專利名稱：液體材料的排出裝置以及方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種精度佳地使液體材料微量滴下或飛滴而排出的裝置以及方法，更 具體而言，涉及一種在不降低排出精度的情況下可使涂布作業(yè)中的再抽吸動(dòng)作達(dá)到最小極 限的排出裝置以及方法。
背景技術(shù)：
作為精度佳地使液體材料微量滴下或飛滴而排出的現(xiàn)有裝置，例如有本案申請(qǐng)人 所開發(fā)的專利文獻(xiàn)1至4所揭示的裝置。上述現(xiàn)有的排出裝置是通過使抽吸于計(jì)量部中的液體材料，通過水密配置的柱塞 進(jìn)行間歇性多次前進(jìn)動(dòng)作，在每次前進(jìn)動(dòng)作飛翔排出液滴的排出方式。專利文獻(xiàn)1 日本專利特開2003-190871號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2 日本專利特開2004-160314號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3 日本專利特開2004-160276號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)4 日本專利特開2005-40770號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
(發(fā)明要解決的問題)在現(xiàn)有裝置的排出方式中，抽吸于計(jì)量管的量受到限制，而有無法抽吸工件整體 所需要量的液體材料的情況。在此情況下，必須在涂布作業(yè)的途中進(jìn)行再抽吸動(dòng)作，而有生 產(chǎn)性降低的問題。此處，增大計(jì)量管的尺寸則會(huì)有如下問題。即，當(dāng)增大計(jì)量管的直徑而增加液體材料的吸入量時(shí)，有必要增大柱塞的直徑，因 而隨柱塞的稍微移動(dòng)便會(huì)有大量的液體材料滴下，結(jié)果會(huì)有難以進(jìn)行微量排出的問題。另一方面，當(dāng)增長(zhǎng)計(jì)量管的長(zhǎng)度時(shí)，除了會(huì)導(dǎo)致裝置大型化之外，也會(huì)有難以提高 排出精度的問題。本發(fā)明的目的在于提供一種在不降低排出精度的情況下，可使涂布作業(yè)中的再抽 吸動(dòng)作達(dá)到最小極限的排出裝置以及方法。(解決技術(shù)問題的技術(shù)方案)本發(fā)明的裝置如下構(gòu)成。即本發(fā)明第1方面的液體材料的排出裝置，具備有液體材料的儲(chǔ)存部、插通有柱塞 的多個(gè)計(jì)量部、柱塞驅(qū)動(dòng)裝置、以及與各計(jì)量部一對(duì)一對(duì)應(yīng)的多個(gè)噴嘴，并且將已充填至計(jì) 量部的液體材料以多次進(jìn)行排出，所述液體材料的排出裝置的特征在于所述柱塞驅(qū)動(dòng)裝 置為使全部柱塞同時(shí)進(jìn)退移動(dòng)的柱塞驅(qū)動(dòng)裝置。本發(fā)明第2方面的液體材料的排出裝置的特征在于，在本發(fā)明第1方面中，所述計(jì) 量部構(gòu)成為全部相同容量。本發(fā)明第3方面的液體材料的排出裝置的特征在于，在本發(fā)明第1或第2方面中，分別對(duì)所述計(jì)量部設(shè)置具有使計(jì)量部與噴嘴相連通的第一位置以及使計(jì)量部與儲(chǔ)存部相 連通的第二位置的切換閥，并設(shè)有將各切換閥的位置同時(shí)進(jìn)行切換的閥驅(qū)動(dòng)裝置。本發(fā)明第4方面的液體材料的排出裝置的特征在于，在本發(fā)明第3方面中，所述柱 塞驅(qū)動(dòng)裝置以及所述閥驅(qū)動(dòng)裝置相對(duì)于所述多個(gè)計(jì)量部被配置在垂直方向。本發(fā)明第5方面的液體材料的排出裝置的特征在于，在本發(fā)明第3或第4方面中， 設(shè)置配設(shè)有所述切換閥的塊體，在該塊體設(shè)有從所述儲(chǔ)存容器朝各切換閥將液體材料分支 流入的流路。