專利名稱：一種狹縫噴嘴的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是有關(guān)于一種噴嘴，且特別是有關(guān)于一種用于涂布液體的狹縫噴嘴。
背景技術(shù)：
在現(xiàn)有技術(shù)中，對基板等產(chǎn)品的制程包含在其上均勻涂布液體，如顯影液。通常使 用狹縫噴嘴進(jìn)行顯影液涂布作業(yè)時，利用化工泵(Chemical Pump)轉(zhuǎn)速加壓，將顯影液從狹 縫噴嘴的刀口吐出，同時移動狹縫噴嘴，使顯影液均勻涂布。目前對于顯影液涂布制程來 說，狹縫噴嘴的顯影液吐出量不足，搭配顯影液涂布作業(yè)的噴嘴速度過低，導(dǎo)致基版顯影下 刀處與顯影收刀處產(chǎn)品片內(nèi)顯影時間差異過大，當(dāng)產(chǎn)品規(guī)格緊縮時，則無法達(dá)到要求規(guī)格 進(jìn)行生產(chǎn)。因此，如何提高狹縫噴嘴的顯影液吐出量，成為業(yè)界亟待解決的問題。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，本發(fā)明的一個方面在于提供一種狹縫噴嘴，適用于在被處理物表面涂 布液體，狹縫噴嘴包含一間隔片，其兩側(cè)面分別具有一凹陷，其包含二導(dǎo)流孔，分設(shè)于間隔 片兩端處，一第一噴嘴基體，設(shè)于間隔片一側(cè)，一第二噴嘴基體，相對第一噴嘴基體設(shè)于間 隔片另一側(cè)，其中凹陷分別與第一噴嘴基體和第二噴嘴基體與間隔片的接合面各形成一狹縫。依據(jù)本發(fā)明一實施例，間隔片的厚度約為3毫米，其更包含多個螺絲固定孔，設(shè)于 間隔片上除凹陷以外的部分。依據(jù)本發(fā)明另一實施例，第二噴嘴基體具有一凹槽，其與二導(dǎo)流孔形成一液體通路。依據(jù)本發(fā)明又一實施例，第二噴嘴基體更包含一液體輸入孔，與液體通路連通，一 液體輸出孔，與液體通路連通。本發(fā)明的另一方面是在于提供一種狹縫噴嘴，適用于在被處理物表面涂布液體， 包含一第一間隔片，一側(cè)面具有一第一凹陷，其包含二第一導(dǎo)流孔，分設(shè)于第一間隔片兩端 處，一第二間隔片，與第一間隔片組合在一起，其與第一間隔片的接合面具有一第二凹陷， 第一凹陷與第二凹陷形成一第一狹縫，第二間隔片包含二第二導(dǎo)流孔，分設(shè)于第二間隔片 兩端處，分別與二第一導(dǎo)流孔對應(yīng)，一第一噴嘴基體，設(shè)于第一間隔片相對于第一凹陷的另 一側(cè)，其與第一間隔片的接合面具有一第三凹陷，以及一第二噴嘴基體，設(shè)于第二間隔片相 對于第二凹陷的另一側(cè)，其與第二間隔片的接合面具有一第四凹陷，其中第三凹陷與第一 間隔片的接合面形成一第二狹縫，第四凹陷與第二間隔片的接合面形成一第三狹縫。依據(jù)本發(fā)明一實施例，第一間隔片及第二間隔片分別包含多個螺絲固定孔，設(shè)于 除第一凹陷及第二凹陷以外的部分。依據(jù)本發(fā)明另一實施例，第一噴嘴基體具有一第一凹槽，第二噴嘴基體具有一第 二凹槽，其與第一凹槽及二第一導(dǎo)流孔和二第二導(dǎo)流孔形成一液體通路。
依據(jù)本發(fā)明又一實施例，第二噴嘴基體更包含一液體輸入孔，與液體通路連通，以 及一液體輸出孔，與液體通路連通。應(yīng)用本發(fā)明的優(yōu)點在于改善單位時間內(nèi)噴嘴顯影液吐出量過低的問題，提升顯 影液吐出量約10%;提升單位流量，可增加噴嘴顯影液涂布作業(yè)速度；刀口寬度增加減少顯 影液涂布不良的風(fēng)險；改善產(chǎn)品線寬片內(nèi)變異；片內(nèi)光阻變異降低，改善自動光學(xué)缺陷檢 查發(fā)生檢測失效；片內(nèi)光阻變異降低，改善有機光阻與金屬層介面附著性不良的問題。


