專利名稱：模頭以及液體涂覆裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及將墨等液體涂覆在對象物上的規(guī)定位置的模頭(Die Head)以及具有 模頭的液體涂覆裝置。
背景技術(shù)：
具有被稱為模頭(die head)的擠壓(extrution)方式的頭的液體涂覆裝置能夠 形成均勻的膜厚的涂覆膜，所以目前為止被廣泛用于各個領(lǐng)域。
模頭基本上包括歧管，將從涂覆液罐提供的涂覆液，沿所要形成的涂覆膜的寬度 方向進行分配；以及槽口(slot)，排出沿涂覆膜的寬度方向分配了的涂覆液。槽口也可以 劃分為多個孔(參照圖9和圖10)。在將槽口劃分為多個孔時，能夠?qū)⑼扛惨和扛矠闂l狀。
這樣的使用模頭將涂覆液涂覆到被涂覆材料上時，向模頭的前端部和被涂覆材料 之間的間隔(以下也簡稱為“涂覆間隔”)排出涂覆液，并形成積存液；維持所形成的積存液 (以下也稱為“液滴” (bead))，而且使被涂覆材料相對于模頭相對移動即可。這樣地維持在 模頭的前端部和被涂覆材料之間形成的液滴，而且使被涂覆材料相對移動，由此在被涂覆 材料上形成由涂覆液構(gòu)成的涂覆膜。
在這樣的使用了模頭的涂覆工序中，維持液滴很重要。這是因為，若液滴不穩(wěn)定， 則形成在被涂覆材料上的涂覆膜的寬度以及膜厚出現(xiàn)偏差，或者涂覆膜中斷，從而不能夠 進行高精度的涂覆。特別是，由于加快被涂覆材料的相對移動速度，對液滴施加的剪切力變 大，或者為了防止模頭的前端部和被涂覆材料接觸而增大涂覆間隔時，液滴容易變得不穩(wěn) 定。這里，“液滴變得不穩(wěn)定”是指液滴的形狀不穩(wěn)定，或者液滴容易與被涂覆材料分離的狀 態(tài)。液滴與被涂覆材料分離的狀態(tài)在下面也稱為“液滴被破壞”。
作為防止因剪切力而使液滴不穩(wěn)定的方法一般已知有下述方法，S卩，在排出涂覆 液的槽口(以下也簡稱為“液滴排出用槽口”)的被涂覆材料相對移動的方向(以下也簡稱 為“移動方向”)的上游側(cè)設(shè)置氣體吸入用孔(Chamber)或氣體吸入用槽口，對液滴的移動 方向上游側(cè)的端部(以下簡稱為“上游端”)附近進行減壓(例如參照專利文獻1)。
圖IA表示專利文獻1公開了的模頭的剖面圖。圖IA所示的模頭1的前端部包括 涂覆液排出用槽口 2，其用于排出涂覆液；以及氣體吸入用槽口 3，其用于吸入氣體。
氣體吸入用槽口 3吸入氣體，由此能夠?qū)σ旱?的上游側(cè)附近6進行減壓，從而能 夠?qū)⒁旱?的上游端向被涂覆材料的相對移動方向X上游側(cè)吸入。由此，能夠防止由于被 涂覆材料5的相對移動產(chǎn)生的剪切力而使液滴4不穩(wěn)定的情況。
另外，如圖IB所示，也已知有在模頭的上游側(cè)設(shè)置氣體吸入用孔3’來代替氣體吸 入用槽口 3的技術(shù)。
另外，已知有下述技術(shù)，S卩，為了防止在被移動的被涂覆材料的表面發(fā)生氣流床 (ENTRAINED-FLOff)，對被涂覆材料的表面噴出具有與被涂覆材料的移動方向相反方向的流 向的氣體(例如參照專利文獻2 5)。
專利文獻1 (日本)特開2003-053233號公報
專利文獻2 (日本)特開平9-141170號公報
專利文獻3 (日本)特開昭62-186966號公報
專利文獻4 (日本)特開昭48_3四23號公報
專利文獻5 美國專利第4842900號說明書
但是，如專利文獻1公開地那樣在對液滴4的上游端附近6進行減壓時，有時液滴 4的上游端被吸入到氣體吸入用槽口 3，構(gòu)成液滴4的涂覆液流入氣體吸入用槽口 3。
另外，由于涂覆中被涂覆材料的厚度變動、或模頭振動、涂覆間隔變動而使液滴4 被破壞后，涂覆液流入氣體吸入用槽口 3(氣體吸入用孔3’)(參照圖2A和圖2B)。特別是， 在將涂覆液涂覆為條狀時，由于各個液滴變小所以液滴的穩(wěn)定力降低，液滴容易被破壞。因 此，在將涂覆液涂覆為條狀時，涂覆液特別容易流入氣體吸入用槽口。
