光刻膠涂膠噴嘴定位拾取裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及半導(dǎo)體勻膠顯影設(shè)備，具體地說是一種光刻膠涂膠噴嘴定位拾取裝置。包括光刻膠噴嘴拾取系統(tǒng)、光刻膠噴嘴裝置及光刻膠噴嘴平臺，其中光刻膠噴嘴平臺上設(shè)有定位孔，所述光刻膠噴嘴裝置安裝在光刻膠噴嘴平臺上、并通過光刻膠噴嘴平臺上的定位孔定位，所述光刻膠噴嘴拾取系統(tǒng)的定位結(jié)構(gòu)位于光刻膠噴嘴裝置的上方，光刻膠噴嘴平臺上用于定位光刻膠噴嘴裝置的定位中心、光刻膠噴嘴拾取系統(tǒng)的定位中心和光刻膠噴嘴裝置的噴膠中心在同一直線上，光刻膠噴嘴拾取系統(tǒng)通過打開或閉合定位結(jié)構(gòu)對光刻膠噴嘴裝置進(jìn)行拾取和定位。本發(fā)明通過使光刻膠噴嘴裝置的定位中心和光刻膠噴嘴噴涂中心重合來提高定位精度，減少結(jié)構(gòu)件體積，提高成品率和生產(chǎn)效率。
【專利說明】光刻膠涂膠噴嘴定位拾取裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體勻膠顯影設(shè)備，具體地說是一種光刻膠涂膠噴嘴定位拾取裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)過程中，一個(gè)勻膠顯影設(shè)備需要在一個(gè)勻膠單元中集成多種光刻膠的噴嘴系統(tǒng)，達(dá)到一機(jī)多用，降低成本的需要。但是一般的膠嘴更換由于膠種眾多，光刻膠供應(yīng)管路大小不同，就需要自動定位更換。傳統(tǒng)的定位結(jié)構(gòu)為定位結(jié)構(gòu)件中心和膠嘴噴涂中心不像匹配，會造成噴涂中心與定位中心產(chǎn)生偏差，影響生產(chǎn)的產(chǎn)品質(zhì)量和產(chǎn)能，有些時(shí)候還由于固定失誤，造成影響工藝的結(jié)果。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]針對上述問題，本發(fā)明的目的在于提供一種光刻膠涂膠噴嘴定位拾取裝置。該光刻膠涂膠噴嘴定位拾取裝置通過使光刻膠噴嘴裝置的定位中心和光刻膠噴嘴噴涂中心重合來提高定位精度，減少結(jié)構(gòu)件體積，提高成品率和生產(chǎn)效率。
[0004]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案:
[0005]一種光刻膠涂膠噴嘴定位拾取裝置，包括光刻膠噴嘴拾取系統(tǒng)、光刻膠噴嘴裝置及光刻膠噴嘴平臺，其中光刻膠噴嘴平臺上設(shè)有定位孔，所述光刻膠噴嘴裝置安裝在光刻膠噴嘴平臺上、并通過光刻膠噴嘴平臺上的定位孔定位，所述光刻膠噴嘴拾取系統(tǒng)的定位結(jié)構(gòu)位于光刻膠噴嘴裝置的上方，光刻膠噴嘴平臺上用于定位光刻膠噴嘴裝置的定位中心、光刻膠噴嘴拾取系統(tǒng)的定位中心和光刻膠噴嘴裝置的噴膠中心在同一直線上，光刻膠噴嘴拾取系統(tǒng)通過打開或閉合定位結(jié)構(gòu)對光刻膠噴嘴裝置進(jìn)行拾取和定位。
[0006]所述光刻膠噴嘴拾取系統(tǒng)包括氣缸托架、氣缸及定位爪，其中氣缸設(shè)置在氣缸托架上，所述定位爪與氣缸連接、并通過氣缸的驅(qū)動打開或關(guān)閉。所述定位爪包括兩個(gè)對稱的直角三角形，所述兩個(gè)對稱的直角三角閉合后形成正方形。
[0007]所述光刻膠噴嘴裝置包括噴嘴和導(dǎo)向固定卡盤，其中導(dǎo)向固定卡盤設(shè)置在噴嘴的上方，所述光刻膠噴嘴拾取系統(tǒng)上的定位爪閉合進(jìn)入導(dǎo)向固定卡盤中，定位爪打開與固定卡盤卡接。所述導(dǎo)向固定卡盤內(nèi)設(shè)有臺階卡槽，所述定位爪卡接在該臺階卡槽內(nèi)。所述導(dǎo)向固定卡盤設(shè)有正方形接口。
