專利名稱：槽體排泡裝置與方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明系有關(guān)槽體排泡裝置與方法，尤指一種于涂布制程中，其涂布裝置中設(shè)置一藥液儲存之槽體，該槽體可藉由復(fù)數(shù)隔板上至少設(shè)置有一網(wǎng)狀濾泡裝置，且該網(wǎng)狀濾泡裝置可有效阻隔攔截藥液中的氣泡，使流出槽體之藥液具有最佳無泡穩(wěn)定之特性。
背景技術(shù)：
習(xí)知半導(dǎo)體藥液之濾泡裝置多設(shè)于生產(chǎn)機(jī)臺內(nèi)部，例如:光阻涂布機(jī)、顯影機(jī)及濕式蝕刻機(jī)之裝置，若需更換藥液時(shí)，必先停機(jī)更換后，再經(jīng)過一定程序?qū)⑺幰簝?nèi)的氣泡完全排除，該排泡過程必須花費(fèi)數(shù)個(gè)小時(shí)之時(shí)間，方能將藥液內(nèi)的氣泡完全排出。若藥液之氣泡未完全排出時(shí)，氣泡將直接附著于產(chǎn)品上，將對制程造成負(fù)面影響降低產(chǎn)品良率，而造成的影響包括有:殘影(Mura)、水印(Water Mark)、針孔(Pin Hole)及種種相關(guān)受氣泡影響而造成反應(yīng)不全(例如:顯影不全、蝕刻不全)之缺陷，造成產(chǎn)品良率大幅降低，而有待從事此行業(yè)者加以解決。

發(fā)明內(nèi)容
基于解決以上所述習(xí)知技藝的缺失，本發(fā)明為一種槽體排泡裝置與方法，本發(fā)明之主要目的于涂布制程中，其涂布裝置中設(shè)置一藥液儲存之槽體，該槽體可藉由復(fù)數(shù)隔板上至少設(shè)置有一網(wǎng)狀濾泡裝置，且該網(wǎng)狀濾泡裝置可有效阻隔攔截藥液中的氣泡，使流出槽體之藥液具有最佳無泡穩(wěn)定特性的功能。本發(fā)明之另一目的在于藉由隔板個(gè)數(shù)增加設(shè)置，而使藥液的流動(dòng)路徑增加，來增加藥液之排泡機(jī)會(huì)，達(dá)成排泡效果。本發(fā)明之再一目的在于藉由該藥液入口及該藥液出口皆設(shè)置于該槽體之底部，以減少藥液流動(dòng)時(shí)之?dāng)_動(dòng)，以降低氣體混入形成氣泡之機(jī)會(huì)。為達(dá)上述目的，本發(fā)明為一種槽體排泡裝置，用以濾泡含有氣泡之藥液，其系包括有:
一槽體，系為一具有腔室之箱體，而其腔室用以承裝藥液，具有一藥液入口及一藥液出口，且于藥液上表面具有一空間；以及
復(fù)數(shù)個(gè)隔板，設(shè)置于該槽體中，使槽體內(nèi)成一規(guī)則流道，該些復(fù)數(shù)隔板上至少設(shè)置有一網(wǎng)狀濾泡裝置。較佳者，該槽體更系設(shè)置有一排氣裝置，且該排氣裝 置設(shè)置于槽體空間之位置。較佳者，該排氣裝置可為自然排氣裝置或強(qiáng)制排氣裝置。較佳者，該自然排氣裝置系為一孔洞。較佳者，該強(qiáng)制排氣裝置系為一風(fēng)扇馬達(dá)。較佳者，該網(wǎng)狀濾泡裝置系為復(fù)數(shù)個(gè)六角形蜂槽狀孔洞所構(gòu)成。較佳者，該網(wǎng)狀濾泡裝置系為任意多邊形、多角形或圓形孔洞所構(gòu)成。