若涂覆液流入氣體吸入用槽口內(nèi)，則在氣體吸入用槽口內(nèi)涂覆液妨礙氣體的流 動，所以氣體吸入用槽口無法穩(wěn)定地吸入氣體，液滴的上游側(cè)附近的氣壓變得不穩(wěn)定。其結(jié) 果，液滴不穩(wěn)定，在被涂覆材料上形成的涂覆膜的厚度或?qū)挾炔痪鶆?，或者中斷?br> 因此，在專利文獻1公開了的以往的液體涂覆裝置中，必須將從氣體吸入用槽口 吸入的氣體的流量設(shè)定為較少的流量，以使涂覆液不流入氣體吸入用槽口。因此，在以往的 液體涂覆裝置中，在因被涂覆材料的相對移動產(chǎn)生的剪切力變大時，無法防止液滴不穩(wěn)定， 并且加速涂覆速度有極限。
另外，在專利文獻1公開了的以往的液體涂覆裝置中，無法解決在增大了涂覆間 隔時，液滴不穩(wěn)定的問題。
發(fā)明的內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于，提供能夠維持液滴，并高精度且高速地涂覆涂覆液的模頭。
本發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，通過在涂覆液排出用槽口和氣體吸入用槽口之間設(shè)置氣體噴出用 槽口，能夠防止涂覆液流入氣體吸入用槽口，并經(jīng)過進一步研究而完成本發(fā)明。也就是說， 本發(fā)明的第一形態(tài)是有關(guān)以下所示的模頭。
[1]、模頭，具有連續(xù)地排出涂覆液的前端部，并且在沿一定方向相對移動的被涂 覆材料和所述前端部之間的間隔處維持由所述涂覆液構(gòu)成的積存液，由此在所述被涂覆材 料上形成涂覆膜，所述前端部包括涂覆液排出用槽口，其位于所述被涂覆材料的移動方向 的下游側(cè)，而且連續(xù)地排出所述涂覆液；氣體吸入用槽口，其位于所述被涂覆材料的移動方 向的上游側(cè)，并且吸入氣體，以對所述積存液的所述被涂覆材料的移動方向的上游側(cè)的端 部附近進行減壓；以及氣體噴出用槽口，其位于所述涂覆液排出用槽口和所述氣體吸入用 槽口之間，向所述涂覆膜的所述被涂覆材料的移動方向的上游側(cè)的端部噴出氣體，以不使 所述涂覆液流入所述氣體吸入用槽口，所述氣體噴出用槽口噴出所述氣體的方向相對于所 述被涂覆材料的表面，不朝所述被涂覆材料的移動方向的上游側(cè)傾斜。
[2]、如[1]所述的模頭，所述涂覆液排出用槽口和所述氣體噴出用槽口之間的間 隔為0. 3mm以上，所述氣體噴出用槽口和所述氣體吸入用槽口之間的間隔為0. 05 15mm。
[3]、如[1]或[2]所述的模頭，所述氣體噴出用槽口噴出的氣體的流量少于所述 氣體吸入用槽口吸入的氣體的流量。
W]、如[1] [3]中的任一個所述的模頭，所述氣體噴出用槽口噴出所述氣體的 方向垂直于所述被涂覆材料的表面。
[5]、如[1] [3]中的任一個所述的模頭，所述氣體噴出用槽口噴出所述氣體的 方向相對于所述被涂覆材料的表面，朝所述被涂覆材料的移動方向下游側(cè)傾斜。
W]、如[5]所述的模頭，所述氣體噴出用槽口噴出所述氣體的方向相對所述被涂 覆材料的表面的法線的傾斜角度為1° 75°。
[7]、如[1] [6]中的任一個所述的模頭，在所述前端部中，所述氣體吸入用槽口 與所述氣體噴出用槽口之間的區(qū)域低于所述前端部的其他區(qū)域。
[8]、如[1] [7]中的任一個所述的模頭，所述氣體吸入用槽口的數(shù)目與所述氣 體噴出用槽口的數(shù)目不同。
本發(fā)明的第二形態(tài)是有關(guān)以下所示的液體涂覆裝置。
[9]、液體涂覆裝置，具有[1] [8]中的任一個所述的模頭。
