一種真空系統(tǒng)以及應用該真空系統(tǒng)的勻膠的制造方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種真空系統(tǒng)以及應用該真空系統(tǒng)的勻膠機，所述真空系統(tǒng)包含有軸支座（1），所述軸支座（1）上豎向設置有一軸孔（2），所述軸孔（2）內(nèi)插置有一軸（3），所述軸（3）的中心設置有一與沿其長度方向的通孔，所述軸支座（1）的外側壁上設置有抽氣嘴（4），且抽氣嘴（4）與軸支座（1）的軸孔（2）相連通，所述軸孔（2）的內(nèi)壁自上而下依次設置有上軸承卡口（2.1）、下軸承卡口（2.2）和骨架油封卡口（2.3），套裝于軸（3）上的上軸承（3.1）、下軸承（3.2）和骨架油封（3.3）分別嵌于上軸承卡口（2.1）、下軸承卡口（2.2）和骨架油封卡口（2.3）內(nèi)。本實用新型涉及一種真空系統(tǒng)以及應用該真空系統(tǒng)的勻膠機，生產(chǎn)質(zhì)量高。
【專利說明】一種真空系統(tǒng)以及應用該真空系統(tǒng)的勻膠機
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種真空系統(tǒng)以及應用該真空系統(tǒng)的勻膠機，屬于光刻設備【技術領域】。
【背景技術】
[0002]目前，隨著集成電路、光電技術的發(fā)展，需要在基片上蝕刻越來越精細的電路，因此對光刻技術的要求越來越高，勻膠機通過基片的高速旋轉(zhuǎn)，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂覆在基片上；顯然，高速旋轉(zhuǎn)時基片的穩(wěn)定性直接影響著光刻膠涂覆的均勻度和平整度，即使是細微的抖動也會對后續(xù)的生產(chǎn)造成不利影響。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實用新型的目的在于克服上述不足，提供一種生產(chǎn)質(zhì)量高的真空系統(tǒng)以及應用該真空系統(tǒng)的勻膠機。
[0004]本實用新型的目的是這樣實現(xiàn)的:一種真空系統(tǒng)，所述真空系統(tǒng)包含有軸支座，所述軸支座上豎向設置有一軸孔，所述軸孔內(nèi)插置有一軸，所述軸的中心設置有一與沿其長度方向的通孔，所述軸支座的外側壁上設置有抽氣嘴，且抽氣嘴與軸支座的軸孔相連通。
[0005]本實用新型一種真空系統(tǒng)，所述軸孔的內(nèi)壁自上而下依次設置有上軸承卡口、下軸承卡口和骨架油封卡口，套裝于軸上的上軸承、下軸承和骨架油封分別嵌于上軸承卡口、下軸承卡口和骨架油封卡口內(nèi)。
[0006]本實用新型一種真空系統(tǒng)，所述軸孔的底部旋置有一密封螺絲，所述密封螺絲和骨架油封卡口之間構成一氣腔，上述抽氣嘴和軸的通孔均與該氣腔相連通，從而構成一導氣回路。
[0007]一種勻膠機，所述勻膠機采用上述真空系統(tǒng)。
[0008]與現(xiàn)有技術相比，本實用新型的有益效果是:
[0009]本實用新型通過在基片下方形成負壓，從而利用基片上方的大氣壓將基片牢牢的壓在軸上，使得基片在高速旋轉(zhuǎn)的過程中仍然能夠保持其平穩(wěn)，采用真空吸附能夠有效減少夾具帶來的擾流影響，有效的提高了光刻膠涂覆時的均勻度和平整度，有利于提高后續(xù)產(chǎn)品的生產(chǎn)質(zhì)量。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0010]圖1為本實用新型真空系統(tǒng)以及應用該真空系統(tǒng)勻膠機的結構示意圖。
[0011]圖2為本實用新型真空系統(tǒng)以及應用該真空系統(tǒng)勻膠機的軸支座的結構示意圖。
[0012]其中:
[0013]軸支座1、軸孔2、軸3、抽氣嘴4、密封螺絲5 ；
[0014]上軸承卡口 2.1、下軸承卡口 2.2、骨架油封卡口 2.3 ；
[0015]上軸承3.1、下軸承3.2、骨架油封3.3。【具體實施方式】
[0016]參見圖1和圖2，本實用新型涉及的一種真空系統(tǒng)以及應用該真空系統(tǒng)的勻膠機，所述真空系統(tǒng)包含有軸支座1，所述軸支座I上豎向設置有一軸孔2，所述軸孔2內(nèi)插置有一軸3，所述軸3的中心設置有一與沿其長度方向的通孔，所述軸孔2的內(nèi)壁、自上而下依次設置有上軸承卡口 2.1、下軸承卡口 2.2和骨架油封卡口 2.3，套裝于軸3上的上軸承3.1、下軸承3.2和骨架油封3.3分別嵌于上軸承卡口 2.1、下軸承卡口 2.2和骨架油封卡口 2.3內(nèi)，所述軸支座I的外側壁上設置有抽氣嘴4，且抽氣嘴4與軸支座I的軸孔2相連通；具體的講，所述軸孔2的底部旋置有一密封螺絲5，所述密封螺絲5和骨架油封卡口 2.3之間構成一氣腔，上述抽氣嘴4和軸3的通孔均與該氣腔相連通，從而構成一導氣回路；
[0017]工作時，基片位于軸3上方，通過抽氣嘴4進行抽氣作業(yè)，從而經(jīng)抽氣嘴4、氣腔、軸3的通孔這個導氣回路在基片的下方形成一負壓，使基片牢牢的吸附在軸3上，有效的防止了其在高速旋轉(zhuǎn)時產(chǎn)生晃動。
【權利要求】
1.一種真空系統(tǒng)，其特征在于:所述真空系統(tǒng)包含有軸支座(1)，所述軸支座(I)上豎向設置有一軸孔(2)，所述軸孔(2)內(nèi)插置有一軸(3)，所述軸(3)的中心設置有一與沿其長度方向的通孔，所述軸支座(I)的外側壁上設置有抽氣嘴(4)，且抽氣嘴(4)與軸支座(I)的軸孔(2)相連通。
2.如權利要求1所述的一種真空系統(tǒng)，其特征在于:所述軸孔(2)的內(nèi)壁至上而下依次設置有上軸承卡口( 2.1)、下軸承卡口( 2.2 )和骨架油封卡口( 2.3 )，套裝于軸(3 )上的上軸承(3.1)、下軸承(3.2)和骨架油封(3.3)分別嵌于上軸承卡口(2.1)、下軸承卡口(2.2)和骨架油封卡口(2.3)內(nèi)。
3.如權利要求1或2所述的一種真空系統(tǒng)，其特征在于:所述軸孔(2)的底部旋置有一密封螺絲(5)，所述密封螺絲(5)和骨架油封卡口(2.3)之間構成一氣腔，上述抽氣嘴(4)和軸(3)的通孔均與該氣腔相連通，從而構成一導氣回路。
4.一種勻膠機，其特征在于:所述勻膠機采用如權利要求1所述的一種真空系統(tǒng)。
【文檔編號】B05C13/02GK203525967SQ201320715547
【公開日】2014年4月9日 申請日期:2013年11月14日 優(yōu)先權日:2013年11月14日
【發(fā)明者】錢燕娟, 周亞軍, 湯曉君, 陳輝 申請人:江蘇雷博科學儀器有限公司