專(zhuān)利名稱(chēng)：抗蝕油墨及通過(guò)抗蝕油墨的抗蝕圖案形成方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及抗蝕油墨，特別是涉及適于通過(guò)反轉(zhuǎn)印刷法形成微細(xì)抗蝕圖案的抗蝕 油墨。另外，本發(fā)明涉及通過(guò)這種抗蝕油墨的抗蝕圖案的形成方法。
背景技術(shù)：
作為在玻璃基板或塑料基板等的被印刷基材上形成微細(xì)的印刷圖案的現(xiàn)有方法， 已知有專(zhuān)利文獻(xiàn)1中所述的那樣，在覆蓋層上形成均勻厚度的樹(shù)脂涂面，使樹(shù)脂涂面接 觸 擠壓至凸版，被凸版擠壓的樹(shù)脂涂面一部分從覆蓋層上除去，把覆蓋層上形成的樹(shù)脂圖 案轉(zhuǎn)印至被印刷基材上的方法(參照?qǐng)D1)。把這種印刷法稱(chēng)作反轉(zhuǎn)印刷法，已知該法是與 現(xiàn)有的其他印刷法相比適于形成微細(xì)的印刷圖案的印刷法。另外，作為適于這種反轉(zhuǎn)印刷法的油墨組合物，例如，專(zhuān)利文獻(xiàn)2及專(zhuān)利文獻(xiàn)3公 開(kāi)了含有速干性溶劑與慢干性溶劑的混合物的揮發(fā)性溶劑，與在該揮發(fā)性溶劑中可溶的 樹(shù)脂及在該揮發(fā)性溶劑中不溶的固體物的油墨組合物；還記載了這種油墨組合物，在制造 TFT型彩色液晶顯示裝置的彩色過(guò)濾器時(shí)，或在由玻璃或塑料等構(gòu)成的基板上印刷細(xì)微的 導(dǎo)電體電路，形成布線板或印刷電路時(shí)等是合適的。專(zhuān)利文獻(xiàn)2及專(zhuān)利文獻(xiàn)3中所述的油 墨組合物，其特征在于，具有可在覆蓋層上形成均勻的油墨涂面的粘度、表面能；可通過(guò)與 凸版接觸在覆蓋層上形成的完全的印刷圖案呈現(xiàn)干燥性、附著力、凝聚力；另外，具有把覆 蓋層上的油墨涂膜完全轉(zhuǎn)印至被印刷基材上的附著力、凝聚力。這些特征可以認(rèn)為，主要是 揮發(fā)性溶劑中含有不溶的固體物，通過(guò)控制粘度、表面能或凝聚力的油墨組合物的特性而 得到。在專(zhuān)利文獻(xiàn)2及專(zhuān)利文獻(xiàn)3中，所謂于揮發(fā)性溶劑中不溶的固體物，是指與樹(shù)脂不同 的成分，顏料等著色劑、粉末狀導(dǎo)電性材料或熒光發(fā)生劑等，就屬于此類(lèi)固體物。另一方面，作為用于制造細(xì)微電路的抗蝕圖案的形成方法，現(xiàn)在以光刻法(光刻) 為主流，如通過(guò)反轉(zhuǎn)印刷法代替光刻法形成抗蝕圖案，則可省去曝光或顯影等工序，對(duì)簡(jiǎn)化 工序有利。但是，如果通過(guò)根據(jù)專(zhuān)利文獻(xiàn)2及專(zhuān)利文獻(xiàn)3記載那樣，使用應(yīng)用油墨組合物的 抗蝕油墨，通過(guò)反轉(zhuǎn)印刷法形成抗蝕圖案，由于專(zhuān)利文獻(xiàn)2及專(zhuān)利文獻(xiàn)3所述的油墨組合 物，以在揮發(fā)性溶劑中不溶的固體物作為必須成分，故這種固體物在蝕刻處理時(shí)及抗蝕劑 剝離處理時(shí)殘留，有該殘留物產(chǎn)生的不合格品發(fā)生之慮。另外，上述反轉(zhuǎn)印刷法中可利用的 油墨組合物，由于必須具有規(guī)定的特性，故配制具有這種特性，且蝕刻耐性高地剝離時(shí)不產(chǎn) 生殘?jiān)?，可形成抗蝕圖案的抗蝕油墨是非常困難的。[專(zhuān)利文獻(xiàn)1]特開(kāi)2001-56405號(hào)公報(bào)[專(zhuān)利文獻(xiàn)2]特開(kāi)2005-126608號(hào)公報(bào)[專(zhuān)利文獻(xiàn)3]特開(kāi)2005-128346號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明所要解決的課題本發(fā)明的目的是提供一種抗蝕油墨以及通過(guò)該抗蝕油墨的抗蝕圖案形成方法，該油墨不含產(chǎn)生次品的固體物，并且具有適于通過(guò)反轉(zhuǎn)印刷法形成高的蝕刻耐性的細(xì)微抗蝕 圖案的性質(zhì)。用于解決課題的手段本發(fā)明人研究的結(jié)果發(fā)現(xiàn)，適于通過(guò)反轉(zhuǎn)印刷法形成細(xì)微抗蝕圖案的新型抗蝕油 墨，以及通過(guò)該抗蝕油墨的新型抗蝕圖案形成方法。本發(fā)明的要點(diǎn)如下(1)抗蝕油墨，其含有熱熔融型樹(shù)脂構(gòu)成的樹(shù)脂微粒，與不溶解該樹(shù)脂微粒且能分 散該樹(shù)脂微粒的溶劑。(2)上述(1)中所述的抗蝕油墨，其用于通過(guò)反轉(zhuǎn)印刷法在被蝕刻材料上形成抗 蝕圖案。(3)上述(1)或⑵中所述的抗蝕油墨，其中，上述樹(shù)脂微粒與上述溶劑的溶解度 參數(shù)之差在2. 5 (cal/cm3)1/2以上。(4)上述(1) (3)中任何一項(xiàng)所述的抗蝕油墨，其中，上述樹(shù)脂微粒與上述溶劑 的密度之差在士0. 05g/cm3以?xún)?nèi)。(5)上述(1) (4)中任何一項(xiàng)所述的抗蝕油墨，其中，上述樹(shù)脂微粒具有0. 01 20 um的平均粒徑。(6)上述(1) (5)中任何一項(xiàng)所述的抗蝕油墨，其中，上述熱熔融型樹(shù)脂具有 1000 10000的重均分子量。(7)上述(1) (6)中任何一項(xiàng)所述的抗蝕油墨，其中，上述熱熔融型樹(shù)脂為酚醛 類(lèi)樹(shù)脂。(8)上述(1) (7)中任何一項(xiàng)所述的抗蝕油墨，其中，上述溶劑為含有至少1種 高密度溶劑與至少1種低密度溶劑的2種以上溶劑的混合物。(9)上述(1) ⑶中任何一項(xiàng)所述的抗蝕油墨，其中，粘度為0. 5 15. OmPa-s, 且表面張力為12. 0 27. Odyn/cm。(10)抗蝕圖案的形成方法，其中包括，通過(guò)上述(1) (9)中任何一項(xiàng)所述的抗蝕 油墨，通過(guò)反轉(zhuǎn)印刷法在被蝕刻材料上印刷抗蝕油墨圖案，通過(guò)加熱上述圖案，使上述抗蝕 油墨中所含的樹(shù)脂微粒熔融，形成抗蝕圖案。發(fā)明的效果本發(fā)明的抗蝕油墨，其構(gòu)成為含有樹(shù)脂微粒，與不溶解上述樹(shù)脂微粒且能分散上 述樹(shù)脂微粒的溶劑，具有特別適于通過(guò)反轉(zhuǎn)印刷法形成抗蝕圖案的性質(zhì)(即，在覆蓋層上 可形成均勻的涂面的粘度及表面能(表面張力)，以及可通過(guò)與凸版接觸在覆蓋層上形成 抗蝕油墨圖案，且在被蝕刻材料上能轉(zhuǎn)印上述圖案的附著力及凝聚力)。另外，因上述樹(shù)脂 微粒以熱熔融型樹(shù)脂構(gòu)成，抗蝕油墨圖案在被蝕刻材料上轉(zhuǎn)印后進(jìn)行加熱，由此上述樹(shù)脂 微粒發(fā)生熔融，能提高形成的抗蝕圖案的蝕刻耐性。而且，如通過(guò)這種抗蝕油墨，可提供一 種代替光刻法的用于制造細(xì)微電路的抗蝕圖案形成方法。通過(guò)本發(fā)明的抗蝕油墨的抗蝕圖 案形成方法，與光刻法不同，不需曝光及顯影工序，故對(duì)工程簡(jiǎn)化有利。


圖1為表示反轉(zhuǎn)印刷法的一例的概略圖。圖2為表示通過(guò)本發(fā)明的抗蝕油墨的反轉(zhuǎn)印刷法形成抗蝕圖案的工序一部分模式圖。圖3為表示通過(guò)本發(fā)明的抗蝕油墨的反轉(zhuǎn)印刷法形成抗蝕圖案的工序一部分模 式圖。[符號(hào)的說(shuō)明]1...旋轉(zhuǎn)殼體、2...覆蓋層、3...涂布裝置、4...油墨、5...油墨實(shí)地膜(4 >矢 夕膜)、6...印刷版、7...除去油墨、8...油墨圖案、9...被印刷基材、10...抗蝕油墨、
11...抗蝕油墨膜、12...除去抗蝕油墨、13...抗蝕油墨圖案、14...被蝕刻材料、15...抗 蝕圖案、16...熱熔融型樹(shù)脂微粒、17...溶劑
