狹縫噴嘴、基板處理裝置及狹縫噴嘴的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種狹縫噴嘴、基板處理裝置及狹縫噴嘴的制造方法，可防止處理液的漏出。在夾入墊片而使噴嘴蓋部貼合于噴嘴本體部的構(gòu)造體的兩端安裝側(cè)板而制作狹縫噴嘴。在噴嘴蓋部的上側(cè)端部形成四棱柱形狀的缺口部。在墊片的上側(cè)端部也形成小于缺口部的剖面的缺口。在缺口部?jī)?nèi)填裝橡膠，并借由按壓構(gòu)件而按壓橡膠，由此將橡膠向噴嘴蓋部及噴嘴本體部按壓。并且，橡膠的一部分將墊片夾入且被按壓至噴嘴本體部。由此，橡膠發(fā)生變形而填充于缺口部?jī)?nèi)，形成于墊片與側(cè)板之間的處理液的漏出流路，即間隙，由橡膠而堵塞。
【專利說明】狹縫噴嘴、基板處理裝置及狹縫噴嘴的制造方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種在液晶用玻璃基板、半導(dǎo)體基板、薄膜液晶用柔性基板、光罩用基板、彩色濾光片用基板、太陽(yáng)能電池用基板、有機(jī)電致發(fā)光(electroluminescence, EL)用基板等(以下簡(jiǎn)稱為“基板”)的表面上涂布處理液的狹縫噴嘴(slit nozzle)、包括所述狹縫噴嘴的基板處理裝置、以及所述狹縫噴嘴的制造方法。

【背景技術(shù)】
[0002]自從前以來，在基板的制造步驟中，包括將光阻劑等處理液涂布于基板的表面的涂布步驟。在涂布步驟中，有時(shí)使用自狹縫噴嘴向基板的表面噴出處理液的涂布裝置(所謂狹縫式涂布機(jī)(slit coater))，所述狹縫噴嘴包括狹縫狀的噴出部。
[0003]狹縫噴嘴在其下部包含狹縫狀的噴出口，自所述噴出口噴出處理液。在涂布裝置中，所述狹縫噴嘴一面自噴出口向基板噴出處理液，一面沿與狹縫狀噴出口的長(zhǎng)邊方向正交的方向相對(duì)于基板相對(duì)地移動(dòng)。由此，在基板的表面內(nèi)的矩形區(qū)域內(nèi)涂布處理液(例如，參照專利文獻(xiàn)I)。
[0004][現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)]
[0005][專利文獻(xiàn)]
[0006][專利文獻(xiàn)I]日本專利特開2006-261326號(hào)公報(bào)


【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明所要解決的課題
[0008]專利文獻(xiàn)I所揭示的狹縫噴嘴在噴嘴兩端部包括側(cè)板(side plate)，以抑制處理液的涂布寬度的變動(dòng)。在這種側(cè)板式的狹縫噴嘴中，處理液有可能自側(cè)板與噴嘴本體部之間的微小間隙泄漏。特別是在噴嘴本體部與噴嘴蓋部之間夾著用以調(diào)整噴出口的寬度的墊片(shim)的構(gòu)造的狹縫噴嘴中，為了便于加工在墊片與側(cè)板之間會(huì)不可避免地產(chǎn)生間隙，從而產(chǎn)生處理液自所述間隙泄漏的問題。
[0009]本發(fā)明是鑒于所述問題而開發(fā)的，目的在于提供一種可防止處理液的漏出的技術(shù)。
[0010]解決課題的手段
[0011]為了解決所述問題，技術(shù)方案I的發(fā)明是一種狹縫噴嘴，在所述狹縫噴嘴的下部包含狹縫狀的噴出口，自所述噴出口噴出處理液，所述狹縫噴嘴包括:噴嘴本體部，包括將處理液引導(dǎo)至所述噴出口的送液路徑；噴嘴蓋部，與所述噴嘴本體部貼合，且所述噴嘴蓋部與所述噴嘴本體部一并對(duì)所述噴出口的沿長(zhǎng)邊方向的開口緣進(jìn)行規(guī)定；墊片，夾于所述噴嘴本體部與所述噴嘴蓋部之間，對(duì)所述噴出口的寬度進(jìn)行規(guī)定；一對(duì)側(cè)板，安裝于所述噴嘴本體部及所述噴嘴蓋部的兩端，對(duì)所述噴出口的沿寬度方向的開口緣進(jìn)行規(guī)定；以及堵塞部，對(duì)漏出流路進(jìn)行堵塞，所述漏出流路是產(chǎn)生于所述墊片與所述側(cè)板之間的處理液的漏出流路。
[0012]并且，技術(shù)方案2的發(fā)明根據(jù)技術(shù)方案I的發(fā)明的狹縫噴嘴，在所述噴嘴蓋部的上側(cè)兩端形成有缺口部，所述缺口部自與所述噴嘴本體部相對(duì)向的面貫通至所述面的相反側(cè)的面，所述堵塞部包括:彈性構(gòu)件，填裝于所述缺口部?jī)?nèi)；以及按壓機(jī)構(gòu)，將所述彈性構(gòu)件向所述噴嘴蓋部及所述噴嘴本體部按壓。
[0013]并且，技術(shù)方案3的發(fā)明根據(jù)技術(shù)方案2的發(fā)明的狹縫噴嘴，在所述墊片的上側(cè)兩端，形成面積小于所述缺口部的剖面的缺口，所述彈性構(gòu)件的端面的一部分直接按壓所述噴嘴本體部，并且所述端面的剩余部分將所述墊片夾入而按壓所述噴嘴本體部。
[0014]并且，技術(shù)方案4的發(fā)明根據(jù)技術(shù)方案3的發(fā)明的狹縫噴嘴，所述彈性構(gòu)件由硅橡膠所形成。
