清洗多晶硅反應(yīng)釜的高壓旋轉(zhuǎn)噴桿裝置制造方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型屬于清洗設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，涉及一種清洗多晶硅反應(yīng)釜的高壓旋轉(zhuǎn)噴桿裝置。它包括電機(jī)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述的電機(jī)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的輸出端連接渦輪組件，所述的渦輪組件嚙合蝸桿組件，所述的蝸桿組件包括中空的蝸桿，蝸桿的一端密封連接具有進(jìn)水口的旋轉(zhuǎn)軸組件，另一端可拆卸的連接噴桿，所述的噴桿的端部密封且噴桿的側(cè)壁設(shè)有若干噴嘴。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，能進(jìn)行360°旋轉(zhuǎn)清洗，清洗效率高、速度快。
【專(zhuān)利說(shuō)明】
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實(shí)用新型屬于清洗設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，涉及一種清洗用的高壓水噴桿裝置，尤其涉 及一種清洗多晶硅反應(yīng)釜的高壓旋轉(zhuǎn)噴桿裝置。 清洗多晶硅反應(yīng)釜的高壓旋轉(zhuǎn)噴桿裝置

【背景技術(shù)】
[0002] 多晶娃（polycrystalline silicon)有灰色金屬光澤，密度 2. 32-2. 34g/cm3。烙 點(diǎn)14KTC。沸點(diǎn)2355°C。溶于氫氟酸和硝酸的混酸中，不溶于水、硝酸和鹽酸。硬度介于 鍺和石英之間，室溫下質(zhì)脆，切割時(shí)易碎裂。加熱至800°C以上即有延性，1300°C時(shí)顯出明 顯變形。常溫下不活潑，高溫下與氧、氮、硫等反應(yīng)。高溫熔融狀態(tài)下，具有較大的化學(xué)活潑 性，能與幾乎任何材料作用。具有半導(dǎo)體性質(zhì)，是極為重要的優(yōu)良半導(dǎo)體材料，但微量的雜 質(zhì)即可大大影響其導(dǎo)電性。電子工業(yè)中廣泛用于制造半導(dǎo)體收音機(jī)、錄音機(jī)、電冰箱、彩電、 錄像機(jī)、電子計(jì)算機(jī)等的基礎(chǔ)材料。由干燥硅粉與干燥氯化氫氣體在一定條件下氯化，再經(jīng) 冷凝、精餾、還原而得。
[0003] 多晶硅的生產(chǎn)技術(shù)主要為改良西門(mén)子法和硅烷法，無(wú)論是哪種方法，都需要將多 晶硅進(jìn)行冷卻結(jié)晶沉淀，在這個(gè)過(guò)程中，需要用到反應(yīng)釜或流化床進(jìn)行結(jié)晶，目前以使用反 應(yīng)釜結(jié)晶較多。結(jié)晶完成后，需要對(duì)反應(yīng)釜進(jìn)行清洗，如清洗不完全，則會(huì)導(dǎo)致下次結(jié)晶時(shí) 雜質(zhì)含量較多或結(jié)晶不完全?，F(xiàn)有的清洗工序通常是人工用水槍進(jìn)行沖洗，沖洗時(shí)間較長(zhǎng)， 且無(wú)法對(duì)反應(yīng)釜內(nèi)部進(jìn)行360°沖洗，因此反應(yīng)釜清洗不完全導(dǎo)致的質(zhì)量事故時(shí)有發(fā)生。
[0004] 人們經(jīng)過(guò)不斷的的探索，提出了各種各樣的解決方案，如中國(guó)專(zhuān)利文獻(xiàn)公開(kāi)了一 種噴桿結(jié)構(gòu)[申請(qǐng)?zhí)枺?01220462149. 8]，包括進(jìn)水座、調(diào)整座、固定螺母以和噴嘴套，所述 進(jìn)水座依序包括連接段、止擋段、接合段與外螺紋段，所述連接段與所述止擋段之內(nèi)部軸向 貫穿有一螺孔，所述接合段徑向設(shè)有一凹槽，所述凹槽內(nèi)設(shè)有一彈性件與一球體，所述外螺 紋段軸向設(shè)有第一容槽、第二容槽與第三容槽，所述第一容槽、第二容槽與第三容槽分別透 過(guò)第一水道、第二水道與第三水道連通螺孔，所述第一容槽內(nèi)設(shè)有第一滾珠，所述第二容槽 內(nèi)設(shè)有第二滾珠等。上述方案通過(guò)第一定位槽、第二定位槽、第三定位槽配合球體可使噴嘴 套定位，以快速切換不同的噴灑模式，且噴嘴套外緣之第一凸緣、第二凸緣與第三凸緣，可 引導(dǎo)使用者調(diào)整至需要之噴灑模式，又噴嘴套、調(diào)整座與進(jìn)水座互相搭配，當(dāng)轉(zhuǎn)動(dòng)噴嘴套則 會(huì)同時(shí)帶動(dòng)調(diào)整座旋轉(zhuǎn)，并使水從第一噴嘴、第二噴嘴或第三噴嘴噴出，進(jìn)而達(dá)到簡(jiǎn)便變換 不同噴灑模式和降低整體結(jié)構(gòu)復(fù)雜度之功效。
