涂布裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供能抑制涂布品質(zhì)的下降的涂布裝置。本發(fā)明的涂布裝置(10)包括：將貯存涂布液的箱體(11)與向?qū)ο笪?19)涂布涂布液以形成涂膜的頭部(12)之間連接的第1流路(13)；設(shè)置于第1流路(13)，在涂布執(zhí)行期間將涂布液從箱體(11)提供給頭部(12)的第1泵(14)；設(shè)置在位于第1流路(13)上且位于第1泵(14)的上游側(cè)的位置，對(duì)涂布液進(jìn)行過濾的過濾器(15)；在過濾器(15)與第1泵(14)之間從第1流路(13)分岔，在過濾器(15)的上游側(cè)與第1流路(13)連接的第2流路(16)；以及設(shè)置于第2流路(16)，在涂布停止期間使涂布液至少經(jīng)由過濾器(15)和第2流路(16)進(jìn)行循環(huán)的第2泵(17)。
【專利說明】涂布裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及涂布裝置，特別涉及利用泵將貯存于箱體的漿料提供給涂布頭部的涂布裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]專利文獻(xiàn)I中揭示了這種涂布裝置的一個(gè)示例。根據(jù)專利文獻(xiàn)1，涂布液箱體及噴嘴(涂布頭部)通過傳送管線進(jìn)行連接。在傳送管線上安裝有泵及三方切換閥，三方切換閥通過返回管線與涂布液箱體連接。噴嘴與排放管線連接，在排放管線上安裝有自動(dòng)閥及排放閥。三方切換閥及排放閥由控制部同步地進(jìn)行控制。
[0003]在基材上涂布涂布液的情況下，自動(dòng)閥關(guān)閉。由泵加壓后的涂布液通過三方切換閥，經(jīng)由傳送管線傳送到噴嘴，從噴嘴的噴射口涂布于基材(支承體)的表面。
[0004]在停止涂布涂布液的情況下，利用控制部來切換三方切換閥。由泵加壓后的涂布液經(jīng)由返回管線返回到涂布液箱體。同時(shí)，利用控制部來打開自動(dòng)閥，殘留于噴嘴內(nèi)部空間的涂布液經(jīng)由排放管線從排放閥排出到外部。因此，涂布液不會(huì)從噴嘴的噴射口泄漏到基材側(cè)，能防止涂膜的拖拽。
現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)1:日本專利特開2001-293418號(hào)公報(bào)


【發(fā)明內(nèi)容】

發(fā)明所要解決的技術(shù)問題
[0006]考慮到異物混入到貯存于涂布液箱體的涂布液的情況，需要在傳送管線上安裝過濾器。然而，若在涂布停止期間內(nèi)使涂布液滯留于過濾器的上游，則至少在涂布重新開始后的暫時(shí)期間內(nèi)，過濾器的過濾特性、進(jìn)而提供給涂布頭部的涂布液的比重變得不穩(wěn)定，涂布品質(zhì)有可能下降。涂布停止期間是作為涂布對(duì)象的支承體或箱體內(nèi)的涂布液用完時(shí)、或者涂布發(fā)生異常時(shí)設(shè)置的期間，在量產(chǎn)時(shí)每天會(huì)產(chǎn)生。
[0007]因此，本發(fā)明的主要目的在于，提供一種能抑制涂布品質(zhì)的下降的涂布裝置。
解決技術(shù)問題的技術(shù)方案
[0008]根據(jù)本發(fā)明的涂布裝置(10:實(shí)施例中對(duì)應(yīng)的參照標(biāo)號(hào)。以下相同)包括:第I流路(13)，該第I流路(13)將貯存涂布液的箱體(11)與向?qū)ο笪?19)涂布所述涂布液以形成涂膜的頭部(12)之間連接；第I泵(14)，該第I泵(14)設(shè)置于第I流路(13)，在涂布執(zhí)行期間將涂布液從箱體(11)提供給頭部(12);過濾器(15)，該過濾器(15)設(shè)置在位于第I流路(13)上且位于第I泵(14)的上游側(cè)的位置，對(duì)涂布液進(jìn)行過濾；第2流路(16)，該第2流路(16)在過濾器(15)與第I泵(14)之間從第I流路(13)分岔，在過濾器(15)的上游側(cè)與第I流路(13)連接；以及第2泵(17)，該第2泵(17)設(shè)置于第2流路(16)，在涂布停止期間使涂布液至少經(jīng)由過濾器(15)和第2流路(16)進(jìn)行循環(huán)。
