一種觸摸屏用蝕刻液及其制備方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明涉及蝕刻液【技術(shù)領(lǐng)域】，具體涉及一種觸摸屏用蝕刻液及其制備方法，每升蝕刻液由以下原料組成：鹽酸180-220mL、磷酸二氫鈉5-20g、氫氟酸70-90mL、雙氧水40-50mL、4-甲基-5-（2-乙酰氧乙基）噻唑3-7mL、氯代十六烷基吡啶0.1-1mL、余量為水。本發(fā)明采用氫氟酸和雙氧水取代了三氯化鐵，無(wú)需經(jīng)常更換蝕刻液，不僅節(jié)約資源而且減少對(duì)環(huán)境產(chǎn)生的污染，同時(shí)本發(fā)明并加入了具有緩釋效果的氯代十六烷基吡啶和磷酸二氫鈉與鹽酸、氫氟酸、雙氧水配合使用，蝕刻穩(wěn)定蝕刻速度適中、蝕刻均勻，蝕刻后的電極圖形邊緣整齊，基本無(wú)側(cè)蝕現(xiàn)象。
【專(zhuān)利說(shuō)明】一種觸摸屏用蝕刻液及其制備方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及蝕刻液【技術(shù)領(lǐng)域】，具體涉及一種觸摸屏用蝕刻液及其制備方法。

【背景技術(shù)】
[0002]隨著信息技術(shù)和平面顯示技術(shù)的迅速發(fā)展，觸摸屏的應(yīng)用越來(lái)越普遍。大到公共場(chǎng)所的信息查詢(xún)系統(tǒng)，小到個(gè)人電腦、平板電腦、手機(jī)，觸摸屏和我們的生活息息相關(guān)。觸摸屏用的銦錫氧化物(ITO)導(dǎo)電膜具有電阻率低，透光性好，高溫穩(wěn)定性好及制備和圖形加工工藝簡(jiǎn)單等諸多優(yōu)點(diǎn)，是一種理想的透明電極材料，被廣泛應(yīng)用于IXD、PDP, FED、OLED/PLED等平板顯示器上作為透明電極。
[0003]為制備所需要的電極圖形，就要對(duì)ITO導(dǎo)電膜進(jìn)行蝕刻。蝕刻是將材料使用化學(xué)反應(yīng)或物理撞擊作用而移除的技術(shù)。蝕刻液的選擇是非常重要的，它所以重要是因?yàn)樗谟≈齐娐钒逯圃旃に囍兄苯佑绊懜呙芏燃?xì)導(dǎo)線圖像的精度和質(zhì)量。
[0004]在現(xiàn)有技術(shù)中常用的ITO蝕刻液主要由鹽酸或硝酸、FeC13、純水和添加劑，經(jīng)攪拌混勻過(guò)濾制得，但該蝕刻液蝕刻速度快，側(cè)面蝕刻量大，蝕刻液不穩(wěn)定，難以控制蝕刻角度和金屬層的蝕刻量，而且由于蝕刻液中含有FeC13，需要經(jīng)常更換蝕刻液，不僅造成資源的浪費(fèi)，而且造成環(huán)境的污染。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的在于針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種蝕刻速度適中、蝕刻均勻，蝕刻穩(wěn)定、無(wú)需經(jīng)常更換的觸摸屏用蝕刻液及其制備方法。
[0006]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案:一種觸摸屏用蝕刻液，每升蝕刻液由以下原料組成:
鹽酸180-220 mL
磷酸二氫鈉 5-20g
氫氟酸70-90 mL
雙氧水40-50mL
氯代十六烷基吡啶0.1-1 mL
4-甲基-5- (2-乙酰氧乙基)噻唑3-7 mL
余量為水。
[0007]優(yōu)選的，每升蝕刻液由以下原料組成:
鹽酸180-200 mL
磷酸二氫鈉 5-10g
氫氟酸70-80 mL
雙氧水40-45mL
氯代十六烷基吡啶0.1-0.5 mL
4-甲基-5- (2-乙酰氧乙基)噻唑3-5 mL 余量為水。
[0008]另一優(yōu)選的，每升蝕刻液由以下原料組成:
鹽酸200-220 mL
磷酸二氫鈉 10-20g
氫氟酸80-90 mL
雙氧水45-50mL
氯代十六烷基吡啶0.5-1 mL
4-甲基-5- (2-乙酰氧乙基)噻唑5-7 mL
余量為水。
[0009]更為優(yōu)選的，每升蝕刻液由以下原料組成:
鹽酸200 mL
磷酸二氫鈉 1g 氫氟酸80 mL
雙氧水45mL
氯代十六烷基吡啶0.5mL 4-甲基-5- (2-乙酰氧乙基)噻唑5 mL 余量為水。
