新型化合物的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供適合用于得到能夠以低曝光量形成密合性優(yōu)異的圖案的負(fù)型感光性樹脂組合物的新型化合物。本發(fā)明的化合物以下述式（1）表示。式中，R1和R2分別獨(dú)立地表示氫原子或有機(jī)基團(tuán)，R1和R2中的至少一方表示有機(jī)基團(tuán)。對(duì)于R1和R2，它們可以鍵合而形成環(huán)狀結(jié)構(gòu)，也可以包含雜原子的鍵。R3表示單鍵或有機(jī)基團(tuán)。R4～R9分別獨(dú)立地表示氫原子、有機(jī)基團(tuán)等，但是，R6和R7不為羥基。R10表示氫原子或有機(jī)基團(tuán)。
【專利說明】新型化合物
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及適合用于負(fù)型感光性樹脂組合物的新型化合物。
【背景技術(shù)】
[0002]負(fù)型感光性樹脂組合物具有因紫外線等電磁波的照射而固化的特性。對(duì)于該負(fù)型感光性樹脂組合物而言，由于能夠使照射了光的部分固化而得到所需形狀的圖案，因此廣泛地用于顯示裝置、半導(dǎo)體裝置、電子部件、微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)等各種用途。例如在顯示裝置中，被用作液晶顯示器、有機(jī)EL顯示器等中的平坦化膜、絕緣膜、濾色器、黑矩陣、間隔件、隔壁等的材料。
[0003]作為此類負(fù)型感光性樹脂組合物。為了確保制品的可靠性，在形成微小圖案時(shí)也要求與基板密合這樣的高密合性。為此，以往，提出了一種負(fù)型感光性樹脂組合物，其含有胺系硅烷偶聯(lián)劑作為密合增強(qiáng)劑(參照專利文獻(xiàn)I)。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)
[0006]專利文獻(xiàn)1:日本特開2000 - 035670號(hào)公報(bào)
[0007]專利文獻(xiàn)2:日本特開2011 - 052214號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]發(fā)明要解決的課題
[0009]但是，近年來，從更進(jìn)一步提高生產(chǎn)率的觀點(diǎn)出發(fā)，迫切需要能夠以低曝光量形成良好形狀的圖案的負(fù)型感光性樹脂組合物。
[0010]但是，如專利文獻(xiàn)I那樣，在含有胺系硅烷偶聯(lián)劑作為密合增強(qiáng)劑的情況下，雖然提高了與基板的密合性，但是存在使圖案形成所需的曝光量增加的問題。
[0011]本發(fā)明鑒于上述課題而完成，其目的在于提供一種適合用于得到能夠以低曝光量形成密合性優(yōu)異的圖案的負(fù)型感光性樹脂組合物的新型化合物。
[0012]用于解決課題的手段
[0013]本發(fā)明人等為了達(dá)成上述目的反復(fù)進(jìn)行了深入研究。結(jié)果發(fā)現(xiàn)可以通過使負(fù)型感光性樹脂組合物含有特定的化合物來解決上述課題，以至完成本發(fā)明。
[0014]即，本發(fā)明的化合物為以下述式(I)表示的化合物。
[0015]【化I】
[0016]
【權(quán)利要求】
1.一種下述式(1)所示的化合物，
2.一種堿產(chǎn)生劑，其包含權(quán)利要求1所述的化合物。
3.一種密合增強(qiáng)劑，其包含權(quán)利要求1所述的化合物。
【文檔編號(hào)】C09K3/00GK103764625SQ201280040595
【公開日】2014年4月30日 申請(qǐng)日期:2012年6月15日 優(yōu)先權(quán)日:2011年6月24日
【發(fā)明者】鹽田大, 黑子麻祐美, 野田國(guó)宏, 田所惠典, 赤井泰之, 高井英行 申請(qǐng)人:東京應(yīng)化工業(yè)株式會(huì)社, 株式會(huì)社大賽璐