為讓本發(fā)明的上述和其它目的、特征、優(yōu)點與實施例能更明顯易懂，所附附圖的詳 細(xì)說明如下圖1其繪示現(xiàn)有技術(shù)中使用的狹縫噴嘴的示意圖；圖2其繪示現(xiàn)有技術(shù)中使用的狹縫噴嘴的剖視圖；圖3其繪示依照本發(fā)明一實施例的狹縫噴嘴的剖視圖；圖4其繪示依照本發(fā)明一實施例的狹縫噴嘴的間隔片的示意圖；以及圖5其繪示依照本發(fā)明另一實施例的狹縫噴嘴的剖視圖。
具體實施例方式以下將以附圖及詳細(xì)說明來清楚闡釋本發(fā)明的精神，任何本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員 在了解本發(fā)明的較佳實施例后，當(dāng)可由本發(fā)明所揭露的技術(shù)，加以改變及修飾，且并不脫離 本發(fā)明的精神與范圍。此外，本發(fā)明說明可能在不同實施例重復(fù)編號及/或字母。此重復(fù) 使用是為簡化及清楚的目的，并非指定其在討論的不同實施例及/或結(jié)構(gòu)間的關(guān)系。請參照圖1，其繪示現(xiàn)有技術(shù)中使用的狹縫噴嘴的示意圖。為簡化及清楚說明，圖 中省略內(nèi)部結(jié)構(gòu)視圖。如圖中所示，噴嘴100由第一噴嘴基體102與第二噴嘴基體104組 合而成。在噴嘴100的刀口處具有一狹縫112。在第二噴嘴基體104中，設(shè)置有液體輸入孔 106、液體輸出孔108及與之相連通的作為液體通路的凹槽110 (未繪示)。當(dāng)噴嘴100工作 時，由化工泵將液體，如顯影液由液體輸入孔106輸入凹槽110中，當(dāng)提高液體壓力使液流 速度增加并大于噴嘴100的液體表面張力時，液體便從噴嘴100的狹縫112中噴出。當(dāng)降 低液體壓力使液流速度減低并小于噴嘴100的液體表面張力時，液體便停止從噴嘴100的 狹縫112中噴出。液體的流向即如圖中箭頭所示。為了進(jìn)一步說明現(xiàn)有技術(shù)中噴嘴100的結(jié)構(gòu)，將噴嘴100沿圖1中的剖面線A切 開，其剖視圖如圖2所示。第一噴嘴基體102與第二噴嘴基體104組合成僅具有一個狹縫 112的噴嘴100。在第二噴嘴基體104中，設(shè)置有液體輸入孔106、液體輸出孔108及與之相 連通的作為液體通路的凹槽110。由于從剖面線A生成的剖視圖中液體輸入孔106與液體 輸出孔108處于同一位置，故圖中虛線所示的液體輸入孔106同時也代表液體輸出孔108。 使用時，將用于涂布的液體如顯影液通過液體輸入孔106輸入凹槽110中，由于液壓的作用 一部分顯影液便從狹縫112中溢出，另一部分顯影液從液體輸出孔108流出并循環(huán)。隨著 噴嘴100被驅(qū)動為沿垂直于狹縫112的方向做勻速水平平行移動，顯影液便被均勻涂布于 被處理物表面，如基板。然而，根據(jù)這樣的設(shè)計，狹縫噴嘴的顯影液吐出量不足，搭配顯影 液涂布作業(yè)的噴嘴速度過低，導(dǎo)致基版顯影下刀處與顯影收刀處產(chǎn)品片內(nèi)顯影時間差異過
4大，當(dāng)產(chǎn)品規(guī)格緊縮時，則無法達(dá)到要求規(guī)格進(jìn)行生產(chǎn)。接著請參照圖3，其繪示依照本發(fā)明一實施例的狹縫噴嘴的剖視圖。第一噴嘴基體 102與第二噴嘴基體104分設(shè)于間隔片300兩側(cè)，間隔片300兩側(cè)面分別具有一凹陷304。 間隔片300兩側(cè)面的凹陷304分別與第一噴嘴基體102和第二噴嘴基體104與間隔片300 的接合面各形成一狹縫112。間隔片300上具有二導(dǎo)流孔302，分設(shè)于間隔片300兩端處。 第二噴嘴基體104具有一凹槽110，凹槽110及二導(dǎo)流孔302形成液體通路。第二噴嘴基 體104中，設(shè)置有與液體通路相連通的液體輸入孔106、液體輸出孔108。