本發(fā)明第6方面的液體材料的排出裝置的特征在于，在本發(fā)明第5方面中，所述計(jì) 量部由可裝接于所述塊體的計(jì)量管所構(gòu)成，并且為相互鄰接配置。本發(fā)明第7方面的液體材料的排出裝置的特征在于，在本發(fā)明第5方面中，在所述 塊體形成有計(jì)量部。本發(fā)明第8方面的液體材料的排出裝置的特征在于，在本發(fā)明第7方面中，在所述 塊體形成有儲(chǔ)存部。本發(fā)明第9方面的涂布裝置，具備有設(shè)有平臺(tái)的架臺(tái)、以及在架臺(tái)上延伸并且可 朝一方向移動(dòng)的框體，在該框體設(shè)有本發(fā)明第1至第8方面中任一方面的排出裝置。本發(fā)明的方法如下構(gòu)成，即本發(fā)明第10方面的液體材料的排出方法，從儲(chǔ)存部對(duì)插通有柱塞的計(jì)量部?jī)?nèi)填 充液體材料，通過重復(fù)進(jìn)行柱塞的進(jìn)出移動(dòng)與停止進(jìn)出，而將所述計(jì)量部?jī)?nèi)的液體材料以 多次進(jìn)行排出，所述液體材料的排出方法的特征在于設(shè)有多個(gè)計(jì)量部以及與各計(jì)量部一 對(duì)一對(duì)應(yīng)的多個(gè)噴嘴，并通過柱塞驅(qū)動(dòng)裝置使多個(gè)柱塞同時(shí)移動(dòng)，由此同時(shí)排出所有計(jì)量 部?jī)?nèi)的液體材料。本發(fā)明第11方面的液體材料的排出方法的特征在于，在本發(fā)明第10方面中，分別 對(duì)所述計(jì)量部設(shè)置具有使計(jì)量部與噴嘴相連通的第一位置以及使計(jì)量部與儲(chǔ)存部相連通 的第二位置的切換閥，一邊通過一驅(qū)動(dòng)裝置同時(shí)切換各切換閥，一邊排出液體材料。(發(fā)明的效果)根據(jù)本發(fā)明，可精度佳地從多個(gè)噴嘴滴下微量的液體材料。再者，能夠通過二個(gè)驅(qū)動(dòng)源構(gòu)成裝置，此外通過將其縱向配置，能夠細(xì)長(zhǎng)地構(gòu)成裝置。再者，因?yàn)槟軌蚴顾?yīng)的液體材料在裝置內(nèi)分支而導(dǎo)入于多個(gè)計(jì)量部中，因而 能夠減少儲(chǔ)存部?jī)?nèi)所殘留液體材料的量，能夠不浪費(fèi)地使用液體材料。


圖1為實(shí)施例1的滴下裝置的正面外觀圖。圖2為圖1所示的裝置的側(cè)面外觀圖。圖3為圖2中虛線位置的正面剖視圖。圖4為圖1中虛線位置的側(cè)面剖視圖。圖5為搭載有圖1所示的滴下裝置的涂布裝置的立體圖。圖6為實(shí)施例2的滴下裝置的正面外觀圖。圖7為圖6所示的裝置的側(cè)面外觀圖。
圖8為圖7中虛線位置的正面剖視圖。
符號(hào)說明
1滴下裝置
5涂布裝置
6平臺(tái)
7架臺(tái)
10基座
11板A
12板B
13板C
20電動(dòng)機(jī)A
21滑座
22滑件
30柱塞A
31柱塞B
32計(jì)量管A
33計(jì)量管B
34螺絲A
35螺絲B
36計(jì)量塊體
40儲(chǔ)存容器
41液體輸送管
42壓力供應(yīng)管
43液體輸送管
44液體材料
50閥體
51電動(dòng)機(jī)B
52齒輪組
53軸A
54軸B
55噴嘴A
56噴嘴B
57閥A
58閥B
59液體材料供應(yīng)口
60控制裝置
61閥插設(shè)孔A
62閥插設(shè)孔B
63儲(chǔ)存部
64計(jì)量孔A
65計(jì)量孔B
70旋轉(zhuǎn)檢測(cè)機(jī)構(gòu)
71傳感器
72檢測(cè)板
81可動(dòng)框體A
82可動(dòng)框體B