根據(jù)本發(fā)明，即使強烈地吸入了液滴的上游端，也通過從氣體噴出用槽口噴出的 氣體，防止涂覆液流入氣體吸入用槽口。另外，根據(jù)本發(fā)明，通過從氣體噴出用槽口噴出的 氣體，能夠?qū)⒁旱瓮茐旱奖煌扛膊牧稀Ｒ虼?，在本發(fā)明中，能夠維持液滴并將涂覆液高精度 且高速地涂覆。


圖1A、圖IB是表示在以往的模頭中，對液滴的上游端的附近進行減壓的情形的 圖。
圖2A、圖2B是表示氣體吸入用槽口或氣體吸入用孔吸入了涂覆液的狀態(tài)的圖。
圖3A、圖;3B是表示包含實施方式1的模頭的液體涂覆裝置的圖。
圖4A 圖4C是表示由實施方式1的模頭對被涂覆材料進行涂覆的情形的圖。
圖5是實施方式2的模頭的剖面圖。
圖6是具有朝移動方向上游側(cè)傾斜的氣體噴出用槽口的模頭的剖面圖。
圖7是實施方式3的模頭的剖面圖。
圖8是實施方式4的模頭的剖面圖。
圖9A 圖9D是實施方式4的模頭的前端部的俯視圖。
圖IOA 圖IOC是實施方式4的模頭的前端部的俯視圖。
附圖標記說明
1、模頭
2、涂覆液排出用槽口
3、氣體吸入用槽口
4、液滴
5、被涂覆材料
6、液滴上游端附近
8、涂覆膜
9、氣體噴出用槽口
10、壓縮機
11、減壓泵
12、流量調(diào)整閥
13、流量計
14、送液泵
15、涂覆液罐
16、氣體噴出用槽口的噴射角度
17、模頭前端部的臺階
18、歧管
19、涂覆間隔具體實施方式
1、本發(fā)明的模頭
本發(fā)明的模頭具有連續(xù)地排出涂覆液的前端部，在沿一定方向(以下也稱為“移 動方向”)相對移動的被涂覆材料和前端部之間的間隔處維持由涂覆液構(gòu)成的積存液(以 下也稱為“液滴”)，由此，在被涂覆材料上形成涂覆膜。
本發(fā)明的模頭具有涂覆液分配歧管，該涂覆液分配歧管與涂覆液排出用槽口連接 而且將從外部提供的涂覆液以涂覆膜的寬度方向進行分配。本發(fā)明的模頭在前端部的結(jié)構(gòu) 上具有特征。下面，說明本發(fā)明的模頭的前端部的結(jié)構(gòu)。
本發(fā)明的模頭的前端部包括涂覆液排出用槽口，其位于移動方向下游側(cè)；氣體 吸入用槽口，其位于移動方向上游側(cè)；以及氣體噴出用槽口，其位于涂覆液排出用槽口和氣 體吸入用槽口之間。這里，所謂“槽口”是指槽狀的孔(參照圖9和圖10)。本發(fā)明的特征 在于，在涂覆液排出用槽口和氣體吸入用槽口之間具有氣體噴出用槽口。
各個槽口也可以劃分為多個孔，也可以不進行劃分(參照圖9和圖10)。下面，說 明各個槽口的功能。
涂覆液排出用槽口是與涂覆液分配歧管連接而且用于連續(xù)地排出涂覆液的槽口。 在涂覆工序中，從涂覆液排出用槽口排出的涂覆液在模頭的前端部和被涂覆材料之間的間 隔處(以下也稱為“涂覆間隔”)形成液滴。
氣體吸入用槽口是與減壓泵等連接且用于吸入氣體的槽口。氣體吸入用槽口吸入 氣體，以在形成涂覆膜時，對液滴的移動方向上游的端部附近進行減壓。氣體吸入用槽口和 涂覆液排出用槽口之間的間隔并不特別限定，但優(yōu)選在0. 43mm 20mm。
若涂覆液排出用槽口和氣體吸入用槽口之間的間隔超過20mm，則即使氣體吸入用 槽口吸入氣體，也有可能無法在液滴的移動方向上游的端部附近進行減壓。另一方面，若涂 覆液排出用槽口和氣體吸入用槽口之間的間隔小于0. 43mm，則有可能構(gòu)成液滴的涂覆液流 入氣體吸入用槽口。
氣體吸入用槽口吸入氣體的方向(以下也簡稱為“吸入方向”)可以垂直于被涂覆 材料的表面，但例如也可以朝移動方向上游側(cè)或移動方向下游側(cè)傾斜。
若吸入方向朝移動方向上游側(cè)傾斜，則能夠提高吸入液滴的上游端的效率，并以 更少的氣體流量來吸入液滴。由此，即使在涂覆間隔變大且液滴變大時，也能夠以較強的力 吸入液滴的上游端，并且防止液滴不穩(wěn)定。另一方面，若吸入方向朝移動方向下游傾斜，則 對形成涂覆膜之前的被涂覆材料的表面進行吸入的效率提高。由此，能夠高效率地吸入粘 附在涂覆膜形成前的被涂覆材料的表面的異物等，從而能夠?qū)Ρ煌扛膊牧线M行洗掃。