由于在剖視圖中 液體輸入孔106與液體輸出孔108處于同一位置，故圖中虛線所示的液體輸入孔106同時 也代表液體輸出孔108。為了進(jìn)一步說明本發(fā)明所提供的狹縫噴嘴的結(jié)構(gòu)，此時請參照圖4，其繪示依照本 發(fā)明一實施例的狹縫噴嘴的間隔片的示意圖。如圖中所示，間隔片300的厚度約為3毫米， 在除連續(xù)梯形凹陷304以外的部分分布有多個用于將第一噴嘴基體102、第二噴嘴基體104 間隔片300組合固定的螺絲固定孔400。二導(dǎo)流孔302為弧形，設(shè)置于間隔片300的兩端 處。請參照圖5，其繪示依照本發(fā)明另一實施例的狹縫噴嘴的剖視圖。第一間隔片500 一側(cè)面具有一第一凹陷502，第二間隔片504 —側(cè)面具有一第二凹陷506，將第一間隔片500 與第二間隔片504具有凹陷的側(cè)面相接合，使第一凹陷502與第二凹陷506形成第一狹縫 508。第一噴嘴基體102與第二噴嘴基體104分設(shè)于第一間隔片500與第二間隔片504的 兩側(cè)，第一噴嘴基體102與第一間隔片500的接合面具有一第三凹陷510，其形成第二狹 縫514，第二噴嘴基體104與第二間隔片504的接合面具有一第四凹陷512，其形成第三狹 縫516。第一間隔片500上具有二第一導(dǎo)流孔518，分設(shè)于第一間隔片500兩端處。第二間 隔片504上具有二第二導(dǎo)流孔520，分設(shè)于第二間隔片504兩端處，且分別與二第一導(dǎo)流孔 518對應(yīng)。第一噴嘴基體102具有一第一凹槽522，第二噴嘴基體104具有一第二凹槽524， 第一凹槽522、第二凹槽524及二第一導(dǎo)流孔518、二第二導(dǎo)流孔520形成液體通路。第二 噴嘴基體104中，設(shè)置有與液體通路相連通的液體輸入孔106、液體輸出孔108。由于在剖 視圖中液體輸入孔106與液體輸出孔108處于同一位置，故圖中虛線所示的液體輸入孔106 同時也代表液體輸出孔108。當(dāng)噴嘴100工作時，由化工泵將液體，如顯影液由液體輸入孔106輸入液體通路 中，并從液體輸出孔108流出。當(dāng)提高液體壓力使液流速度增加并大于噴嘴100的液體表 面張力時，液體便從噴嘴100的第一狹縫508、第二狹縫514與第三狹縫516中噴出。當(dāng)降 低液體壓力使液流速度減低并小于噴嘴100的液體表面張力時，液體便停止噴出。使用本發(fā)明提供的狹縫噴嘴具有諸多優(yōu)點，現(xiàn)僅列舉其中幾例在不同化工泵的轉(zhuǎn)速下顯影液流量皆可提升約10%以上；節(jié)省用于涂布的液體使用量；提升光阻損失(DarkErosion)均勻度(Uniformity)；產(chǎn)品線寬片內(nèi)變異改進(jìn)約35%。雖然本發(fā)明已以實施方式揭露如上，然其并非用以限定本發(fā)明，任何本領(lǐng)域的普 通技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作各種的更動與潤飾，因此本發(fā)明的保 護(hù)范圍當(dāng)視后附的申請專利范圍所界定者為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