具體實(shí)施例方式本發(fā)明的最佳方式，例如為一種具備有相鄰接配置的多個(gè)計(jì)量部的液體材料的排 出裝置，其中，上述計(jì)量部分別具備有柱塞與噴嘴，并且具備有使多個(gè)柱塞同時(shí)進(jìn)退移動(dòng)的 驅(qū)動(dòng)裝置。上述計(jì)量部為暫時(shí)儲(chǔ)存經(jīng)由柱塞的進(jìn)出移動(dòng)而從噴嘴排出的液體材料的空間，其 體積大小構(gòu)成為適于精度佳地排出微量的液體材料。計(jì)量部設(shè)置為多個(gè)的理由在于不是使 一個(gè)計(jì)量部的體積變大，而是使計(jì)量部整體的體積變大。作為上述計(jì)量部的構(gòu)成，例如可揭 示出以下樣式多個(gè)計(jì)量部為裝接于閥體的多個(gè)計(jì)量管，閥體具備有從儲(chǔ)存容器使液體材 料分支流入各計(jì)量管中的流路。作為上述計(jì)量部的其它構(gòu)成，可揭示出在計(jì)量塊體中設(shè)置 多個(gè)計(jì)量孔與從儲(chǔ)存容器使液體材料分支流入于各計(jì)量孔中的流路的樣式。不管何種樣 式，噴嘴前端的水平方向位置均對(duì)齊配置。使計(jì)量部與噴嘴一對(duì)一對(duì)應(yīng)構(gòu)成的理由在于，在從一個(gè)計(jì)量部分支滴入二個(gè)噴嘴 的樣式中，因?yàn)橛?jì)量部?jī)?nèi)由柱塞加壓的液體材料的微妙流體均衡，所以會(huì)有液體不會(huì)均等 地流動(dòng)于雙方的噴嘴的情況。針對(duì)此點(diǎn)，如果構(gòu)成為各計(jì)量部分別具有噴嘴，則可使從各計(jì) 量部至噴嘴排出口的流路達(dá)到全部相同的封閉形狀(但是，也可介設(shè)切換閥)，因此可精度 佳地施行排出。再者，當(dāng)在液體材料充填時(shí)將柱塞的前端與切換閥間的容量設(shè)為相等，則通過使 在計(jì)量部?jī)?nèi)滑動(dòng)的柱塞同時(shí)進(jìn)出而施行排出，可使隨柱塞的進(jìn)出所產(chǎn)生的流路內(nèi)的體積減 少達(dá)到相同比例。也可以設(shè)為將所有計(jì)量部設(shè)為相同容量，從所有噴嘴同時(shí)排出同量的液 體材料。再者，如果在柱塞的前端部設(shè)置比桿更寬的密封部(大徑的突起部)，則滑動(dòng)面積 縮小，因而可以使柱塞高速移動(dòng)。此時(shí)，使計(jì)量部與噴嘴相連通的流路最好構(gòu)成為實(shí)質(zhì)的直 線。再者，優(yōu)選的是，上述計(jì)量部分別具備有切換閥，并具備有將各切換閥同時(shí)進(jìn)行切 換的驅(qū)動(dòng)裝置。切換閥可以為滑動(dòng)型、單向旋轉(zhuǎn)型、或者往復(fù)運(yùn)動(dòng)旋轉(zhuǎn)型的任一種。以下，利用實(shí)施例詳細(xì)說明本發(fā)明，但是本發(fā)明并不受該等實(shí)施例的任何限制。實(shí)施例1《整體構(gòu)成》由圖1至圖4說明本實(shí)施例的裝置。另外，圖4中，在柱塞B31的背面設(shè)有柱塞 A30，在噴嘴B56的背面設(shè)有噴嘴A55，在閥B58的背面設(shè)有閥A57，在閥插設(shè)孔B62的背面 設(shè)有閥插設(shè)孔A61。
在本實(shí)施例的排出裝置中，在基座10上安裝有板All、板B12以及板C13而構(gòu)成框 體，在上述框體上配設(shè)[1]柱塞驅(qū)動(dòng)部、[2]柱塞部、[3]液體輸送部以及[4]閥部。[1]柱塞驅(qū)動(dòng)部是由電動(dòng)機(jī)A20、滑座21、以及滑件22所構(gòu)成。柱塞驅(qū)動(dòng)部被構(gòu)成為通過固定在板B12的電動(dòng)機(jī)A20的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，使滑件22可在 固定于基座10的滑座21上朝滑座21的延伸方向移動(dòng)自如。柱塞驅(qū)動(dòng)部的各組件相對(duì)于 基座10的中心軸成線對(duì)稱配置。[2]柱塞部是由柱塞A30、柱塞B31、計(jì)量管A32、以及計(jì)量管B33所構(gòu)成。在柱塞部中，柱塞A30與柱塞B31經(jīng)由螺絲A34與螺絲B35分別固定于柱塞驅(qū)動(dòng) 部的滑件22。被構(gòu)成為柱塞A30可密接滑動(dòng)地插入至計(jì)量管A32的內(nèi)壁面，柱塞B31可密 接滑動(dòng)地插入至計(jì)量管B33的內(nèi)壁面。