具體實(shí)施例方式首先，對(duì)通過(guò)本發(fā)明的抗蝕油墨印刷抗蝕油墨圖案的反轉(zhuǎn)印刷法加以說(shuō)明。所謂 反轉(zhuǎn)印刷法，是指在覆蓋層表面上形成的均勻油墨涂膜通過(guò)凸版加以圖案化，將其轉(zhuǎn)印至 被印刷基材上，把油墨圖案印刷至被印刷基材上的凸版反轉(zhuǎn)印刷法。圖1為表示反轉(zhuǎn)印刷法的一例的概略圖。如圖1(a)所示，首先，涂布裝置3利用 毛細(xì)管現(xiàn)象吸上油墨4，在旋轉(zhuǎn)殼體1上的覆蓋層2的表面上形成均勻的油墨實(shí)地膜5。其 次，如圖1(b)所示，使表面上形成了均勻的油墨實(shí)地膜5的覆蓋層2的表面，擠壓 接觸作 為凸版的印刷版6，在印刷版6的凸部表面上，使覆蓋層2的表面上的油墨實(shí)地膜5的一部 分附著 轉(zhuǎn)移，印刷版6的凸部表面殘留了除去油墨7。由此，在覆蓋層2的表面形成油墨 圖案8。然后，如圖1(c)所示，使該狀態(tài)下的覆蓋層2擠壓在被印刷基材9的表面上，覆蓋 層2上的油墨圖案8被轉(zhuǎn)印至被印刷基材9上。應(yīng)用此的抗蝕圖案形成中的反轉(zhuǎn)印刷法，是指覆蓋層表面上形成的均勻抗蝕油墨 涂膜，通過(guò)凸版而圖案化，將其轉(zhuǎn)印至被蝕刻材料上，將抗蝕油墨圖案印刷至被蝕刻材料上 的凸版反轉(zhuǎn)印刷法。下面，對(duì)通過(guò)反轉(zhuǎn)印刷法的本發(fā)明的抗蝕圖案形成方法加以說(shuō)明。圖2為表示通過(guò)本發(fā)明的抗蝕油墨的反轉(zhuǎn)印刷法形成抗蝕圖案的工序模式圖。如 圖2(a)所示，首先，涂布裝置3利用毛細(xì)管現(xiàn)象吸上抗蝕油墨10，旋轉(zhuǎn)殼體1上的覆蓋層2 的表面上形成均勻厚度的抗蝕油墨膜11。其次，如圖2(b)所示，表面上形成均勻的抗蝕油 墨膜11的覆蓋層2的表面，與作為凸版的印刷版6擠壓 接觸，覆蓋層2的表面上的抗蝕 油墨膜11的一部分被附著 轉(zhuǎn)移至印刷版6的凸部表面上。在印刷版6的凸部表面上殘 留除去抗蝕油墨12。由此，在覆蓋層2的表面上形成抗蝕油墨圖案13。其次，如圖2(c)所 示，把該狀態(tài)的覆蓋層2擠壓至被蝕刻材料14的表面上，如此覆蓋層2上的抗蝕油墨圖案 13被轉(zhuǎn)印至被蝕刻材料14上。其次，如圖2(d)所示，被轉(zhuǎn)印至被蝕刻材料14上的抗蝕油 墨圖案13，根據(jù)需要干燥后進(jìn)行加熱，抗蝕油墨圖案13變成抗蝕圖案15。圖3為抗蝕油墨10、抗蝕油墨圖案13及抗蝕圖案15的一部分放大模式圖。如圖 3(a)所示，抗蝕油墨11具有熱熔融型樹(shù)脂微粒16分散在溶劑17中的組成。如圖3(b)所 示，被轉(zhuǎn)印至被蝕刻材料14上的抗蝕油墨圖案13，為抗蝕油墨10中含有的熱熔融型樹(shù)脂微 粒16凝聚而成。而且，如圖3(c)所示，當(dāng)加熱抗蝕油墨圖案13時(shí)，熱熔融型樹(shù)脂微粒16因 熱而熔融，變成抗蝕圖案15。加熱后的抗蝕圖案15，通過(guò)熱熔融型樹(shù)脂微粒16發(fā)生熔融， 與加熱前的抗蝕油墨圖案13相比，作為抗蝕劑必要的密合力及蝕刻耐性提高。另外，通過(guò) 熱熔融型樹(shù)脂微粒16發(fā)生熔融而互相粘接，由此在抗蝕劑剝離時(shí)也難以產(chǎn)生殘?jiān)?br> 通過(guò)這種反轉(zhuǎn)印刷法形成細(xì)微而精密的抗蝕圖案時(shí)，其所使用的抗蝕油墨，通過(guò) 涂布裝置3在覆蓋層2上的涂布，從覆蓋層2向印刷版6的抗蝕油墨膜11的轉(zhuǎn)移，從覆蓋 層2向被蝕刻材料14的抗蝕油墨圖案13的轉(zhuǎn)印的各工序中，必須保持適當(dāng)?shù)挠湍D(zhuǎn)移性。 通過(guò)涂布裝置3在覆蓋層2上涂布時(shí)，為了以薄膜、平滑且均勻形成抗蝕油墨膜11，抗蝕油 墨的粘度與表面能必須加以適當(dāng)控制。另外，在從覆蓋層2向印刷版6的抗蝕油墨膜11進(jìn) 行轉(zhuǎn)移及從覆蓋層2向被蝕刻材料14的抗蝕油墨圖案13的轉(zhuǎn)印時(shí)，為使轉(zhuǎn)移及轉(zhuǎn)印完全 進(jìn)行，必須適當(dāng)控制抗蝕油墨的附著力與凝聚力。其次，對(duì)本發(fā)明的抗蝕油墨加以說(shuō)明。本發(fā)明涉及含有熱熔融型樹(shù)脂構(gòu)成的樹(shù)脂 微粒，與不溶解上述樹(shù)脂微粒且能分散上述樹(shù)脂微粒的溶劑的抗蝕油墨。本發(fā)明的抗蝕油 墨具有(a)在覆蓋層表面上能形成均勻且一定以上厚度涂面的粘度及表面能；(b)可通過(guò) 接觸 擠壓凸版，除去不要的部分而形成抗蝕油墨圖案的附著力與凝聚力；以及(c)將在覆 蓋層面上形成的抗蝕油墨圖案，完全轉(zhuǎn)印至被蝕刻材料上的附著力與凝聚力；適于通過(guò)反 轉(zhuǎn)印刷法在被蝕刻材料上形成抗蝕圖案。這種本發(fā)明的抗蝕油墨的性質(zhì)，通過(guò)樹(shù)脂微粒不 溶解但分散于溶劑中來(lái)實(shí)現(xiàn)。特別是為了得到作為抗蝕劑優(yōu)選厚度(例如，2i!m以上)的抗蝕圖案，本發(fā)明所謂 的抗蝕油墨的樹(shù)脂微粒分散在溶劑中的構(gòu)成有很大貢獻(xiàn)。例如，盡管是樹(shù)脂溶解于溶劑的 抗蝕油墨，也能通過(guò)選擇所用的樹(shù)脂與溶劑調(diào)整表面能等，由此用于反轉(zhuǎn)印刷法。然而，通 過(guò)這種抗蝕油墨時(shí)，一次形成必要厚度的抗蝕圖案非常難，抗蝕油墨的涂布必須有數(shù)次反 復(fù)進(jìn)行等工序。另一方面，如果通過(guò)本發(fā)明的具有樹(shù)脂微粒分散于溶劑的構(gòu)成的抗蝕油墨， 通過(guò)反轉(zhuǎn)印刷法可以一次形成充分厚度的抗蝕油墨圖案。另外，加熱形成的抗蝕油墨圖案 使樹(shù)脂微粒熔解，所形成的抗蝕圖案具有充分的蝕刻耐性。上述本發(fā)明的抗蝕油墨的特性，通過(guò)調(diào)整上述樹(shù)脂微粒的材質(zhì)、分子量及平均粒 徑，以及上述溶劑的溶解度參數(shù)與密度，達(dá)到優(yōu)良。本發(fā)明的抗蝕油墨中使用的樹(shù)脂微粒由熱熔融型樹(shù)脂構(gòu)成。作為熱熔融型樹(shù)脂， 只要是通過(guò)加熱發(fā)生熔融的即可而未作特別限定，例如，酚醛類(lèi)樹(shù)脂，特別是酚醛清漆型酚 醛樹(shù)脂，酚醛清漆型甲酚樹(shù)脂、酚醛清漆型雙酚A樹(shù)脂、酚醛清漆型乙基酚醛樹(shù)脂、酚醛清 漆型丁基酚醛樹(shù)脂及酚醛清漆型辛基酚醛樹(shù)脂等酚醛清漆型酚醛樹(shù)脂，特別是酚醛清漆型 酚醛樹(shù)脂、酚醛清漆型甲酚樹(shù)脂是優(yōu)選的。另外，上述酚醛類(lèi)樹(shù)脂的2種以上構(gòu)成的混合物 也可優(yōu)選使用。具體的是，可優(yōu)選通過(guò)工7 々才一々一社制造的市場(chǎng)銷(xiāo)售的酚醛清漆型 酚醛類(lèi)樹(shù)脂的熱熔融型 ^ 〃一> (注冊(cè)商標(biāo))。特別是酚醛清漆型酚醛類(lèi)樹(shù)脂，由于在現(xiàn) 有的光刻法中也用作抗蝕劑材料，如本發(fā)明中使用的樹(shù)脂為酚醛清漆型酚醛類(lèi)樹(shù)脂時(shí)，蝕 刻以后的工序可原樣通過(guò)現(xiàn)有的裝置及材料來(lái)進(jìn)行，因此是有利的。構(gòu)成本發(fā)明的抗蝕油墨中使用的樹(shù)脂微粒的熱熔融型樹(shù)脂，其重均分子量為 1000 10000左右，特別是2000 8000，尤其4000 8000左右是優(yōu)選的。當(dāng)熱熔融型樹(shù) 脂的重均分子量過(guò)大時(shí)，難以用熱熔融，另一方面，當(dāng)重均分子量過(guò)小時(shí)，形成抗蝕圖案時(shí) 的蝕刻耐性有下降的擔(dān)心。然而，如熱熔融型樹(shù)脂的重均分子量處于上述范圍內(nèi)，則可以實(shí) 現(xiàn)優(yōu)選的熱熔融型及蝕刻耐性。特別是熱熔融型樹(shù)脂，通過(guò)將含有該熱熔融型樹(shù)脂構(gòu)成的 樹(shù)脂微粒的抗蝕油墨印刷的圖案在80 150°C加熱1 2分左右，發(fā)生熔融及固化，形成具 有充分的蝕刻耐性的抗蝕圖案，是優(yōu)選的，另外，蝕刻后通過(guò)剝離劑的作用可從被蝕刻劑容易剝離，是優(yōu)選的。本發(fā)明的抗蝕油墨中使用的樹(shù)脂微粒的平均粒徑為0. 01 20 y m，特別是0. 05 l.Oum是優(yōu)選的。