[0010]所述鹽酸的質(zhì)量百分比濃度為38%，所述氫氟酸的質(zhì)量百分比濃度為36%，所述雙氧水的質(zhì)量百分比濃度為30%。
[0011]一種觸摸屏用蝕刻液的制備方法，它包括以下制備步驟:
A、將配方量的磷酸二氫鈉溶于純水，得到磷酸二氫鈉水溶液，備用；
B、將鹽酸、氫氟酸、雙氧水、氯代十六烷基吡啶、4-甲基-5-(2-乙酰氧乙基)噻唑、磷酸二氫鈉水溶液攪拌均勻，然后加入純水，定容至1L，即得觸摸屏用蝕刻液。
[0012]本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比較，有益效果在于:
本發(fā)明采用氯代十六烷基吡啶作為陽(yáng)離子表面活性劑，防止蝕刻過(guò)程中產(chǎn)生泡沫，本發(fā)明采用氫氟酸和雙氧水取代了三氯化鐵，無(wú)需經(jīng)常更換蝕刻液，不僅節(jié)約資源而且減少對(duì)環(huán)境產(chǎn)生的污染，同時(shí)本發(fā)明并加入了具有緩釋效果的4-甲基-5- (2-乙酰氧乙基)噻唑和磷酸二氫鈉與鹽酸、氫氟酸、雙氧水配合使用，蝕刻穩(wěn)定蝕刻速度適中、蝕刻均勻，蝕刻后的電極圖形邊緣整齊，基本無(wú)側(cè)蝕現(xiàn)象。

【具體實(shí)施方式】
[0013]下面結(jié)合實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的說(shuō)明。
[0014]實(shí)施例1
[0015]一種觸摸屏用蝕刻液，每升蝕刻液由以下原料組成:
鹽酸180mL
磷酸二氫鈉 5g 氫氟酸70 mL
雙氧水40mL
氯代十六烷基吡啶0.1 mL 4-甲基-5- (2-乙酰氧乙基)噻唑3mL 余量為水。
[0016]所述鹽酸的質(zhì)量百分比濃度為38%，所述氫氟酸的質(zhì)量百分比濃度為36%，所述雙氧水的質(zhì)量百分比濃度為30%。
[0017]一種觸摸屏用蝕刻液的制備方法，它包括以下制備步驟:
A、將配方量的磷酸二氫鈉溶于純水，得到磷酸二氫鈉水溶液，備用；
B、將鹽酸、氫氟酸、雙氧水、氯代十六烷基吡啶、4-甲基-5-(2-乙酰氧乙基)噻唑、磷酸二氫鈉水溶液攪拌均勻，然后加入純水，定容至1L，即得觸摸屏用蝕刻液。
[0018]本實(shí)施例蝕刻液在溫度25°C、浸潰時(shí)間25min的條件下，蝕刻的產(chǎn)品蝕刻角度為45.6，且基本無(wú)側(cè)蝕現(xiàn)象。
[0019]實(shí)施例2
[0020]一種觸摸屏用蝕刻液，每升蝕刻液由以下原料組成:
鹽酸200 mL
磷酸二氫鈉 1g
氫氟酸80 mL
雙氧水45mL
氯代十六烷基吡啶0.5mL
4-甲基-5- (2-乙酰氧乙基)噻唑5mL
余量為水。
[0021]所述鹽酸的質(zhì)量百分比濃度為38%，所述氫氟酸的質(zhì)量百分比濃度為36%，所述雙氧水的質(zhì)量百分比濃度為30%。
[0022]一種觸摸屏用蝕刻液的制備方法，它包括以下制備步驟:
A、將配方量的磷酸二氫鈉溶于純水，得到磷酸二氫鈉水溶液，備用；
B、將鹽酸、氫氟酸、雙氧水、氯代十六烷基吡啶、4-甲基-5-(2-乙酰氧乙基)噻唑、磷酸二氫鈉水溶液攪拌均勻，然后加入純水，定容至1L，即得觸摸屏用蝕刻液。
[0023]本實(shí)施例蝕刻液在溫度30°C、浸潰時(shí)間20min的條件下，蝕刻的產(chǎn)品蝕刻角度為49.8，且基本無(wú)側(cè)蝕現(xiàn)象。
[0024]實(shí)施例3
[0025]一種觸摸屏用蝕刻液，每升蝕刻液由以下原料組成:
鹽酸190mL
磷酸二氫鈉 Hg
氫氟酸82 mL
雙氧水46mL
氯代十六烷基吡啶0.8 mL
4-甲基-5- (2-乙酰氧乙基)噻唑6mL
余量為水。
[0026]所述鹽酸的質(zhì)量百分比濃度為38%，所述氫氟酸的質(zhì)量百分比濃度為36%，所述雙氧水的質(zhì)量百分比濃度為30%。
[0027]—種觸摸屏用蝕刻液的制備方法，它包括以下制備步驟: A、將配方量的磷酸二氫鈉溶于純水，得到磷酸二氫鈉水溶液，備用；
B、將鹽酸、氫氟酸、雙氧水、氯代十六烷基吡啶、4-甲基-5-(2-乙酰氧乙基)噻唑、磷酸二氫鈉水溶液攪拌均勻，然后加入純水，定容至1L，即得觸摸屏用蝕刻液。
[0028]本實(shí)施例蝕刻液在溫度25°C、浸潰時(shí)間25min的條件下，蝕刻的產(chǎn)品蝕刻角度為56.4，且基本無(wú)側(cè)蝕現(xiàn)象。
[0029]實(shí)施例4