[0015]并且，技術(shù)方案5的發(fā)明是一種狹縫噴嘴，在所述狹縫噴嘴的下部包含狹縫狀的噴出口，自所述噴出口噴出處理液，所述狹縫噴嘴包括:噴嘴本體部，包括將處理液引導(dǎo)至所述噴出口的送液路徑；噴嘴蓋部，與所述噴嘴本體部貼合，且所述噴嘴蓋部與所述噴嘴本體部一并對(duì)所述噴出口的沿長(zhǎng)邊方向的開口緣進(jìn)行規(guī)定；墊片，夾于所述噴嘴本體部與所述噴嘴蓋部之間，對(duì)所述噴出口的寬度進(jìn)行規(guī)定；一對(duì)側(cè)板，安裝于所述噴嘴本體部及所述噴嘴蓋部的兩端，對(duì)所述噴出口的沿寬度方向的開口緣進(jìn)行規(guī)定；彈性構(gòu)件，填裝于缺口部?jī)?nèi)，所述缺口部以自所述噴嘴蓋部的與所述噴嘴本體部相對(duì)向的面貫通至所述面的相反側(cè)的面的方式而形成于所述噴嘴蓋部的上側(cè)兩端；以及按壓機(jī)構(gòu)，將所述彈性構(gòu)件向所述噴嘴蓋部及所述噴嘴本體部按壓而填充于所述缺口部?jī)?nèi)。
[0016]并且，技術(shù)方案6的發(fā)明根據(jù)技術(shù)方案5的發(fā)明的狹縫噴嘴，在所述墊片的上側(cè)兩端，形成面積小于所述缺口部的剖面的缺口，所述彈性構(gòu)件的端面的一部分直接按壓所述噴嘴本體部，并且所述端面的剩余部分將所述墊片夾入而按壓所述噴嘴本體部。
[0017]并且，技術(shù)方案7的發(fā)明根據(jù)技術(shù)方案6的發(fā)明的狹縫噴嘴，所述彈性構(gòu)件由硅橡膠所形成。
[0018]并且，技術(shù)方案8的發(fā)明:基板處理裝置中包括:根據(jù)技術(shù)方案I至技術(shù)方案7中任一發(fā)明的狹縫噴嘴；保持部，在所述狹縫噴嘴的下方水平地保持基板；驅(qū)動(dòng)部，使所述狹縫噴嘴相對(duì)于保持于所述保持部的基板，在與所述噴出口的長(zhǎng)邊方向正交的方向上相對(duì)地移動(dòng)；以及供給部，將處理液供給至所述狹縫噴嘴。
[0019]并且，技術(shù)方案9的發(fā)明是一種狹縫噴嘴的制造方法，在所述狹縫噴嘴的下部包含狹縫狀的噴出口，自所述噴出口噴出處理液，所述狹縫噴嘴的制造方法包括:貼設(shè)步驟，夾入對(duì)所述噴出口的寬度進(jìn)行規(guī)定的墊片而使噴嘴蓋部貼合于噴嘴本體部，所述噴嘴本體部包括將處理液引導(dǎo)至所述噴出口的送液路徑；安裝步驟，在所述噴嘴本體部及所述噴嘴蓋部的兩端安裝一對(duì)側(cè)板；加工步驟，在所述噴嘴蓋部的上側(cè)兩端，形成自與所述噴嘴本體部相對(duì)向的面貫通至所述面的相反側(cè)的面的缺口部；以及堵塞步驟，在所述缺口部?jī)?nèi)填裝彈性構(gòu)件，將所述彈性構(gòu)件向所述噴嘴蓋部及所述噴嘴本體部按壓，由此堵塞產(chǎn)生于所述墊片與所述側(cè)板之間的處理液的漏出流路。
[0020]并且，技術(shù)方案10的發(fā)明根據(jù)技術(shù)方案9的發(fā)明的狹縫噴嘴的制造方法，還包括在所述墊片的上側(cè)兩端形成面積小于所述缺口部的剖面的缺口的步驟，在所述堵塞步驟中，所述彈性構(gòu)件的端面的一部分直接按壓所述噴嘴本體部，并且所述端面的剩余部分將所述墊片夾入而按壓所述噴嘴本體部。
[0021]并且，技術(shù)方案11的發(fā)明根據(jù)技術(shù)方案9或技術(shù)方案10的發(fā)明的狹縫噴嘴的制造方法，所述彈性構(gòu)件由硅橡膠所形成。
[0022]發(fā)明的效果
[0023]根據(jù)技術(shù)方案I至技術(shù)方案4的發(fā)明，包括堵塞部，所述堵塞部堵塞產(chǎn)生于墊片與側(cè)板之間的處理液的漏出流路，因此可防止處理液自墊片與側(cè)板之間漏出。
[0024]根據(jù)技術(shù)方案5至技術(shù)方案7的發(fā)明，將彈性構(gòu)件向噴嘴蓋部及噴嘴本體部按壓而填充于缺口部?jī)?nèi)，因此產(chǎn)生于墊片與側(cè)板之間的處理液的漏出流路被堵塞，從而可防止處理液自墊片與側(cè)板之間漏出。
[0025]特別是根據(jù)技術(shù)方案3及技術(shù)方案6的發(fā)明，彈性構(gòu)件的端面的一部分直接按壓噴嘴本體部，并且端面的剩余部分將墊片夾入而按壓噴嘴本體部，因此可消除墊片與噴嘴本體部之間的間隙而更確實(shí)地防止處理液的漏出。
[0026]根據(jù)技術(shù)方案8的發(fā)明，可防止處理液自狹縫噴嘴漏出而將處理液均勻地噴出至基板。
[0027]根據(jù)技術(shù)方案9至技術(shù)方案11的發(fā)明，在噴嘴蓋部的缺口部?jī)?nèi)填裝彈性構(gòu)件，將彈性構(gòu)件向噴嘴蓋部及噴嘴本體部按壓，由此堵塞產(chǎn)生于墊片與側(cè)板之間的處理液的漏出流路，因此可防止處理液自墊片與側(cè)板之間漏出。
[0028]特別是根據(jù)技術(shù)方案10的發(fā)明，彈性構(gòu)件的端面的一部分直接按壓噴嘴本體部，并且端面的剩余部分將墊片夾入而按壓噴嘴本體部，因此可消除墊片與噴嘴本體部之間的間隙而更確實(shí)地防止處理液的漏出。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0029]圖1是表示本發(fā)明的基板處理裝置的概況的立體圖。