當(dāng)樹(shù)脂微粒的平均粒徑過(guò)大時(shí)，與上述專(zhuān)利文獻(xiàn)2及3所述的油墨組合 物同樣，在蝕刻處理及抗蝕剝離處理時(shí)，該粒子變成殘?jiān)?，該殘?jiān)鸫纹钒l(fā)生之慮。另一 方面，當(dāng)樹(shù)脂微粒的平均粒徑過(guò)小時(shí)，易引起樹(shù)脂微粒的凝聚，有均勻的抗蝕油墨圖案的形 成變得困難之慮。然而，當(dāng)樹(shù)脂微粒的平均粒徑處于上述范圍內(nèi)時(shí)，可以得到樹(shù)脂微粒均勻 分散的抗蝕油墨。還有，當(dāng)必須形成更細(xì)微的抗蝕圖案時(shí)，樹(shù)脂微粒的平均粒徑更小者是 優(yōu)選的。例如，當(dāng)必須形成線寬10 ym以下的細(xì)微的抗蝕圖案時(shí)，樹(shù)脂微粒的平均粒徑在 0. lum(lOOnm)以下是優(yōu)選的。本發(fā)明的抗蝕油墨中使用的溶劑，只要是不溶解熱熔融型樹(shù)脂構(gòu)成的樹(shù)脂微粒且 能分散上述樹(shù)脂微粒的溶劑即可，而未作特別限定。但是，作為不溶解樹(shù)脂微粒的特征，樹(shù) 脂微粒與溶劑的溶解度參數(shù)之差在2.5 (cal/cm3)1/2以上，特別是3. 1 (cal/cm3)1/2以上是優(yōu) 選的。溶劑的溶解度參數(shù)與樹(shù)脂微粒相比低者是更優(yōu)選的。當(dāng)樹(shù)脂微粒為酚醛清漆型酚 醛樹(shù)脂時(shí)，溶劑的溶解度參數(shù)處于6. 0 8. 6(cal/cm3)"2的范圍，特別是6. 5 8. 2(cal/ cm3)"2，尤其是6. 5 7. 6(cal/cm3)1/2的范圍是優(yōu)選的。還有，當(dāng)溶劑為混合溶劑時(shí)，這里 的所謂溶解度參數(shù)表示混合后的溶解度參數(shù)。另外，作為能分散樹(shù)脂微粒的特征，樹(shù)脂微粒 與溶劑的密度之差處于士0. 05g/cm3以?xún)?nèi)，特別是處于士0. 02g/cm3以?xún)?nèi)是優(yōu)選的。只要具 有這種程度的密度差，則樹(shù)脂微?？删鶆蚍稚⒃谌軇┲?。這里的所謂溶解度參數(shù)(SP值溶解度參數(shù))，當(dāng)液體的摩爾蒸發(fā)熱為AH，摩爾體 積為V時(shí)，由8 = (AH/V)"2定義的量8，經(jīng)驗(yàn)已知溶質(zhì)與溶劑的溶解度參數(shù)之差愈小，溶 解度愈大。表1示出有代表性的高分子材料及有機(jī)溶劑的溶解度參數(shù)。[表 1] 單位(cal/cm3)1/2溶劑只要滿(mǎn)足上述特征即可而未作特別限定，但優(yōu)選通過(guò)有機(jī)溶劑。作 為本發(fā)明中可以使用的有機(jī)溶劑，例如，可以舉出鹵代烴類(lèi)(氫氯代烴二氯甲烷、 氯仿等)、以及氫氟醚、或氫氟烴、氫氯氟烴、氯氟烴、以及全氟烴等氟類(lèi)溶劑[具體 的可以舉出HCFC-225 (C3HC12F5)、七才口一，H(C5H3F7,日本七才>)、了寸匕夕'J > AK-225(CF3CF2CHC12/CC1F2CF2CHC1F，旭硝子)、八一卜 > ^ XF (C5H2F10，三井 r ^ > 7 口 口 * $力 > )]等)、烴類(lèi)(戊烷、辛烷、癸烷、十二烷、十四烷、甲苯等)、醚類(lèi)(二乙醚、二丙 二醇二甲醚等)、酮類(lèi)(二異丁酮、甲乙酮(MEK)等)、酯類(lèi)(醋酸異丙酯、醋酸異戊酯等)、 胺類(lèi)(二乙胺等)以及這些的衍生物(1-腈基辛烷、環(huán)己烷s-丁基乙酸酯、丙二醇一甲醚 乙酸酯(PGMEA)等)。溶劑既可為僅1種，也可為混合2種以上溶劑的混合物?；旌?種以上溶劑的混合 物，通過(guò)調(diào)整多種溶劑的混合比，容易滿(mǎn)足上述溶解度參數(shù)或密度的特征，因此是有利的。 特別是含有至少1種高密度溶劑與至少1種低密度溶劑的2種以上溶劑的混合物溶劑，對(duì) 密度的調(diào)整有利。在這里，所謂高密度溶劑，是指密度1. Og/cm3以上，特別是1. 3g/cm3以上 的溶劑，所述低密度溶劑，是指不是高密度溶劑的溶劑。上述有機(jī)溶劑的具體例子中，高密 度溶劑相當(dāng)于上述鹵代烴類(lèi)，低密度溶劑相當(dāng)于其他溶劑。還有，作為低密度溶劑，選自溶 解度參數(shù)低且沸點(diǎn)(或蒸氣壓)高的(例如，烴類(lèi)、酮類(lèi)及醚類(lèi))的溶劑是更優(yōu)選的。所謂氫氟醚，是指具有醚鍵的氫氟烴，存在分離型氫氟醚與非分離型氫氟醚。所謂 分離型氫氟醚，是指通過(guò)醚性氧原子，全氟烷基或全氟烯基與烷基或烯基結(jié)合的化合物。所 謂非分離型氫氟醚，是指含部分氟化的烷基或烯基的氫氟醚。作為分離型氫氟醚，例如，可以舉出C3H70CH3、(CF3)2CF0CH3、C3H70C2H5、C4H90CH3、[3M
9社制造的市場(chǎng)銷(xiāo)售的乂 ，” HFE-7100]、(CF3)2CFCF20CH3、(CF3) 3C0CH3、C4F90C2H5[3M 社制 造的市場(chǎng)銷(xiāo)售的 7 乂、y 夕 HFE-7200]、(CF3)CFCF20C2H5、(CF3) 3C0C2H5、CF3CF (0CH3) CF (CF3) 2、 CF3CF(0C2H5)CF(CF3)2、C5Fn0CH3、C5Fn0C2H5、C6F130CH3[3M 社制造的市場(chǎng)銷(xiāo)售的 7《 ” HFE-7300]、C6F130C2H5、C3F7CF(0C2H5)CF(CF3)2[3M 社制造的市場(chǎng)銷(xiāo)售的乂《,” HFE-7500]、
ch3o (cf2) 4och3、ch3ocf2cf2oc2h5、以及 c3h7ocf (cf3) cf2och3 等。作為非分離型氫氟醚，例如，可以舉出chf2ocf2ochf2、ch2fcf2ochf2、c3f7och2f、 c2f5och2chf2、chf2cf2ch2ocf3、cf3cf2ch2ochf2、chf2cf2och2chf2、cf3ch2ocf2ch2f、 cf3ch2ocf2chf2、chf2cf2cf2och3、hf2cf2ch2och3、c3f7och2cf3、cf3cf2ch2ocf2cf3、 c3f7och2chf2、cf3cf2ch2ocf2chf2、chf2cf2ch2oc2f5、chf2cf2ch2ocf2chf2、cf3chfcf2ch2ocf3、 cf3chfcf2ch2ochf2、c3f7ch2och3、(cf3) 2chcf2och3、c3f7och2c2f5、c3f7och2cf2chf2、c4f9ocf2chf2、
CF3(CF2)50CHF2、C3HF6CH(CH3) 0CsHF6[3M 社制造的市場(chǎng)銷(xiāo)售的乂《7 ” HFE-7600]、
chf2ocf2cf2ochf2、chf2ocf2ocf2cf2ochf2 以及 chf2ocf2ocf2ocf2ochf2 等。本發(fā)明的抗蝕油墨優(yōu)選的高密度溶劑，可以舉出氫氟醚[特別是用式C4F90CH3、 C4F90C2H5、C6F130CH3、C3F7CF (0C2H5) CF (CF3) 2 或 C3HF6CH (CH3) 0C3HF6 表示的密度 1. 43 1. 66g/ cm3范圍的氫氟醚]，優(yōu)選的低密度溶劑，可以舉出包含己烷、辛烷、癸烷、十二烷、十四烷、二 異丁酮、二丙二醇二甲醚、醋酸異丙酯、醋酸異戊酯、丙二醇一甲醚乙酸酯(PGMEA)、甲苯及 甲乙酮(MEK)的密度處于0.65 0.97g/cm3范圍的有機(jī)溶劑。本發(fā)明的抗蝕油墨最優(yōu)選的 溶劑，可以舉出含有選自這些高密度溶劑的1種與選自這些低密度溶劑的1種的混合溶劑。 最優(yōu)選的混合溶劑，可以舉出選自式 C4F9och3、C4F9OC2H5、C6F13OCH3、C3F7CF (OC2H5) CF (CF3) 2 及 C3HF6CH(CH3)0C3HF6的1種氫氟醚，與選自己烷、辛烷、癸烷、十二烷、十四烷、二異丁酮、二丙 二醇二甲醚、醋酸異丙酯、醋酸異戊酯、丙二醇一甲醚乙酸酯(PGMEA)、甲苯及甲乙酮(MEK) 的1種有機(jī)溶劑構(gòu)成的混合溶劑。決定這種混合溶劑中的混合比使樹(shù)脂微粒與溶劑的密度 差處于士0. 05g/cm3以?xún)?nèi)，特別是處于士0. 02g/cm3以?xún)?nèi)。