計(jì)量管A32以及計(jì)量管B33裝接固定至閥體50上面所穿設(shè)的孔中，通過電動(dòng)機(jī) A20的驅(qū)動(dòng)，使柱塞A30以及柱塞B31分別密接于計(jì)量管A32以及計(jì)量管B33的內(nèi)壁面而進(jìn) 行滑動(dòng)。此處，柱塞A30以及柱塞B31各自的計(jì)量管側(cè)前端，為了確實(shí)地在計(jì)量管內(nèi)密接， 可構(gòu)成比柱塞本體部的直徑更寬的直徑(即，設(shè)置密封部)。計(jì)量管A32與計(jì)量管B33相對(duì)于基座10的中心軸成線對(duì)稱且相互接近配置。這 樣，在本實(shí)施例中不會(huì)使一個(gè)計(jì)量管增長(zhǎng)或加粗，通過設(shè)置多個(gè)而增加排出量，防止排出裝 置的大型化。本實(shí)施例的裝置構(gòu)成為通過電動(dòng)機(jī)A20的旋轉(zhuǎn)動(dòng)作，使柱塞A30與柱塞B31同時(shí) 在計(jì)量管內(nèi)進(jìn)行前進(jìn)移動(dòng)或者后退移動(dòng)。即，當(dāng)柱塞A30在計(jì)量管A32內(nèi)進(jìn)行前進(jìn)移動(dòng)時(shí)， 柱塞B31也會(huì)同時(shí)在計(jì)量管B33內(nèi)進(jìn)行前進(jìn)移動(dòng)，當(dāng)柱塞A30在計(jì)量管A32內(nèi)進(jìn)行后退移 動(dòng)時(shí)，柱塞B31也會(huì)同時(shí)在計(jì)量管B33內(nèi)進(jìn)行后退移動(dòng)。[3]液體輸送部是由儲(chǔ)存容器40以及液體輸送管41所構(gòu)成。更詳細(xì)地說，液體輸送部是由儲(chǔ)存液體材料的儲(chǔ)存容器40、以及使上述儲(chǔ)存容器 40與閥體50相連通的液體輸送管41所構(gòu)成。液體輸送管41連通于朝儲(chǔ)存容器40的底部延伸的液體輸送管43，通過從到達(dá)儲(chǔ) 存容器40上部的壓力供應(yīng)管42所供應(yīng)的空壓作用，將儲(chǔ)存容器40內(nèi)所儲(chǔ)存的液體材料壓 送至閥體50。儲(chǔ)存容器40傾斜載置在板B12上，由板All支撐本體部而可裝卸地固定。[4]閥部是由閥體50、電動(dòng)機(jī)B51、齒輪組52、軸A53、軸B54、噴嘴A55、噴嘴B56、 以及旋轉(zhuǎn)檢測(cè)機(jī)構(gòu)70所構(gòu)成。閥部構(gòu)成為通過受基座10所支撐的電動(dòng)機(jī)B51的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，經(jīng)由齒輪組52，使并 列配置的二個(gè)軸(即軸A53與軸B54)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，并使固定于板C13的閥體50的閥插設(shè)孔 A61以及閥插設(shè)孔B62內(nèi)所配設(shè)的二個(gè)閥(即閥A57與閥B58)可旋轉(zhuǎn)自如。各閥具備有使 各計(jì)量管與各噴嘴相連通的貫通孔、以及在與該貫通孔正交的周面上朝閥的長(zhǎng)度方向(水 平方向)延伸的溝槽，該各溝槽與各閥插設(shè)孔的內(nèi)壁面互相作用而構(gòu)成使各計(jì)量管與儲(chǔ)存 容器40相連通的流路。旋轉(zhuǎn)檢測(cè)機(jī)構(gòu)70是由傳感器71與檢測(cè)板72所構(gòu)成。檢測(cè)板72為具有缺口的圓 盤，伴隨電動(dòng)機(jī)B51的旋轉(zhuǎn)而進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。構(gòu)成為檢測(cè)板72位于形成“二 ”字狀的作為光感測(cè)器的感測(cè)器71的凹部。