本發(fā)明涉及一種研磨液，具體涉及一種石油儀器用拋光專用研磨液。
背景技術：
隨著現(xiàn)有生活發(fā)展的精細化，拋光工藝應用廣泛，特別是在微電子領域，隨著大量裝置體積的日益輕薄，對其性能的要求反而越來越高，相應的對拋光工藝的要求也進一步提高。
研磨材料為拋光技術的必需品，為研磨液組合物的重要組分，對其性能要求也越來越嚴格，目前，普遍采用的研磨材料一般為氧化鋁、氧化鋯、金剛石、氧化硅、氧化鈰、氧化鈦、氮化硅等，但在實際應用中，現(xiàn)有粒子的粒徑小、表面活性大，粒子間相互作用力強，已分散好的納米粒子易發(fā)生團聚，影響研磨液組合物的性能；同時研磨粒子如納米金剛石、三氧化二鋁、氧化鋯、氮化硅等，硬度均較大，拋光過程中對表面的損傷較嚴重，不僅造成表面粗糙度較大，還易出現(xiàn)拋光劃痕、凹坑等表面缺陷；同時分散性、穩(wěn)定性較好的氧化硅等材料的拋光速率又較低，不能滿足現(xiàn)有技術的要求。
技術實現(xiàn)要素：
本發(fā)明的目的在于針對現(xiàn)有技術的不足，現(xiàn)提供一種石油儀器用拋光專用研磨液。
為解決上述技術問題，本發(fā)明采用的技術方案為：一種石油儀器用拋光專用研磨液，其創(chuàng)新點在于：由以下重量份的組分組成，氧化鋁35-45份、氧化硅15-25份、三聚氰胺10-15份、聚苯乙烯磺酸鈉5-10份、氧化鈰11-15份、甲基丙烯酸3-9份、硅酸鈉2-5份、氧化鋯1-3份、乙酸乙脂4-9份、十八烷基三甲基溴化胺4-13份、聚氧乙烯醚2-7份、二甲亞砜環(huán)己烷4-8份、羥甲基纖維素3-6份、螯合劑2-8份。
進一步的，由以下重量份的組分組成，氧化鋁40份、氧化硅20份、三聚氰胺13份、聚苯乙烯磺酸鈉8份、氧化鈰13份、甲基丙烯酸6份、硅酸鈉3份、氧化鋯2份、乙酸乙脂6份、十八烷基三甲基溴化胺8份、聚氧乙烯醚4份、二甲亞砜環(huán)己烷6份、羥甲基纖維素4份、螯合劑5份。
本發(fā)明的有益效果如下：本發(fā)明的制備方法簡單，易實現(xiàn)，本發(fā)明制備的研磨液的研磨精度和研磨效率均得到提升。
具體實施方式
以下由特定的具體實施例說明本發(fā)明的實施方式，熟悉此技術的人士可由本說明書所揭露的內容輕易地了解本發(fā)明的其他優(yōu)點及功效。
實施例1
一種石油儀器用拋光專用研磨液，由以下重量份的組分組成，氧化鋁35份、氧化硅15份、三聚氰胺10份、聚苯乙烯磺酸鈉5份、氧化鈰11份、甲基丙烯酸3份、硅酸鈉2份、氧化鋯1份、乙酸乙脂4份、十八烷基三甲基溴化胺4份、聚氧乙烯醚2份、二甲亞砜環(huán)己烷4份、羥甲基纖維素3份、螯合劑2份。
實施例2
一種石油儀器用拋光專用研磨液，由以下重量份的組分組成，氧化鋁45份、氧化硅25份、三聚氰胺15份、聚苯乙烯磺酸鈉10份、氧化鈰11-15份、甲基丙烯酸3-9份、硅酸鈉2-5份、氧化鋯1-3份、乙酸乙脂4-9份、十八烷基三甲基溴化胺4-13份、聚氧乙烯醚2-7份、二甲亞砜環(huán)己烷4-8份、羥甲基纖維素3-6份、螯合劑2-8份。
實施例3
一種石油儀器用拋光專用研磨液，由以下重量份的組分組成，氧化鋁40份、氧化硅20份、三聚氰胺13份、聚苯乙烯磺酸鈉8份、氧化鈰13份、甲基丙烯酸6份、硅酸鈉3份、氧化鋯2份、乙酸乙脂6份、十八烷基三甲基溴化胺8份、聚氧乙烯醚4份、二甲亞砜環(huán)己烷6份、羥甲基纖維素4份、螯合劑5份。
本發(fā)明的制備方法簡單，易實現(xiàn)，本發(fā)明制備的研磨液的研磨精度和研磨效率均得到提升。
上述實施例只是本發(fā)明的較佳實施例，并不是對本發(fā)明技術方案的限制，只要是不經過創(chuàng)造性勞動即可在上述實施例的基礎上實現(xiàn)的技術方案，均應視為落入本發(fā)明專利的權利保護范圍內。