例如，當(dāng)樹(shù)脂微粒的密度為1. 25g/ cm3 時(shí)，選自式 C4F90CH3、C4F90C2H5、C6F130CH3、C3F7CF(0C2H5)CF(CF3)2、及 C3HF6CH(CH3)0C3HF6 的 1種氫氟醚與，選自己烷、辛烷、癸烷、十二烷、十四烷、二異丁酮、二丙二醇二甲醚、醋酸異丙 酯、醋酸異戊酯、丙二醇一甲醚乙酸酯(PGMEA)、甲苯及甲乙酮(MEK)的1種有機(jī)溶劑的混 合比，以重量比為55 45 95 5，特別是60 40 90 10，尤其是處于65 35 85 15的范圍是優(yōu)選的。另外，溶劑可在覆蓋層表面形成均勻且一定以上厚度的涂面，使與凸版接觸 擠壓 而除去不要的部分，由此可形成抗蝕油墨圖案，而且，覆蓋層面上形成的抗蝕油墨圖案可完 全轉(zhuǎn)印至被蝕刻材料上的具有適于覆蓋層材質(zhì)的溶解度參數(shù)是優(yōu)選的?？刮g油墨中的溶 劑于覆蓋層中的吸收量，影響覆蓋層上抗蝕油墨圖案的剝離性或轉(zhuǎn)移性，而抗蝕油墨的干 燥狀態(tài)影響抗蝕油墨圖案的精度。例如，作為覆蓋層，當(dāng)通過(guò)溶解度參數(shù)7. 3 7. 6(cal/ cm3)1/2左右的硅氧烷覆蓋層，溶劑的溶解度參數(shù)為6. 0 8. 0 (cal/cm3)1/2左右、優(yōu)選6. 5 7.6(cal/cm3)1/2左右時(shí)，抗蝕油墨使有機(jī)硅覆蓋層適當(dāng)膨潤(rùn)，其表面呈現(xiàn)力學(xué)弱的層(WBL Weak Boundary Layer)0作為凸版的印刷版，只要可將覆蓋層上的抗蝕油墨膜附著 轉(zhuǎn)移至凸部上即可而 未作特別限定，具體的可以舉出，在硅晶片上用干式蝕刻法形成圖案，在石英基板、白板玻 璃及青板玻璃基板上用濕蝕刻法形成圖案，在低熱膨脹系數(shù)金屬板(例如，銅合金、鎳合金等)上用機(jī)械加工法形成圖案等。另外，作為被蝕刻材料，也可以使用光刻法所用的被蝕刻 材料，例如，玻璃、硅晶片、陶瓷、石英、藍(lán)寶石或聚酰亞胺膜等構(gòu)成的基板上，通過(guò)真空蒸鍍 或?yàn)R射法形成金屬(銅、銀、或鉻與鉬的合金等)或金屬氧化物的薄膜。本發(fā)明抗蝕油墨，粘度為0. 5 15. OmPa s左右，特別是0. 8 3. OmPa s左右 是優(yōu)選的，并且表面張力為12. 0 27. Odyn/cm左右、特別是為14. 0 24. Odyn/cm左右是 優(yōu)選的。如具有這種粘度或表面張力的抗蝕油墨，可利用毛細(xì)管現(xiàn)象，在覆蓋層上形成抗蝕 油墨膜，并且，不發(fā)生膜的凹陷等現(xiàn)象，可在覆蓋層上形成均勻厚度的抗蝕油墨膜。另外，本 發(fā)明的抗蝕油墨，溶劑的含量相對(duì)全部抗蝕油墨為10 90重量％，特別是達(dá)到40 80重 量％的范圍內(nèi)是優(yōu)選的。如處于該范圍內(nèi)，作為油墨溶劑的基本物性的粘度、表面張力及蒸 氣壓等的調(diào)整容易，是優(yōu)選的。另外，本發(fā)明的抗蝕油墨，樹(shù)脂微粒的濃度相對(duì)全部抗蝕油 墨為10 60重量％、特別是10 30重量％、尤其15重量％是優(yōu)選的。如處于該范圍內(nèi)， 可以得到樹(shù)脂微粒不凝聚、均勻的分散狀態(tài)，是優(yōu)選的。本發(fā)明的抗蝕油墨也可根據(jù)需要添加表面能調(diào)節(jié)劑(分散劑)。表面能調(diào)節(jié)劑，為 可使覆蓋層上形成樹(shù)脂微粒不凝聚且均勻厚度的涂面、另外樹(shù)脂微粒在溶劑中均勻而穩(wěn)定 分散，可根據(jù)需要適當(dāng)使用。作為本發(fā)明的抗蝕油墨中優(yōu)選的表面能調(diào)節(jié)劑，可以舉出氟類(lèi) 表面活性劑等。表面能調(diào)節(jié)劑，在抗蝕油墨中如含有0. 1 1. 0重量％左右，則覆蓋層表面 形成的涂面平滑性提高，可得到更均勻的涂膜。但是，在得到樹(shù)脂微粒與溶劑滿(mǎn)足必要的特 征的抗蝕油墨的情況下，表面能調(diào)節(jié)劑未必須要添加。實(shí)施例下面用實(shí)施例更詳細(xì)地說(shuō)明本發(fā)明，但本發(fā)明又不受這些實(shí)施例的限定。通過(guò)酚醛類(lèi)樹(shù)脂構(gòu)成的樹(shù)脂微粒及各種溶劑，使用攪拌機(jī)及超聲波裝置，使樹(shù)脂 微粒分散于溶劑中，制成抗蝕油墨。調(diào)整樹(shù)脂微粒的濃度使達(dá)10 50重量％。通過(guò)上述 抗蝕油墨的物性及印刷適應(yīng)性評(píng)價(jià)，進(jìn)行作為蝕刻抗蝕油墨的樣式制定及新型蝕刻抗蝕圖 案形成原理的成立性驗(yàn)證?？刮g油墨的物性評(píng)價(jià)為粘度與表面張力，粘度測(cè)定通過(guò)東京計(jì)器制造的VISC0NIC ED型粘度計(jì)，表面張力測(cè)定通過(guò)協(xié)和界面科學(xué)制造的表面張力計(jì)(型號(hào)CBVP-Z)。還有，粘 度通過(guò)轉(zhuǎn)數(shù)50rpm各測(cè)定10次，通過(guò)其平均值，同樣，表面張力測(cè)定10次，通過(guò)其平均值。其次，通過(guò)配制的抗蝕油墨，進(jìn)行用于確定反轉(zhuǎn)印刷法中的最佳樹(shù)脂微粒的重均 分子量的印刷適應(yīng)性評(píng)價(jià)。該印刷適應(yīng)性評(píng)價(jià)是通過(guò)專(zhuān)利文獻(xiàn)1 (特開(kāi)2001-56405號(hào)公 報(bào))的圖2及專(zhuān)利文獻(xiàn)3 (特開(kāi)2005-128346號(hào)公報(bào))的圖10公開(kāi)的基本工序的方法來(lái)進(jìn) 行。首先，通過(guò)利用2塊薄的不銹鋼板(板厚0. 5mm、間隙0. 5mm)構(gòu)成的毛細(xì)管現(xiàn)象 的涂布機(jī)，在安裝了特開(kāi)2005-125664號(hào)公報(bào)公開(kāi)的有機(jī)硅覆蓋層的直徑140mm的鋁制旋 轉(zhuǎn)鼓表面上，涂布抗蝕油墨，對(duì)抗蝕油墨膜的膜厚均勻性或膜的凹陷、針孔及破裂等是否發(fā) 生進(jìn)行評(píng)價(jià)。還有，該涂布法的抗蝕油墨膜的厚度控制，通過(guò)改變鋁制轉(zhuǎn)鼓的轉(zhuǎn)數(shù)來(lái)進(jìn)行。 這是由于轉(zhuǎn)數(shù)高則變厚，而轉(zhuǎn)數(shù)低則變薄。從通過(guò)上述抗蝕油墨的抗蝕油墨膜的形成實(shí)驗(yàn) 結(jié)果可知，當(dāng)粘度為0. 1 15mPa s、表面張力為13. 0 30. Odyn/cm的范圍時(shí)，不發(fā)生膜 的凹陷現(xiàn)象，可以形成均勻厚度的抗蝕油墨膜。其次，評(píng)價(jià)配制的抗蝕油墨的構(gòu)圖性。還有，該構(gòu)圖性評(píng)價(jià)中使用的圖案形成用印刷凸版，在硅晶片上用干式蝕刻法形成線寬3 10 y m、溝深5 u m的直線及四方形圖案。從 該實(shí)驗(yàn)結(jié)果可以確認(rèn)，可構(gòu)圖的線寬與樹(shù)脂微粒的重均分子量無(wú)依賴(lài)性，以線寬3 lOym 的構(gòu)圖為例，當(dāng)膜厚lym時(shí)，確認(rèn)為可以形成具有類(lèi)似光刻的直線性、斷面形狀的圖案。但 是，酚醛類(lèi)樹(shù)脂構(gòu)成的樹(shù)脂微粒的平均粒徑對(duì)構(gòu)圖性產(chǎn)生影響是顯而易見(jiàn)的，只要能使用 較小平均粒徑的樹(shù)脂微粒且能均勻分散即可，不限于本實(shí)施例。另外，清楚的是，酚醛類(lèi)樹(shù) 脂構(gòu)成的樹(shù)脂微粒必須是熱熔融型，盡可能在低溫發(fā)生熔融，且進(jìn)行固化是所希望的，但不 限于本實(shí)施例。其次，對(duì)配制的抗蝕油墨相的轉(zhuǎn)印性進(jìn)行評(píng)價(jià)?？梢源_認(rèn)，隨著抗蝕油墨圖案的膜 厚變厚，抗蝕油墨圖案的干燥時(shí)間有加長(zhǎng)的傾向，對(duì)以鉻等金屬被膜為代表的玻璃基板、塑 料膜也有良好的轉(zhuǎn)印性。