在傳感器71中，凹部的上部為發(fā)光部，凹部的下部成為受光部，通 過檢測(cè)板72的缺口，可使由上述發(fā)光部所發(fā)出的光，對(duì)于上述受光部投光或者遮光。由此， 根據(jù)來自發(fā)光部的光對(duì)傳感器71的受光部開始遮光的位置、或者開始投光的位置，而控制 閥B58的旋轉(zhuǎn)位置。在閥體50的底部可裝卸地配設(shè)噴嘴A55與噴嘴B56。在閥體50的上面所穿設(shè)的孔中，裝接固定計(jì)量管A與B。另外，當(dāng)然在閥體50的 上面所穿設(shè)的孔本身也可構(gòu)成為計(jì)量管。閥體50中設(shè)置具有分支路徑的流路，該分支路徑用于將從連通于液體輸送管41 的液體材料供應(yīng)口 59所供應(yīng)的液體材料，分別輸送至閥A57與閥B58。這樣，因?yàn)闃?gòu)成為經(jīng) 所供應(yīng)的閥體50分支而流入于計(jì)量管A與B，因此不需要設(shè)置多個(gè)儲(chǔ)存容器。軸A53構(gòu)成為可裝卸地連接于閥A57(另外，在圖2以及圖4中，軸A53位于軸B54 的背面)。閥A57通過軸A53的旋轉(zhuǎn)動(dòng)作，取得使計(jì)量管A32與液體輸送管41相連通的第 一位置、以及使計(jì)量管A32與噴嘴A55相連通的第二位置。軸B54構(gòu)成為可裝卸地連接于閥B58。閥B58通過軸B54的旋轉(zhuǎn)動(dòng)作，而可取得使 計(jì)量管B33與液體輸送管41相連通的第一位置、以及使計(jì)量管B33與噴嘴B56相連通的第
二位置。閥A57與閥B58構(gòu)成為通過電動(dòng)機(jī)B51的旋轉(zhuǎn)動(dòng)作，可同時(shí)地在各自的第一位置
與第二位置進(jìn)行切換。電動(dòng)機(jī)A20、電動(dòng)機(jī)B51連接于控制裝置60，根據(jù)來自上述控制裝置60的指令產(chǎn)
生動(dòng)作。這樣，本實(shí)施例的裝置具備有二個(gè)電動(dòng)機(jī)。而且，由其中一個(gè)電動(dòng)機(jī)使多個(gè)柱塞同 時(shí)進(jìn)行移動(dòng)，并由另一個(gè)電動(dòng)機(jī)使多個(gè)閥同時(shí)產(chǎn)生動(dòng)作。在這樣的構(gòu)成中，電動(dòng)機(jī)A20與電 動(dòng)機(jī)B51經(jīng)由滑件而上下配置。通過這樣的配置，可將裝置細(xì)長(zhǎng)地形成。另外，電動(dòng)機(jī)A20 與電動(dòng)機(jī)B51最好配置于基座10的中心或中心附近的同軸上。當(dāng)在沿XY方向移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)器人上搭載多個(gè)本滴下裝置時(shí)，這種細(xì)長(zhǎng)的構(gòu)成可 增加滴下裝置的搭載數(shù)量，因而較佳。再者，因?yàn)橥ㄟ^二個(gè)電動(dòng)機(jī)可使所有柱塞與所有閥產(chǎn)生動(dòng)作，因而可輕量地構(gòu)成 裝置，在搭載有上述滴下裝置的涂布裝置中，使滴下裝置朝X方向或Y方向進(jìn)行移動(dòng)的情況 都便利?！兑后w材料排出作業(yè)》使電動(dòng)機(jī)B51進(jìn)行旋轉(zhuǎn)動(dòng)作，將閥A57與閥B58設(shè)置于第一位置處，并使計(jì)量管 A32以及計(jì)量管B33分別連通于液體輸送管41。接著，使電動(dòng)機(jī)A20產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)動(dòng)作，使柱塞A30與柱塞B31后退移動(dòng)，在計(jì)量管A32 以及計(jì)量管B33中吸入必要量的液體材料。接著，使電動(dòng)機(jī)B51產(chǎn)生動(dòng)作，以使閥A57以及閥B58位于第二位置處，使計(jì)量管 與噴嘴相連通。即，使計(jì)量管A32與噴嘴A55相連通，并使計(jì)量管B33與噴嘴B56相連通。