一種狹縫噴嘴，適用于在被處理物表面涂布液體，其特征在于，所述狹縫噴嘴包含一間隔片，其兩側(cè)面分別具有一凹陷，所述間隔片包含二導(dǎo)流孔，分設(shè)于所述間隔片兩端處；一第一噴嘴基體，設(shè)于所述間隔片一側(cè)；以及一第二噴嘴基體，相對所述第一噴嘴基體設(shè)于所述間隔片另一側(cè)，其中所述凹陷分別與所述第一噴嘴基體和所述第二噴嘴基體與所述間隔片的接合面各形成一狹縫。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的狹縫噴嘴，其特征在于，所述間隔片更包含 多個螺絲固定孔，設(shè)于所述間隔片上除所述凹陷以外的部分。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的狹縫噴嘴，其特征在于，所述間隔片的厚度約為3毫米。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的狹縫噴嘴，其特征在于，所述第二噴嘴基體具有一凹槽，其與 所述二導(dǎo)流孔形成一液體通路。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的狹縫噴嘴，其特征在于，所述第二噴嘴基體更包含 一液體輸入孔，與所述液體通路連通；以及一液體輸出孔，與所述液體通路連通。
6.一種狹縫噴嘴，適用于在被處理物表面涂布液體，其特征在于，所述狹縫噴嘴包含 一第一間隔片，一側(cè)面具有一第一凹陷，其包含二第一導(dǎo)流孔，分設(shè)于所述第一間隔片兩端處；一第二間隔片，與所述第一間隔片組合在一起，其與所述第一間隔片的接合面具有一 第二凹陷，所述第一凹陷與所述第二凹陷形成一第一狹縫，所述第二間隔片包含 二第二導(dǎo)流孔，分設(shè)于所述第二間隔片兩端處，分別與所述二第一導(dǎo)流孔對應(yīng)； 一第一噴嘴基體，設(shè)于所述第一間隔片相對于所述第一凹陷的另一側(cè)，其與所述第一 間隔片的接合面具有一第三凹陷；以及一第二噴嘴基體，設(shè)于所述第二間隔片相對于所述第二凹陷的另一側(cè)，其與所述第二 間隔片的接合面具有一第四凹陷，其中所述第三凹陷與所述第一間隔片的接合面形成一第二狹縫，所述第四凹陷與所述 第二間隔片的接合面形成一第三狹縫。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的狹縫噴嘴，其特征在于，所述第一間隔片及所述第二間隔片 分別包含多個螺絲固定孔，設(shè)于除所述第一凹陷及所述第二凹陷以外的部分。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的狹縫噴嘴，其特征在于，所述第一噴嘴基體具有一第一凹槽。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的狹縫噴嘴，其特征在于，所述第二噴嘴基體具有一第二凹槽， 其與所述第一凹槽及所述二第一導(dǎo)流孔和所述二第二導(dǎo)流孔形成一液體通路。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的狹縫噴嘴，其特征在于，所述第二噴嘴基體更包含 一液體輸入孔，與所述液體通路連通；以及一液體輸出孔，與所述液體通路連通。
全文摘要
本發(fā)明提供一種狹縫噴嘴，適用于在被處理物表面涂布液體，狹縫噴嘴包含一間隔片，其兩側(cè)面分別具有一凹陷，其包含二導(dǎo)流孔，分設(shè)于間隔片兩端處，一第一噴嘴基體，設(shè)于間隔片一側(cè)，一第二噴嘴基體，相對第一噴嘴基體設(shè)于間隔片另一側(cè)，其中凹陷分別與第一噴嘴基體和第二噴嘴基體與間隔片的接合面各形成一狹縫，這樣就形成了雙狹縫噴嘴。此外也可使用二間隔片，以形成三狹縫噴嘴。使用本發(fā)明可以有效提升噴嘴的液體吐出量，改善涂布作業(yè)時間，減少產(chǎn)品變異，提高產(chǎn)品缺陷檢測能力。
文檔編號B05C11/10GK101879484SQ201010194098
公開日2010年11月10日 申請日期2010年5月28日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月28日
發(fā)明者吳文群, 夏瑋俊, 紀(jì)伯儒, 羅信翔, 陳冠宇, 陳新豪, 陳枝汶, 高乃智 申請人:友達(dá)光電股份有限公司