其次，對(duì)本實(shí)施例的抗蝕油墨對(duì)蝕刻液的耐性進(jìn)行評(píng)價(jià)。還有，蝕刻耐性評(píng)價(jià)法， 在通過(guò)濺射法形成了鉻與鉬的合金膜(膜厚100nm)的玻璃基板上印刷線寬10 lOOym 的抗蝕油墨圖案后，在烘箱中于130°C /3分鐘的條件下進(jìn)行熔融、固化，形成密合力高的抗 蝕圖案后，于蝕刻液中(蝕刻液硝酸鈰銨/過(guò)鹽酸/水，液體溫度35°C)浸漬5分鐘，對(duì) 鉻與鉬的合金膜進(jìn)行蝕刻，用流水洗滌5分鐘后，從蝕刻前后的膜厚差測(cè)定減少量，評(píng)價(jià)耐 性?xún)?yōu)劣。其結(jié)果可以確認(rèn)，使用重均分子量Mw大于4000的樹(shù)脂微粒，特別是在蝕刻工序中 線寬10 的蝕刻圖案不發(fā)生膜減少及膜剝離，可以以光刻同等的高品質(zhì)，進(jìn)行鉻與 鉬的合金膜的構(gòu)圖。另外，確認(rèn)即使在線寬5i!m以下的抗蝕圖案中，也不發(fā)生膜減少及膜 剝離，可以以光刻同等的高品質(zhì)，進(jìn)行鉻與鉬的合金膜的構(gòu)圖。最后，在蝕刻過(guò)的鉻與鉬的合金膜上殘留的抗蝕膜于剝離液(剝離液一乙醇胺 等，液體溫度60°C )中浸漬5分鐘評(píng)價(jià)剝離性。其結(jié)果確認(rèn)，通過(guò)重均分子量Mw為1000 10000的酚醛類(lèi)樹(shù)脂構(gòu)成的樹(shù)脂微粒的抗蝕油墨時(shí)，也不生產(chǎn)生殘?jiān)炔涣记闆r，可完全去 除，同時(shí)確認(rèn)，通過(guò)重均分子量Mw為4000 8000的酚醛類(lèi)樹(shù)脂構(gòu)成的樹(shù)脂微粒的抗蝕油 墨時(shí)，可以形成類(lèi)似光刻品質(zhì)的鉻與鉬的合金膜圖案。本實(shí)施例的酚醛類(lèi)樹(shù)脂構(gòu)成的樹(shù)脂微粒與不溶樹(shù)脂微粒的溶劑作為主體的抗蝕 油墨中，從涂布膜形成性、構(gòu)圖牲、轉(zhuǎn)印性、蝕刻耐性及剝離性的綜合評(píng)價(jià)中發(fā)現(xiàn)，作為酚醛 類(lèi)樹(shù)脂構(gòu)成的樹(shù)脂微粒，當(dāng)使用重均分子量Mw為1000 10000、優(yōu)選4000 8000的樹(shù) 脂微粒時(shí)，適于反轉(zhuǎn)印刷法。另外，還發(fā)現(xiàn)，當(dāng)使用重均分子量Mw為4000 8000的酚醛 類(lèi)樹(shù)脂構(gòu)成的樹(shù)脂微粒時(shí)，形成適于蝕刻耐性及密合性等不產(chǎn)生不良情況的反轉(zhuǎn)印刷法。 適于反轉(zhuǎn)印刷法的本實(shí)施例的抗蝕油墨的樹(shù)脂微粒濃度為10 60重量％，粘度為0. 5 15. OmPa *s、優(yōu)選 0. 8 3. OmPa *s，表面張力為 12. 0 27. Odyn/cm、優(yōu)選 14. 0 24. Odyn/ cm。還有，通過(guò)本實(shí)施例的抗蝕油墨時(shí)，不使用表面能調(diào)節(jié)劑、流平劑等，已確認(rèn)當(dāng)表 面張力大于27. Odyn/cm或涂面膜厚處于0. 2 y m以下時(shí)，通過(guò)適量添加氟類(lèi)等表面能調(diào)節(jié) 劑等，可以消除膜凹陷等不良情況。關(guān)于這些添加劑，必須在不影響構(gòu)圖性的范圍內(nèi)適當(dāng)使 用，但不限于本實(shí)施例。另外，關(guān)于溶劑，只要抗蝕油墨的粘度及表面張力處于規(guī)定的范圍 內(nèi)，不溶解樹(shù)脂微粒，抗蝕油墨膜的干燥狀態(tài)適于所希望的條件即可而不限于本實(shí)施例。下面的實(shí)施例1 16，示出具體的抗蝕油墨的組成及其抗蝕油墨的評(píng)價(jià)結(jié)果。表 2 4匯總了實(shí)施例1 16的結(jié)果。
實(shí)施例1作為酚醛類(lèi)樹(shù)脂構(gòu)成的樹(shù)脂微粒，通過(guò)熱熔融型的 ^ 〃一& (平均粒徑 l.Oiim、重均分子量約6000、密度1.25g/cm3、甲醇溶解度95%，工7 々才一夕一制 造)15重量％。另外，作為溶劑，通過(guò)氫氟醚、)O々HFE-7200(3M制造)，分子量264、 密度:1.43g/cm3、沸點(diǎn):76°C、表面張力13. 6dyn/cm、SP值6. 3)76. 5重量％、己烷(分子 量86. 18、密度0. 6548g/cm3、沸點(diǎn)68. 93 °C、表面張力18. 4dyn/cm、SP 值7. 4)8. 5 重 量％的混合溶劑(具有與樹(shù)脂微粒的密度1. 25g/cm3幾乎相同的密度)。上述混合溶劑的 表面張力為14. 8dyn/cm。還有，密度的測(cè)定，通過(guò)日本* ^ 義少一制造的7、> F - ^ K密度計(jì)(型 號(hào)DMA 35n)，測(cè)定5次取平均值(實(shí)施例2 16也同樣)。另外，表面張力的測(cè)定，使用 協(xié)和界面科學(xué)制造的表面張力計(jì)(型號(hào)CBVP-Z)，測(cè)定10次取平均值(實(shí)施例2 16也 同樣)。酚醛類(lèi)樹(shù)脂構(gòu)成的樹(shù)脂微粒，用攪拌機(jī)及超聲波裝置，使其分散于上述溶劑中，制 成抗蝕油墨，評(píng)價(jià)涂布性、印刷適應(yīng)性、蝕刻耐性、剝離性。其結(jié)果是，可以形成無(wú)膜凹陷、 厚度均勻的涂膜，在線寬10 100 ym的圖案的形成中，作為蝕刻抗蝕劑而使必須lym以 上的膜厚，也可以形成具有光刻同等的直線性與斷面形狀的抗蝕圖案。另外，可以確認(rèn)，在 鉻 鉬薄膜的蝕刻圖案形成中，膜剝離或抗蝕劑殘?jiān)纫膊话l(fā)生，蝕刻耐性及抗蝕剝離特性 也良好，同時(shí)，可以以形成與光刻同等品質(zhì)的10 100 ym線寬的鉻 鉬薄膜的蝕刻圖案。實(shí)施例2作為酚醛類(lèi)樹(shù)脂構(gòu)成的樹(shù)脂微粒，通過(guò)熱熔融型的 ^ 〃一& (平均粒徑 l.Oiim、重均分子量約6000、密度1.25g/cm3、甲醇溶解度95%，工7 々才一夕一制 造)15重量％。另外，作為溶劑，通過(guò)氫氟醚、)O夕HFE-7300(3M制造)，分子量350、 密度:1.66g/cm3、沸點(diǎn):98°C、SP值6. 2)68重量％與己烷(分子量86. 18、密度0. 6548g/ cm3、沸點(diǎn)68. 93°C、表面張力18. 4dyn/cm, SP值7. 4) 17重量％的混合溶劑(具有與樹(shù)脂 微粒的密度1. 25g/cm3幾乎相同的密度)。上述混合溶劑的表面張力為16. Sdyn/cm。酚醛類(lèi)樹(shù)脂構(gòu)成的樹(shù)脂微粒，用攪拌機(jī)及超聲波裝置，使其分散于上述溶劑中，制 成抗蝕油墨，評(píng)價(jià)涂布性、印刷適應(yīng)性、蝕刻耐性、剝離性。其結(jié)果是，可以形成無(wú)膜凹陷、厚 度均勻的涂膜，在形成線寬10 100 ym的圖案時(shí)，作為蝕刻抗蝕劑必須達(dá)到lym以上的 膜厚，可以形成具有與光刻同等的直線性與斷面形狀的抗蝕圖案。另外，可以確認(rèn)，在鉻 鉬 薄膜的蝕刻圖案形成時(shí)，膜的剝離或抗蝕劑殘?jiān)纫膊话l(fā)生，蝕刻耐性及抗蝕劑剝離特性 也良好，同時(shí)可以以光刻同等的品質(zhì)形成10 100 ym線寬的鉻 鉬薄膜的蝕刻圖案。實(shí)施例3作為酚醛類(lèi)樹(shù)脂構(gòu)成的樹(shù)脂微粒，通過(guò)熱熔融型的 ^ 〃一& (平均粒徑 l.Oiim、重均分子量約6000、密度1.25g/cm3、甲醇溶解度95%，工7 々才一夕一制 造)15重量％。另外，作為溶劑，通過(guò)氫氟醚、)<、、":HFE-7500(3M制造)，分子量 414、密度1. 61g/cm3、沸點(diǎn):130°C、SP 值6. 1)68. 85 重量％、己烷(分子量86. 18、密度 0. 6548g/cm3、沸點(diǎn)68. 93°C、表面張力18. 4dyn/cm、SP 值7. 4) 16. 15 重量％ 的混合溶劑 (具有與樹(shù)脂微粒的密度1. 25g/cm3幾乎相同的密度)。還有，上述混合溶劑的表面張力為 16.8dyn/cm。