較佳者，該網(wǎng)狀濾泡裝置系為一海綿體所構(gòu)成。較佳者，該網(wǎng)狀濾泡裝置的孔洞之孔徑，可設(shè)計(jì)不同大小，或多重設(shè)置，以配合相關(guān)藥液特性。為靠近該藥液入口較大，且靠近該藥液出口較小。較佳者，該網(wǎng)狀濾泡裝置系具有一厚度。較佳者，該藥液入口及該藥液出口皆設(shè)置于該槽體之底部。較佳者，該藥液系指一光阻藥液或?yàn)槠渌I(yè)用藥液。較佳者，該藥液出口流出藥液系可藉由一循環(huán)回收裝置加以回收。為達(dá)上述目的，本發(fā)明為一種槽體排泡方法，其系包括有:
提供一槽體，該槽體內(nèi)設(shè)置有具有復(fù)數(shù)個(gè)孔洞之復(fù)數(shù)個(gè)隔板以形成一預(yù)設(shè)流道；將藥液由該槽體之一藥液入口注入形成一槽體液體平面，該槽體液體平面系高于該藥液入口且低于槽體高度，使藥液在槽體內(nèi)依循該預(yù)設(shè)流道流動(dòng)；
利用該復(fù)數(shù)個(gè)孔洞來吸附在該預(yù)設(shè)流道流動(dòng)的藥液中的氣泡，以使復(fù)數(shù)個(gè)氣泡聚集于該復(fù)數(shù)個(gè)孔洞達(dá)一定程度后向上移動(dòng)到該槽體之液面高度以排出氣泡完成排泡處理；以及將已經(jīng)由排泡處理的藥液由一藥液出口排出。為進(jìn)一步對本發(fā)明有更深入的說明，乃藉由以下圖示、圖號說明及發(fā)明詳細(xì)說明，冀能對貴審查委員于審查工作有所助益。


圖1為本發(fā)明槽體排泡裝置之俯視剖面結(jié)構(gòu)示意 圖2A為本發(fā)明槽體排泡裝置之正視剖面結(jié)構(gòu)示意 圖2B為本發(fā)明槽體排泡裝置之俯視流道示意 圖3為本發(fā)明單一隔板之結(jié)構(gòu)示意 圖4為本發(fā)明隔板之網(wǎng)狀濾泡裝置的放大結(jié)構(gòu)示意 圖5為本發(fā)明隔板之網(wǎng)狀濾泡裝置采用不規(guī)則孔洞結(jié)構(gòu)之第一實(shí)施例 圖6為本發(fā)明隔板之網(wǎng)狀濾泡裝置采用不規(guī)則孔洞結(jié)構(gòu)之第二實(shí)施例 圖7為本發(fā)明隔板之網(wǎng)狀濾泡裝置采用不規(guī)則孔洞結(jié)構(gòu)之第三實(shí)施例 圖8為本發(fā)明槽體的底部可為一不平坦的斜面之實(shí)施結(jié)構(gòu)示意 圖9為本發(fā)明之槽體排泡方法的流程圖。附圖標(biāo)記說明:
LI 流道長度
L2 液面高度 L3 槽體高度 I 槽體 11 藥液入口 12 藥液出口 13 空間 2 隔板
21 網(wǎng)狀濾泡裝置 211 六角形蜂槽狀孔洞 212 第一不規(guī)則狀孔洞 213 第二不規(guī)則狀孔洞 214 第三不規(guī)則狀孔洞 3 藥液
41 底部不規(guī)則之槽體 42 不規(guī)則孔洞之隔板
51 提供一槽體，該槽體內(nèi)設(shè)置有具有復(fù)數(shù)個(gè)孔洞之復(fù)數(shù)個(gè)隔板以形成一預(yù)設(shè)流道52 將藥液由該槽體之一藥液入口注入形成一槽體液體平面，該槽體液體平面系高于該藥液入口且低于槽體高度，使藥液在槽體內(nèi)依循該預(yù)設(shè)流道流動(dòng)