[0009]優(yōu)選為，將第I泵(14)及第2泵(17)擇一地進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。
[0010]或者，優(yōu)選為，使第2泵(17)至少在從涂布停止期間的末期之前的時(shí)期開始、到涂布停止期間的末期為止的連續(xù)期間內(nèi)驅(qū)動(dòng)。
[0011]優(yōu)選為，還包括:膜厚測(cè)定裝置(21)，該膜厚測(cè)定裝置(21)對(duì)涂布于對(duì)象物(19)的涂膜的膜厚進(jìn)行測(cè)定；以及驅(qū)動(dòng)時(shí)間調(diào)整裝置(22)，該驅(qū)動(dòng)時(shí)間調(diào)整裝置(22)基于測(cè)定裝置(21)的測(cè)定結(jié)果，對(duì)第2泵(17)的驅(qū)動(dòng)時(shí)間進(jìn)行調(diào)整。
[0012]優(yōu)選為，第2流路(16)經(jīng)由箱體(11)與第I流路(13)連接。
發(fā)明效果
[0013]若在涂布停止期間內(nèi)使涂布液滯留于過濾器的上游，則至少在涂布重新開始后的暫時(shí)期間內(nèi)，過濾器的過濾特性、進(jìn)而提供給頭部的涂布液的比重變得不穩(wěn)定。據(jù)此，設(shè)置第2流路及第2泵。涂布液在涂布停止期間內(nèi)沿第I流路的一部分和第2流路循環(huán)。由此，剛重新開始涂布后，過濾器的過濾特性、進(jìn)而提供給頭部的涂布液的比重變穩(wěn)定，能抑制涂布品質(zhì)的下降。
[0014]本發(fā)明的上述目的、其它的目的、特征及優(yōu)點(diǎn)通過參照附圖進(jìn)行的以下的實(shí)施例的詳細(xì)的說明能更加清楚。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0015]圖1是表示本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的涂布裝置的一個(gè)示例的示意圖。
圖2是表示本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的涂布裝置的其他示例的示意圖。
圖3是表示對(duì)從涂布停止期間后重新開始涂布的時(shí)刻起的涂布距離與涂布膜厚之間的關(guān)系進(jìn)行測(cè)定得到的結(jié)果的曲線圖。圖3(a)是實(shí)施例的曲線圖，圖3(b)是比較例的曲線圖。

【具體實(shí)施方式】
[0016]以下，參照【專利附圖】

【附圖說明】本發(fā)明的實(shí)施方式。但是，本發(fā)明并不受到下述示例的限定及限制。
[0017]參照?qǐng)D1，該實(shí)施方式的涂布裝置10包括:第I流路13，該第I流路13將貯存涂布液的箱體11與向?qū)ο笪?9涂布涂布液以形成涂膜的頭部12之間連接；第I泵14，該第
I泵14設(shè)置于第I流路13，在涂布執(zhí)行期間將涂布液從箱體11提供給頭部12 ;過濾器15，該過濾器15設(shè)置在位于第I流路13上且位于第I泵14的上游側(cè)的位置，對(duì)涂布液進(jìn)行過濾；第2流路16，該第2流路16在過濾器15與第I泵14之間從第I流路13分岔，在過濾器15的上游側(cè)與第I流路13連接；以及第2泵17，該第2泵17設(shè)置于第2流路16，在涂布停止期間使涂布液至少經(jīng)由過濾器15和第2流路16進(jìn)行循環(huán)。涂布執(zhí)行期間內(nèi)的涂布液通過實(shí)線箭頭的路徑涂布于對(duì)象物19上。涂布停止期間內(nèi)的涂布液沿虛線箭頭的路徑循環(huán)，具體而言，沿由包含過濾器15的第I流路13、包含第2泵17的第2流路16、及箱體11連接的路徑循環(huán)。