[0008]所述光刻膠噴嘴平臺上設(shè)有多個(gè)光刻膠噴嘴裝置。
[0009]本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)及有益效果是:
[0010]1.本發(fā)明通過使光刻膠噴嘴裝置的定位中心和光刻膠噴嘴噴涂中心重合來提高涂膠中心的定位精度。
[0011]2.本發(fā)明可以節(jié)省有限的單元空間，減少結(jié)構(gòu)件體積，提高成品率和生產(chǎn)效率。
[0012]3.本發(fā)明可以實(shí)現(xiàn)固定牢固和拾取自如。【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]圖2為本發(fā)明中光刻膠拾取系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0015]圖3為本發(fā)明中光刻膠噴嘴裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]其中:1為氣缸托架，2為氣缸，3為定位爪，4為噴嘴，5為導(dǎo)向固定卡盤，6為噴嘴托架，10為光刻膠拾取系統(tǒng)，20為光刻膠噴嘴裝置。
【具體實(shí)施方式】
[0017]下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作進(jìn)一步描述。
[0018]如圖1所示，本發(fā)明包括光刻膠噴嘴拾取系統(tǒng)10、光刻膠噴嘴裝置20及光刻膠噴嘴平臺，其中光刻膠噴嘴平臺上設(shè)有定位孔，光刻膠噴嘴裝置20安裝在光刻膠噴嘴平臺上、并通過光刻膠噴嘴平臺上的定位孔定位。光刻膠噴嘴拾取系統(tǒng)10的定位結(jié)構(gòu)位于光刻膠噴嘴裝置20的上方，光刻膠噴嘴平臺上用于定位光刻膠噴嘴裝置20的定位中心、光刻膠噴嘴拾取系統(tǒng)10的定位中心和光刻膠噴嘴裝置20的噴膠中心在同一直線上，光刻膠噴嘴拾取系統(tǒng)10通過打開或閉合定位結(jié)構(gòu)對光刻膠噴嘴裝置20進(jìn)行拾取和定位。本實(shí)施例光刻膠噴嘴平臺采用噴嘴托架6。
[0019]如圖2所示，光刻膠噴嘴拾取系統(tǒng)10包括氣缸托架1、氣缸2及定位爪3，其中氣缸2設(shè)置在氣缸托架I上，定位爪3與氣缸2的推桿連接、并通過氣缸2的驅(qū)動打開或關(guān)閉。定位爪3包括兩個(gè)對稱的直角三角形，兩個(gè)對稱的直角三角閉合后形成正方形。
[0020]如圖3所示，光刻膠噴嘴裝置20包括噴嘴4和導(dǎo)向固定卡盤5，其中
[0021]導(dǎo)向固定卡盤5設(shè)置在噴嘴4的上方,導(dǎo)向固定卡盤5設(shè)有正方形接口、并
[0022]接口內(nèi)設(shè)有臺階卡槽,導(dǎo)向固定卡盤5的正方形接口大于定位爪3閉合后形
[0023]成的正方形。
[0024]本發(fā)明的工作過程是:
[0025]光刻膠噴嘴拾取系統(tǒng)10上的定位爪3的兩個(gè)直角三角形閉合進(jìn)入導(dǎo)向
[0026]固定卡盤5的正方形接口內(nèi)，通過定位爪3的兩個(gè)直角三角形打開、并卡在
[0027]導(dǎo)向固定卡盤5的臺階卡槽內(nèi)，利用定位爪直角邊的定位功能實(shí)現(xiàn)光刻膠噴
[0028]嘴拾取系統(tǒng)10的拾取中心和導(dǎo)向固定卡盤5的定位中心相重合，而導(dǎo)向固
[0029]定卡盤5的定位中心和噴嘴4的中心在一條直線上，最終實(shí)現(xiàn)光刻膠噴嘴平
[0030]臺上用于定位光刻膠噴嘴裝置20的定位中心、光刻膠噴嘴拾取系統(tǒng)10的定