[0030]圖2是狹縫噴嘴的外觀立體圖。
[0031]圖3是狹縫噴嘴的剖面圖。
[0032]圖4是自上方觀察狹縫噴嘴的端部的圖。
[0033]圖5是表示狹縫噴嘴的組裝的一個(gè)步驟的圖。
[0034]圖6是狹縫噴嘴的上側(cè)端部的分解立體圖。
[0035]圖7是表示填裝有橡膠的狹縫噴嘴的上側(cè)端部的俯視圖。
[0036]符號(hào)的說明:
[0037]1:基板處理裝置
[0038]2:基板
[0039]10:本體部
[0040]20:控制部
[0041]21:運(yùn)算部
[0042]22:存儲(chǔ)部
[0043]23:操作部
[0044]24:顯示部
[0045]30:平臺(tái)
[0046]31:保持面
[0047]32:頂升銷
[0048]33:滑行軌道
[0049]34:開口
[0050]40:架橋部
[0051]41:噴嘴支撐部
[0052]42:狹縫噴嘴
[0053]43:升降機(jī)構(gòu)
[0054]43a:交流伺服馬達(dá)
[0055]50:驅(qū)動(dòng)部
[0056]51:固定元件
[0057]52:移動(dòng)元件
[0058]53:線性編碼器
[0059]60:抗蝕液供給源
[0060]71:噴嘴本體部
[0061]72:側(cè)板
[0062]73:噴嘴蓋部
[0063]74:墊片
[0064]75:間隙
[0065]77:露出面
[0066]78:缺口
[0067]79:缺口部
[0068]81:橡膠
[0069]85:按壓板
[0070]86:螺栓
[0071]95:石制平面板
[0072]711:噴出口
[0073]712:歧管
[0074]713:送液路徑

【具體實(shí)施方式】
[0075]以下，一面參照附圖，一面詳細(xì)說明本發(fā)明的實(shí)施方式。
[0076]〈1.基板處理裝置的整體構(gòu)成>
[0077]圖1是表示本發(fā)明的基板處理裝置I的概況的立體圖。所述基板處理裝置I是自狹縫噴嘴42向液晶顯示裝置用的玻璃基板等基板2噴出抗蝕液等處理液而進(jìn)行涂布處理的涂布裝置(狹縫式涂布機(jī))。再者，在圖1及以后的各圖中，為了明確它們的方向關(guān)系，適當(dāng)標(biāo)注了 XYZ正交坐標(biāo)系，將Z軸方向設(shè)為垂直方向，將XY平面設(shè)為水平面。X方向是狹縫噴嘴42的移動(dòng)方向，Y方向是狹縫噴嘴42的長(zhǎng)邊方向。并且，在圖1及以后的各圖中，為了易于理解，根據(jù)需要對(duì)各部分的尺寸或數(shù)目進(jìn)行夸張或簡(jiǎn)化來描繪。
[0078]基板處理裝置I包括本體部10及控制部20。本體部10包括平臺(tái)(stage) 30、架橋部40及驅(qū)動(dòng)部50。
[0079]平臺(tái)30是載置基板2的保持臺(tái)。平臺(tái)30由長(zhǎng)方體形狀的石材等所構(gòu)成，其上表面及側(cè)面加工成平坦?fàn)睢Ｆ脚_(tái)30的上表面為水平面，成為基板2的保持面31。在保持面31上，形成有未圖示的多個(gè)真空吸附口。在基板處理裝置I中對(duì)基板2進(jìn)行處理時(shí)，借由真空吸附口對(duì)基板2進(jìn)行吸附，而使得基板2在狹縫噴嘴42的下方保持為水平姿勢(shì)(法線沿垂直方向的姿勢(shì))。
[0080]在保持面31上，設(shè)置有多個(gè)頂升銷(lift pin) 32。頂升銷32構(gòu)成為上下升降自如。將基板2載置于平臺(tái)30上時(shí)，或自平臺(tái)30拆除基板2時(shí)，頂升銷32上升而對(duì)基板2進(jìn)行保持。并且，在保持面31中的夾著對(duì)基板2進(jìn)行保持的區(qū)域的兩端部，固設(shè)有一對(duì)滑行軌道33?；熊壍?3構(gòu)成直線導(dǎo)軌(linear guide)，所述直線導(dǎo)軌支撐架橋部40，并且弓I導(dǎo)架橋部40在X方向上的移動(dòng)。
[0081]在保持面31的(+X)方向側(cè)設(shè)置有開口 34。在開口 34下方的本體部10的內(nèi)部，設(shè)置著用于使狹縫噴嘴42的狀態(tài)正常化的預(yù)備涂布機(jī)構(gòu)、用于防止狹縫噴嘴42的干燥的待機(jī)窩槽(pod)等。
[0082]架橋部40水平地架設(shè)于平臺(tái)30的上方。架橋部40包括:噴嘴支撐部41，以碳纖維強(qiáng)化樹脂等為骨料(aggregate);狹縫噴嘴42，安裝于噴嘴支撐部41 ;以及升降機(jī)構(gòu)43，對(duì)噴嘴支撐部41的兩端進(jìn)行支撐。
[0083]狹縫噴嘴42在其下部包含狹縫狀的噴出口 711，一面自所述噴出口 711噴出抗蝕液，一面對(duì)基板2的表面進(jìn)行掃描，而在基板2表面的規(guī)定的區(qū)域內(nèi)涂布抗蝕液。狹縫噴嘴42包括:長(zhǎng)條狀的噴嘴本體部71 ;噴嘴蓋部73(圖1中由于位于噴嘴本體部71的背面?zhèn)?，所以未圖示)，與噴嘴本體部71貼合；以及側(cè)板72，安裝于噴嘴本體部71及噴嘴蓋部73的長(zhǎng)邊方向(Y方向)的兩端。關(guān)于狹縫噴嘴42的具體構(gòu)成，將在后文中作進(jìn)一步描述。