[0018]涂布于對(duì)象物19的浸潤涂膜20a由干燥裝置18進(jìn)行干燥。干燥后的干燥涂膜20b由膜厚測(cè)定裝置21連續(xù)測(cè)定厚度。然后，驅(qū)動(dòng)時(shí)間調(diào)整裝置22基于由膜厚測(cè)定裝置21測(cè)定的干燥涂膜20b的厚度測(cè)定結(jié)果，調(diào)整第2泵17的驅(qū)動(dòng)時(shí)間。
[0019]在箱體11中C:存有涂布液。作為上述涂布液，有陶瓷衆(zhòng)料、樹脂等，種類或形狀都無關(guān)緊要。
[0020]上述陶瓷漿料是包含陶瓷粒子、樹脂成分、溶劑的混合液。陶瓷漿料用于制造陶瓷生片。
[0021]作為上述陶瓷粒子，沒有特別限定，可使用各種電介質(zhì)材料。例如，可使用由鈦、招、鋇、鉛、錯(cuò)、娃、乾等金屬形成的氧化物、碳酸鋇、鈦酸鋇、Pb (Mg1/3, Nb273) O3> Pb (Sm1/2,Nbl72) 03、Pb (Zn1/3, Nb273) O3> PbTh03、PbZrO3等。對(duì)于上述材料，既可以單個(gè)使用，也可以將兩種以上混合起來進(jìn)行使用。
[0022]作為上述樹脂成分，包含粘合樹脂、可塑劑等。作為粘合樹脂，可使用聚氨酯樹脂、脲醛樹脂、三聚氰胺樹脂、環(huán)氧樹脂、乙酸乙烯酯樹脂、丙烯酸樹脂類、聚乙烯醇、聚乙烯醇縮丁醛等水性高分子等。對(duì)于上述材料，既可以單個(gè)使用，也可以將兩種以上混合起來進(jìn)行使用。作為可塑劑，可使用例如鄰苯二甲酸二辛酯等鄰苯二甲酸酯。
[0023]作為上述漿料所使用的溶劑，可使用甲苯、乙醇、甲基乙基酮、異丙醇、Y-丁內(nèi)酯等。對(duì)于上述材料，既可以單個(gè)使用，也可以將兩種以上混合起來進(jìn)行使用。此外，漿料中，根據(jù)需要，也可以添加分散劑、防靜電劑、表面活性劑等。
[0024]上述漿料的粘度優(yōu)選為10?200mPa *s。上述漿料可通過利用球型粉碎機(jī)的濕法混合等方法來制作。
利用設(shè)置于第I流路13的第I泵14，將貯存于箱體11內(nèi)的涂布液從箱體11經(jīng)由第I流路13提供給頭部12。在第I流路13的泵14的上游側(cè)設(shè)置有過濾器15，涂布液由過濾器15過濾后傳送到頭部。
[0025]過濾器15捕獲涂布液內(nèi)的異物。若利用過濾器15對(duì)涂布液進(jìn)行過濾，則作為涂布液的漿料中包含的陶瓷粒子、粘合樹脂等凝固物會(huì)滯留在過濾器15內(nèi)。
[0026]第I泵14設(shè)置于第I流路13的過濾器15的下游側(cè)，將涂布液提供給頭部12。作為第I泵14，例如可使用齒輪泵那樣的容積式泵，但本發(fā)明并不限于此，可不管泵的種類而加以使用。
[0027]將上述涂布液從頭部12壓出而涂布于支承體(對(duì)象物)19。圖1中，頭部12示出鑄模涂布方式，但本發(fā)明并不限于此。根據(jù)涂布液的粘度、比重、所形成的涂膜的厚度等，例如可采用利用葉片、空氣、刀、凹版印刷、噴墨等的涂布方式。
[0028]支承體(對(duì)象物)19作為涂布涂布液的基底，可使用紙、塑料薄膜、金屬等，其形狀可以是平板狀(板狀)，也可以卷繞于軋輥。作為上述塑料薄膜，可使用聚酯薄膜、事先涂布有離型層的聚酯薄膜等，可優(yōu)選使用PET薄膜、PEN薄膜、PP薄膜等。
[0029]若支承體卷繞于軋輥，則可將涂布液連續(xù)涂布于支承體，但不管支承體是單片狀還是軋輥狀，在更換軋輥時(shí)，有時(shí)會(huì)設(shè)置使得停止從頭部噴射涂布液的涂布停止期間。此夕卜，在更換箱體時(shí)，也設(shè)置涂布停止期間。