氣體噴出用槽口是與壓縮機等連接的、用于噴出氣體的槽口。氣體噴出用槽口噴 出氣體，以使構(gòu)成液滴的涂覆液不流入氣體吸入用槽口。氣體吸入用槽口噴出的氣體的流 量和流速根據(jù)涂覆液的排出量、被涂覆材料的移動速度、模頭的尺寸、模頭和被涂覆材料之 間的距離等而變動，但例如從涂覆液排出用槽口排出的涂覆液的流量為0. 0054 2ml/min 時，優(yōu)選的是氣體噴出用槽口噴出的氣體的流量為3ml/min以上，流速為0. 6m/min以上，更 優(yōu)選的是氣體噴出用槽口噴出的氣體的流量為5ml/min以上，流速為lm/min以上。這是因 為，若氣體噴出用槽口噴出的氣體的流量低于3ml/min，流速低于0. 6m/min，則不能防止涂 覆液流入氣體吸入用槽口。
另外，氣體噴出用槽口和涂覆液排出用槽口之間的間隔并不特別限定，但優(yōu)選在 0. 3mm以上。若氣體噴出用槽口和涂覆液排出用槽口之間的間隔低于0. 3mm，則從氣體噴出 用槽口噴出的氣體有可能流入液滴和被涂覆材料之間，使液滴不安定。
另外，氣體噴出用槽口噴出氣體的方向(以下也簡稱為“噴出方向”)可以垂直于 被涂覆材料的表面，但優(yōu)選的是相對于被涂覆材料的表面朝移動方向下游側(cè)傾斜(參照實 施方式2和圖幻。噴出方向相對于被涂覆材料的表面，朝移動方向下游側(cè)傾斜，由此防止 從氣體噴出用槽口噴出的氣體流入液滴和被涂覆材料之間，并防止液滴不穩(wěn)定。另一方面， 在本發(fā)明中，噴出方向朝移動方向上游側(cè)傾斜不是優(yōu)選。這是因為，若噴出方向朝移動方向 上游側(cè)傾斜，則從氣體噴出用槽口噴出的氣體流入液滴和被涂覆材料之間，使液滴不穩(wěn)定 (參照圖6)。
模頭的前端部具有的氣體吸入用槽口的數(shù)目可以與氣體噴出用槽口的數(shù)目相同， 但也可以不同。例如，如果使氣體吸入用槽口的數(shù)目多于氣體噴出用槽口的數(shù)目，則能夠防 止從氣體噴出用槽口噴出的氣體流入液滴和被涂覆材料之間(參照實施方式4)。
另外，優(yōu)選的是，從氣體噴出用槽口噴出的氣體的流量少于由氣體吸入用槽口吸 入的氣體的流量。具體而言，優(yōu)選的是，從氣體噴出用槽口噴出的氣體的流量為由氣體吸入 用槽口吸入的氣體的流量的0. 005 0. 95倍。更具體而言，優(yōu)選的是，從氣體噴出用槽口 噴出的氣體的流量比由氣體吸入用槽口吸入的氣體的流量少5 995ml/min。若相對于所 吸入的氣體的量，噴出的氣體的量過多，則不能對液滴的上游端附近進行減壓。另外，若相 對于所吸入的氣體的量，噴出的氣體的量過多，則有可能噴出的氣體的一部分容易流入液 滴和被涂覆材料之間，使液滴不安定。
從氣體噴出用槽口噴出的氣體在模頭的前端部和被涂覆材料之間流向移動方向 上游側(cè)，最終流入氣體吸入用槽口。
這樣，在本發(fā)明中，即使朝移動方向上游側(cè)吸入液滴的上游端，也通過從氣體噴出 用槽口噴出的氣體，能夠防止構(gòu)成液滴的涂覆液流入氣體吸入用槽口。因此，在本發(fā)明中， 能夠強力地朝移動方向上游側(cè)吸入液滴的上游端，從而即使對液滴施加強剪切力，也能夠 防止液滴不穩(wěn)定。因此，在本發(fā)明中，即使加快被涂覆材料的相對移動速度，并且剪切力增 加，也能夠維持液滴。由此，即使加快涂覆速度，也能夠形成均勻的涂覆膜。另外，由于在本 發(fā)明中能夠加快被涂覆材料的移動速度，所以能夠獲得更薄的涂覆膜。
另外，通過如本發(fā)明那樣從氣體噴出用槽口噴出氣體，能夠?qū)⒁旱瓮频值奖煌扛?材料。因此，被涂覆材料和模頭前端部之間的涂覆間隔變寬，從而能夠防止液滴不穩(wěn)定。因 此，根據(jù)本發(fā)明，能夠?qū)⑼扛查g隔擴大為例如所形成的涂覆膜的厚度的10 20倍，抑制模頭的前端部與被涂覆材料接觸，并形成均勻的涂覆膜。這是因為，若模頭的前端部與被涂覆 材料接觸，則所形成的涂覆膜的膜厚不均勻，或涂覆膜中斷。