13
酚醛類(lèi)樹(shù)脂構(gòu)成的樹(shù)脂微粒，用攪拌機(jī)及超聲波裝置，使其分散于上述溶劑中，制 成抗蝕油墨，評(píng)價(jià)涂布性、印刷適應(yīng)性、蝕刻耐性、剝離性。其結(jié)果是，可以形成無(wú)膜凹陷、 厚度均勻的涂膜，在線寬10 100 ym的圖案形成中，作為蝕刻抗蝕劑即使必須達(dá)到lym 以上的膜厚，也可以形成具有與光刻同等的直線性與斷面形狀的抗蝕圖案。另外，確認(rèn)，在 鉻 鉬薄膜的蝕刻圖案形成中，膜的剝離或抗蝕劑殘?jiān)纫膊话l(fā)生，蝕刻耐性及抗蝕劑剝離 特性也良好，同時(shí)可以以光刻同等的品質(zhì)形成10 100 ym線寬的鉻 鉬薄膜的蝕刻圖案。實(shí)施例4作為酚醛類(lèi)樹(shù)脂構(gòu)成的樹(shù)脂微粒，通過(guò)熱熔融型的 ^ 〃一& (平均粒徑 l.Oiim、重均分子量約6000、密度1.25g/cm3、甲醇溶解度95%，工7 々才一夕一制 造)15重量％。另外，作為溶劑，通過(guò)氫氟醚、)<、、":HFE-7600(3M制造)，分子量 346、密度:1. 54g/cm3、沸點(diǎn):131°C、SP 值6. 5)70. 55 重量％、己烷(分子量86. 18、密度 0. 6548g/cm3、沸點(diǎn)68. 93°C、表面張力18. 4dyn/cm、SP 值7. 4) 14. 45 重量％ 的混合溶劑 (具有與樹(shù)脂微粒的密度1. 25g/cm3幾乎相同的密度)。還有，上述混合溶劑的表面張力為 17.ldyn/cm。酚醛類(lèi)樹(shù)脂構(gòu)成的樹(shù)脂微粒，用攪拌機(jī)及超聲波裝置，使其分散于上述溶劑中，制 成抗蝕油墨，評(píng)價(jià)涂布性、印刷適應(yīng)性、蝕刻耐性、剝離性。其結(jié)果是，可以形成無(wú)膜凹陷、厚 度均勻的涂膜，在形成線寬10 100 ym的圖案時(shí)，作為蝕刻抗蝕劑必須達(dá)到lym以上的 膜厚，可以形成具有與光刻同等的直線性與斷面形狀的抗蝕圖案。另外，可以確認(rèn)，在鉻 鉬 薄膜的蝕刻圖案形成時(shí)，膜的剝離或抗蝕劑殘?jiān)纫膊话l(fā)生，蝕刻耐性及抗蝕劑剝離特性 也良好，同時(shí)可以以光刻同等的品質(zhì)形成10 100 ym線寬的鉻 鉬薄膜的蝕刻圖案。實(shí)施例5作為酚醛類(lèi)樹(shù)脂構(gòu)成的樹(shù)脂微粒，通過(guò)熱熔融型的 ^ 〃一& (平均粒徑 l.Oiim、重均分子量約6000、密度1.25g/cm3、甲醇溶解度95%，工7 々才一夕一制 造)15重量％。另外，作為溶劑，通過(guò)氫氟醚、)<、、":HFE-7100(3M制造)，分子量 250、密度1. 52g/cm3、沸點(diǎn):61°C、SP 值6. 5)72. 25 重量 ％、己烷(分子量86. 18、密度 0. 6548g/cm3、沸點(diǎn)68. 93°C、表面張力18. 4dyn/cm、SP 值7. 4) 12. 75 重量％ 的混合溶劑 (具有與樹(shù)脂微粒的密度1. 25g/cm3幾乎相同的密度)。還有，上述混合溶劑的表面張力為 15.2dyn/cm。酚醛類(lèi)樹(shù)脂構(gòu)成的樹(shù)脂微粒，用攪拌機(jī)及超聲波裝置，使其分散于上述溶劑中，制 成抗蝕油墨，評(píng)價(jià)涂布性、印刷適應(yīng)性、蝕刻耐性、剝離性。其結(jié)果是，可以形成無(wú)膜凹陷、厚 度均勻的涂膜，在形成線寬10 100 ym的圖案時(shí)，作為蝕刻抗蝕劑必須達(dá)到lym以上的 膜厚，可以形成具有與光刻同等的直線性與斷面形狀的抗蝕圖案。另外，可以確認(rèn)，在鉻 鉬 薄膜的蝕刻圖案形成時(shí)，膜的剝離或抗蝕劑殘?jiān)纫膊话l(fā)生，蝕刻耐性及抗蝕劑剝離特性 也良好，同時(shí)可以以光刻同等的品質(zhì)形成10 100 ym線寬的鉻 鉬薄膜的蝕刻圖案。實(shí)施例6作為酚醛類(lèi)樹(shù)脂構(gòu)成的樹(shù)脂微粒，通過(guò)熱熔融型的 ^ 〃一& (平均粒徑 l.Oiim、重均分子量約6000、密度1.25g/cm3、甲醇溶解度95%，工7 々才一夕一制 造)15重量％。另外，作為溶劑，通過(guò)氫氟醚(7《？々HFE-7600(3M制造)，分子量 346、密度1. 54g/cm3、沸點(diǎn):131°C、SP 值6. 5)69. 4 重量％、辛烷(分子量114. 23、密度0. 7028g/cm3、沸點(diǎn):125°C、表面張力21. 8dyn/cm、SP值7. 5) 15. 6重量％的混合溶劑(具 有與樹(shù)脂微粒的密度1.25g/cm3幾乎相同的密度)。還有，上述混合溶劑的表面張力為 19.3dyn/cm。酚醛類(lèi)樹(shù)脂構(gòu)成的樹(shù)脂微粒，用攪拌機(jī)及超聲波裝置，使其分散于上述溶劑中，制 成抗蝕油墨，評(píng)價(jià)涂布性、印刷適應(yīng)性、蝕刻耐性、剝離性。其結(jié)果是，可以形成無(wú)膜凹陷、厚 度均勻的涂膜，在形成線寬10 100 ym的圖案時(shí)，作為蝕刻抗蝕劑必須達(dá)到lym以上的 膜厚，可以形成具有與光刻同等的直線性與斷面形狀的抗蝕圖案。另外，可以確認(rèn)，在鉻 鉬 薄膜的蝕刻圖案形成時(shí)，膜的剝離或抗蝕劑殘?jiān)纫膊话l(fā)生，蝕刻耐性及抗蝕劑剝離特性 也良好，同時(shí)可以以光刻同等的品質(zhì)形成10 100 ym線寬的鉻 鉬薄膜的蝕刻圖案。實(shí)施例7作為酚醛類(lèi)樹(shù)脂構(gòu)成的樹(shù)脂微粒，通過(guò)熱熔融型的 ^ 〃一& (平均粒徑 l.Oiim、重均分子量約6000、密度1.25g/cm3、甲醇溶解度95%，工7 々才一夕一制 造)15重量％。另外，作為溶劑，通過(guò)氫氟醚(7《？々HFE-7600(3M制造)，分子量 346、密度1. 54g/cm3、沸點(diǎn)131°C、SP 值6. 5)62. 3 重量％、癸烷(分子量142. 28、密度 0. 70g/cm3、沸點(diǎn):174.2°C、表面張力:23. 9dyn/Cm、SP值7. 4) 22. 7重量％的混合溶劑(具 有與樹(shù)脂微粒的密度1.25g/cm3幾乎相同的密度)。還有，上述混合溶劑的表面張力為 20.4dyn/cm。酚醛類(lèi)樹(shù)脂構(gòu)成的樹(shù)脂微粒，用攪拌機(jī)及超聲波裝置，使其分散于上述溶劑中，制 成抗蝕油墨，評(píng)價(jià)涂布性、印刷適應(yīng)性、蝕刻耐性、剝離性。其結(jié)果是，可以形成無(wú)膜凹陷、厚 度均勻的涂膜，在形成線寬10 100 ym的圖案時(shí)，作為蝕刻抗蝕劑必須達(dá)到lym以上的 膜厚，可以形成具有與光刻同等的直線性與斷面形狀的抗蝕圖案。另外，可以確認(rèn)，在鉻 鉬 薄膜的蝕刻圖案形成時(shí)，膜的剝離或抗蝕劑殘?jiān)纫膊话l(fā)生，蝕刻耐性及抗蝕劑剝離特性 也良好，同時(shí)可以以光刻同等的品質(zhì)形成10 100 ym線寬的鉻 鉬薄膜的蝕刻圖案。實(shí)施例8作為酚醛類(lèi)樹(shù)脂構(gòu)成的樹(shù)脂微粒，通過(guò)熱熔融型的 ^ 〃一& (平均粒徑 l.Oiim、重均分子量約6000、密度1.25g/cm3、甲醇溶解度95%，工7 々才一夕一制 造)15重量％。另外，作為溶劑，通過(guò)氫氟醚(7《？々HFE-7600(3M制造)，分子量 346、密度:1. 54g/cm3、沸點(diǎn):131°C、SP 值6. 5)67. 1 重量 ％、十二烷(分子量170. 34、密 度0. 75g/cm3、沸點(diǎn)215°C、表面張力25. 4dyn/cm, SP值7. 4) 17. 9重量％的混合溶劑 (具有與樹(shù)脂微粒的密度1. 25g/cm3幾乎相同的密度)。還有，上述混合溶劑的表面張力為 20.0dyn/cmo酚醛類(lèi)樹(shù)脂構(gòu)成的樹(shù)脂微粒，用攪拌機(jī)及超聲波裝置，使其分散于上述溶劑中，制 成抗蝕油墨，評(píng)價(jià)涂布性、印刷適應(yīng)性、蝕刻耐性、剝離性。其結(jié)果是，可以形成無(wú)膜凹陷、厚 度均勻的涂膜，在形成線寬10 100 ym的圖案時(shí)，作為蝕刻抗蝕劑必須達(dá)到lym以上的 膜厚，可以形成具有與光刻同等的直線性與斷面形狀的抗蝕圖案。另外，可以確認(rèn)，在鉻 鉬 薄膜的蝕刻圖案形成時(shí)，膜的剝離或抗蝕劑殘?jiān)纫膊话l(fā)生，蝕刻耐性及抗蝕劑剝離特性 也良好，同時(shí)可以以光刻同等的品質(zhì)形成10 100 ym線寬的鉻 鉬薄膜的蝕刻圖案。本 實(shí)施例的抗蝕油墨，在形成的圖案品質(zhì)方面特別優(yōu)良。實(shí)施例9