[0030]若在涂布停止期間停止提供涂布液，則涂布液滯留在過濾器15內(nèi)，在已經(jīng)滯留于過濾器15的凝固物上附著相同成分的材料，從而凝固物變大。因此，滯留于過濾器15內(nèi)的涂布液的溶劑比率變大，剛重新開始涂布后，涂布液的比重暫時(shí)變小。然而，之后，附著于凝固物的材料的一部分馬上向過濾器15下游流出，涂布液的比重暫時(shí)變大。這樣，剛重新開始涂布后，涂布液的比重上下浮動(dòng)而不穩(wěn)定，涂膜的厚度出現(xiàn)不均勻等，涂布品質(zhì)可能下降。為了防止這種品質(zhì)下降，設(shè)置第2流路16，該第2流路在過濾器15和第I泵14之間從第I流路13分岔，在過濾器15的上游側(cè)與第I流路13相連接，在第2流路16上配置第2泵17。第2泵17在涂布停止期間，使涂布液經(jīng)由過濾器15和第2流路16進(jìn)行循環(huán)。本實(shí)施方式中，第2流路16經(jīng)由箱體11與第I流路13連接。
[0031]這樣，在涂布停止期間利用第2泵17，使涂布液沿通過過濾器15的路徑循環(huán)，從而能使過濾器15下游的涂布液的比重變穩(wěn)定。因而，即使在重新開始涂布時(shí)，也能將比重與連續(xù)涂布時(shí)相同的涂布液提供給頭部12，因此，能抑制因涂布液的比重偏差而導(dǎo)致的涂布膜厚不良。
[0032]作為第2泵17，可使用例如齒輪泵那樣的容積式泵。此外，第2泵17的使用目的為使涂布液在涂布停止期間循環(huán)，因此，與第I泵14相比，噴射精度可以較低。作為廉價(jià)且無需噴射精度的泵，也可使用管泵或滾壓泵。特別是，若使用使金屬部件不與涂布液直接接觸而進(jìn)行供給的類型的泵，金屬的磨損片成為異物的可能性也較低，能延長(zhǎng)泵本身的壽命。
[0033]既可以將第I泵14及第2泵17對(duì)應(yīng)于涂布執(zhí)行期間及涂布停止期間并擇一地進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，也可以將第2泵17至少在從涂布停止期間的末期之前的時(shí)期開始、到涂布停止期間的末期為止的連續(xù)期間內(nèi)驅(qū)動(dòng)。在涂布停止期間為短時(shí)間的情況下，在涂布停止后(第I泵14停止后)迅速地利用第2泵17開始循環(huán)，在涂布重新開始(第I泵14的驅(qū)動(dòng))的同時(shí)停止循環(huán)。在涂布停止期間持續(xù)長(zhǎng)時(shí)間的情況下，不一定需要繼續(xù)進(jìn)行循環(huán)。例如，也可以在重新開始涂布前的規(guī)定時(shí)間(從涂布停止期間的末期之前的時(shí)期開始、到涂布停止期間的末期為止)，連續(xù)驅(qū)動(dòng)第2泵17以開始循環(huán)，在重新開始涂布的同時(shí)使循環(huán)停止。
[0034]在使涂布液貯存于過濾器15內(nèi)的情況下，剛重新開始涂布后的涂布品質(zhì)變穩(wěn)定為止所需的時(shí)間可根據(jù)涂布液的特性、涂布條件而變化。在涂布停止期間內(nèi)不繼續(xù)利用第2泵17進(jìn)行涂布液的循環(huán)的情況下，預(yù)先觀察重新開始涂布時(shí)的涂布膜厚的穩(wěn)定狀態(tài)，將其數(shù)據(jù)反饋到涂布停止期間的第2泵17的驅(qū)動(dòng)時(shí)間的調(diào)整即可。
[0035]在涂布涂布液后，利用干燥裝置18將浸潤涂膜20a進(jìn)行干燥。作為干燥裝置18的熱源，可單獨(dú)使用或一并使用熱風(fēng)、電熱、微波、紅外線、遠(yuǎn)紅外線等，優(yōu)選單獨(dú)使用或一并使用熱風(fēng)干燥及遠(yuǎn)紅外線的干燥。
[0036]干燥工序中的干燥溫度、干燥風(fēng)量根據(jù)生產(chǎn)線速度(涂布速度)、涂布液的種類等來適當(dāng)選擇即可。在涂布液是陶瓷漿料的情況下，根據(jù)漿料所使用的溶劑的種類、漿料濃度、漿料的涂布厚度等來適當(dāng)選擇即可。優(yōu)選將干燥溫度設(shè)為常溫?150°C，更進(jìn)一步優(yōu)選設(shè)為50°C?150°C。通過將干燥溫度設(shè)為50°C以上，使得漿料中沒有溶劑殘留，能防止在之后進(jìn)行的燒成工序中在陶瓷內(nèi)產(chǎn)生氣孔。此外，通過將干燥溫度設(shè)為150°C以下，能防止因溶劑的急劇揮發(fā)而導(dǎo)致生片的表面產(chǎn)生起泡、凹陷。此外，將干燥區(qū)分為多個(gè)，對(duì)每個(gè)干燥區(qū)分別改變溫度即可。