另外，上述那樣從氣體噴出用槽口噴出的氣體在模頭的前端部和被涂覆材料之間 流向移動方向上游側(cè)。通過流向移動方向上游側(cè)的氣體，能夠?qū)⑼扛睬暗拇嬖谟诒煌扛膊?料上的異物掃除，并對被涂覆材料的表面進行清掃。
另外，在本發(fā)明中，涂覆液不流入氣體吸入用槽口，所以無需進行氣體吸入用槽口 內(nèi)部的清洗。由此，在洗凈模頭的前端部之后，能夠立即重新開始涂覆，從而能夠獲得高生產(chǎn)率。
在后述的實施方式1中參照附圖，詳細地說明從氣體噴出用槽口噴出的氣體所產(chǎn) 生的效果。
2、本發(fā)明的液體涂覆裝置
本發(fā)明的液體涂覆裝置的特征在于具備所述的模頭，但除此之外也適當?shù)鼐哂斜?所周知的液體涂覆裝置的部件。
例如，液體涂覆裝置除了模頭以外，還包括存貯向模頭提供墨的涂覆液罐，將涂覆 液提供給模頭的送液泵、吸入氣體的減壓泵、提供氣體的壓縮機、固定模頭的頭部的部件、 或者用于使被涂覆材料移動的移動臺等。
下面，參照附圖，說明本發(fā)明的實施方式，但本發(fā)明并不限于這些實施方式。
(實施方式1)
圖3A是包含實施方式1的模頭的液體涂覆裝置的示意圖。如圖3A所示，實施方 式1的液體排出裝置包括模頭1、壓縮機10、減壓泵11、流量調(diào)整閥12、流量計13、送液泵 14以及涂覆液罐15。
模頭1的前端部包括涂覆液排出用槽口 2、氣體吸入用槽口 3以及氣體噴出用 槽口 9。另外，模頭1包括液體分配用歧管18a，其與涂覆液排出用槽口 2連接；吸入歧管 18b，其與氣體吸入用槽口 3連接；以及噴出歧管18c，其與氣體噴出用槽口 9連接。
壓縮機10將氣體提供給氣體噴出用槽口 9。減壓泵11從氣體吸入用槽口 3吸入 氣體。所吸入或提供的氣體的流量通過流量計13可視化，并通過流量調(diào)整閥12進行調(diào)節(jié)。
涂覆液罐15存貯涂覆液。存貯在涂覆液罐15中的涂覆液通過如定量泵那樣可以 穩(wěn)定地進行送液的送液泵14被送入模頭1。
圖;3B是圖3A所示的模頭1的前端部的放大圖。如圖所示，模頭1的前端部包 括涂覆液排出用槽口 2，其位于后述的被涂覆材料的相對移動方向X(以下也簡稱為“移動 方向X”)上游側(cè)；氣體吸入用槽口 3，其位于移動方向X下游側(cè)；以及氣體噴出用槽口 9，其 位于涂覆液排出用槽口 2和氣體吸入用槽口 3之間。
涂覆液排出用槽口 2和氣體吸入用槽口 3之間的間隔dl為0. 43mm 20mm，涂覆 液排出用槽口 2和氣體噴出用槽口 9之間的間隔d2為0. 3mm。
另外，涂覆液排出用槽口 2的寬度2d為30 1000 μ m，氣體吸入用槽口 3的寬度 3d為30 1000 μ m，氣體噴出用槽口 9的寬度9d為30 1000 μ m。
接著，參照圖4A 圖4B，說明使用本實施方式的模頭1，將涂覆液涂覆到被涂覆材 料的方法。
首先，如圖4A所示，將模頭1配置在被涂覆材料5之上。模頭1與被涂覆材料5分離。模頭1的前端部與被涂覆材料5之間的涂覆間隔19為0. 03 0. 5mm。
另外，如圖4B所示，使被涂覆材料5對于模頭1，向X方向(移動方向)相對移動。 使被涂覆材料5相對于模頭1移動時，可以使被涂覆材料5移動，可以使模頭1移動，也可 以使雙方都移動。
另外，從涂覆液排出用槽口 2排出涂覆液，并在向移動方向X相對移動的被涂覆材 料5和模頭1的前端部之間的涂覆間隔19維持液滴，由此在被涂覆材料5上形成涂覆膜8。
此時，通過從設(shè)置在涂覆液排出用槽口 2的涂覆上游側(cè)的氣體吸入用槽口 3吸入 氣體，對液滴4的上游端附近進行減壓，液滴的上游端被朝移動方向上游側(cè)吸入。通過朝移 動方向上游側(cè)吸入液滴4的上游端，防止由被涂覆材料的移動產(chǎn)生的剪切力破壞液滴4。
