以300。C加熱硬化。得到的膜表面平滑，厚度也大致均勻。 (實施例3 )
將15根管形狀的多孔體(直徑10mm、長度1000mm)作為涂敷對象物，
為了同時在其外周面上形成由熱固性聚酰亞胺樹脂前驅(qū)體構(gòu)成的涂敷膜，在圖 1所示的涂敷膜形成裝置10的浸漬槽30內(nèi)，將這15根涂敷對象物以用掩蔽材料封閉了其兩端開口部的狀態(tài)設(shè)置。而且，在關(guān)閉閥14的狀態(tài)下預(yù)先在溶
液容器11內(nèi)填滿熱固性聚酰亞胺樹脂前驅(qū)體的溶液，使溶液容器11上升直到 其液面到達比涂敷對象物的上端的高度靠上方的位置，并且向溶液容器11內(nèi) 供給加壓氣體而對溶液容器11內(nèi)部進4亍了加壓。
然后，打開閥14將溶液容器11內(nèi)的溶液送入到浸漬槽30內(nèi)。這樣，被 送入到浸漬槽30內(nèi)的溶液從浸漬槽30的下部(底部)到達涂敷對象物1的下 端，然后使其液面逐漸上升，最后液面上升到比涂敷對象物1的上端稍微靠上 方的位置，成為涂敷對象物的整個外周面浸泡在溶液中的狀態(tài)。從液面到達涂 敷對象物1的下端直至到達上端的時間是40秒。
接著，打開溶液容器11上部的閥16,釋放內(nèi)部的壓力而成為大氣壓狀態(tài) 后，使溶液容器11以5cm/分的速度下降直到溶液容器11內(nèi)的液面到達比涂 敷對象物1的下端靠下方的位置。由此，浸漬槽30內(nèi)的溶液的液面也以相同 速度隨之下降，在涂敷對象物的外周面上形成涂敷膜。這樣，在形成了涂敷膜 后，將涂敷膜表面以120。C進行預(yù)備干燥，然后以300。C加熱硬化。得到的膜 表面平滑，厚度也大致均勻。
產(chǎn)業(yè)上的可利用性如下。
本發(fā)明適合用于在物體的表面形成具有各種功能的涂敷膜的方法以及裝置。
權(quán)利要求
1.一種涂敷膜形成方法，其特征在于，將要形成涂敷膜的涂敷對象物設(shè)置在浸漬槽內(nèi)，將用于形成上述涂敷膜的涂敷液送入上述浸漬槽內(nèi)，在使上述涂敷液的液面上升到上述涂敷對象物的要形成涂敷膜的部位的最上部浸泡在上述涂敷液之后，通過將上述涂敷液向上述浸漬槽外排出而使上述涂敷液的液面降下去，從而在上述涂敷對象物上形成涂敷膜。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的涂敷膜形成方法，其特征在于， 上述涂|丈液向浸漬槽內(nèi)的送入所引起的液面的上升以及上述涂#文液向浸漬槽外的排出所引起的液面的下降，通過容納上述涂敷液并利用導(dǎo)管與上述浸 漬槽連通的溶液容器的升降來進行。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的涂敷膜形成方法，其特征在于， 上述涂l丈液向浸漬槽內(nèi)的送入所引起的液面的上升以及上述涂li液向浸漬槽外的排出所引起的液面的下降，通過設(shè)置在導(dǎo)管上的泵來進行，該導(dǎo)管連 通容納了上述涂敷液的溶液容器和上述浸漬槽。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的涂敷膜形成方法，其特征在于， 使上述涂敷液的液面以一定速度下降。
5. —種涂敷膜形成裝置，用于通過在涂敷對象物的表面的至少一部分涂 敷涂敷液來形成涂敷膜，其特征在于，具備容納上述涂敷對象物的浸漬槽；容納上述涂敷液的溶液容器； 使上述溶液容器升降的升降裝置； 連通上述溶液容器和上述浸漬槽的導(dǎo)管；以及， 設(shè)置在上述導(dǎo)管上的閥。
6. —種涂敷膜形成裝置，用于通過在涂敷對象物的表面的至少一部分涂 敷涂敷液來形成涂敷膜，其特征在于，具備容納上述涂敷對象物的浸漬槽；容納上述涂敷液的溶液容器；連通上述溶液容器和上述浸漬槽的導(dǎo)管；以及， 設(shè)置在上述導(dǎo)管上的泵。
7. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的涂敷膜形成裝置，其特征在于， 上述溶液容器可調(diào)節(jié)其內(nèi)部壓力。
8. 根據(jù)權(quán)利要求5-7中任一項所述的涂敷膜形成裝置，其特征在于， 具備密封上述涂敷對象物的上端外周面及下端外周面與上述浸漬槽的內(nèi)周面之間的密封部件。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的涂敷膜形成裝置，其特征在于，具備用于對由上述浸漬槽的內(nèi)周面、上述涂敷對象物的外周面和上述密封 部件形成的空間供給加壓氣體的加壓氣體供給裝置。
10. 根據(jù)權(quán)利要求5 9中任一項所述的涂敷膜形成裝置，其特征在于， 上述涂敷對象物是整體形狀的多孔體。
全文摘要
本發(fā)明提供一種涂敷膜形成方法，將要形成涂敷膜的涂敷對象物設(shè)置在浸漬槽內(nèi)，將用于形成上述涂敷膜的涂敷液送入上述浸漬槽內(nèi)，在使上述涂敷液的液面上升到上述涂敷對象物的要形成涂敷膜的部位的最上部浸泡在上述涂敷液之后，通過將上述涂敷液向上述浸漬槽外排出而使上述涂敷液的液面降下去，從而在上述涂敷對象物上形成涂敷膜。
文檔編號B05D1/18GK101687214SQ200980000495
公開日2010年3月31日 申請日期2009年1月29日 優(yōu)先權(quán)日2008年3月24日
發(fā)明者市川明昌, 野野川正巳 申請人:日本礙子株式會社