[0030]一種觸摸屏用蝕刻液，每升蝕刻液由以下原料組成:
鹽酸220 mL
磷酸二氫鈉 20g
氫氟酸90 mL
雙氧水50mL
氯代十六烷基吡啶I mL
4-甲基-5- (2-乙酰氧乙基)噻唑7mL
余量為水。
[0031]所述鹽酸的質(zhì)量百分比濃度為38%，所述氫氟酸的質(zhì)量百分比濃度為36%，所述雙氧水的質(zhì)量百分比濃度為30%。
[0032]一種觸摸屏用蝕刻液的制備方法，它包括以下制備步驟:
A、將配方量的磷酸二氫鈉溶于純水，得到磷酸二氫鈉水溶液，備用；
B、將鹽酸、氫氟酸、雙氧水、氯代十六烷基吡啶、4-甲基-5-(2-乙酰氧乙基)噻唑、磷酸二氫鈉水溶液攪拌均勻，然后加入純水，定容至1L，即得觸摸屏用蝕刻液。
[0033]本實(shí)施例蝕刻液在溫度32°C、浸潰時(shí)間19min的條件下，蝕刻的產(chǎn)品蝕刻角度為51.3，且基本無(wú)側(cè)蝕現(xiàn)象。
[0034]最后應(yīng)當(dāng)說(shuō)明的是，以上實(shí)施例僅用以說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)方案，而非對(duì)本發(fā)明保護(hù)范圍的限制，盡管參照較佳實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作了詳細(xì)地說(shuō)明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，可以對(duì)本發(fā)明的技術(shù)方案進(jìn)行修改或者等同替換，而不脫離本發(fā)明技術(shù)方案的實(shí)質(zhì)和范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種觸摸屏用蝕刻液，其特征在于:每升蝕刻液由以下原料組成: 鹽酸180-220 mL 磷酸二氫鈉 5-20g 氫氟酸70-90 mL 雙氧水40-50mL 氯代十六烷基吡啶0.1-1 mL 4-甲基-5- (2-乙酰氧乙基)噻唑3-7 mL 余量為水。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種觸摸屏用蝕刻液，其特征在于:每升蝕刻液由以下原料組成: 鹽酸180-200 mL 磷酸二氫鈉 5-10g 氫氟酸70-80 mL 雙氧水40-45mL 氯代十六烷基吡啶0.1-0.5 mL 4-甲基-5- (2-乙酰氧乙基)噻唑3-5 mL 余量為水。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種觸摸屏用蝕刻液，其特征在于: 每升蝕刻液由以下原料組成: 鹽酸200-220 mL 磷酸二氫鈉 10-20g 氫氟酸80-90 mL 雙氧水45-50mL 氯代十六烷基吡啶0.5-1 mL 4-甲基-5- (2-乙酰氧乙基)噻唑5-7 mL 余量為水。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種觸摸屏用蝕刻液，其特征在于:每升蝕刻液由以下原料組成: 鹽酸200 mL 磷酸二氫鈉 1g 氫氟酸80 mL 雙氧水45mL 氯代十六烷基吡啶0.5mL 4-甲基-5- (2-乙酰氧乙基)噻唑5mL 余量為水。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種觸摸屏用蝕刻液，其特征在于:所述鹽酸的質(zhì)量百分比濃度為38%，所述氫氟酸的質(zhì)量百分比濃度為36%，所述雙氧水的質(zhì)量百分比濃度為30%。
6.權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的一種觸摸屏用蝕刻液的制備方法，其特征在于:它包括以下制備步驟: A、將配方量的磷酸二氫鈉溶于純水，得到磷酸二氫鈉水溶液，備用； B、將鹽酸、氫氟酸、雙氧水、氯代十六烷基吡啶、4-甲基-5-(2-乙酰氧乙基)噻唑、磷酸二氫鈉水溶液攪拌均勻，然后加入純水，定容至1L，即得觸摸屏用蝕刻液。
【文檔編號(hào)】C09K13/08GK104327857SQ201410517686
【公開(kāi)日】2015年2月4日 申請(qǐng)日期:2014年9月30日 優(yōu)先權(quán)日:2014年9月30日
【發(fā)明者】李林波 申請(qǐng)人:江西省平波電子有限公司