為了排出所希望量的液體材料，使電動(dòng)機(jī)A20產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)動(dòng)作，使柱塞A30以及柱塞 B31前進(jìn)移動(dòng)規(guī)定量，從噴嘴A55以及噴嘴B56排出液體材料。此時(shí)，柱塞A30以及柱塞B31通過急速前進(jìn)后急遽停止，可精度佳地從噴嘴中滴下微少量的液體材料。通過連續(xù)急速前進(jìn)后接續(xù)急遽停止的動(dòng)作，可連續(xù)地滴下液體材料。為了使液體材料連續(xù)滴下，當(dāng)然事先必須抽吸必要量。此處，通過柱塞的急遽前進(jìn)后所接續(xù)的急遽停止，而精度佳地從噴嘴中滴下微少 量的液體材料。例如，通過使密接于計(jì)量管的內(nèi)壁面而進(jìn)行滑動(dòng)的柱塞的進(jìn)出移動(dòng)與停止 進(jìn)出，而調(diào)整從與上述計(jì)量管相連通的排出口所排出的液滴的排出量，這樣的液滴量的調(diào) 整方法，為調(diào)整從上述進(jìn)出移動(dòng)的柱塞開始減速起至停止為止的移動(dòng)速度，以使從上述排 出口所排出的液滴在每次排出時(shí)均保持一定量的液滴量的調(diào)整方法，此處，使上述柱塞后 退移動(dòng)而將液體材料從儲(chǔ)存容器中吸入于上述計(jì)量管內(nèi)，通過重復(fù)進(jìn)行上述柱塞的進(jìn)出移 動(dòng)與停止進(jìn)出，而將上述計(jì)量管內(nèi)的液體材料分開多次進(jìn)行排出。另外，關(guān)于該排出方法， 本案申請(qǐng)人在專利文獻(xiàn)4已有所揭示。在施行所希望次數(shù)的滴下動(dòng)作后，再度使電動(dòng)機(jī)B51進(jìn)行旋轉(zhuǎn)動(dòng)作，將閥A57與閥 B58設(shè)置于第一位置，并通過重復(fù)上述所說明的動(dòng)作，可連續(xù)施行排出作業(yè)。搭載有多個(gè)本實(shí)施例滴下裝置1的涂布裝置5，如圖5所示。涂布裝置5具備有架臺(tái)7、可動(dòng)框體A81、以及可動(dòng)框體B82，該架臺(tái)7具有載置工 件的平臺(tái)6，該可動(dòng)框體A81是由架臺(tái)1上所固設(shè)的一對(duì)支撐體所支撐，并橫跨架臺(tái)1的短 邊方向(X方向)，該可動(dòng)框體B82同樣地橫跨架臺(tái)1的X方向。在可動(dòng)框體A81與可動(dòng)框 體B82的側(cè)面，經(jīng)由可動(dòng)件在X方向可移動(dòng)自如地安裝有多個(gè)滴下裝置1。滴下裝置1由 排出裝置與使排出裝置可朝上下方向(Z方向)移動(dòng)自如的Z方向驅(qū)動(dòng)裝置所構(gòu)成。平臺(tái) 6通過X導(dǎo)軌構(gòu)成可朝X方向移動(dòng)自如，并且，通過配設(shè)有X導(dǎo)軌的Y滑件與Y導(dǎo)軌而構(gòu)成 可在Y方向移動(dòng)自如。另外，也可以在平臺(tái)6上設(shè)置用于使工件朝θ軸方向移動(dòng)而定位于 既定角度的θ旋轉(zhuǎn)裝置。作為X方向以及Y方向的導(dǎo)軌，可例示出具備有線性電動(dòng)機(jī)用磁 鐵與直動(dòng)導(dǎo)件的構(gòu)成，但是不受限于此構(gòu)成，例如也可以構(gòu)成為在滑座具備有電動(dòng)機(jī)與連 動(dòng)于電動(dòng)機(jī)而進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的滾珠螺桿，在滑件具備有連動(dòng)于滾珠螺桿的旋轉(zhuǎn)而進(jìn)行直進(jìn)移動(dòng) 的螺帽。本實(shí)施例的重要處在于不是從一個(gè)計(jì)量管分支二個(gè)噴嘴而滴下的樣式。S卩，噴嘴、 計(jì)量管以及柱塞構(gòu)成為1個(gè)組合，排出裝置具備有多個(gè)此種組合。