專利名稱：液體定量排出方法及裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一個適合于將粘性液體、含有粘性物質(zhì)的液體定量排出用的液體定量排出方法以及裝置。
在半導體制造工藝中，作為將電子材料進行規(guī)則或者不規(guī)則的點狀涂布、線狀涂布所使用的以往的定量排出裝置，是例如日本專利公開第49106/1992號公報所公開的螺桿式排出裝置，它將從排出口排出的液體的排出量由螺桿的旋轉(zhuǎn)速度、轉(zhuǎn)動時間等來控制，由此，通過螺桿的旋轉(zhuǎn)速度和停止時的高精度的控制，使其不受液體的粘度、流動性或者貯存在容器內(nèi)的液體量的影響，在連續(xù)的排出操作中，也能穩(wěn)定液體的排出量和獲得定量排出的效果。
然而，這種以往的技術，其液體排出及停止是分別通過螺桿的旋轉(zhuǎn)或者停止進行的，在排出停止時，排出口由于處于物理開放狀態(tài)，特別是在液體的粘度底的情況下、貯存在容器內(nèi)的液體加壓的情況下、螺桿外周面與螺桿殼的內(nèi)周面的間隙大的情況下，液體排出停止時的液體切斷性變差，另外，由于液體的重量及經(jīng)液體施加壓力的原因，還會出現(xiàn)液體泄漏的問題，與此相對，為了解決這一問題而將螺桿的外周面與螺桿殼的內(nèi)周面間的間隙做小的情況下，又會出現(xiàn)例如電子材料中的填料受損等其它問題。
在此，本發(fā)明以解決以往技術在所帶有的問題為課題，作為其目的，提供了一種基于以機械方式開閉排出閥的排出口，不會讓填料破壞，還可提高排出停止時液體的切斷性，而且有效地防止了液體泄漏的液體排出方法及裝置。
本發(fā)明的液體定量排出方法是在從液體貯存容器經(jīng)排出閥將液體定量排出時，對應于排出閥排出口附近部分的液體壓力，對從液體貯存容器供給到排出閥的液體壓力進行控制，同時，機械地開閉排出口。
根據(jù)這種方法，例如在將較少量的液體定量排出時，排出終了后的流通通路內(nèi)的壓力，特別是排出口附近部分的壓力被控制在預定的特定值上，從而能夠讓其后的液體排出始終在一定的流通通路條件下進行，這樣，通過設定施加在液體貯存容器內(nèi)的液體上的壓力、加壓的時間等，就能夠?qū)⑴c之對應的排出量以高的可靠性反復再現(xiàn)。
另一方面，在定量排出較多量的液體的情況下，除了上述之外，還在液體排出中，也根據(jù)液體壓力檢測結果，將供給液體的壓力加以控制，例如將檢測壓力變化等，從而能夠按照預期進行定量排出。
而且，在此通過將液體貯存容器內(nèi)的液體按照所施加的壓力增加的時刻機械地開放排出閥的排出口，使液體的排出沒有時間滯后地開始。因此，在排出結束時，通過除去施加壓力增加的部分，并且將閥門排出口機械關閉，就不會出現(xiàn)液體的泄漏，從而能夠以高的液體切斷性終止定量排出。
而在這樣終止了一次定量排出之后，流通通路內(nèi)的液體壓力如上所述，被控制在與液體壓力對應的預定特定值上。
本發(fā)明的液體定量排出裝置是一種從液體貯存容器經(jīng)排出閥將液體定量排出的裝置，其特征在于，該裝置的液體貯存容器帶有將貯存的液體對應于其粘度壓力而加壓的裝置，具有與該液體貯存容器連通設置的排出閥具有機械開閉排出口的結構。
另外，本發(fā)明的液體定量排出裝置具有液體貯存容器，能直接或間接加壓液體貯存容器內(nèi)的液體的加壓裝置，與液體貯存容器相連通的機械開閉排出口的排出閥，檢測排出口附近部分的液體壓力的壓力傳感器，以及根據(jù)來自壓力傳感器的信號控制加壓裝置的動作的控制裝置。
在該裝置中，根據(jù)傳送到加壓裝置的壓力信號以及加壓的時間信號，將液體貯存容器內(nèi)的液體以對應于壓力信號的壓力，對應于加壓時間信號的時間進行加壓，同時，讓加壓裝置的動作與時刻相配合打開排出閥，通過從其排出口排出液體，從而能夠無滯后地開始排出。
這里，通過加壓裝置使液體加壓時間達到預定時間，由此使液體的排出量到達預定量時，排出閥的機械關閉是通過讓加壓裝置動作的停止與時刻相配合進行的。通過排出閥的關閉，物理地關閉了排出口，從而很好的實現(xiàn)了液體的切斷性，同時，能夠完全防止之后液體的意外泄漏。
在這樣結束一次排出之后，由壓力傳感器檢測出排出口附近部分液體的壓力，同時，將這時的壓力信號輸入到控制裝置中?？刂蒲b置根據(jù)該信號，為了將排出口附近部分的殘余壓力維持在預定的特定值，由加壓裝置形成液壓的增加或者減少。而且，這里的檢測液壓在與上述特定值一致時，當然不需要加壓裝置再次動作。
