一種uv減粘保護膜的制作方法
【專利摘要】本實用新型適用于保護膜領(lǐng)域，尤其涉及一種UV減粘保護膜。在本實用新型中，UV減粘保護膜包括PET基材層、設(shè)于PET基材層上方的UV減粘粘膠劑層以及設(shè)于UV減粘粘膠劑層上方的PET離型膜層。該UV減粘保護膜具有UV光照射前超高粘性，UV光照射后超低粘性的優(yōu)良性能，降低產(chǎn)品的成本，并且具有較高的制程良率，在半導(dǎo)體晶圓切割、打磨表面保護、觸控屏OGS二次強化耐酸膜等產(chǎn)品方面得到廣泛應(yīng)用。
【專利說明】一種UV減粘保護膜

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型屬于保護膜領(lǐng)域，尤其涉及一種UV減粘保護膜。

【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體制作過程中，進行半導(dǎo)體晶圓切割、打磨時，為降低硅薄層缺陷密度，常常使用晶圓切割保護膜。
[0003]觸控屏OGS玻璃二次強化時，需利用氫氟酸與二氧化硅玻璃反應(yīng)，以增加玻璃強度，此時需要保護不需要被強化的部分，需要使用耐酸保護膜。
[0004]現(xiàn)有的同類保護膜主要有丙烯酸系PET\PVC\P0\P0+PET復(fù)合等產(chǎn)品，這些保護膜存在制程良率低以及成本較高等缺點。
實用新型內(nèi)容
[0005]本實用新型實施例的目的在于提供一種UV減粘保護膜，旨在解決現(xiàn)有的保護膜存在制程良率低以及成本較高的問題。
[0006]本實用新型實施例是這樣實現(xiàn)的，一種UV減粘保護膜，包括PET基材層、設(shè)于所述PET基材層上方的UV減粘粘膠劑層以及設(shè)于所述UV減粘粘膠劑層上方的PET離型膜層。
[0007]進一步地，所述UV減粘粘膠劑層為UV光敏感粘膠劑層。
[0008]具體地，所述PET離型膜層的厚度為15μπι至150μπι，所述PET基材層的厚度為15 μ m至200 μ m,所述UV減粘粘膠劑層的厚度為5 μ m至50 μ m。
[0009]進一步地，所述PET離型膜層的厚度為50 μ m至100 μ m，所述PET基材層的厚度為50 μ m至100 μ m，所述UV減粘粘膠劑層的厚度為10 μ m至30 μ m。
[0010]進一步地，所述PET離型膜層的厚度為50 μ m，所述PET基材層的厚度為100 μ m，所述UV減粘粘膠劑層的厚度為20 μ m。
[0011]進一步地，所述PET離型膜層的厚度為75 μ m,所述PET基材層的厚度為75 μ m,所述UV減粘粘膠劑層的厚度為25 μ m。
[0012]在本實用新型實施例中，UV減粘保護膜包括層疊結(jié)合的PET離型膜層、UV減粘粘膠劑層和PET基材層，該UV減粘保護膜具有UV光照射前對鏡面鋼板剝離力超過1000g/25mm的超高粘性，UV光照射后對鏡面鋼板剝離力在20g/25mm以下的超低粘性，同時降低了產(chǎn)品的成本，并且比現(xiàn)有保護膜制程最少提高10%的良率，在半導(dǎo)體晶圓切割、打磨表面保護、觸控屏OGS 二次強化耐酸膜等產(chǎn)品方面可以得到廣泛應(yīng)用。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]圖1是本實用新型實施例提供的UV減粘保護膜的結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實施方式】
[0014]為了使本實用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實施例，對本實用新型進行進一步詳細說明。應(yīng)當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。