[0084]升降機(jī)構(gòu)43通過噴嘴支撐部41而支撐著狹縫噴嘴42。升降機(jī)構(gòu)43包括交流(alternating current, AC)伺服馬達(dá)(servo motor)43a 及未圖不的滾珠絲杠(ballscrew)，根據(jù)來自控制部20的控制信號(hào)，使狹縫噴嘴42并進(jìn)地升降。并且，升降機(jī)構(gòu)43對(duì)狹縫噴嘴42在YZ平面內(nèi)的姿勢(shì)進(jìn)行調(diào)整。
[0085]驅(qū)動(dòng)部50使狹縫噴嘴42相對(duì)于保持于平臺(tái)30的基板2，在與噴出口 711的長(zhǎng)邊方向(Y方向)正交的方向(X方向)上相對(duì)地移動(dòng)。驅(qū)動(dòng)部50包括沿平臺(tái)30的兩側(cè)部的一對(duì)固定兀件51、以及安裝于架橋部40的兩端部的一對(duì)移動(dòng)兀件52。驅(qū)動(dòng)部50利用固定元件51及移動(dòng)元件52構(gòu)成一對(duì)AC無芯線性馬達(dá)(coreless linear motor),使架橋部40沿X方向移動(dòng)。并且，在驅(qū)動(dòng)部50上，安裝有包括刻度(scale)部及檢測(cè)元件的線性編碼器(linear encoder) 53。線性編碼器53對(duì)移動(dòng)元件52的位置進(jìn)行檢測(cè)，并將檢測(cè)結(jié)果發(fā)送至控制部20。
[0086]控制部20包括:運(yùn)算部21，根據(jù)程序?qū)Ω鞣N數(shù)據(jù)進(jìn)行處理；以及存儲(chǔ)部22，存儲(chǔ)程序或各種數(shù)據(jù)。并且，在控制部20的前表面，設(shè)置有受理來自操作員的命令輸入的操作部23、以及顯示各種數(shù)據(jù)的顯示部24。
[0087]控制部20借由未圖示的纜線而與本體部10電性連接?？刂撇?0根據(jù)來自操作部23的輸入信號(hào)或來自線性編碼器53的檢測(cè)結(jié)果，對(duì)固定元件51及移動(dòng)元件52的動(dòng)作進(jìn)行控制。由此，對(duì)平臺(tái)30上的架橋部40的動(dòng)作進(jìn)行控制。并且，控制部20根據(jù)來自操作部23的輸入信號(hào)或來自未圖示的各種傳感器的信號(hào)，對(duì)升降機(jī)構(gòu)43的動(dòng)作或自狹縫噴嘴42噴出抗蝕液的動(dòng)作進(jìn)行控制。
[0088]<2.狹縫噴嘴的構(gòu)成>
[0089]其次，對(duì)狹縫噴嘴42的構(gòu)成進(jìn)行進(jìn)一步說明。圖2是狹縫噴嘴42的外觀立體圖。并且，圖3是用XZ平面切斷狹縫噴嘴42的長(zhǎng)邊方向中央部附近的剖面圖。
[0090]狹縫噴嘴42包括噴嘴本體部71、噴嘴蓋部73、側(cè)板72及墊片74。噴嘴本體部71是沿Y方向延伸的長(zhǎng)條狀的構(gòu)件，例如由不銹鋼所形成。在噴嘴本體部71上，形成有成為狹縫噴嘴42的內(nèi)部流路的送液路徑713及歧管(manifold) 712。送液路徑713借由噴嘴本體部71與噴嘴蓋部73貼合而作為流路發(fā)揮作用。歧管712形成為朝向(-X)方向切削而成的溝槽。
[0091]噴嘴蓋部73也是沿Y方向延伸的長(zhǎng)條狀的構(gòu)件，由與噴嘴本體部71相同的材質(zhì)所形成。墊片74是沿Y方向延伸的板狀的長(zhǎng)條狀構(gòu)件。墊片74也是由與噴嘴本體部71相同的材質(zhì)所形成，但也可以為與噴嘴本體部71及噴嘴蓋部73不同的鋼種。在較歧管712更上側(cè)夾入墊片74而使噴嘴蓋部73貼合于噴嘴本體部71，由此送液路徑713成為狹縫噴嘴42的流路。并且，送液路徑713的下端成為噴出處理液的噴出口 711。S卩，噴出口 711的沿長(zhǎng)邊方向(Y方向)的開口緣是借由噴嘴本體部71及噴嘴蓋部73來規(guī)定。
[0092]并且，一對(duì)側(cè)板72安裝于夾入墊片74而使噴嘴本體部71與噴嘴蓋部73貼合的構(gòu)造體的長(zhǎng)邊方向(Y方向)兩端。噴出口 711的沿寬度方向(X方向)的開口緣是借由一對(duì)側(cè)板72來規(guī)定。
[0093]在噴嘴蓋部73與噴嘴本體部71相接合的狀態(tài)下，送液路徑713與歧管712連通。歧管712與抗蝕液供給源60連接。自抗蝕液供給源60供給的抗蝕液在歧管712內(nèi)沿狹縫噴嘴42的長(zhǎng)邊方向(Y方向)擴(kuò)散之后，流經(jīng)送液路徑713而引導(dǎo)至噴出口 711為止，并自噴出口 711向基板2噴出。自抗蝕液供給源60供給的抗蝕液在歧管712內(nèi)暫時(shí)被擴(kuò)散，因此可使自噴出口 711噴出的抗蝕液的流量變?yōu)檠豗方向均勻的流量。