[0005] 但上述方案的出水口仍然僅限于端部，無(wú)法實(shí)現(xiàn)360°的快速清洗，當(dāng)用于多晶硅 反應(yīng)釜清洗時(shí)，清洗效率較低。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0006] 本實(shí)用新型的目的是針對(duì)上述問(wèn)題，提供一種清洗效率高、清洗效果好的清洗多 晶硅反應(yīng)釜的高壓旋轉(zhuǎn)噴桿裝置。
[0007] 為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采用了下列技術(shù)方案：一種清洗多晶硅反應(yīng)釜的高 壓旋轉(zhuǎn)噴桿裝置，包括電機(jī)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述的電機(jī)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的輸出端連接渦輪組件，所述的 渦輪組件嚙合蝸桿組件，所述的蝸桿組件包括中空的蝸桿，蝸桿的一端密封連接具有進(jìn)水 口的旋轉(zhuǎn)軸組件，另一端可拆卸的連接噴桿，所述的噴桿的端部密封且噴桿的側(cè)壁設(shè)有若 干噴嘴。
[0008] 在上述的清洗多晶硅反應(yīng)釜的高壓旋轉(zhuǎn)噴桿裝置中，所述的電機(jī)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)通過(guò)減 速機(jī)連接渦輪組件，所述的渦輪組件包括與減速機(jī)的輸出軸固接的渦輪，渦輪與蝸桿嚙合。
[0009] 在上述的清洗多晶硅反應(yīng)釜的高壓旋轉(zhuǎn)噴桿裝置中，所述的旋轉(zhuǎn)軸組件包括中空 的旋轉(zhuǎn)軸，旋轉(zhuǎn)軸的一端設(shè)有進(jìn)水口，旋轉(zhuǎn)軸遠(yuǎn)離進(jìn)水口的另一端與蝸桿緊密接觸且旋轉(zhuǎn) 軸與蝸桿的接觸部外面套設(shè)有密封函組件。
[0010] 在上述的清洗多晶硅反應(yīng)釜的高壓旋轉(zhuǎn)噴桿裝置中，所述的旋轉(zhuǎn)軸和蝸桿外還套 設(shè)有機(jī)座套，且旋轉(zhuǎn)軸的進(jìn)水口和蝸桿的一端延伸出機(jī)座套外，蝸桿延伸出機(jī)座套外的一 端通過(guò)法蘭組件連接噴桿。
[0011] 在上述的清洗多晶硅反應(yīng)釜的高壓旋轉(zhuǎn)噴桿裝置中，所述的噴桿的端部用堵頭密 封。
[0012] 在上述的清洗多晶硅反應(yīng)釜的高壓旋轉(zhuǎn)噴桿裝置中，所述的減速機(jī)通過(guò)連接件與 機(jī)座套固定連接，且減速機(jī)的輸出軸與連接件活動(dòng)連接，所述的噴桿與連接件活動(dòng)連接。
[0013] 與現(xiàn)有的技術(shù)相比，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，能進(jìn)行360°旋轉(zhuǎn)清洗， 清洗效率高、速度快。

【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0014] 圖1是本實(shí)用新型提供的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0015] 圖中：電機(jī)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)1、渦輪組件2、渦輪21、蝸桿組件3、蝸桿31、旋轉(zhuǎn)軸組件4、旋 轉(zhuǎn)軸40、進(jìn)水口 41、噴桿5、噴嘴51、堵頭52、減速機(jī)6、密封函組件7、機(jī)座套8、法蘭組件9、 連接件10。

【具體實(shí)施方式】
[0016] 下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明。