[0015]圖1示出了本實用新型實施例提供的UV減粘保護膜的結(jié)構(gòu)，為了便于說明，僅示出了與本實用新型實施例相關(guān)的部分。
[0016]一種UV減粘保護膜，包括PET基材層3、UV減粘粘膠劑層2和PET離型膜層I，所述UV減粘粘膠劑層2設(shè)于PET基材層3上方，所述離型膜層3設(shè)于UV減粘粘膠劑層2上方。
[0017]作為本實用新型一實施例，所述UV減粘粘膠劑層2中UV減粘粘膠劑為現(xiàn)有的UV減粘粘膠劑，特別優(yōu)選為UV光敏感粘膠劑。本實用新型中使用的UV光敏感粘膠劑是由固化劑:光起始劑:亞克力膠水按照一定比例配制而成，其中，所述的固化劑為本領(lǐng)域常用的固化劑，例如固化劑L45和/或固化劑L75(日本綜研化學(xué)株式會社制造)。所述的光起始劑為本領(lǐng)域常用的光起始劑，例如光起始劑-184(化學(xué)名稱:1-羥基環(huán)已基苯基酮)，所述的亞克力膠水為本領(lǐng)域常用的亞克力膠水，例如日本綜研化學(xué)株式會社制造的亞克力膠水。所述的固化劑:光起始劑:亞克力膠水按照(4?8): (3?9): (1000)進行配制，優(yōu)選的比例為6:5 =1000
[0018]例如，按照如下方法配制UV光敏感粘膠(本實用新型下述方法實施例中均采用此UV光敏感粘膠劑，以下不再贅述):稱重50kg亞克力膠水，稱重20kg乙酯，混合后用分散機充分攪拌，時間在15分鐘以上，然后將固化劑L75稱重300g，用600g乙酯稀釋后均勻加入稀釋后的亞克力膠水，攪拌15分鐘，然后稱重250g光起始劑-184，用500g乙酯稀釋后均勻加入稀釋后的亞克力膠水，攪拌15分鐘。然后用濾芯機3um濾芯充分過濾2次，靜止15分鐘消泡完畢方可使用。
[0019]具體地，本實用新型實施例提供的UV減粘保護膜，其中，PET離型膜層的厚度為15μπι至150μπι，ΡΕΤ基材層的厚度為15 μ m至200 μ m，UV減粘粘膠劑層的厚度為5 μ m至50 μ m0
[0020]優(yōu)選地，PET離型膜層的厚度為50 μ m至100 μ m，所述PET基材層的厚度為50 μ m至100 μ m, UV減粘粘膠劑層的厚度為10 μ m至30 μ m。
[0021]更加優(yōu)選地，PET離型膜層的厚度為50 μ m, PET基材層的厚度為100 μ m, UV減粘粘膠劑層的厚度為20 μ m。
[0022]更加優(yōu)選地，PET離型膜層的厚度為75 μ m，PET基材層的厚度為75 μ m，UV減粘粘膠劑層的厚度為25 μ m。
[0023]在本實用新型實施例中，UV減粘保護膜包括層疊結(jié)合的PET離型膜層、UV減粘粘膠劑層和PET基材層，該UV減粘保護膜具有UV光照射前對鏡面鋼板剝離力超過1000g/25mm的超高粘性，UV光照射后對鏡面鋼板剝離力在20g/25mm以下的超低粘性，同時降低了產(chǎn)品的成本，并且比現(xiàn)有保護膜制程最少提高10%的良率，在半導(dǎo)體晶圓切割、打磨表面保護、觸控屏OGS 二次強化耐酸膜等產(chǎn)品方面可以得到廣泛應(yīng)用。
[0024]實施例1
[0025]本實用新型的UV減粘保護膜按照如下方法制作:
[0026](I)準備厚度為15 μ m的PET基材；
[0027](2)將PET基材一面涂布上述UV光敏感粘膠劑，形成厚度為5 μ m的UV光敏感粘膠劑層；
[0028](3)將厚度為15 μ mPET離型膜與涂布有UV光敏感粘膠劑的PET基材貼合。
[0029]實施例2
[0030]本實用新型的UV減粘保護膜按照如下方法制作:
[0031](I)準備厚度為50 μ m的PET基材；
[0032](2)將PET基材一面涂布上述UV光敏感粘膠劑，形成厚度為10 μ m的UV光敏感粘膠劑層；
[0033](3)將厚度為50 μ mPET離型膜與涂布有UV光敏感粘膠劑的PET基材貼合。
[0034]實施例3
[0035]本實用新型的UV減粘保護膜按照如下方法制作:
[0036](I)準備厚度為100 μ mPET基材；
[0037](2)將PET基材一面涂布上述UV光敏感粘膠劑，形成厚度為20 μ m的UV光敏感粘膠劑層；
[0038](3)將厚度為50 μ mPET離型膜與涂布有UV光敏感粘膠劑的PET基材貼合。
[0039]實施例4
[0040]本實用新型的UV減粘保護膜按照如下方法制作:
[0041](I)準備厚度為75 μ mPET基材；
[0042](2)將PET基材一面涂布上述UV光敏感粘膠劑，形成厚度為25 μ m的UV光敏感粘膠劑層；
[0043](3)將厚度為75 μ mPET離型膜與涂布有UV光敏感粘膠劑的PET基材貼合。
[0044]實施例5
[0045]本實用新型的UV減粘保護膜按照如下方法制作:
[0046](I)準備厚度為100 μ mPET基材；
[0047](2)將PET基材一面涂布上述UV光敏感粘膠劑，形成厚度為30 μ m的UV光敏感粘膠劑層；
[0048](3)將厚度為100 μ mPET離型膜與涂布有UV光敏感粘膠劑的PET基材貼合。
[0049]實施例6
[0050]本實用新型的UV減粘保護膜按照如下方法制作:
[0051](I)準備厚度為200 μ mPET基材；
[0052](2)將PET基材一面涂布上述UV光敏感粘膠劑，形成厚度為50 μ m的UV光敏感粘膠劑層；
[0053](3)將厚度為150 μ mPET離型膜與涂布有UV光敏感粘膠劑的PET基材貼合。
[0054]在本實用新型實施例中，UV減粘保護膜包括層疊結(jié)合的PET離型膜層、UV減粘粘膠劑層和PET基材層，該UV減粘保護膜具有UV光照射前對鏡面鋼板剝離力超過1000g/25mm的超高粘性，UV光照射后對鏡面鋼板剝離力在20g/25mm以下的超低粘性，同時降低了產(chǎn)品的成本，并且比現(xiàn)有保護膜制程最少提高10%的良率，在半導(dǎo)體晶圓切割、打磨表面保護、觸控屏OGS 二次強化耐酸膜等產(chǎn)品方面可以得到廣泛應(yīng)用。
[0055]以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進等，均應(yīng)包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種UV減粘保護膜，其特征在于，所述UV減粘保護膜包括PET基材層、設(shè)于所述PET基材層上方的UV減粘粘膠劑層以及設(shè)于所述UV減粘粘膠劑層上方的PET離型膜層。
2.如權(quán)利要求1所述的UV減粘保護膜，其特征在于，所述UV減粘粘膠劑層為UV光敏感粘膠劑層。
3.如權(quán)利要求2所述的UV減粘保護膜，其特征在于，所述PET離型膜層的厚度為15μ m至150 μ m,所述PET基材層的厚度為15 μ m至200 μ m,所述UV減粘粘膠劑層的厚度為5 μ m至 50 μ m。
4.如權(quán)利要求3所述的UV減粘保護膜，其特征在于，所述PET離型膜層的厚度為50μ m至100 μ m,所述PET基材層的厚度為50 μ m至100 μ m,所述UV減粘粘膠劑層的厚度為10 μ m至 30 μ m。
5.如權(quán)利要求4所述的UV減粘保護膜，其特征在于，所述PET離型膜層的厚度為.50 μ m,所述PET基材層的厚度為100 μ m,所述UV減粘粘膠劑層的厚度為20 μ m。
6.如權(quán)利要求4所述的UV減粘保護膜，其特征在于，所述PET離型膜層的厚度為.75 μ m,所述PET基材層的厚度為75 μ m,所述UV減粘粘膠劑層的厚度為25 μ m。
【文檔編號】C09J7/02GK203960110SQ201420369939
【公開日】2014年11月26日 申請日期:2014年7月4日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月4日
【發(fā)明者】李英順 申請人:深圳市宏瑞新材料科技有限公司