另一方面，若液滴4的上游端被朝移動方向X上游側(cè)吸入，則構(gòu)成液滴4的涂覆液 流入氣體吸入用槽口 3的危險性變高。
相對于此，本實施方式的特征在于，從位于涂覆液排出用槽口 2和氣體吸入用槽 口 3之間的氣體噴出用槽口 9噴出氣體。氣體吸入用槽口 3噴出的氣體例如為空氣或N2氣 體以及涂覆液的溶媒氣體。
如圖4B所示，通過從氣體噴出用槽口 9噴出的氣體，能夠防止液滴4的上游端越 過氣體噴出用槽口 9而接近氣體吸入用槽口 3。由此，能夠防止構(gòu)成液滴4的涂覆液流入氣 體吸入用槽口 3。
另外，即使如圖4C所示那樣由于被涂覆材料5的破損等而使涂覆間隔19極度地 大變動等，假定液滴4被破壞時，也通過從氣體噴出用槽口 9噴出的氣體，能夠防止涂覆液 流入氣體吸入用槽口。
這樣，根據(jù)本實施方式的涂覆裝置，能夠防止涂覆液流入氣體吸入用槽口，所以能 夠朝移動方向上游側(cè)強力地吸入液滴的上游端，從而防止由于被涂覆材料的移動產(chǎn)生的剪 切力而破壞液滴4。
另外，通過從氣體噴出用槽口噴出的氣體將液滴4推壓到被涂覆材料5。由此，即 使增大涂覆間隔，也能夠更穩(wěn)定地維持液滴4。由此，能夠增大涂覆間隔(例如，所形成的涂 覆膜的厚度的10倍 20倍)，并能夠防止因增大涂覆間隔造成的模頭的前端部與被涂覆材 料接觸。
(實施方式2)
在實施方式1中，說明了噴出方向垂直于被涂覆材料的表面的形態(tài)。在實施方式 2中，說明噴出方向相對于被涂覆材料的表面，朝移動方向下游側(cè)傾斜的形態(tài)。
圖5是實施方式2的模頭的前端部的剖面的放大圖。對于與實施方式1的模頭1 相同的結(jié)構(gòu)要素附以相同的標號并省略其說明。如圖5所示，在實施方式2中，氣體噴出用 槽口 9噴出氣體的方向(噴出方向)，相對于被涂覆材料5的表面，朝移動方向X下游側(cè)傾 斜。
具體而言，噴出方向的對被涂覆材料的表面的法線的傾斜角度16通常為1° 75°。
這樣，通過使噴出方向相對于被涂覆材料的表面，朝移動方向X下游側(cè)傾斜，則除 了具有實施方式1的效果以外，還能夠防止噴出的氣體流入液滴和被涂覆材料之間。由此， 能夠可靠地防止液滴不穩(wěn)定。
另一方面，如上所述，噴出方向相對于被涂覆材料5的表面，朝移動方向X上游側(cè) 傾斜不是優(yōu)選。如圖6所示，若噴出方向朝移動方向X上游側(cè)傾斜，則從氣體噴出用槽口 9 噴出的氣體流入液滴4和被涂覆材料5之間，液滴4變得不穩(wěn)定(參照比較例2)。
(實施方式3)
在實施方式3中，說明模頭的前端部具有臺階的形態(tài)。
圖7是實施方式3的模頭2的前端部的剖面的放大圖。對于與實施方式1的模頭 相同的結(jié)構(gòu)要素附以相同的標號并省略其說明。如圖7所示在實施方式3中，模頭1的前 端部具有臺階。更具體而言，將前端部中的、氣體吸入用槽口 3和氣體噴出用槽口 9之間的 區(qū)域A的高度設(shè)定得低于前端部的其他區(qū)域。區(qū)域A與前端部的其他區(qū)域之間的高低差17 例如為50 300 μ m。其結(jié)果，區(qū)域A與被涂覆材料5之間的間隔大于前端部的其他區(qū)域與 被涂覆材料5之間的間隔。
這樣，通過使前端部中的、氣體吸入用槽口 3與氣體噴出用槽口 9之間的區(qū)域A的 高度低于前端部的其他區(qū)域，則除了實施方式1的效果以外，從氣體噴出槽口 9噴出的氣體 能夠容易地流入氣體吸入用槽口 3。由此，促進從氣體噴出用槽口 9噴出的氣體流向移動方 向X上游側(cè)，防止其流入液滴4和被涂覆材料5之間而使液滴4不穩(wěn)定。
(實施方式4)
在實施方式1 3中，說明了模頭的前端部具有的氣體吸入用槽口的數(shù)目和氣體 噴出用槽口的數(shù)目相同的形態(tài)。在實施方式4中，說明模頭的前端部具有的氣體吸入用槽 口的數(shù)目多于氣體噴出用槽口的數(shù)目的形態(tài)。