[0037]干燥后的干燥涂膜20b由膜厚測(cè)定裝置21連續(xù)測(cè)定厚度。厚度的測(cè)定可通過熒光X射線分析、X射線反射率測(cè)定、橢圓偏振法等方法來進(jìn)行。本實(shí)施方式中，對(duì)干燥后的干燥涂膜20b測(cè)定膜厚，但也可將膜厚測(cè)定裝置21配置在干燥裝置18的上游，對(duì)干燥前的浸潤涂膜20a測(cè)定膜厚。
[0038]由膜厚測(cè)定裝置21測(cè)定的結(jié)果可用于調(diào)整上述第2泵17的驅(qū)動(dòng)時(shí)間。本實(shí)施方式的涂布裝置10中，還包括基于膜厚測(cè)定裝置21的測(cè)定結(jié)果來調(diào)整第2泵17的驅(qū)動(dòng)時(shí)間的驅(qū)動(dòng)時(shí)間調(diào)整裝置22。。驅(qū)動(dòng)時(shí)間調(diào)整裝置22根據(jù)來自膜厚測(cè)定裝置21的厚度變動(dòng)信息，調(diào)整涂布停止期間內(nèi)的第2泵17的驅(qū)動(dòng)時(shí)間、流量等的驅(qū)動(dòng)條件，從而能力圖進(jìn)一步提高涂布品質(zhì)，延長(zhǎng)泵、過濾器的壽命。例如，在到膜厚穩(wěn)定為止的時(shí)間比預(yù)測(cè)要長(zhǎng)的情況下，以延長(zhǎng)驅(qū)動(dòng)時(shí)間、或者增大循環(huán)流量的方式進(jìn)行調(diào)整。另一方面，在到膜厚穩(wěn)定為止的時(shí)間比預(yù)測(cè)要短的情況下，以縮短驅(qū)動(dòng)時(shí)間、或者減少循環(huán)流量的方式進(jìn)行調(diào)整。通過以縮短驅(qū)動(dòng)時(shí)間、或者減少循環(huán)流量的方式進(jìn)行調(diào)整，從而能延長(zhǎng)泵(第2泵17)的壽命，延長(zhǎng)過濾器15的更換時(shí)期。
[0039]本實(shí)施方式中，第2流路16經(jīng)由箱體11與第I流路13連接，但本發(fā)明并不限于此。如圖2所示，第2流路16也可以在箱體11與過濾器15之間與第I流路13連接。在此情況下，涂布停止期間內(nèi)的涂布液沿由包含過濾器15的第I流路13、及包含第2泵17的第2流路16連接的路徑循環(huán)。
【實(shí)施例】
[0040]接下來，將本發(fā)明的實(shí)施例與比較例一起進(jìn)行說明。另外，本發(fā)明不被下述實(shí)施例及比較例所限定和限制。
[0041][實(shí)施例]
作為涂布液，使用將陶瓷粒子(鈦酸鋇)、有機(jī)溶劑(乙醇)、有機(jī)粘結(jié)劑(聚乙烯醇縮丁醛)、可塑劑(鄰苯二甲酸酯)及分散劑(具有聚氧化烯基和酸酐基的高分子)混合得到的陶瓷漿料。具體而言，將鈦酸鋇、聚乙烯醇縮丁醛、鄰苯二甲酸二辛酯及乙醇與直徑Imm的氧化鋯球一起放入球型粉碎機(jī)，進(jìn)行24小時(shí)的濕法混合，制作陶瓷漿料。
[0042]將上述制作的陶瓷漿料用圖1所示的裝置進(jìn)行涂布，在支承薄膜19上形成漿料層20，使其干燥，形成陶瓷生片。本實(shí)施例中，作為支承薄膜19，使用聚對(duì)苯二甲酸乙二酯(厚度為30 μ m)。此處，將陶瓷漿料的涂布條件設(shè)定成涂布速度為150m/分，干燥后厚度為2.3 μ m0
[0043]接下來，在涂布停止的同時(shí)開始驅(qū)動(dòng)第2泵17，將涂布液的循環(huán)路徑切換為第2流路16。在60分鐘后重新開始涂布。
[0044][比較例]
除了在涂布停止期間內(nèi)不驅(qū)動(dòng)第2泵17這一點(diǎn)以外，與實(shí)施例同樣地進(jìn)行陶瓷漿料的涂布。