在從一個(gè)計(jì)量管分支二個(gè)噴嘴而滴下的樣式中，由于計(jì)量管內(nèi)經(jīng)柱塞加壓的液體 材料的微妙流體均衡，會(huì)有流體無法均等地流動(dòng)至雙方噴嘴的情況，但通過本實(shí)施例的構(gòu) 成，可確實(shí)地滴下液體材料。本實(shí)施例中，雖然例示配置有二個(gè)噴嘴的排出裝置的構(gòu)成，但是本實(shí)施例的技術(shù) 思想當(dāng)然也涵蓋配置有二個(gè)以上噴嘴的排出裝置的樣式。再者，因?yàn)閲娮?、?jì)量管以及柱塞為一個(gè)組合，因此當(dāng)然也需要與噴嘴數(shù)量相同數(shù) 目的計(jì)量管與柱塞。實(shí)施例2《整體構(gòu)成》由圖6至圖8說明實(shí)施例2的裝置。另外，圖8中，在柱塞Β31的背面具有柱塞 Α30，在噴嘴Β56的背面具有噴嘴Α55，在閥Β58的背面具有閥Α57，在閥插設(shè)孔Β62的背面 具有閥插設(shè)孔Α61，在計(jì)量孔Β65的背面具有計(jì)量孔Α64。本實(shí)施例的排出裝置在具備有閥插設(shè)孔Α61與Β62、儲(chǔ)存部63、以及形成有計(jì)量孔A64與B65的計(jì)量塊體36這點(diǎn)不同于實(shí)施例1的排出裝置。計(jì)量塊體36固定于板C13，上面設(shè)有供柱塞A31與B31插入的孔，側(cè)面設(shè)有與液體 輸送管41相連通的液體材料供應(yīng)口 59。從液體材料供應(yīng)口 59所供應(yīng)的液體材料，暫時(shí)儲(chǔ) 存于在計(jì)量塊體36的內(nèi)部所形成的儲(chǔ)存部63中。儲(chǔ)存部63中所儲(chǔ)存的液體材料經(jīng)由在 閥A57與閥B58各自周面所形成的溝槽而輸送至計(jì)量孔A64與計(jì)量孔B65。本排出裝置的 液體抽吸步驟與實(shí)施例1相同，儲(chǔ)存部63與計(jì)量孔A64以及計(jì)量孔B65保持相連通狀態(tài)， 利用電動(dòng)機(jī)A20使柱塞A30與柱塞B31同時(shí)后退移動(dòng)而施行。本排出裝置的液體排出步驟也與實(shí)施例1相同。首先，通過支撐于基座10的電動(dòng) 機(jī)B51的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，經(jīng)由齒輪組52使并列配置的二個(gè)軸(即軸A53與軸B54)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，由 此使各計(jì)量孔與各噴嘴通過設(shè)于各閥的貫通孔相連通。然后，利用電動(dòng)機(jī)A20使柱塞A30 與柱塞B31同時(shí)急遽前進(jìn)，接著急遽停止，由此精度佳地從噴嘴滴下微少量的液體材料。此 動(dòng)作重復(fù)多次而施行排出作業(yè)，直到抽吸至計(jì)量孔A64與B65內(nèi)的液體材料被排盡為止。在本實(shí)施例的排出裝置中也可以將計(jì)量孔、柱塞以及噴嘴配置二個(gè)以上。并且，本 實(shí)施例的排出裝置當(dāng)然也可以搭載于實(shí)施例1的涂布裝置5。(產(chǎn)業(yè)上的可利用性)本發(fā)明適用于平面顯示器制造步驟，例如液晶面板制造步驟中的液晶滴下步驟等 領(lǐng)域。
權(quán)利要求
1.一種液體材料的排出裝置，具備有液體材料的儲(chǔ)存部、插通有柱塞的多個(gè)計(jì)量部、柱 塞驅(qū)動(dòng)裝置、以及與各計(jì)量部一對(duì)一對(duì)應(yīng)的多個(gè)噴嘴，并且將已充填至計(jì)量部的液體材料 以多次進(jìn)行排出，所述液體材料的排出裝置的特征在于所述柱塞驅(qū)動(dòng)裝置為使全部柱塞同時(shí)進(jìn)退移動(dòng)的柱塞驅(qū)動(dòng)裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液體材料的排出裝置，其特征在于，所述計(jì)量部構(gòu)成為全部 相同容量。