1.一種耐熱晶圓切割保護(hù)膜，從下到上依次包括基材層、uv減粘膠層、離型膜層，其特征在于，所述uv減粘膠層包括如下重量份的原料：100份丙烯酸酯低聚物溶液、0.5-1份熱固化劑、5-8份光交聯(lián)劑、0.5-1.5份光引發(fā)劑；所述丙烯酸酯低聚物溶液由20-40份軟單體、2-5份硬單體、10-15份羥基丙烯酸衍生物通過溶液聚合而成；所述熱固化劑為二縮水甘油醚化合物；所述光交聯(lián)劑由超支化聚乙烯亞胺與異氰酸酯基不飽和化合物反應(yīng)制得，所述超支化聚乙烯亞胺上的伯胺基與異氰酸酯基不飽和化合物上的異氰酸根摩爾比為1:1-1.15。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述耐熱晶圓切割保護(hù)膜，其特征在于，所述丙烯酸酯低聚物溶液固含量為35-45wt％。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述耐熱晶圓切割保護(hù)膜，其特征在于，所述異氰酸酯基不飽和化合物選自4-(馬來酰亞胺基)苯基異氰酸酯、3-異丙烯基-α,α-二甲基芐基異氰酸酯、甲基丙烯酰異氰酸酯、丙烯酸2-異氰基乙酯中的一種或兩種及以上的組合，優(yōu)選為4-(馬來酰亞胺基)苯基異氰酸酯。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述耐熱晶圓切割保護(hù)膜，其特征在于，所述超支化聚乙烯亞胺的數(shù)均分子量為300-600g/mol，胺值為18-21mmol/g、其中伯胺摩爾占比為35-45％、仲胺摩爾占比為20-35％、叔胺摩爾占比為20-35％。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述耐熱晶圓切割保護(hù)膜，其特征在于，所述光交聯(lián)劑通過包括如下步驟的方法制得：
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述耐熱晶圓切割保護(hù)膜，其特征在于，所述控溫為控制溫度為20-30℃，所述滴加為在0.5-1h內(nèi)滴畢，所述攪拌轉(zhuǎn)速為200-500r/min；所述異氰酸酯基不飽和化合物溶液濃度為0.5-1mol/l、溶劑選自乙酸乙酯、thf、甲苯中的一種或兩種及以上的組合；所述反應(yīng)時(shí)間為36-48h。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述耐熱晶圓切割保護(hù)膜，其特征在于，所述二縮水甘油醚化合物選自二縮水甘油醚、己二醇二縮水甘油醚、乙二醇二縮水甘油醚、雙酚f二縮水甘油醚、雙酚a二縮水甘油醚、間苯二酚二縮水甘油醚、二乙二醇二縮水甘油醚、新戊二醇二縮水甘油醚、二丙二醇二縮水甘油醚、1,4-丁二醇二縮水甘油醚、3,3'5,5'-四甲基聯(lián)苯雙酚二縮水甘油醚、雙酚a丙氧基化二縮水甘油基醚、4,4-二羥基-3,3,5,5-四甲基二苯基甲烷二縮水甘油基醚中的一種或兩種及以上的組合；優(yōu)選為雙酚f二縮水甘油醚、雙酚a二縮水甘油醚中的一種或兩種的組合。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述耐熱晶圓切割保護(hù)膜，其特征在于，所述羥基丙烯酸衍生物選自n-羥甲基丙烯酰胺、丙烯酸羥乙酯、丙烯酸羥丙酯、甲基丙烯酸羥丙酯中的一種或兩種及以上的組合；所述軟單體選自丙烯酸丁酯、丙烯酸乙酯、丙烯酸正辛酯、丙烯酸異辛酯、甲基丙烯酸異辛酯、甲基丙烯酸十二烷酯自中的一種或兩種及以上的組合；所述硬單體選自丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸正丁酯、醋酸乙烯酯、苯乙烯自中的一種或兩種及以上的組合。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述耐熱晶圓切割保護(hù)膜，其特征在于，所述丙烯酸酯低聚物溶液通過包括如下步驟的方法制得：
10.權(quán)利要求1-9任一項(xiàng)所述耐熱晶圓切割保護(hù)膜的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：