[0094]如圖3所示，夾于噴嘴本體部71與噴嘴蓋部73之間的墊片74對(duì)噴出口 711的寬度(X方向長(zhǎng)度)進(jìn)行規(guī)定。即，如果增加墊片74的厚度，則噴出口 711的寬度擴(kuò)大，如果減少墊片74的厚度，則噴出口 711的寬度變窄。如上所述，在噴嘴本體部71與噴嘴蓋部73之間夾入墊片74的構(gòu)造的狹縫噴嘴42中，借由使所夾入的墊片74的厚度不同，而可容易地對(duì)噴出口 711的寬度進(jìn)行調(diào)整。并且，在這種構(gòu)造的狹縫噴嘴42中，可容易地對(duì)噴嘴本體部71與噴嘴蓋部73進(jìn)行分解而進(jìn)行清掃等，因此可提高維護(hù)(maintenance)的操作性。
[0095]然而，在如上所述夾持著墊片74的側(cè)板式的狹縫噴嘴42中，處理液有可能自墊片74與側(cè)板72之間的間隙漏出。圖4是自上方觀察狹縫噴嘴42的端部的圖。噴嘴本體部71與側(cè)板72以及噴嘴蓋部73與側(cè)板72是以高精度相貼合，因此可視為在它們之間不存在處理液漏出的間隙。
[0096]但是，墊片74的Y方向長(zhǎng)度加工成稍短于噴嘴本體部71及噴嘴蓋部73的Y方向長(zhǎng)度。其原因在于，如果厚度薄的(圖4中將墊片74的厚度加以夸張而描繪得較厚)墊片74的Y方向端部與側(cè)板72接觸，則有可能對(duì)墊片74或側(cè)板72造成損傷。而且，對(duì)墊片74、噴嘴本體部71及噴嘴蓋部73的角部實(shí)施了倒角加工。所述加工的結(jié)果為，在墊片74與側(cè)板72之間會(huì)不可避免地產(chǎn)生間隙75。所述間隙75在墊片74與側(cè)板72之間沿Z方向延伸，并且與歧管712相連。因此，當(dāng)供給至歧管712的處理液的液壓上升時(shí)，處理液會(huì)順著間隙75而向上側(cè)((+Z)方向)漏出。然后，抵達(dá)至間隙75的上端為止的處理液沿噴嘴本體部71、噴嘴蓋部73與側(cè)板72的接合界面的上端，以及噴嘴本體部71、噴嘴蓋部73與墊片74的接合界面的上端流動(dòng)。即，形成于墊片74與側(cè)板72之間的間隙75成為處理液的漏出流路的基端。再者，這種間隙75形成于墊片74的兩側(cè)。
[0097]因此，在本發(fā)明的狹縫噴嘴42中，設(shè)法對(duì)處理液的漏出流路即間隙75進(jìn)行堵塞。以下，進(jìn)一步繼續(xù)說明間隙75的堵塞。
[0098]<3.狹縫噴嘴的制造〉
[0099]圖5是表示狹縫噴嘴42的組裝的一個(gè)步驟的圖。制造狹縫噴嘴42時(shí)，最重要的是噴出口 711的精加工精度。即，必須使噴出口 711的寬度在狹縫噴嘴42的整個(gè)長(zhǎng)邊方向上為高精度地均勻，并且寬度方向(X方向)的高度也相一致。如果噴出口 711的精加工精度低，則會(huì)妨礙自狹縫噴嘴42均勻地噴出處理液，使涂布處理產(chǎn)生故障。
[0100]因此，構(gòu)成狹縫噴嘴42的各零件(噴嘴本體部71、噴嘴蓋部73、側(cè)板72及墊片74)是以高精度進(jìn)行加工。并且，以具有極高的平面度(flatness)的石制平面板(stonesurface plate) 95為基準(zhǔn)對(duì)狹縫噴嘴42進(jìn)行組裝。具體而言，首先將噴嘴本體部71載置于石制平面板95的上表面。噴嘴本體部71是以上表面(與噴出口 711為相反側(cè)的面)抵接于石制平面板95的上表面的方式而載置。
[0101]其次，夾入規(guī)定厚度的墊片74而使噴嘴蓋部73與噴嘴本體部71貼合。這時(shí)，將墊片74及噴嘴蓋部73的上表面推抵至石制平面板95的上表面而對(duì)噴嘴本體部71與噴嘴蓋部73的相對(duì)位置關(guān)系嚴(yán)密地進(jìn)行調(diào)整之后，例如利用螺栓(bolt)對(duì)兩者進(jìn)行緊固。由此，噴嘴本體部71的下端與噴嘴蓋部73的下端(圖5中為上側(cè)端)在狹縫噴嘴42的整個(gè)長(zhǎng)邊方向上為完全相同的高度，從而可使噴出口 711的精加工精度為高精度。然后，在夾入墊片74而使噴嘴本體部71與噴嘴蓋部73貼合的構(gòu)造體的長(zhǎng)邊方向兩端安裝一對(duì)側(cè)板72，從而制作完成狹縫噴嘴42。但是，如上所述，為了便于墊片74的加工，在墊片74與側(cè)板72之間會(huì)不可避免地形成作為處理液的漏出流路的間隙75。
[0102]因此，在本實(shí)施方式中，在噴嘴蓋部73上形成缺口部，在所述缺口部?jī)?nèi)填裝橡膠，由此堵塞間隙75。圖6是狹縫噴嘴42的上側(cè)端部的分解立體圖。在圖6中，示出狹縫噴嘴42的(+Y)側(cè)的上側(cè)端部，關(guān)于狹縫噴嘴42的(-Y)側(cè)的上側(cè)端部，也是同樣。
[0103]在對(duì)狹縫噴嘴42進(jìn)行組裝之前，在噴嘴蓋部73的上側(cè)((+Z)側(cè))的兩端形成四棱柱形狀的缺口部79。缺口部79形成為自噴嘴蓋部73的與噴嘴本體部71相對(duì)向的面貫通至其相反側(cè)的面。這種缺口部79例如可借由切削加工來形成。