[0031]位中心和光刻膠噴嘴裝置20的噴膠中心在同一直線上。氣缸2帶動定位爪
[0032]3打開卡住導(dǎo)向固定卡盤5之后，可以帶動整個(gè)光刻膠噴嘴裝置20按照生
[0033]產(chǎn)要求移動。放置光刻膠噴嘴裝置20過程與之前相反。
[0034]本發(fā)明個(gè)工作原理是:
[0035]本發(fā)明是在需要更換不同噴嘴4的時(shí)候，光刻膠噴嘴裝置20放在一個(gè)帶有定位孔的光刻膠噴嘴平臺上，噴嘴4通過定位孔來定位，作用是在放置光刻膠噴嘴裝置20的時(shí)候起到輔助定位的作用。在放置光刻膠噴嘴裝置20的同時(shí)，光刻膠噴嘴平臺上的光刻膠噴嘴裝置20的定位中心、光刻膠噴嘴拾取系統(tǒng)10的定位中心和噴嘴4的噴膠中心在同一直線上。光刻膠噴嘴拾取系統(tǒng)10通過開閉定位結(jié)構(gòu)對光刻膠噴嘴裝置20進(jìn)行拾取和定位，保證了定位精度和強(qiáng)度，最終達(dá)到放置、定位和緊固的作用。根據(jù)需要光刻膠噴嘴平臺上可設(shè)置多個(gè)光刻膠噴嘴裝置20，以提高生產(chǎn)效率。
【權(quán)利要求】
1.一種光刻膠涂膠噴嘴定位拾取裝置，其特征在于:包括光刻膠噴嘴拾取系統(tǒng)(10)、光刻膠噴嘴裝置(20)及光刻膠噴嘴平臺，其中光刻膠噴嘴平臺上設(shè)有定位孔，所述光刻膠噴嘴裝置(20)安裝在光刻膠噴嘴平臺上、并通過光刻膠噴嘴平臺上的定位孔定位，所述光刻膠噴嘴拾取系統(tǒng)(10)的定位結(jié)構(gòu)位于光刻膠噴嘴裝置(20)的上方，光刻膠噴嘴平臺上用于定位光刻膠噴嘴裝置(20)的定位中心、光刻膠噴嘴拾取系統(tǒng)(10)的定位中心和光刻膠噴嘴裝置(20)的噴膠中心在同一直線上，光刻膠噴嘴拾取系統(tǒng)(10)通過打開或閉合定位結(jié)構(gòu)對光刻膠噴嘴裝置(20)進(jìn)行拾取和定位。
2.按權(quán)利要求1所述的光刻膠涂膠噴嘴定位拾取裝置，其特征在于:所述光刻膠噴嘴拾取系統(tǒng)(10)包括氣缸托架(I)、氣缸(2)及定位爪(3)，其中氣缸(2)設(shè)置在氣缸托架(I)上，所述定位爪(3)與氣缸(2)連接、并通過氣缸(2)的驅(qū)動打開或關(guān)閉。
3.按權(quán)利要求2所述的光刻膠涂膠噴嘴定位拾取裝置，其特征在于:所述定位爪(3)包括兩個(gè)對稱的直角三角形，所述兩個(gè)對稱的直角三角閉合后形成正方形。
4.按權(quán)利要求2所述的光刻膠涂膠噴嘴定位拾取裝置，其特征在于:所述光刻膠噴嘴裝置(20)包括噴嘴(4)和導(dǎo)向固定卡盤(5)，其中導(dǎo)向固定卡盤(5)設(shè)置在噴嘴(4)的上方，所述光刻膠噴嘴拾取系統(tǒng)(10)上的定位爪(3)閉合進(jìn)入導(dǎo)向固定卡盤(5)中，定位爪(3)打開與固定卡盤(5)卡接。
5.按權(quán)利要求4所述的光刻膠涂膠噴嘴定位拾取裝置，其特征在于:所述導(dǎo)向固定卡盤(5)內(nèi)設(shè)有臺階卡槽,所述定位爪(3)卡接在該臺階卡槽內(nèi)。
6.按權(quán)利要求4所述的光刻膠涂膠噴嘴定位拾取裝置，其特征在于:所述導(dǎo)向固定卡盤(5)設(shè)有正方形接口。
7.按權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)權(quán)利要求所述的光刻膠涂膠噴嘴定位拾取裝置，其特征在于:所述光刻膠噴嘴平臺上設(shè)有多個(gè)光刻膠噴嘴裝置(20)。
【文檔編號】B05C11/10GK103809380SQ201210439549
【公開日】2014年5月21日 申請日期:2012年11月6日 優(yōu)先權(quán)日:2012年11月6日
【發(fā)明者】王陽 申請人:沈陽芯源微電子設(shè)備有限公司