專利名稱:藍寶石襯底片精磨研磨液及其配制方法
技術領域:
本發(fā)明涉及一種藍寶石襯底片精磨研磨液及其配制方法。
背景技術:
通常金剛石研磨液是采用金剛石粉和水進行配置,使用時需要用手搖晃,這樣對于金剛石研磨液來說,均勻度不好,有沉淀現(xiàn)象,不利于研磨。
發(fā)明內容
本發(fā)明所要解決的技術問題是提供一種藍寶石襯底片精磨研磨液及其配制方法, 所得研磨液均勻度好,利于研磨。為解決上述技術問題,本發(fā)明采用如下技術方案藍寶石襯底片精磨研磨液,由金剛石粉、水和懸浮液組成,金剛石粉、水和懸浮液的重量比=1 10 1,所述懸浮液由分散劑、懸浮劑和防銹劑組成,分散劑、懸浮劑和防銹劑的重量比=2 5 1,所述分散劑為高分子有機醇,所述懸浮劑為高分子化合物,所述防銹劑為堿。作為優(yōu)選,所述高分子有機醇為乙二醇。作為優(yōu)選,所述高分子化合物為硬脂酸。作為優(yōu)選,所述堿為氫氧化鈉。藍寶石襯底片精磨研磨液的配制方法,包括以下步驟a、按照權利要求1所述配比稱取原料混合;b、將步驟a所得液體用超聲波振蕩儀振蕩10分鐘;C、將步驟b所得液體過濾;d、將步驟c所得液體用超聲波振蕩儀振蕩15分鐘。作為優(yōu)選,所述超聲波振蕩儀的頻率為^Wiz,功率為200w。本發(fā)明由于采用了上述技術方案,所得研磨液均勻度好,利于研磨,可使加工結束后的晶片表面粗糙度大為改善,且減少了塌邊的產生,大大提高加工效率,使得晶片平整度大為提高。
具體實施例方式藍寶石襯底片精磨研磨液,由金剛石粉、水和懸浮液組成,金剛石粉、水和懸浮液的重量比=1 10 1,加入懸浮液,使研磨液粒徑分布更加均勻。所述懸浮液由乙二醇、 硬脂酸和氫氧化鈉組成,乙二醇、硬脂酸和氫氧化鈉的重量比=2 5 1。藍寶石襯底片精磨研磨液的配制方法,包括以下步驟a、按照權利要求1所述配比稱取原料混合;b、將步驟a所得液體用超聲波振蕩儀振蕩10分鐘;C、將步驟b所得液體過濾;d、將步驟c所得液體用超聲波振蕩儀振蕩15分鐘。所述超聲波振蕩儀的頻率為 ^khz,功率為 200w。研磨液磨削效率較大,研磨過程中由于藍寶石晶片與研磨液中固體顆粒在運動中進行不斷的摩擦,因而會產生大量的熱,若不及時將其分散帶走,產生的熱量堆積后會使其表面產生微小的形變,進而影響研磨質量;通過優(yōu)化研磨液的循環(huán)運動方式,將研磨過程中所產生的熱量帶走,從而有效解決研磨過程中的散熱問題。散熱問題解決后使用本發(fā)明的研磨液大大縮短了加工所需時間,使加工結束后的晶片表面粗糙度大為改善,且減少了塌邊的產生,大大提高加工效率,使得晶片平整度大為提高,晶片表面現(xiàn)象更加光滑,使加工結束后的晶片平整度彡2um(國家標準彡15um)。
權利要求
1.藍寶石襯底片精磨研磨液,其特征在于由金剛石粉、水和懸浮液組成,金剛石粉、 水和懸浮液的重量比=1 10 1,所述懸浮液由分散劑、懸浮劑和防銹劑組成,分散劑、懸浮劑和防銹劑的重量比=2 5 1,所述分散劑為高分子有機醇,所述懸浮劑為高分子化合物,所述防銹劑為堿。
2.根據(jù)權利要求1所述藍寶石襯底片精磨研磨液,其特征在于所述高分子有機醇為乙二醇。
3.根據(jù)權利要求1所述藍寶石襯底片精磨研磨液,其特征在于所述高分子化合物為硬脂酸。
4.根據(jù)權利要求1所述藍寶石襯底片精磨研磨液,其特征在于所述堿為氫氧化鈉。
5.根據(jù)權利要求1所述藍寶石襯底片精磨研磨液的配制方法,其特征在于包括以下步驟a、按照權利要求1所述配比稱取原料混合;b、將步驟a所得液體用超聲波振蕩儀振蕩10分鐘;C、將步驟b所得液體過濾;d、將步驟c所得液體用超聲波振蕩儀振蕩15分鐘。
6.根據(jù)權利要求5所述藍寶石襯底片精磨研磨液的配制方法,其特征在于所述超聲波振蕩儀的頻率為^Wiz,功率為200w。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種藍寶石襯底片精磨研磨液,由金剛石粉、水和懸浮液組成,金剛石粉、水和懸浮液的重量比=1∶10∶1,所述懸浮液由分散劑、懸浮劑和防銹劑組成,分散劑、懸浮劑和防銹劑的重量比=2∶5∶1,所述分散劑為高分子有機醇,所述懸浮劑為高分子化合物,所述防銹劑為堿。本發(fā)明由于采用了上述技術方案,所得研磨液均勻度好,利于研磨,可使加工結束后的晶片表面粗糙度大為改善,且減少了塌邊的產生,大大提高加工效率,使得晶片平整度大為提高。
文檔編號C09K3/14GK102212333SQ201110097508
公開日2011年10月12日 申請日期2011年4月19日 優(yōu)先權日2011年4月19日
發(fā)明者李鵬 申請人:浙江露笑光電有限公司