53 利用該復(fù)數(shù)個(gè)孔洞來吸附在該預(yù)設(shè)流道流動(dòng)的藥液中的氣泡，以使復(fù)數(shù)個(gè)氣泡聚集于該復(fù)數(shù)個(gè)孔洞達(dá)一定程度后向上移動(dòng)到該槽體之液面高度以排出氣泡完成排泡處理54 將已經(jīng)由排泡處理的藥液由一藥液出口排出。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對本發(fā)明作進(jìn)一步說明，以使本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以更好的理解本發(fā)明并能予以實(shí)施，但所舉實(shí)施例不作為對本發(fā)明的限定。請參閱圖1、圖2A所示，系為本發(fā)明槽體排泡裝置之俯視與正視剖面結(jié)構(gòu)示意圖，其中槽體排泡裝置用以過濾含有氣泡之藥液，該藥液系指一光阻藥液或?yàn)槠渌I(yè)用藥液，其系包括有:一槽體1，系為一具有腔室之箱體，該槽體I內(nèi)形成一規(guī)則之流道，圖2B中揭露槽體I之流道長度為LI ;液面高度為L2 (如圖2A);槽體高度為L3 (如圖2A)。該流道長度LI至少大于槽體長度L3之1.5倍，且此流道長度LI可依藥液黏度與槽體I外型做變更，使藥液在同樣槽體I可走更長的距離，也意味滯留時(shí)間較久，槽體I的底部可為一不平坦的斜面，亦具有增加藥液流動(dòng)距離的效果，而其腔室用以承裝藥液3，具有一藥液入口 11及一藥液出口 12，該藥液入口 11及該藥液出口 12皆設(shè)置于該槽體I之底部，但是藥液出口12可在上也可在下，本發(fā)明不以此自限，以減少擾流現(xiàn)象，該藥液出口 12流出藥液3系可藉由一循環(huán)回收裝置(圖中未示)加以回收，且于藥液3上表面具有一空間13(即為L3減去L2之空間);復(fù)數(shù)個(gè)隔板2，設(shè)置于該槽體I中，使槽體I內(nèi)成一規(guī)則流道，該些復(fù)數(shù)隔板2上至少設(shè)置有一網(wǎng)狀濾泡裝置21，而藉由隔板2的個(gè)數(shù)增加設(shè)置，而使藥液3的流動(dòng)路徑增加，有效提高表面增加氣泡成核成長的機(jī)率，以利于排出藥液3中的氣泡且可規(guī)則控制流體氣泡，來強(qiáng)化藥液3之排泡效果。上述該槽體I更系設(shè)置有一排氣裝置(圖中未示)，且該排氣裝置設(shè)置于槽體I空間之位置，該排氣裝置可為自然排氣裝置(圖中未示)或強(qiáng)制排氣裝置(圖中未示)，該自然排氣裝置系為一孔洞；該強(qiáng)制排氣裝置系為一風(fēng)扇馬達(dá)。請參閱圖3、圖4所示，系為本發(fā)明單一隔板之結(jié)構(gòu)示意圖及隔板之網(wǎng)狀濾泡裝置的放大結(jié)構(gòu)示意圖，其中一隔板2上所設(shè)置一網(wǎng)狀濾泡裝置21，該網(wǎng)狀濾泡裝置21系具有一厚度，藉由該厚度來增加氣泡吸附之面積，而隔板2可為多層式隔版或單層隔版所構(gòu)成，但具有一定(孔洞)厚度，且每層之孔徑可為單一孔徑，亦可為交錯(cuò)排列大小不一的孔徑，該網(wǎng)狀濾泡裝置21系為復(fù)數(shù)個(gè)六角形蜂槽狀孔洞211所構(gòu)成；該網(wǎng)狀濾泡裝置21可設(shè)計(jì)為一海綿體(圖中未示)所構(gòu)成，利于數(shù)個(gè)氣泡聚集于網(wǎng)狀濾泡裝置21，此因氣泡將受阻于蜂巢壁(降低氣泡表面能量)，增加數(shù)個(gè)泡泡于此過濾裝置匯集之機(jī)會(huì)。泡泡匯集之后將進(jìn)一步降低能量來成長(氣泡數(shù)目降低，單一氣泡體積增加)，氣泡成核的原理為表面能量降低，呈一自然趨勢所形成，體積增加后受較大浮力利于氣泡浮起離開制程溶液，或成長終至氣泡脫離液面為止。再以隔板2阻隔上方氣泡通過；因而減少藥液中氣泡含量。
