一種半導(dǎo)體拋光劑的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體拋光劑，其特征在于，包括下列重量份數(shù)的物質(zhì)：醚硫酸鈉11-16份，乙醇15-20份，烷基醇聚氧乙烯5-9份，醚乙酸鈉7-14份，甘氨酸5-8份，納米碳酸鈉15-20份，二氯甲烷1-3份，三氯甲烷1-3份，多聚甲醛8-10份，乙二醛3-9份，乙酸乙酯7-13份，助溶劑3-6份，硬脂酸4-13份，云母粉6-10份，空心玻璃微珠2-8份，PH調(diào)節(jié)劑9-14份。本發(fā)明的有益效果是：配方簡單、制作容易，其可在半導(dǎo)體加工的化學(xué)成膜和機(jī)械去膜的交替過程中實現(xiàn)超精密表面加工，從而達(dá)到平坦化的目的。
【專利說明】一種半導(dǎo)體拋光劑

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體拋光劑。

【背景技術(shù)】
[0002]化學(xué)機(jī)械拋光是隨著集成電路的工業(yè)發(fā)展成長起來的，其基本目的就是通過拋光過程獲得近乎完美的晶體表面結(jié)構(gòu)，用于集成電路的制造，隨著集成電路工業(yè)技術(shù)指標(biāo)的提高，線寬的不斷縮小，可靠程度的要求越來越高，對拋光晶片的表面缺陷也要求越來越少，而且對表面的平整度，粗糙度，氧化層厚度及均勻性等等方面提出了非常嚴(yán)格的要求，這就促進(jìn)了廣泛應(yīng)用于各種半導(dǎo)體晶片拋光過程中的化學(xué)機(jī)械拋光工藝及相關(guān)設(shè)備的不斷發(fā)展和進(jìn)步。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種半導(dǎo)體拋光劑。
[0004]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是:
一種半導(dǎo)體拋光劑，其特征在于，包括下列重量份數(shù)的物質(zhì):醚硫酸鈉11-16份，乙醇15-20份，烷基醇聚氧乙烯5-9份，醚乙酸鈉7-14份，甘氨酸5-8份，納米碳酸鈉15-20份，二氯甲烷1-3份，三氯甲烷1-3份，多聚甲醛8-10份，乙二醛3-9份，乙酸乙酯7-13份，助溶劑3-6份，硬脂酸 4-13份，云母粉6-10份，空心玻璃微珠2-8份，PH調(diào)節(jié)劑9-14份。
[0005]本發(fā)明的有益效果是:配方簡單、制作容易，其可在半導(dǎo)體加工的化學(xué)成膜和機(jī)械去膜的交替過程中實現(xiàn)超精密表面加工，從而達(dá)到平坦化的目的。

【具體實施方式】
[0006]實施例1
一種半導(dǎo)體拋光劑，其特征在于，包括下列重量份數(shù)的物質(zhì):醚硫酸鈉11-16份，乙醇15-20份，烷基醇聚氧乙烯5-9份，醚乙酸鈉7-14份，甘氨酸5-8份，納米碳酸鈉15-20份，二氯甲烷1-3份，三氯甲烷1-3份，多聚甲醛8-10份，乙二醛3-9份，乙酸乙酯7-13份，助溶劑3-6份，硬脂酸4-13份，云母粉6-10份，空心玻璃微珠2-8份，PH調(diào)節(jié)劑9-14份。
【權(quán)利要求】
1.一種半導(dǎo)體拋光劑，其特征在于，包括下列重量份數(shù)的物質(zhì):醚硫酸鈉11-16份，乙醇15-20份，烷基醇聚氧乙烯5-9份，醚乙酸鈉7-14份，甘氨酸5-8份，納米碳酸鈉15-20份，二氯甲烷1-3份，三氯甲烷1-3份，多聚甲醛8-10份，乙二醛3-9份，乙酸乙酯7-13份，助溶劑3-6份，硬脂酸 4-13份，云母粉6-10份，空心玻璃微珠2-8份，PH調(diào)節(jié)劑9-14份。
【文檔編號】C09G1/02GK104046259SQ201410291816
【公開日】2014年9月17日 申請日期:2014年6月26日 優(yōu)先權(quán)日:2014年6月26日
【發(fā)明者】范向奎 申請人:青島寶泰新能源科技有限公司