[0104]并且，在墊片74的上側(cè)((+Z)側(cè))的兩端也形成矩形的缺口 78。形成于墊片74上的缺口 78的面積小于噴嘴蓋部73的缺口部79的剖面(YZ剖面)。缺口部78也形成為自墊片74的與噴嘴本體部71相對(duì)向的面貫通至其相反側(cè)的面。
[0105]使用石制平面板95，對(duì)在上側(cè)兩端形成有四棱柱形狀的缺口部79的噴嘴蓋部73與噴嘴本體部71的相對(duì)位置關(guān)系進(jìn)行調(diào)整(圖5)，并夾入墊片74而使所述噴嘴蓋部73與噴嘴本體部71貼合。在墊片74上也形成有缺口 78。所述缺口 78小于噴嘴蓋部73的缺口部79的剖面。因此，如圖6所示，在對(duì)相互的位置關(guān)系進(jìn)行調(diào)整并夾入墊片74而使噴嘴蓋部73貼合于噴嘴本體部71的構(gòu)造體中，墊片74的上側(cè)兩端自噴嘴蓋部73的缺口部79露出。并且，在墊片74的缺口 78內(nèi)，噴嘴本體部71的接合面直接露出。將這種自墊片74的缺口 78露出的噴嘴本體部71的接合面設(shè)為露出面77。
[0106]將一對(duì)側(cè)板72安裝于構(gòu)造體的長(zhǎng)邊方向兩端，所述構(gòu)造體中，在形成有缺口部79的噴嘴蓋部73與噴嘴本體部71之間夾持著包含缺口 78的墊片74。借由安裝側(cè)板72，而使噴嘴蓋部73的缺口部79成為凹部。在所述缺口部79內(nèi)填裝橡膠81。作為橡膠81的原材料，要求是耐化學(xué)品性能優(yōu)異(難以被化學(xué)藥品腐蝕)且硬度低而具有高彈性變形能力的材質(zhì)，在本實(shí)施方式中，作為一例，是采用硅橡膠。硅橡膠在與橡膠的硬度試驗(yàn)方法相關(guān)的標(biāo)準(zhǔn)即日本工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)(Japanese Industrial Standards, JIS)的K6253標(biāo)準(zhǔn)中具有硬度20。并且，橡膠81的形狀與缺口部79的形狀相對(duì)應(yīng)，在本實(shí)施方式中，缺口部79為四棱柱形狀，因此橡膠81的形狀也為四棱柱形狀。橡膠81的大小優(yōu)選的是稍大于缺口部79。
[0107]在缺口部79內(nèi)填裝橡膠81之后，將按壓構(gòu)件緊固于噴嘴蓋部73，由此對(duì)橡膠81進(jìn)行按壓。圖7是表示填裝有橡膠81的狹縫噴嘴42的上側(cè)端部的俯視圖。將大于缺口部79的容積的橡膠81填裝于缺口部79，以塞住缺口部79的方式而利用螺栓86將按壓板85緊固于噴嘴蓋部73。由此，自(+X)側(cè)向(-X)側(cè)的力作用至橡膠81，借由按壓板85而將橡膠81向噴嘴本體部71按壓。
[0108]這時(shí)，如圖7所示，橡膠81的(-X)側(cè)端面的一部分直接按壓噴嘴本體部71的露出面77，并且所述端面的剩余部分將墊片74夾入而按壓噴嘴本體部71。S卩，如圖6所示，在墊片74上也形成有小于缺口部79的缺口 78。因此，在夾入墊片74而使噴嘴蓋部73貼合于噴嘴本體部71的構(gòu)造體中，墊片74的上側(cè)兩端自噴嘴蓋部73的缺口部79露出。而且，噴嘴本體部71的露出面77自墊片74的缺口 78露出。借由將硬度低而具有高彈性變形能力的橡膠81推抵至這種構(gòu)造，而如圖7所示，橡膠81的(-X)側(cè)端面發(fā)生變形而按壓露出面77及墊片74兩者。
[0109]并且，自狹縫噴嘴42的上側(cè)也將與按壓板85同樣的按壓板(省略圖示)緊固于噴嘴蓋部73。由此，自(+Z)側(cè)向(-Z)側(cè)的力作用至橡膠81，從而將橡膠81向噴嘴蓋部73按壓。
[0110]在缺口部79內(nèi)填裝橡膠81，自上側(cè)((+Z)偵彳)及橫向側(cè)((+X)偵彳)這兩個(gè)方向按壓所述橡膠81，由此將橡膠81向噴嘴蓋部73及噴嘴本體部71按壓。由此，橡膠81發(fā)生變形而填充于缺口部79內(nèi)，從而如圖7所示，形成于墊片74與側(cè)板72之間的間隙75借由橡膠81而堵塞。
[0111]〈4.本發(fā)明的技術(shù)效果〉
[0112]以如上所述的方式，借由填裝于缺口部79內(nèi)的橡膠81來堵塞處理液的漏出流路即間隙75，由此可防止處理液自歧管712順著間隙75漏出。處理液未抵達(dá)至狹縫噴嘴42的上端，因此也可以防止處理液沿噴嘴本體部71、噴嘴蓋部73、側(cè)板72及墊片74的接合界面的上端流出。
[0113]特別是在本實(shí)施方式中，橡膠81的端面的一部分直接按壓噴嘴本體部71的露出面77，并且所述端面的剩余部分將墊片74夾入而按壓噴嘴本體部71 (圖7)。借由橡膠81按壓噴嘴本體部71的露出面77，可直接堵塞間隙75。并且，借由橡膠81將墊片74夾入而按壓噴嘴本體部71，可將墊片74的端部按壓至噴嘴本體部71，從而可消除墊片74與噴嘴本體部71之間的間隙而更確實(shí)地防止處理液的漏出。
[0114]在搭載有本發(fā)明的狹縫噴嘴42的基板處理裝置I中，不會(huì)產(chǎn)生處理液的漏出，因此處理液會(huì)自狹縫噴嘴42穩(wěn)定地噴出，從而可將處理液均勻地涂布于基板2上的需要區(qū)域。