圖8是實施方式4的模頭1的前端部的剖面的放大圖。對于與實施方式1的模頭 相同的結(jié)構(gòu)要素附以相同的標號并省略其說明。如圖8所示，在實施方式4中，模頭1的前 端部具有兩個氣體吸入用槽口(第一氣體吸入用槽口 3a和第二氣體吸入用槽口 3b)。第二 氣體吸入用槽口北和氣體噴出用槽口 9之間的間隔d3為0. 03 19. 64mm，第一氣體吸入 用槽口 3a和第二氣體吸入用槽口北之間的間隔d4為0. 03 19. 64mm(參照圖8)。
另外，如圖8所示，在實施方式4中，將前端部中第二氣體吸入用槽口北與氣體噴 出用槽口 9之間的區(qū)域A設(shè)定得低于前端部的其他區(qū)域。
第一氣體吸入用槽口 3a和第二氣體吸入用槽口北全都是用于吸入氣體的槽口， 但其擔(dān)負的功能不同。例如，配置在移動方向X上游側(cè)的第一氣體吸入用槽口 3a是為了吸 入液滴4的上游端而吸入氣體；配置在移動方向X下游側(cè)的第二氣體吸入用槽口北吸入從 氣體噴出用槽口噴出的氣體。
這樣，通過另外設(shè)置用于回收從氣體噴出用槽口噴出的氣體的第二氣體吸入用槽 口 3b，則除了實施方式1的效果以外，能夠防止從氣體噴出用槽口 9噴出的氣體流入液滴4 和被涂覆材料5之間而使液滴4不穩(wěn)定。
圖9A 圖IOC是從實施方式4的模頭1的前端部的被涂覆材料5側(cè)所見的俯視 圖。如圖9A 圖IOC所示，只要各個槽口(涂覆液排出用槽口、氣體吸入用槽口以及氣體 噴出用槽口)能夠進行穩(wěn)定的涂覆液的排出、穩(wěn)定的氣體的吸入以及穩(wěn)定的氣體的噴出， 則既可以將其劃分為多個孔，也可以不劃分。
[實施例]
下面，說明本發(fā)明的實施例。
(實施例1)
在實施例1中說明，使用在實施方式1中說明了的模頭，對玻璃基板(被涂覆材 料)涂覆了甲基纖維素水溶液(涂覆液)的例子。
模頭的設(shè)計條件
首先，準備了圖3所示的實施方式1的模頭。將涂覆液排出用槽口 2、氣體排出用 槽口 9以及氣體吸入用槽口 3的寬度Qd、3d以及9d)設(shè)定為100 μ m。將涂覆液排出用槽 口 2與氣體吸入用槽口 3之間的間隔dl設(shè)定為2. 05mm，并將涂覆液排出用槽口 2與氣體噴 出用槽口 9之間的間隔d2設(shè)定為1mm。
另外，氣體噴出用槽口噴出氣體的方向垂直于被涂覆材料的表面。在實施例1中， 不將各個槽口劃分為多個孔(參照圖9A)。
涂覆條件
將涂覆間隔設(shè)為100 μ m，將作為被涂覆材料的玻璃基板的相對速度設(shè)為150mm/ s，在玻璃基板上形成了寬30cmX長IOOcmX厚10 μ m的由甲基纖維素水溶液構(gòu)成的涂覆 膜。作為涂覆液的甲基纖維素水溶液的剪切速度(shear velocity) 1000 (1/s)中的粘度設(shè) 為 IOOmPa · S。
另外，將從氣體吸入用槽口吸入的氣體的流量設(shè)為SOOml/min，將從氣體噴出用槽 口噴出的氣體(空氣)的流量設(shè)為720ml/min。也就是說，在實施例1中，實質(zhì)的氣體的吸 入量(所吸入的氣體的流量-所噴出的氣體的流量)為80ml/min(800ml/min-720ml/min)。
以上述條件，涂覆了 500枚玻璃基板。
(實施例2)
在實施例2中，使用圖5所示的實施方式2的模頭對玻璃基板(被涂覆材料)涂 覆了甲基纖維素水溶液(涂覆液)。也就是說，在實施例2中，除了噴出方向朝移動方向下 游傾斜以外，以與實施例1相同的條件涂覆了玻璃基板。
在實施例2中，將噴出方向的對被涂覆材料的法線的傾斜角度16設(shè)為45° (參照 圖5)。
(實施例3)
在實施例3中，除了噴出方向的對被涂覆材料的法線的傾斜角度16設(shè)為70°以 外，以與實施例2相同的條件，涂覆了玻璃基板(參照圖5)。
(比較例1)
