專利名稱：一種環(huán)保型氧化物薄膜蝕刻膏的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于液晶屏、觸摸屏、太陽(yáng)能電池等導(dǎo)電走線的氧化物薄膜蝕刻膏。
背景技術(shù)：
傳統(tǒng)走線的形成一般采用光刻膠，其工序較多，容易產(chǎn)生有害廢液，近年來(lái)開(kāi)始采 用蝕刻膏來(lái)對(duì)氧化物薄膜蝕刻，尤其是用于液晶屏、觸摸屏、太陽(yáng)能電池等導(dǎo)電走線的形 成。 市面上的蝕刻膏通常是由電路板用蝕刻液調(diào)整而來(lái)，其組份中的強(qiáng)酸對(duì)設(shè)備有強(qiáng) 烈腐蝕性，會(huì)對(duì)操作人員造成不良的影響，不環(huán)保而且使用不方便。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種環(huán)保、使用方便的氧化物薄膜蝕刻膏。 本發(fā)明解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是一種環(huán)保型氧化物薄膜蝕刻膏，由 甲酸、草酸、增稠劑、消泡劑及水混合而成。 其中，各組份的重量百分比如下甲酸30_60%，草酸10_30%，增稠劑1_20%，消 泡劑0. 2-3%，水1-18%。 本發(fā)明的蝕刻膏為水性組份，不含強(qiáng)酸，形成導(dǎo)電走線后直接用水沖洗即可，因此 對(duì)設(shè)備和操作人員無(wú)不良影響，環(huán)保而且使用方便。
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。
實(shí)施例一 —種環(huán)保型氧化物薄膜蝕刻膏，由甲酸、草酸、增稠劑、消泡劑及水混合而成，各組 份的重量百分比為甲酸30 % 、草酸30 % 、增稠劑20 % 、消泡劑3 % 、水17 % 。
實(shí)施例二 —種環(huán)保型氧化物薄膜蝕刻膏，由甲酸、草酸、增稠劑、消泡劑及水混合而成，各組 份的重量百分比為甲酸60%、草酸10%、增稠劑10%、消泡劑2%、水18%。
本發(fā)明的蝕刻膏為水性組份，不含強(qiáng)酸，形成導(dǎo)電走線后直接用水沖洗即可，因此 對(duì)設(shè)備和操作人員無(wú)不良影響，環(huán)保而且使用方便。 上述實(shí)施例僅例示性說(shuō)明本發(fā)明的原理及其功效，以及部分運(yùn)用的實(shí)施例，對(duì)于 本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本發(fā)明創(chuàng)造構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和 改進(jìn)，這些都屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
一種環(huán)保型氧化物薄膜蝕刻膏，其特征在于由甲酸、草酸、增稠劑、消泡劑及水混合而成。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的蝕刻膏，其特征在于，各組份的重量百分比如下30-60%10-30%劑 1-20%劑 0.2-3%水 1-18%。酸酸桐泡甲草增脂
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種環(huán)保型氧化物薄膜蝕刻膏，由30-60％的甲酸、10-30％的草酸、1-20％的增稠劑、0.2-3％的消泡劑及1-18％的水混合而成；本發(fā)明的蝕刻膏為水性組份，不含強(qiáng)酸，形成導(dǎo)電走線后直接用水沖洗即可，因此對(duì)設(shè)備和操作人員無(wú)不良影響，環(huán)保而且使用方便。
文檔編號(hào)C09K13/00GK101768445SQ201010105300
公開(kāi)日2010年7月7日 申請(qǐng)日期2010年1月29日 優(yōu)先權(quán)日2010年1月29日
發(fā)明者夏運(yùn)海 申請(qǐng)人:東莞市亞馬電子有限公司