[0115]并且，如本實(shí)施方式所述，在噴嘴本體部71與噴嘴蓋部73之間夾入墊片74的構(gòu)造的狹縫噴嘴42中，可借由對(duì)各構(gòu)成零件進(jìn)行分解來容易地進(jìn)行清掃等維護(hù)，這時(shí)對(duì)于橡膠81也可以容易地進(jìn)行清掃。再者，關(guān)于清掃后的橡膠81，可進(jìn)行重復(fù)再利用。
[0116]但是，如果目的只在于堵塞處理液的漏出流路即間隙75，則也可以考慮例如在狹縫噴嘴42的上表面裝上塞住間隙75的填料(packing)，而不用在噴嘴蓋部73上形成缺口部79。這樣一來，便可與形成缺口部79的本實(shí)施方式相比以更低的價(jià)格來防止處理液的漏出。但是，如果設(shè)為這種構(gòu)造，則使用石制平面板95經(jīng)嚴(yán)密地調(diào)整的噴嘴本體部71與噴嘴蓋部73的相對(duì)位置關(guān)系有可能在利用填料進(jìn)行按壓時(shí)受到破壞。這樣一來，噴出口 711的精加工精度會(huì)顯著變差，均勻地噴出處理液這一作為狹縫噴嘴42的本質(zhì)性能會(huì)受損。只要如本實(shí)施方式所述，在噴嘴蓋部73設(shè)置缺口部79，并且只在所述缺口部79填裝橡膠81，便不會(huì)對(duì)噴出口 711的精加工精度造成影響，因此可一面維持作為狹縫噴嘴42的本質(zhì)性能，一面防止處理液的漏出，在該方面上存在本發(fā)明的技術(shù)意義。
[0117]〈5.變形例〉
[0118]以上，已對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說明，但是關(guān)于本發(fā)明，只要不脫離其主旨，則除了上述實(shí)施方式以外還可以進(jìn)行各種變更。例如，在所述實(shí)施方式中，是使用硅橡膠作為橡膠81，但橡膠81的材質(zhì)并不限定于此，還可以采用其它種類的橡膠?；蛘撸部梢栽O(shè)為使用其它的彈性構(gòu)件來代替橡膠81。但是，如上所述，作為有可能直接與處理液接觸的橡膠81的材質(zhì)，必須耐化學(xué)品性能優(yōu)異，并且硬度低而具有高彈性變形能力。當(dāng)使用硅橡膠以外的橡膠作為橡膠81的材質(zhì)時(shí)，優(yōu)選的是在JIs的K6253標(biāo)準(zhǔn)中為硬度10以上且硬度40以下的材質(zhì)。如果橡膠的硬度大于40，則難以進(jìn)行彈性變形，因此難以確實(shí)地防止間隙75產(chǎn)生，從而無法完全防止處理液的漏出。此外，如果橡膠的硬度小于10，則成本顯著增加。
[0119]并且，在所述實(shí)施方式中，設(shè)為將大于缺口部79的容積的橡膠81填裝于缺口部79并借由按壓板來按壓橡膠81，但是也可以取而代之，設(shè)為將小于缺口部79的容積的橡膠81填裝于缺口部79，并借由凸?fàn)畹陌磯簶?gòu)件來按壓橡膠81。
[0120]并且，在所述實(shí)施方式中，是設(shè)為在噴嘴蓋部73上形成缺口部79，但是也可以取而代之，設(shè)為在噴嘴本體部71上形成同樣的缺口部。即，也可以設(shè)為在噴嘴本體部71上，形成自與噴嘴蓋部73相對(duì)向的面貫通至其相反側(cè)的面的缺口部，并且在所述缺口部?jī)?nèi)填裝橡膠81并加以按壓。
[0121]而且，所述實(shí)施方式的基板處理裝置I是自狹縫噴嘴42將處理液噴出至借由平臺(tái)30而真空吸附著的基板2上的構(gòu)成，但也可以為如下構(gòu)成，S卩，自平臺(tái)30噴出空氣而使基板2懸浮，自狹縫噴嘴42將處理液噴出至所述懸浮著的基板2。
[0122]并且，所述實(shí)施方式的基板處理裝置I是使狹縫噴嘴42相對(duì)于基板2進(jìn)行掃描的構(gòu)成，所述基板2是以靜止?fàn)顟B(tài)保持于平臺(tái)30上，但也可以為使基板2相對(duì)于經(jīng)固定的狹縫噴嘴42進(jìn)行移動(dòng)的構(gòu)成?；蛘?，還可以為使狹縫噴嘴42及基板2兩者移動(dòng)的構(gòu)成。SP，只要為使狹縫噴嘴42相對(duì)于基板2相對(duì)地移動(dòng)的構(gòu)成即可。
[0123]并且，借由基板處理裝置I而成為處理對(duì)象的基板并不限定于液晶顯示裝置用的玻璃基板，也可以為半導(dǎo)體基板或光罩用基板。
[0124]并且，自狹縫噴嘴42噴出的處理液并不限定于抗蝕液，也可以為顯影液等其它種類的處理液。
【權(quán)利要求】