[0045][評(píng)價(jià)]
在圖3中示出對(duì)涂布重新開始后的膜厚進(jìn)行測(cè)定的結(jié)果。圖3是表示對(duì)從涂布停止期間后重新開始涂布時(shí)刻起的涂布距離與涂布膜厚之間的關(guān)系進(jìn)行測(cè)定得到的結(jié)果的曲線圖。圖3(a)是使用本發(fā)明所涉及的涂布裝置的情況(實(shí)施例)的曲線圖，圖3(b)是在涂布停止期間內(nèi)不使涂布液循環(huán)的情況(比較例)的曲線圖。該圖中，橫軸表示以涂布重新開始時(shí)刻為起點(diǎn)的涂布距離，縱軸表示各涂布距離下的涂布膜厚。
[0046]在涂布停止期間內(nèi)不進(jìn)行涂布液的循環(huán)的比較例中，在涂布重新開始后到涂布膜厚穩(wěn)定為止，產(chǎn)生近700m長(zhǎng)度的涂布開始損耗。與此相對(duì)，在涂布停止期間內(nèi)進(jìn)行涂布液的循環(huán)的實(shí)施例中可知，涂布膜厚在涂布剛重新開始之后穩(wěn)定，涂布開始損耗較小。這樣，根據(jù)本發(fā)明，可認(rèn)為從涂布剛重新開始之后，過濾器的過濾特性、進(jìn)而提供給頭部的涂布液的比重變穩(wěn)定，能抑制涂布品質(zhì)的下降。 標(biāo)號(hào)說明
[0047]10涂布裝置
11箱體
12頭部
13第I流路
14第I泵
15過濾器
16第2流路
17第2泵
18干燥裝置
19對(duì)象物(支承薄膜)
20涂布液
20a浸潤涂膜
20b干燥涂膜
21膜厚測(cè)定裝置
22驅(qū)動(dòng)時(shí)間調(diào)整裝置。
【權(quán)利要求】
1.一種涂布裝置，其特征在于，包括: 第I流路，該第I流路將貯存涂布液的箱體與向?qū)ο笪锿坎妓鐾坎家阂孕纬赏磕さ念^部之間連接； 第I泵，該第I泵設(shè)置于所述第I流路，在涂布執(zhí)行期間將所述涂布液從所述箱體提供給所述頭部; 過濾器，該過濾器設(shè)置在位于所述第I流路上且位于所述第I泵的上游側(cè)的位置，對(duì)所述涂布液進(jìn)行過濾； 第2流路，該第2流路在所述過濾器與所述第I泵之間從所述第I流路分岔，在所述過濾器的上游側(cè)與所述第I流路連接；以及 第2泵，該第2泵設(shè)置于所述第2流路，在涂布停止期間使所述涂布液至少經(jīng)由所述過濾器和所述第2流路進(jìn)行循環(huán)。
2.如權(quán)利要求1所述的涂布裝置，其特征在于， 將所述第I泵及所述第2泵擇一地進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。
3.如權(quán)利要求1所述的涂布裝置，其特征在于， 使所述第2泵至少在從所述涂布停止期間的末期之前的時(shí)期開始、到所述涂布停止期間的末期為止的連續(xù)期間內(nèi)驅(qū)動(dòng)。
4.如權(quán)利要求1至3的任一項(xiàng)所述的涂布裝置，其特征在于，還包括: 膜厚測(cè)定裝置，該膜厚測(cè)定裝置對(duì)涂布于所述對(duì)象物的所述涂膜的膜厚進(jìn)行測(cè)定；以及 驅(qū)動(dòng)時(shí)間調(diào)整裝置，該驅(qū)動(dòng)時(shí)間調(diào)整裝置基于所述膜厚測(cè)定裝置的測(cè)定結(jié)果，對(duì)所述第2泵的驅(qū)動(dòng)時(shí)間進(jìn)行調(diào)整。
5.如權(quán)利要求1至4的任一項(xiàng)所述的涂布裝置，其特征在于， 所述第2流路經(jīng)由所述箱體與所述第I流路連接。
【文檔編號(hào)】B05C11/02GK104511397SQ201410509455
【公開日】2015年4月15日 申請(qǐng)日期:2014年9月28日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月30日
【發(fā)明者】槙野弘章, 長(zhǎng)島充 申請(qǐng)人:株式會(huì)社村田制作所