[0017] 如圖1所示，一種清洗多晶硅反應(yīng)釜的高壓旋轉(zhuǎn)噴桿裝置，包括電機(jī)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)1， 電機(jī)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)1包括電機(jī)，所述的電機(jī)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)1的輸出端連接渦輪組件2,所述的渦輪組 件2嚙合蝸桿組件3,當(dāng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)渦輪組件2轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，與渦輪組件2嚙合的蝸桿組件3隨之 轉(zhuǎn)動(dòng)，且渦輪組件2與蝸桿組件3的旋轉(zhuǎn)面垂直，所述的蝸桿組件3包括中空的蝸桿31，蝸 桿31的一端密封連接具有進(jìn)水口 41的旋轉(zhuǎn)軸組件4,另一端可拆卸的連接噴桿5,所述的 噴桿5的端部密封且噴桿5的側(cè)壁設(shè)有若干噴嘴51，當(dāng)然也可以不設(shè)噴嘴51而直接在噴 桿5上開(kāi)設(shè)若干小孔，優(yōu)選的，噴嘴51設(shè)置在噴桿5的側(cè)壁上且噴嘴51不在同一直線上， 這樣，當(dāng)噴嘴51噴出高壓水時(shí)，具有較大的覆蓋面。
[0018] 在工作時(shí)，電機(jī)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)1驅(qū)動(dòng)渦輪組件2轉(zhuǎn)動(dòng)，并驅(qū)動(dòng)蝸桿組件3轉(zhuǎn)動(dòng)，由于蝸 桿組件3與噴桿5連接，因此噴桿5也開(kāi)始轉(zhuǎn)動(dòng)，將進(jìn)水口 41連接高壓水發(fā)生器，高壓水依 次通過(guò)旋轉(zhuǎn)軸組件4、蝸桿組件3和噴桿5,并從噴嘴51噴出高壓水，由于噴桿5是轉(zhuǎn)動(dòng)的， 因此可以對(duì)多晶硅反應(yīng)釜的各個(gè)角度進(jìn)行清洗，從而將多晶硅反應(yīng)釜徹底清洗干凈。在上 述過(guò)程中，旋轉(zhuǎn)軸組件4是靜止的，蝸桿組件3與旋轉(zhuǎn)軸組件4密封連接，因此高壓水不會(huì) 從旋轉(zhuǎn)軸組件4與蝸桿組件3的連接處溢出。
[0019] 電機(jī)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)1通過(guò)減速機(jī)6連接渦輪組件2，減速機(jī)6將電機(jī)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)1的轉(zhuǎn)速 變慢，防止轉(zhuǎn)動(dòng)過(guò)快導(dǎo)致漏水或燒壞電機(jī)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)1，所述的渦輪組件2包括與減速機(jī)6的 輸出軸固接的渦輪21，渦輪21與蝸桿31嚙合。
[0020] 旋轉(zhuǎn)軸組件4包括中空的旋轉(zhuǎn)軸40,旋轉(zhuǎn)軸40的一端設(shè)有進(jìn)水口 41，旋轉(zhuǎn)軸40 遠(yuǎn)離進(jìn)水口 41的另一端與蝸桿31緊密接觸且旋轉(zhuǎn)軸40與蝸桿31的接觸部外面套設(shè)有密 封函組件7,密封函組件7可以采用夾套加密封圈的方式進(jìn)行密封，而作為優(yōu)選的，旋轉(zhuǎn)軸 40與密封函組件7的接觸面采用搪塑工藝進(jìn)行處理，從而進(jìn)一步提高密封效果，當(dāng)然，也可 以采用四氟乙烯材料進(jìn)行密封。
[0021] 旋轉(zhuǎn)軸40和蝸桿31外還套設(shè)有機(jī)座套8,機(jī)座套8起到固定作用，從而可以將整 個(gè)裝置固定在某個(gè)位置，便于更好的進(jìn)行清洗作業(yè)，且旋轉(zhuǎn)軸40的進(jìn)水口 41和蝸桿31的 一端延伸出機(jī)座套8外，蝸桿31延伸出機(jī)座套8外的一端通過(guò)法蘭組件9連接噴桿5。減 速機(jī)6通過(guò)連接件10與機(jī)座套8固定連接，且減速機(jī)6的輸出軸與連接件10活動(dòng)連接，所 述的噴桿5與連接件10活動(dòng)連接，連接件10可采用法蘭件，便于采購(gòu)和替換。
[0022] 如前所述，噴桿5的端部是密封的，作為一種優(yōu)選的方案，噴桿5的端部用堵頭52 密封，堵頭52與噴桿5可拆卸的連接，便于拆卸清洗噴桿5內(nèi)部。
[0023] 本實(shí)用新型在清洗作業(yè)時(shí)，通常將噴桿5伸入到多晶硅反應(yīng)釜內(nèi)部，通過(guò)噴桿5的 轉(zhuǎn)動(dòng)，噴嘴51沿噴桿5的周向轉(zhuǎn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)噴嘴51的出水面的360°覆蓋，當(dāng)然，也可以通過(guò) 噴桿5的上下或左右移動(dòng)，對(duì)反應(yīng)釜內(nèi)部的死角進(jìn)行重點(diǎn)清洗。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，但在 清洗時(shí)噴桿能進(jìn)行360°旋轉(zhuǎn)，從而完成對(duì)多晶硅反應(yīng)釜的徹底清洗，清洗作業(yè)效率高、效 果好，清洗成本低。