在比較例1中，除了在模頭沒有設(shè)置氣體噴出用槽口，將從氣體吸入用槽口吸入 的氣體的流量設(shè)為SOml/min以外，以與實施例1相同的條件，涂覆了 500枚玻璃基板。在 比較例1中準備了的模頭，即具有與圖IA所示的以往的模頭相同的結(jié)構(gòu)。
(比較例2)
在實施例2中，除了氣體噴出用槽口朝移動方向上游傾斜以外，以與實施例1相同 的條件涂覆了玻璃基板。在比較例2中準備了的模頭，與即圖6所示的模頭具有相同的結(jié) 構(gòu)。在比較例2中，將氣體噴出用槽口的對被涂覆材料的法線的傾斜角度設(shè)為45°。
(結(jié)果1)
表1表示在實施例1 比較例2中，所形成的涂覆膜中斷了的次數(shù)。
表1
中斷發(fā)生次數(shù)
權(quán)利要求
1.模頭，具有連續(xù)地排出涂覆液的前端部，并且在沿一定方向相對移動的被涂覆材料 和所述前端部之間的間隔維持由所述涂覆液構(gòu)成的積存液，由此在所述被涂覆材料上形成 涂覆膜，所述前端部包括涂覆液排出用槽口，其位于所述被涂覆材料的移動方向的下游側(cè)，而且連續(xù)地排出所 述涂覆液；氣體吸入用槽口，其位于所述被涂覆材料的移動方向的上游側(cè)，并且吸入氣體，以對所 述積存液的所述被涂覆材料的移動方向的上游側(cè)的端部附近進行減壓；以及氣體噴出用槽口，其位于所述涂覆液排出用槽口和所述氣體吸入用槽口之間，向所述 涂覆膜的所述被涂覆材料的移動方向的上游側(cè)的端部噴出氣體，以不使所述涂覆液流入所 述氣體吸入用槽口，所述氣體噴出用槽口噴出所述氣體的方向相對于所述被涂覆材料的表面，不朝所述被 涂覆材料的移動方向的上游側(cè)傾斜。
2.如權(quán)利要求1所述的模頭，所述涂覆液排出用槽口和所述氣體噴出用槽口之間的間隔為0. 3mm以上，所述氣體噴 出用槽口和所述氣體吸入用槽口之間的間隔為0. 05 15mm。
3.如權(quán)利要求1所述的模頭，所述氣體噴出用槽口噴出的氣體的流量少于所述氣體吸入用槽口吸入的氣體的流量。
4.如權(quán)利要求1所述的模頭，所述氣體噴出用槽口噴出所述氣體的方向垂直于所述被涂覆材料的表面。
5.如權(quán)利要求1所述的模頭，所述氣體噴出用槽口噴出所述氣體的方向相對于所述被涂覆材料的表面，朝所述被涂 覆材料的移動方向下游側(cè)傾斜。
6.如權(quán)利要求5所述的模頭，所述氣體噴出用槽口噴出所述氣體的方向相對所述被涂覆材料的表面的法線的傾斜 角度為1° 75°。
7.如權(quán)利要求1所述的模頭，所述前端部中的、所述氣體吸入用槽口與所述氣體噴出用槽口之間的區(qū)域低于所述前 端部的其他區(qū)域。
8.如權(quán)利要求1所述的模頭，所述氣體吸入用槽口的數(shù)目與所述氣體噴出用槽口的數(shù)目不同。
9.液體涂覆裝置，具有權(quán)利要求1所述的模頭。
全文摘要
公開了模頭，在沿一定方向相對移動的被涂覆材料和前端部之間的間隔維持由涂覆液構(gòu)成的積存液，由此在所述被涂覆材料上形成涂覆膜，所述前端部包括涂覆液排出用槽口，其位于所述被涂覆材料的移動方向的下游側(cè)，而且連續(xù)地排出所述涂覆液；氣體吸入用槽口，其位于所述被涂覆材料的移動方向的上游側(cè)，并且吸入氣體，以對所述積存液的所述被涂覆材料的移動方向的上游側(cè)的端部附近進行減壓；以及氣體噴出用槽口，其位于所述涂覆液排出用槽口和所述氣體吸入用槽口之間，向所述涂覆膜的所述被涂覆材料的移動方向的上游側(cè)的端部噴出氣體，以不使所述涂覆液流入所述氣體吸入用槽口。
文檔編號B05C5/02GK102029242SQ20101029246
公開日2011年4月27日 申請日期2010年9月25日 優(yōu)先權(quán)日2009年9月28日
發(fā)明者堀川晃宏 申請人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會社