上該網(wǎng)狀濾泡裝置21的孔洞之孔徑，可利用多重網(wǎng)狀濾泡裝置加強(qiáng)阻泡排泡效果?？稍O(shè)計(jì)為靠近該藥液入口 11較小，且靠近該藥液出口 12較大，如此于藥液3通過前段隔板2時(shí)，可增加吸附阻隔直徑較小的氣泡；通過中段隔板2時(shí)，即可吸附阻隔中型直徑的氣泡；通過后段隔板2時(shí)，可吸附阻隔大型直徑的氣泡，以達(dá)到攔截各種不同大小氣泡的功能，孔徑大小用于阻檔或收集氣泡，孔徑長度則是提供氣泡附著在孔璧上的機(jī)會(huì)，而使通道之表面積增加，即可達(dá)成類似活性碳的作用，以濾除絕大部份的氣泡。請參閱圖5、圖6、圖7所示，系為本發(fā)明隔板之網(wǎng)狀濾泡裝置采用不規(guī)則孔洞結(jié)構(gòu)之第一、二、三實(shí)施例圖，有別于圖4之規(guī)則蜂巢狀結(jié)構(gòu)，網(wǎng)狀濾泡裝置亦可將該網(wǎng)狀濾泡裝置21設(shè)計(jì)為任意多邊形、多角形或圓形孔洞。如圖5揭露該網(wǎng)狀濾泡裝置21為一圓形，但其內(nèi)部第一不規(guī)則狀孔洞212為圓形或橢圓形所構(gòu)成；如圖6揭露該網(wǎng)狀濾泡裝置21為一長方形，但其內(nèi)部第二不規(guī)則狀孔洞213亦為圓形或橢圓形所構(gòu)成；如圖7揭露該網(wǎng)狀濾泡裝置21為一長方形，但其內(nèi)部第三不規(guī)則狀孔洞213為任意多邊形、多角形所構(gòu)成，亦可達(dá)到將氣泡吸附停留于隔板2上的功能，故一并提出做為實(shí)施結(jié)構(gòu)。請參閱圖8所示，系為本發(fā)明槽體的底部可為一不平坦的斜面之實(shí)施結(jié)構(gòu)示意圖，本實(shí)施例與圖2A及圖2B所示實(shí)施例相較,本實(shí)施結(jié)構(gòu)具有一底部不規(guī)則之槽體41及一不規(guī)則孔洞之隔板42，可因應(yīng)不同槽體排泡作業(yè)環(huán)境來實(shí)施，亦能達(dá)到與圖2A及圖2B所示實(shí)施例相同的效果。請參閱圖9所示，系為本發(fā)明之槽體排泡方法的流程圖，其系包括有:
51 提供一槽體，該槽體內(nèi)設(shè)置有具有復(fù)數(shù)個(gè)孔洞之復(fù)數(shù)個(gè)隔板以形成一預(yù)設(shè)流道，該預(yù)設(shè)流道長度至少大于槽體長度之1.5倍；該些孔洞之孔徑可為單一孔徑，亦可為交錯(cuò)排列大小不一的孔徑；該槽體的底部系為一非水平的斜面。52 將藥液由該槽體之一藥液入口注入形成一槽體液體平面，該槽體液體平面系高于該藥液入口且低于槽體高度，使藥液在槽體內(nèi)依循該預(yù)設(shè)流道流動(dòng)；該藥液之液面高于該藥液入口且低于該槽體之高度。53 利用該復(fù)數(shù)個(gè)孔洞來吸附在該預(yù)設(shè)流道流動(dòng)的藥液中的氣泡，以使復(fù)數(shù)個(gè)氣泡聚集于該復(fù)數(shù)個(gè)孔洞達(dá)一定程度后向上移動(dòng)到該槽體之液面高度以排出氣泡完成排泡處理；該復(fù)數(shù)個(gè)孔洞系為復(fù)數(shù)個(gè)六角形蜂槽狀孔洞所構(gòu)成；該復(fù)數(shù)個(gè)孔洞系為任意多邊形、多角形或圓形孔洞所構(gòu)成。