一種相變材料用機(jī)械拋光液的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種相變材料用機(jī)械拋光液，包括下列重量份數(shù)的物質(zhì)：表面活性劑1-3份，有機(jī)添加劑2-5份，調(diào)節(jié)劑1-3份，水性介質(zhì)50-55份，納米石墨粉1-2份，高嶺土1-3份，季戊四醇1-5份，氰尿酸三聚氰胺鹽2-3份，蒙脫土1-3份，硬脂酸2-3份，硬脂酸鹽3-4份，過氧化苯甲酰1-2份，乙酸正丁酯2-3份，硬脂酰胺1-3份。本發(fā)明的拋光液性能穩(wěn)定，拋光效果好，可滿足制備納電子相變存儲(chǔ)器中工藝的需要。
【專利說明】一種相變材料用機(jī)械拋光液
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及一種相變材料用機(jī)械拋光液。
【背景技術(shù)】
[0002]相變存儲(chǔ)器因具有高速讀取、高可擦寫次數(shù)、非易失性、元件尺寸小、功耗低、抗強(qiáng)震動(dòng)和抗輻射、成本具有競(jìng)爭(zhēng)力等優(yōu)點(diǎn)，而被國(guó)際半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)認(rèn)為是最有可能取代目前的閃存存儲(chǔ)器的下一代非易失性存儲(chǔ)器。相變存儲(chǔ)器技術(shù)的基本原理是以硫系化合物為存儲(chǔ)介質(zhì)，利用電能使材料在晶態(tài)與非晶態(tài)(高阻)之間相互轉(zhuǎn)換實(shí)現(xiàn)信息的寫入與擦除，信息的讀出則靠測(cè)量電阻的變化實(shí)現(xiàn)。存儲(chǔ)單元包括由電介質(zhì)材料定義的細(xì)孔，相變材料沉積在細(xì)孔中，相變材料在細(xì)孔的一端上連接電極。電極接觸使電流通過該通道產(chǎn)生焦耳熱對(duì)該單元進(jìn)行編程，或者讀取該單元的電阻狀態(tài)。
[0003]目前，在構(gòu)建相變存儲(chǔ)單元時(shí)，通行的做法是:先通過磁控濺射的方法沉積相變材料在由電介質(zhì)材料定義的細(xì)孔中，然后通過反應(yīng)離子刻蝕CRIE)或者化學(xué)機(jī)械拋光的方法，將細(xì)空上方的相變材料進(jìn)行去除。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種相變材料用機(jī)械拋光液。
[0005]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是:
一種相變材料用機(jī)械拋 光液，其特征在于，包括下列重量份數(shù)的物質(zhì):表面活性劑1-3份，有機(jī)添加劑2-5份，調(diào)節(jié)劑1-3份，水性介質(zhì)50-55份，納米石墨粉1_2份，高嶺土 1_3份，季戊四醇1-5份，氰尿酸三聚氰胺鹽2-3份，蒙脫土 1-3份，硬脂酸2-3份，硬脂酸鹽3_4份，過氧化苯甲酰1-2份，乙酸正丁酯2-3份，硬脂酰胺1-3份。
[0006]本發(fā)明的拋光液性能穩(wěn)定，拋光效果好，可滿足制備納電子相變存儲(chǔ)器中工藝的需要。
【具體實(shí)施方式】
[0007]實(shí)施例1
一種相變材料用機(jī)械拋光液，其特征在于，包括下列重量份數(shù)的物質(zhì):表面活性劑1-3份，有機(jī)添加劑2-5份，調(diào)節(jié)劑1-3份，水性介質(zhì)50-55份，納米石墨粉1_2份，高嶺土 1_3份，季戊四醇1-5份，氰尿酸三聚氰胺鹽2-3份，蒙脫土 1-3份，硬脂酸2-3份，硬脂酸鹽3_4份，過氧化苯甲酰1-2份，乙酸正丁酯2-3份，硬脂酰胺1-3份。
【權(quán)利要求】
1.一種相變材料用機(jī)械拋光液，其特征在于，包括下列重量份數(shù)的物質(zhì):表面活性劑1-3份，有機(jī)添加劑2-5份，調(diào)節(jié)劑1-3份，水性介質(zhì)50-55份，納米石墨粉1_2份，高嶺土1-3份，季戊四醇1-5份，氰尿酸三聚氰胺鹽2-3份，蒙脫土 1-3份，硬脂酸2-3份，硬脂酸鹽3-4份，過氧化苯甲酰1-2份.，乙酸正丁酯2-3份，硬脂酰胺1-3份。
【文檔編號(hào)】C09G1/02GK103436187SQ201310387823
【公開日】2013年12月11日 申請(qǐng)日期:2013年8月31日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月31日
【發(fā)明者】張竹香 申請(qǐng)人:青島承天偉業(yè)機(jī)械制造有限公司