作為酚醛類(lèi)樹(shù)脂構(gòu)成的樹(shù)脂微粒，通過(guò)熱熔融型的 ^ 〃一& (平均粒徑 l.Oiim、重均分子量約6000、密度1.25g/cm3、甲醇溶解度95%，工7 々才一夕一制 造)15重量％。另外，作為溶劑，通過(guò)氫氟醚、)O々HFE-7600(3M制造)，分子量346、 密度1.54g/cm3、沸點(diǎn)131°C、SP值6. 5) 66. 6重量％、十四烷(分子量198. 39、密度 0. 7645g/cm3、沸點(diǎn)253. 57°C、表面張力26. 7dyn/cm、SP 值7. 6) 18. 4 重量％ 的混合溶劑 (具有與樹(shù)脂微粒的密度1. 25g/cm3幾乎相同的密度)。還有，上述混合溶劑的表面張力為 20.0dyn/cmo酚醛類(lèi)樹(shù)脂構(gòu)成的樹(shù)脂微粒，用攪拌機(jī)及超聲波裝置，使其分散于上述溶劑中，制 成抗蝕油墨，評(píng)價(jià)其涂布性、印刷適應(yīng)性、蝕刻耐性、剝離性。其結(jié)果是，可以形成無(wú)膜凹陷、 厚度均勻的涂膜，在形成線寬10 100 ym的圖案時(shí)，作為蝕刻抗蝕劑必須達(dá)到lym以上 的膜厚，可以形成具有與光刻同等的直線性與斷面形狀的抗蝕圖案。另外，可以確認(rèn)，在 鉻 鉬薄膜的蝕刻圖案形成時(shí)，膜的剝離或抗蝕劑殘?jiān)纫膊话l(fā)生，蝕刻耐性及抗蝕劑剝離 特性也良好，同時(shí)可以以光刻同等的品質(zhì)形成10 100 ym線寬的鉻 鉬薄膜的蝕刻圖案。 本實(shí)施例的抗蝕油墨，在形成的圖案品質(zhì)方面特別優(yōu)良。實(shí)施例10作為酚醛類(lèi)樹(shù)脂構(gòu)成的樹(shù)脂微粒，通過(guò)熱熔融型的 ^ 〃一& (平均粒徑 l.Oiim、重均分子量約6000、密度1.25g/cm3、甲醇溶解度95%，工7 々才一夕一制 造)15重量％。另外，作為溶劑，通過(guò)氫氟醚(7《？々HFE-7600(3M制造)，分子量 346、密度:1.54g/cm3、沸點(diǎn):131°C、SP 值6. 5) 63. 8 重量％、二異丁酮(分子量142. 2、密 度0.81g/cm3、沸點(diǎn)163°C、表面張力23. 9dyn/cm、SP值7. 8) 21. 2重量％的混合溶劑 (具有與樹(shù)脂微粒的密度1.25g/cm3幾乎相同的密度)。還有，上述混合溶劑的表面張力為 20.2dyn/cm。酚醛類(lèi)樹(shù)脂構(gòu)成的樹(shù)脂微粒，用攪拌機(jī)及超聲波裝置，使其分散于上述溶劑中，制 成抗蝕油墨，評(píng)價(jià)其涂布性、印刷適應(yīng)性、蝕刻耐性、剝離性。其結(jié)果是，可以形成無(wú)膜凹陷、 厚度均勻的涂膜，在形成線寬10 100 ym的圖案時(shí)，作為蝕刻抗蝕劑必須達(dá)到lym以上 的膜厚，可以形成具有與光刻同等的直線性與斷面形狀的抗蝕圖案。另外，可以確認(rèn)，在 鉻 鉬薄膜的蝕刻圖案形成時(shí)，膜的剝離或抗蝕劑殘?jiān)纫膊话l(fā)生，蝕刻耐性及抗蝕劑剝離 特性也良好，同時(shí)可以以光刻同等的品質(zhì)形成10 100 ym線寬的鉻 鉬薄膜的蝕刻圖案。 本實(shí)施例的抗蝕油墨，在形成的圖案品質(zhì)方面特別優(yōu)良。實(shí)施例11作為酚醛類(lèi)樹(shù)脂構(gòu)成的樹(shù)脂微粒，通過(guò)熱熔融型的 ^ 〃一& (平均粒徑 l.Oiim、重均分子量約6000、密度1.25g/cm3、甲醇溶解度95%，工7 々才一夕一制 造)15重量％。另外，作為溶劑，通過(guò)氫氟醚、)O々HFE-7600(3M制造)，分子量346、 密度1.54g/cm3、沸點(diǎn)131°C、SP值6. 5)58. 1重量％、二丙二醇二甲醚(分子量162、密 度0. 901g/cm3、沸點(diǎn):171°C、表面張力24. 7dyn/cm, SP值7. 9) 26. 9重量％的混合溶劑 (具有與樹(shù)脂微粒的密度1. 25g/cm3幾乎相同的密度)。還有，上述混合溶劑的表面張力為 20.8dyn/cm。酚醛類(lèi)樹(shù)脂構(gòu)成的樹(shù)脂微粒，用攪拌機(jī)及超聲波裝置，使其分散于上述溶劑中，制 成抗蝕油墨，評(píng)價(jià)涂布性、印刷適應(yīng)性、蝕刻耐性、剝離性。其結(jié)果是，可以形成無(wú)膜凹陷、厚
16度均勻的涂膜，在形成線寬10 100 ym的圖案時(shí)，作為蝕刻抗蝕劑必須達(dá)到lym以上的 膜厚，可以形成具有與光刻同等的直線性與斷面形狀的抗蝕圖案。另外，可以確認(rèn)，在鉻 鉬 薄膜的蝕刻圖案形成時(shí)，膜的剝離或抗蝕劑殘?jiān)纫膊话l(fā)生，蝕刻耐性及抗蝕劑剝離特性 也良好，同時(shí)可以以光刻同等的品質(zhì)形成10 100 ym線寬的鉻 鉬薄膜的蝕刻圖案。本 實(shí)施例的抗蝕油墨，在形成的圖案品質(zhì)方面特別優(yōu)良。實(shí)施例12作為酚醛類(lèi)樹(shù)脂構(gòu)成的樹(shù)脂微粒，通過(guò)熱熔融型的 ^ 〃一& (平均粒徑 l.Oiim、重均分子量約6000、密度1.25g/cm3、甲醇溶解度95%，工7 々才一夕一制 造)15重量％。另外，作為溶劑，通過(guò)氫氟醚、)O々HFE-7600(3M制造)，分子量346、 密度1. 54g/cm3、沸點(diǎn)131°C、SP值6. 5)60. 9重量％、醋酸異丙酯(分子量=102. 13、密 度0. 868g/cm3、沸點(diǎn)85°C、表面張力21. Odyn/cm, SP值8. 1)24. 1重量％的混合溶劑 (具有與樹(shù)脂微粒的密度1.25g/cm3幾乎相同的密度)。還有，上述混合溶劑的表面張力為 19.6dyn/cm。酚醛類(lèi)樹(shù)脂構(gòu)成的樹(shù)脂微粒，用攪拌機(jī)及超聲波裝置，使其分散于上述溶劑中，制 成抗蝕油墨，評(píng)價(jià)涂布性、印刷適應(yīng)性、蝕刻耐性、剝離性。其結(jié)果是，可以形成無(wú)膜凹陷、厚 度均勻的涂膜，在形成線寬10 100 ym的圖案時(shí)，作為蝕刻抗蝕劑必須達(dá)到lym以上的 膜厚，可以形成具有與光刻同等的直線性與斷面形狀的抗蝕圖案。另外，可以確認(rèn)，在鉻 鉬 薄膜的蝕刻圖案形成時(shí)，膜的剝離或抗蝕劑殘?jiān)纫膊话l(fā)生，蝕刻耐性及抗蝕劑剝離特性 也良好，同時(shí)可以以光刻同等的品質(zhì)形成10 100 ym線寬的鉻 鉬薄膜的蝕刻圖案。本 實(shí)施例的抗蝕油墨，在形成的圖案品質(zhì)方面特別優(yōu)良。實(shí)施例13作為酚醛類(lèi)樹(shù)脂構(gòu)成的樹(shù)脂微粒，通過(guò)熱熔融型的 ^ 〃一& (平均粒徑 l.Oiim、重均分子量約6000、密度1.25g/cm3、甲醇溶解度95%，工7 々才一夕一制 造)15重量％。另外，作為溶劑，通過(guò)氫氟醚、)O々HFE-7600(3M制造)，分子量346、 密度:1.54g/cm3、沸點(diǎn):131°C、SP值6. 5)60. 1重量％、醋酸異戊酯(分子量:130.2、密 度0. 875g/cm3、沸點(diǎn):142°C、表面張力24. 6dyn/cm、SP值8. 2) 24. 9重量％的混合溶劑 (具有與樹(shù)脂微粒的密度1. 25g/cm3幾乎相同的密度)。還有，上述混合溶劑的表面張力為 21. 0dyn/cmo酚醛類(lèi)樹(shù)脂構(gòu)成的樹(shù)脂微粒，用攪拌機(jī)及超聲波裝置，使其分散于上述溶劑中，制 成抗蝕油墨，評(píng)價(jià)其涂布性、印刷適應(yīng)性、蝕刻耐性、剝離性。其結(jié)果是，可以形成無(wú)膜凹陷、 厚度均勻的涂膜，在形成線寬10 100 ym的圖案時(shí)，作為蝕刻抗蝕劑必須達(dá)到lym以上 的膜厚，可以形成具有與光刻同等的直線性與斷面形狀的抗蝕圖案。另外，可以確認(rèn)，在 鉻 鉬薄膜的蝕刻圖案形成時(shí)，膜的剝離或抗蝕劑殘?jiān)纫膊话l(fā)生，蝕刻耐性及抗蝕劑剝離 特性也良好，同時(shí)可以以光刻同等的品質(zhì)形成10 100 ym線寬的鉻 鉬薄膜的蝕刻圖案。 本實(shí)施例的抗蝕油墨，在形成的圖案品質(zhì)方面特別優(yōu)良。實(shí)施例14作為酚醛類(lèi)樹(shù)脂構(gòu)成的樹(shù)脂微粒，通過(guò)熱熔融型的 ^ 〃一& (平均粒徑 l.Oiim、重均分子量約6000、密度1.25g/cm3、甲醇溶解度95%，工7 々才一夕一制 造)15重量％。另外，作為溶劑，通過(guò)氫氟醚(7《？々HFE-7600(3M制造)，分子量346、