54 將已經(jīng)由排泡處理的藥液由一藥液出口排出。藉由上述圖1至圖9之揭露，即可了解本發(fā)明為一種槽體排泡裝置，于涂布制程中之涂布裝置中設(shè)置一藥液儲存之槽體，該槽體可藉由復(fù)數(shù)隔板上至少設(shè)置有一網(wǎng)狀濾泡裝置，且該網(wǎng)狀濾泡裝置可有效攔截藥液中的氣泡，使流出槽體之藥液具有最佳無泡穩(wěn)定的功能。而藉由隔板個(gè)數(shù)增加設(shè)置，而使藥液的流動(dòng)路徑增加，來強(qiáng)化藥液之排泡效果。且藉由該藥液入口及該藥液出口皆設(shè)置于該槽體之底部，以減少藥液流動(dòng)時(shí)之?dāng)_流，以降低氣體混入形成氣泡之機(jī)會(huì)。于自動(dòng)生產(chǎn)設(shè)備中，其有極高的實(shí)用性，亦能達(dá)到提高產(chǎn)品良率及降低成本的功能，故提出專利申請以尋求專利權(quán)之保護(hù)。以上所述實(shí)施例僅是為充分說明本發(fā)明而所舉的較佳的實(shí)施例，本發(fā)明的保護(hù)范圍不限于此。本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明基礎(chǔ)上所作的等同替代或變換，均在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。本發(fā)明的保護(hù)范圍以權(quán)利要求書為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種槽體排泡裝置，用以去除含有氣泡之藥液，其特征在于，其系包括有: 一槽體，具有一中空腔室用以承裝藥液以形成一液體平面； 一藥液入口及一藥液出口；以及 復(fù)數(shù)個(gè)隔板，間隔排列設(shè)置于該槽體中，其中，每一該復(fù)數(shù)個(gè)隔板之兩端皆與該槽體相接觸，且具有復(fù)數(shù)個(gè)孔洞。
2.如權(quán)利要求書I所述的槽體排泡裝置，其特征在于，其中該槽體更系設(shè)置有一排氣裝置，該排氣裝置之位置至少高于該槽體高度的二分之一。
3.如權(quán)利要求書2所述的槽體排泡裝置，其特征在于，其中該排氣裝置可為自然排氣裝置或強(qiáng)制排氣裝置。
4.如權(quán)利要求書I所述的槽體排泡裝置，其特征在于，其中該復(fù)數(shù)個(gè)孔洞系由一海綿體所構(gòu)成。
5.如權(quán)利要求書I所述的槽體排泡裝置，其特征在于，其中每一個(gè)隔板系為一多層式隔版所構(gòu)成。
6.如權(quán)利要求書I所述的槽體排泡裝置，其特征在于，其中，越接近該藥液入口之該隔板之該復(fù)數(shù)個(gè)孔洞之孔徑系大于遠(yuǎn)離該藥液入口之該隔板之該復(fù)數(shù)個(gè)孔洞之孔徑。
7.如權(quán)利要求書6所述的槽體排泡裝置，其特征在于，其中該復(fù)數(shù)個(gè)孔洞系為復(fù)數(shù)個(gè)六角形蜂槽狀孔洞所構(gòu)成。
8.如權(quán)利要求書6所述的槽體排泡裝置，其特征在于，其中該復(fù)數(shù)個(gè)孔洞系為任意多邊形、多角形或圓形孔洞所構(gòu)成。
9.如權(quán)利要求書7所述的槽體排泡裝置，其特征在于，其中該復(fù)數(shù)個(gè)孔洞之孔徑系為單一孔徑或大小不一排列。
10.如權(quán)利要求書I所述的槽體排泡裝置，其特征在于，其中該槽體的底部系為一非水平的斜面。