1.一種狹縫噴嘴，在所述狹縫噴嘴的下部包含狹縫狀的噴出口，自所述噴出口噴出處理液，所述狹縫噴嘴的特征在于，包括: 噴嘴本體部，包括將處理液引導(dǎo)至所述噴出口的送液路徑； 噴嘴蓋部，與所述噴嘴本體部貼合，且所述噴嘴蓋部與所述噴嘴本體部一并對(duì)所述噴出口的沿長(zhǎng)邊方向的開口緣進(jìn)行規(guī)定； 墊片，夾于所述噴嘴本體部與所述噴嘴蓋部之間，對(duì)所述噴出口的寬度進(jìn)行規(guī)定； 一對(duì)側(cè)板，安裝于所述噴嘴本體部及所述噴嘴蓋部的兩端，對(duì)所述噴出口的沿寬度方向的開口緣進(jìn)行規(guī)定；以及 堵塞部，對(duì)漏出流路進(jìn)行堵塞，所述漏出流路是產(chǎn)生于所述墊片與所述側(cè)板之間的處理液的漏出流路。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的狹縫噴嘴，其特征在于:在所述噴嘴蓋部的上側(cè)兩端形成有缺口部，所述缺口部自與所述噴嘴本體部相對(duì)向的面貫通至所述面的相反側(cè)的面，所述堵塞部包括: 彈性構(gòu)件，填裝于所述缺口部?jī)?nèi)；以及按壓機(jī)構(gòu)，將所述彈性構(gòu)件向所述噴嘴蓋部及所述噴嘴本體部按壓。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的狹縫噴嘴，其特征在于:在所述墊片的上側(cè)兩端，形成面積小于所述缺口部的剖面的 缺口，所述彈性構(gòu)件的端面的一部分直接按壓所述噴嘴本體部，并且所述端面的剩余部分將所述墊片夾入而按壓所述噴嘴本體部。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的狹縫噴嘴，其特征在于:所述彈性構(gòu)件由硅橡膠所形成。
5.一種狹縫噴嘴，在所述狹縫噴嘴的下部包含狹縫狀的噴出口，自所述噴出口噴出處理液，所述狹縫噴嘴的特征在于，包括: 噴嘴本體部，包括將處理液引導(dǎo)至所述噴出口的送液路徑； 噴嘴蓋部，與所述噴嘴本體部貼合，且所述噴嘴蓋部與所述噴嘴本體部一并對(duì)所述噴出口的沿長(zhǎng)邊方向的開口緣進(jìn)行規(guī)定； 墊片，夾于所述噴嘴本體部與所述噴嘴蓋部之間，對(duì)所述噴出口的寬度進(jìn)行規(guī)定； 一對(duì)側(cè)板，安裝于所述噴嘴本體部及所述噴嘴蓋部的兩端，對(duì)所述噴出口的沿寬度方向的開口緣進(jìn)行規(guī)定； 彈性構(gòu)件，填裝于缺口部?jī)?nèi)，所述缺口部以自所述噴嘴蓋部的與所述噴嘴本體部相對(duì)向的面貫通至所述面的相反側(cè)的面的方式，而形成于所述噴嘴蓋部的上側(cè)兩端；以及 按壓機(jī)構(gòu)，將所述彈性構(gòu)件向所述噴嘴蓋部及所述噴嘴本體部按壓而填充于所述缺口部?jī)?nèi)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的狹縫噴嘴，其特征在于:在所述墊片的上側(cè)兩端，形成面積小于所述缺口部的剖面的缺口，所述彈性構(gòu)件的端面的一部分直接按壓所述噴嘴本體部，并且所述端面的剩余部分將所述墊片夾入而按壓所述噴嘴本體部。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的狹縫噴嘴，其特征在于:所述彈性構(gòu)件由硅橡膠所形成。
8.一種基板處理裝置，其特征在于，包括:如權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)所述的狹縫噴嘴； 保持部，在所述狹縫噴嘴的下方水平地保持基板； 驅(qū)動(dòng)部，使所述狹縫噴嘴相對(duì)于保持于所述保持部的基板，在與所述噴出口的長(zhǎng)邊方向正交的方向上相對(duì)地移動(dòng)；以及供給部，將處理液供給至所述狹縫噴嘴。
9.一種狹縫噴嘴的制造方法，在所述狹縫噴嘴的下部包含狹縫狀的噴出口，自所述噴出口噴出處理液，所述狹縫噴嘴的制造方法的特征在于，包括: 貼設(shè)步驟，夾入對(duì)所述噴出口的寬度進(jìn)行規(guī)定的墊片而使噴嘴蓋部貼合于噴嘴本體部，所述噴嘴本體部包括將處理液引導(dǎo)至所述噴出口的送液路徑； 安裝步驟，在所述噴嘴本體部及所述噴嘴蓋部的兩端安裝一對(duì)側(cè)板； 加工步驟，在所述噴嘴蓋部的上側(cè)兩端，形成白與所述噴嘴本體部相對(duì)向的面貫通至所述面的相反側(cè)的面的缺口部；以及 堵塞步驟，在所述缺口部?jī)?nèi)填裝彈性構(gòu)件，將所述彈性構(gòu)件向所述噴嘴蓋部及所述噴嘴本體部按壓，由此堵塞產(chǎn)生于所述墊片與所述側(cè)板之間的處理液的漏出流路。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的狹縫噴嘴的制造方法，其特征在于:還包括在所述墊片的上側(cè)兩端形成面積小于所述缺口部的剖面的缺口的步驟，在所述堵塞步驟中，所述彈性構(gòu)件的端面的一部分直接按壓所述噴嘴本體部，并且所述端面的剩余部分將所述墊片夾入而按壓所述噴嘴本體部。
11.根據(jù)權(quán)利要求9或10所述的狹縫噴嘴的制造方法，其特征在于:所述彈性構(gòu)件由硅橡膠所形成。
【文檔編號(hào)】B05C5/00GK104069981SQ201410053481
【公開日】2014年10月1日 申請(qǐng)日期:2014年2月17日 優(yōu)先權(quán)日:2013年3月27日
【發(fā)明者】平井孝典, 高木善則 申請(qǐng)人:大日本網(wǎng)屏制造株式會(huì)社