技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及合金材料用研磨組合物及合金材料的研磨方法，提供提高了合金材料的研磨特性的合金材料研磨組合物及使用其的合金材料的研磨方法。本發(fā)明的合金材料用研磨組合物將合金材料作為研磨對象，且含有氧化鋁顆粒，所述氧化鋁顆粒具有以下的粒徑分布：將體積基準(zhǔn)的累積粒徑分布的自大粒徑側(cè)起的累積體積為10％、50％、90％的粒徑分別設(shè)為D10、D50、D90時(shí)，D50為3.1～12μm、D10與D90的差除以D50得到的值為0.7～2.4。

技術(shù)研發(fā)人員：高橋洋平;天高恭祐;鐮田透;森永均
受保護(hù)的技術(shù)使用者：福吉米株式會社
文檔號碼：201610663320
技術(shù)研發(fā)日：2016.08.12
技術(shù)公布日：2017.01.04