11.如權(quán)利要求書I所述的槽體排泡裝置，其特征在于，其中該藥液之液面高于該藥液入口且低于該槽體之高度。
12.如權(quán)利要求書I所述的槽體排泡裝置，其特征在于，其中該藥液系指一光阻藥液或?yàn)槠渌I(yè)用藥液。
13.如權(quán)利要求書I所述的槽體排泡裝置，其中更包括一循環(huán)回收裝置連接該藥液出口，用以將從該藥液出口排出一藥液導(dǎo)入至該藥液入口。
14.如權(quán)利要求書I所述的槽體排泡裝置，其特征在于，其中該復(fù)數(shù)個(gè)隔板以形成藥液流道，且該流道長度至少大于槽體長度之1.5倍。
15.一種槽體排泡方法，其特征在于，其系包括有: 提供一槽體，該槽體內(nèi)設(shè)置有具有復(fù)數(shù)個(gè)孔洞之復(fù)數(shù)個(gè)隔板以形成一預(yù)設(shè)流道； 將藥液由該槽體之一藥液入口注入形成一槽體液體平面，該槽體液體平面系高于該藥液入口且低于槽體高度，使藥液在槽體內(nèi)依循該預(yù)設(shè)流道流動(dòng)； 利用該復(fù)數(shù)個(gè)孔洞來吸附在該預(yù)設(shè)流道流動(dòng)的藥液中的氣泡，以使復(fù)數(shù)個(gè)氣泡聚集于該復(fù)數(shù)個(gè)孔洞達(dá)一定程度后向上移動(dòng)到該槽體之液面高度以排出氣泡完成排泡處理；以及 將已經(jīng)由排泡處理的藥液由一藥液出口排出。
16.如權(quán)利要求書15所述的槽體排泡方法，其特征在于，其中該些孔洞之孔徑可為單一孔徑，亦可為交錯(cuò)排列大小不一的孔徑。
17.如權(quán)利要求書15所述的槽體排泡方法，其特征在于，其中該槽體的底部系為一非水平的斜面。
18.如權(quán)利要求書15所述的槽體排泡方法，其特征在于，其中該復(fù)數(shù)個(gè)孔洞系為復(fù)數(shù)個(gè)六角形蜂槽狀孔洞所構(gòu)成。
19.如權(quán)利要求書15所述的槽體排泡方法，其特征在于，其中該復(fù)數(shù)個(gè)孔洞系為任意多邊形、多角形或圓形孔洞所構(gòu)成。
20.如權(quán)利要求書15所述的槽體排泡方法，其特征在于，其中該藥液之液面高于該藥液入口且低于該槽體之高度。
21.如權(quán)利要求書15所述的槽體排泡方法，其特征在于，其中該預(yù)設(shè)流道長度至少大于槽體長度之1.5倍。
全文摘要
本發(fā)明系一種槽體排泡裝置與方法，于涂布制程中，其涂布裝置中設(shè)置一藥液儲存之槽體，該槽體可藉由復(fù)數(shù)隔板上至少設(shè)置有一網(wǎng)狀濾泡裝置，且該網(wǎng)狀濾泡裝置可有效阻隔攔截藥液中的氣泡，使流出槽體之藥液具有最佳無泡穩(wěn)定之特性；且藉由隔板個(gè)數(shù)增加設(shè)置，而使藥液的流動(dòng)路徑增長，來強(qiáng)化藥液之排泡效果；再藉由該藥液入口及該藥液出口皆設(shè)置于該槽體之底部，亦可減少藥液流動(dòng)時(shí)之?dāng)_動(dòng)，以降低氣體混入形成氣泡之機(jī)會(huì)。
文檔編號B05C11/11GK103157583SQ201210537689
公開日2013年6月19日 申請日期2012年12月13日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月13日
發(fā)明者劉宗珀, 陳敬業(yè) 申請人:亞智科技股份有限公司