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的液體材料的排出裝置，其特征在于，分別對(duì)所述計(jì)量部設(shè) 置具有使計(jì)量部與噴嘴相連通的第一位置以及使計(jì)量部與儲(chǔ)存部相連通的第二位置的切 換閥，并設(shè)有將各切換閥的位置同時(shí)進(jìn)行切換的閥驅(qū)動(dòng)裝置。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的液體材料的排出裝置，其特征在于，所述柱塞驅(qū)動(dòng)裝置以及 所述閥驅(qū)動(dòng)裝置相對(duì)于所述多個(gè)計(jì)量部被配置在垂直方向。
5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的液體材料的排出裝置，其特征在于，設(shè)置配設(shè)有所述切換 閥的塊體，在該塊體設(shè)有從所述儲(chǔ)存容器朝各切換閥將液體材料分支流入的流路。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的液體材料的排出裝置，其特征在于，所述計(jì)量部由可裝接于 所述塊體的計(jì)量管所構(gòu)成，并且為相互鄰接配置。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的液體材料的排出裝置，其特征在于，在所述塊體形成有計(jì)量部。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的液體材料的排出裝置，其特征在于，在所述塊體形成有儲(chǔ)存部。
9.一種涂布裝置，具備有設(shè)有平臺(tái)的架臺(tái)、以及在架臺(tái)上延伸并且可朝一方向移動(dòng)的 框體，在該框體設(shè)有權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的排出裝置。
10.一種液體材料的排出方法，從儲(chǔ)存部對(duì)插通有柱塞的計(jì)量部?jī)?nèi)填充液體材料，通過 重復(fù)進(jìn)行柱塞的進(jìn)出移動(dòng)與停止進(jìn)出，而將所述計(jì)量部?jī)?nèi)的液體材料以多次進(jìn)行排出，所 述液體材料的排出方法的特征在于設(shè)有多個(gè)計(jì)量部以及與各計(jì)量部一對(duì)一對(duì)應(yīng)的多個(gè)噴嘴，并通過柱塞驅(qū)動(dòng)裝置使多個(gè) 柱塞同時(shí)移動(dòng)，由此同時(shí)排出所有計(jì)量部?jī)?nèi)的液體材料。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的液體材料的排出方法，其特征在于，分別對(duì)所述計(jì)量部設(shè) 置具有使計(jì)量部與噴嘴相連通的第一位置以及使計(jì)量部與儲(chǔ)存部相連通的第二位置的切 換閥，一邊通過驅(qū)動(dòng)裝置同時(shí)切換各切換閥，一邊排出液體材料。
全文摘要
本發(fā)明提供一種在不降低排出精度的情況下可使涂布作業(yè)中的再抽吸動(dòng)作達(dá)到最小極限的液體材料的排出裝置以及方法。本發(fā)明的液體材料的排出裝置具備有液體材料的儲(chǔ)存部(4)、插通有柱塞(30、31)的多個(gè)計(jì)量部(32、33)、柱塞驅(qū)動(dòng)裝置(20)、以及與各計(jì)量部(32、33)一對(duì)一對(duì)應(yīng)的多個(gè)噴嘴(55、56)，并且將已充填至計(jì)量部(32、33)的液體材料以多次進(jìn)行排出，其中，上述柱塞驅(qū)動(dòng)裝置(20)為使全部柱塞(30、31)同時(shí)進(jìn)退移動(dòng)的柱塞驅(qū)動(dòng)裝置。
文檔編號(hào)B05D1/26GK102006943SQ20098010570
公開日2011年4月6日 申請(qǐng)日期2009年2月20日 優(yōu)先權(quán)日2008年2月21日
發(fā)明者生島和正 申請(qǐng)人:武藏工業(yè)株式會(huì)社