17密度1. 54g/cm3、沸點(diǎn)131°C、SP值6. 5) 53. 3重量％、丙二醇一甲醚乙酸酯(PGMEA)(分子 量132. 16、密度0. 967g/cm3、沸點(diǎn):146°C、表面張力26. 7dyn/cm、SP 值8. 6)31. 7 重量 ％ 的混合溶劑(具有與樹(shù)脂微粒的密度1. 25g/cm3幾乎相同的密度)。還有，上述混合溶劑的 表面張力為22. 6dyn/cm。酚醛類(lèi)樹(shù)脂構(gòu)成的樹(shù)脂微粒，用攪拌機(jī)及超聲波裝置，使其分散于上述溶劑中，制 成抗蝕油墨，評(píng)價(jià)涂布性、印刷適應(yīng)性、蝕刻耐性、剝離性。其結(jié)果是，可以形成無(wú)膜凹陷、厚 度均勻的涂膜，在形成線寬10 100 ym的圖案時(shí)，作為蝕刻抗蝕劑必須達(dá)到lym以上的 膜厚，可以形成具有與光刻同等的直線性與斷面形狀的抗蝕圖案。另外，可以確認(rèn)，在鉻 鉬 薄膜的蝕刻圖案形成時(shí)，膜的剝離或抗蝕劑殘?jiān)纫膊话l(fā)生，蝕刻耐性及抗蝕劑剝離特性 也良好，同時(shí)可以以光刻同等的品質(zhì)形成10 100 ym線寬的鉻 鉬薄膜的蝕刻圖案。實(shí)施例15作為酚醛類(lèi)樹(shù)脂構(gòu)成的樹(shù)脂微粒，通過(guò)熱熔融型的 ^ 〃一& (平均粒徑 l.Oiim、重均分子量約6000、密度1.25g/cm3、甲醇溶解度95%，工7 々才一夕一制 造)15重量％。另外，作為溶劑，通過(guò)氫氟醚(7《？々HFE-7600(3M制造)，分子量 346、密度1. 54g/cm3、沸點(diǎn):131°C、SP 值6. 5)60. 9 重量％、甲苯(分子量92. 14、密度 0. 864g/cm3、沸點(diǎn):110.6°C、表面張力28. 4dyn/cm、SP 值9. 0)24. 1 重量 ％ 的混合溶劑 (具有與樹(shù)脂微粒的密度1. 25g/cm3幾乎相同的密度)。還有，上述混合溶劑的表面張力為 23.3dyn/cm。酚醛類(lèi)樹(shù)脂構(gòu)成的樹(shù)脂微粒，用攪拌機(jī)及超聲波裝置，使其分散于上述溶劑中，制 成抗蝕油墨，評(píng)價(jià)涂布性、印刷適應(yīng)性、蝕刻耐性、剝離性。其結(jié)果是，可以形成無(wú)膜凹陷、厚 度均勻的涂膜，在形成線寬10 100 ym的圖案時(shí)，作為蝕刻抗蝕劑必須達(dá)到lym以上的 膜厚，可以形成具有與光刻同等的直線性與斷面形狀的抗蝕圖案。另外，可以確認(rèn)，在鉻 鉬 薄膜的蝕刻圖案形成時(shí)，膜的剝離或抗蝕劑殘?jiān)纫膊话l(fā)生，蝕刻耐性及抗蝕劑剝離特性 也良好，同時(shí)可以以光刻同等的品質(zhì)形成10 100 ym線寬的鉻 鉬薄膜的蝕刻圖案。實(shí)施例16作為酚醛類(lèi)樹(shù)脂構(gòu)成的樹(shù)脂微粒，通過(guò)熱熔融型的 ^ 〃一& (平均粒徑 l.Oiim、重均分子量約6000、密度1.25g/cm3、甲醇溶解度95%，工7 々才一夕一制 造)15重量％。另外，作為溶劑，通過(guò)氫氟醚、)O々HFE-7600(3M制造)，分子量346、 密度:1. 54g/cm3、沸點(diǎn):131°C、SP 值6. 5) 64. 6 重量％、甲乙酮(MEK)(分子量72. 12、密 度0. 806g/cm3、沸點(diǎn):79.6°C、表面張力24. 6dyn/cm、SP值9. 2) 20. 4重量％的混合溶劑 (具有與樹(shù)脂微粒的密度1. 25g/cm3幾乎相同的密度)。還有，上述混合溶劑的表面張力為 21. 6dyn/cm。酚醛類(lèi)樹(shù)脂構(gòu)成的樹(shù)脂微粒，用攪拌機(jī)及超聲波裝置，使其分散于上述溶劑中，制 成抗蝕油墨，評(píng)價(jià)涂布性、印刷適應(yīng)性、蝕刻耐性、剝離性。其結(jié)果是，可以形成無(wú)膜凹陷、厚 度均勻的涂膜，在形成線寬10 100 ym的圖案時(shí)，作為蝕刻抗蝕劑必須達(dá)到lym以上的 膜厚，可以形成具有與光刻同等的直線性與斷面形狀的抗蝕圖案。另外，可以確認(rèn)，在鉻 鉬 薄膜的蝕刻圖案形成時(shí)，膜的剝離或抗蝕劑殘?jiān)纫膊话l(fā)生，蝕刻耐性及抗蝕劑剝離特性 也良好，同時(shí)可以以光刻同等的品質(zhì)形成10 100 ym線寬的鉻 鉬薄膜的蝕刻圖案。[表2]
[表3] [表 4] 產(chǎn)業(yè)上的利用可能性按照本發(fā)明，不僅提供通過(guò)小型而廉價(jià)的裝置簡(jiǎn)單形成細(xì)微的金屬布線等，而且 提供廉價(jià)的布線制品。
權(quán)利要求
抗蝕油墨，其含有熱熔融型樹(shù)脂構(gòu)成的樹(shù)脂微粒，與不溶解上述樹(shù)脂微粒且能分散上述樹(shù)脂微粒的溶劑。
2.按照權(quán)利要求1中所述的抗蝕油墨，其用于通過(guò)反轉(zhuǎn)印刷法在被蝕刻材料上形成抗 蝕圖案。
3.按照權(quán)利要求1或2中所述的抗蝕油墨，其中，上述樹(shù)脂微粒與上述溶劑的溶解度參 數(shù)之差為2. 5 (cal/cm3)1/2以上。
4.按照權(quán)利要求1中所述的抗蝕油墨，其中，上述樹(shù)脂微粒與上述溶劑的密度之差為 士0. 05g/cm3 以?xún)?nèi)。
5.按照權(quán)利要求1中所述的抗蝕油墨，其中，上述樹(shù)脂微粒具有0.01 20 y m的平均粒徑。
6.按照權(quán)利要求1中所述的抗蝕油墨，其中，上述熱熔融型樹(shù)脂具有1000 10000的重均分子量。
7.按照權(quán)利要求1中所述的抗蝕油墨，其中，上述熱熔融型樹(shù)脂為酚醛類(lèi)樹(shù)脂。
8.按照權(quán)利要求1中所述的抗蝕油墨，其中，上述溶劑為含有至少1種高密度溶劑與至 少1種低密度溶劑的2種以上溶劑的混合物。
9.按照權(quán)利要求1中所述的抗蝕油墨，其中，粘度為0.5 15.0mPa*s，且表面張力為 12. 0 27. Odyn/cm。
10.抗蝕圖案的形成方法，包括通過(guò)權(quán)利要求1所述的抗蝕油墨，通過(guò)反轉(zhuǎn)印刷法在 被蝕刻材料上印刷圖案，通過(guò)加熱上述圖案，使上述抗蝕油墨中所含的樹(shù)脂微粒熔融。
全文摘要
本發(fā)明提供抗蝕油墨及通過(guò)抗蝕油墨的抗蝕圖案形成方法。具體是通過(guò)具有適于反轉(zhuǎn)印刷法形成細(xì)微抗蝕圖案性質(zhì)的抗蝕油墨以及通過(guò)該抗蝕油墨的抗蝕圖案形成方法?？刮g油墨，其含有由熱熔融型樹(shù)脂構(gòu)成的樹(shù)脂微粒，與不溶解該樹(shù)脂微粒且能分散該樹(shù)脂微粒的溶劑。該抗蝕油墨在粘度或表面能等方面具有適于反轉(zhuǎn)印刷法的性質(zhì)。另外，由于上述樹(shù)脂微粒包含熱熔融型樹(shù)脂，抗蝕油墨圖案在轉(zhuǎn)印至被蝕刻材料上后進(jìn)行加熱，使上述樹(shù)脂微粒熔融，可以提高形成的抗蝕圖案的蝕刻耐性。
文檔編號(hào)C09D11/10GK101875797SQ20101017170
公開(kāi)日2010年11月3日 申請(qǐng)日期2010年4月28日 優(yōu)先權(quán)日2009年4月28日
發(fā)明者佐佐木洋, 舟幡一行 申請(qǐng)人:株式會(huì)社日立制作所