[0024] 本文中所描述的具體實(shí)施例僅僅是對(duì)本實(shí)用新型精神作舉例說(shuō)明。本實(shí)用新型所 屬【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員可以對(duì)所描述的具體實(shí)施例做各種各樣的修改或補(bǔ)充或采用類(lèi)似 的方式替代，但并不會(huì)偏離本實(shí)用新型的精神或者超越所附權(quán)利要求書(shū)所定義的范圍。
[0025] 盡管本文較多地使用了電機(jī)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)1、渦輪組件2、渦輪21、蝸桿組件3、蝸桿31、 旋轉(zhuǎn)軸組件4、旋轉(zhuǎn)軸40、進(jìn)水口 41、噴桿5、噴嘴51、堵頭52、減速機(jī)6、密封函組件7、機(jī)座 套8、法蘭組件9、連接件10等術(shù)語(yǔ)，但并不排除使用其它術(shù)語(yǔ)的可能性。使用這些術(shù)語(yǔ)僅 僅是為了更方便地描述和解釋本實(shí)用新型的本質(zhì)；把它們解釋成任何一種附加的限制都是 與本實(shí)用新型精神相違背的。
【權(quán)利要求】
1. 一種清洗多晶硅反應(yīng)釜的高壓旋轉(zhuǎn)噴桿裝置，包括電機(jī)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)（1)，所述的電機(jī) 驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)（1)的輸出端連接渦輪組件（2)，所述的渦輪組件（2)嚙合蝸桿組件（3)，其特征 在于，所述的蝸桿組件（3)包括中空的蝸桿（31)，蝸桿（31)的一端密封連接具有進(jìn)水口 (41)的旋轉(zhuǎn)軸組件（4)，另一端可拆卸的連接噴桿（5)，所述的噴桿（5)的端部密封且噴桿 (5) 的側(cè)壁設(shè)有若干噴嘴（51)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的清洗多晶硅反應(yīng)釜的高壓旋轉(zhuǎn)噴桿裝置，其特征在于，所述 的電機(jī)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)（1)通過(guò)減速機(jī)（6)連接渦輪組件（2)，所述的渦輪組件（2)包括與減速機(jī) (6) 的輸出軸固接的渦輪（21)，渦輪（21)與蝸桿（31)嚙合。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的清洗多晶硅反應(yīng)釜的高壓旋轉(zhuǎn)噴桿裝置，其特征在于，所述 的旋轉(zhuǎn)軸組件（4)包括中空的旋轉(zhuǎn)軸（40)，旋轉(zhuǎn)軸（40)的一端設(shè)有進(jìn)水口（41)，旋轉(zhuǎn)軸 (40)遠(yuǎn)離進(jìn)水口（41)的另一端與蝸桿（31)緊密接觸且旋轉(zhuǎn)軸（40)與蝸桿（31)的接觸部 外面套設(shè)有密封函組件（7)。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的清洗多晶硅反應(yīng)釜的高壓旋轉(zhuǎn)噴桿裝置，其特征在于，所述 的旋轉(zhuǎn)軸（40)和蝸桿（31)外還套設(shè)有機(jī)座套（8)，且旋轉(zhuǎn)軸（40)的進(jìn)水口（41)和蝸桿 (31)的一端延伸出機(jī)座套（8)外，蝸桿（31)延伸出機(jī)座套（8)外的一端通過(guò)法蘭組件（9) 連接噴桿（5)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1或2或3或4所述的清洗多晶硅反應(yīng)釜的高壓旋轉(zhuǎn)噴桿裝置，其特 征在于，所述的噴桿（5)的端部用堵頭（52)密封。
6. 根據(jù)權(quán)利要求2或3或4所述的清洗多晶硅反應(yīng)釜的高壓旋轉(zhuǎn)噴桿裝置，其特征在 于，所述的減速機(jī)（6)通過(guò)連接件（10)與機(jī)座套（8)固定連接，且減速機(jī)（6)的輸出軸與 連接件（10)活動(dòng)連接，所述的噴桿（5)與連接件（10)活動(dòng)連接。
【文檔編號(hào)】B05B3/10GK203899791SQ201420275392
【公開(kāi)日】2014年10月29日 申請(qǐng)日期:2014年5月26日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月26日
【發(fā)明者】繩欽國(guó) 申請(qǐng)人:浙江德清寶豐射流系統(tǒng)工程有限公司