這樣，使得排出終了后的排出口附近部分，也就是將液體流通通路的內(nèi)部壓力除去流通通路條件變動因素而恒定一定值的情況下，在下次定量排出時，在對液體的壓力、加壓時間等方面，可以不考慮不確定因素而確定下來，另外，可以進行高精度的定量排出。
而液體的一次排出象液體線狀涂布等那樣，經(jīng)過較長時間連續(xù)進行的情況下，在該排出的中途也不用加壓傳感器進行壓力檢測，而最好是根據(jù)上述檢測結果，用加壓裝置很好地控制液體的壓力。
在這種裝置中，最好是將排出閥做成針閥。針閥本身由于能夠非常小型化，例如在100～200kgf/cm2左右的高壓下，由于較小的驅(qū)動力就能夠圓滑迅速地開閉變位，因此，排出結束時的液體切斷性高，而且能夠有效地除去排出開始時的滯后。
而且，還與驅(qū)動力大小相關聯(lián)，能夠使排出閥的整體小型化。
這樣，最好在上述針閥上設置液體壓力補償活塞。
由此，按照液體壓力補償活塞的進退變化，液體流通通路、其中的排出及其附近部分的壓力變化能夠更加簡單、迅速而且有效地對應。例如，在針閥開啟動作時，占據(jù)排出口附近部分的閥針體積減少，反之，在針閥關閉動作時，由于閥針占據(jù)的體積增加，在前者的情況下，通過讓液體壓力補償活塞推進變位，能夠防止排出口附近部分液體壓力降低，而在后者的情況下，通過該活塞的后退變位，能夠防止液體壓力的增加。
另外，該液體壓力補償活塞由于使排出終了后的液體殘余壓力維持在預定的特定值上，因而可以與上述加壓裝置一起，或者取代其進行使用。
而且，在這種裝置中，在對工件有必要移動排出噴嘴時，將該排出噴嘴最好以例如能夠在直角坐標型，即三維立體方向變位的方式安裝在控制器上，這樣，可以使該控制器的控制與加壓裝置的控制和排出閥的控制同時進行控制。
如上所述，根據(jù)本發(fā)明，通過將排出閥的排出口機械開閉，使混合在液體中的檢測頭沒有破壞，從而能夠提高液體排出停止時的液體切斷性，而且能夠有效地防止液體從排出口泄漏出去。
此外，作為液體加壓手段的氣缸孔的直徑通過做得比液體貯存容器的內(nèi)徑足夠大，即使在一般工廠管線的空氣壓力低的情況下，液體壓力也能夠提高到與所需相應，其結果是能夠按照期望提高液體排出作業(yè)的效率。
根據(jù)該方法發(fā)明，在較少量的液體定量排出時，排出終了后的流通通路內(nèi)的壓力，特別是排出口附近部分的壓力控制在預定的特定值上，從而能夠讓其后的液體排出始終在一定的流通通路條件下進行，這樣，通過設定液體貯存容器內(nèi)的液體加壓力、加壓時間等，就可以以高的可靠性反復再現(xiàn)與之對應的排出量，而另一方面，在定量排出較多量的液體的情況下，除了上述之外，在液體排出的中途，還根據(jù)壓力檢測結果將供給的液體壓力以例如檢測壓力變動變小的方式進行控制，從而能夠按照所希望的流通量進行定量排出，另外，讓液體貯存容器內(nèi)的液體的施加壓力的增加與時間相配合機械地開放排出閥的排出口，從而能夠使液體的排出毫無延遲地開始。這樣，在排出終了時，除去施加壓力增加的部分，并通過機械地關閉閥門的排出口，能夠無液體泄漏地以高的液體切斷性終結定量排出。
而且，根據(jù)該裝置發(fā)明，通過機械地開閉排出閥的排出口，不會破壞混合在液體中的檢測頭，從而能夠提高液體排出停止時的液體切斷性，此外，也能夠有效地防止從排出口泄漏液體，除此之外，將作為液體加壓裝置的氣缸的孔徑做得比液體貯存容器的內(nèi)徑還要足夠大，即使在一般工廠的生產(chǎn)線上空氣壓力低的情況下，也能夠?qū)⒁后w壓力提高在與所需相應，其結果是能夠按照預期提高液體排出作業(yè)的效率。
根據(jù)以上的特征，本發(fā)明的液體定量排出方法及裝置，是含有粘性流體、粘性物質(zhì)等的液體定量排出所必須的裝置，可以適用于例如將電子材料規(guī)則地或者不規(guī)則地涂布在基板上的點狀涂布、線狀涂布等。
下面根據(jù)


本發(fā)明的實施例。
圖1是在加壓裝置中采用螺桿傳導裝置的本發(fā)明液體定量排出方法及裝置實施例主要部分的剖視圖；圖2是表示本發(fā)明中液體貯存容器另外的結構的剖視圖；圖3是表示本發(fā)明液體貯存容器再一種結構的剖視圖；圖4是表示本發(fā)明液體貯存容器與針閥配置的另外的結構的剖視圖；圖5(a)和圖5(b)是表示本發(fā)明針閥的另外的結構的剖視圖；圖6是表示適用于本發(fā)明三維控制器的實施例的立體圖；圖7是在加壓裝置中采用氣缸的本發(fā)明液體定量排出方法及裝置實施例的主要部分剖視圖；圖8是在加壓裝置中采用氣缸的本發(fā)明液體定量排出方法及裝置另外一個實施例的主要部分剖視圖。
如圖1所示，這里的液體貯存容器1由例如可用合成樹脂材料制成的注射器3、與該注射器3外接的保持它用的保持器4，保持器4可從氣注射器缸體3上拆下及裝上。
這樣，將該液體貯存容器1內(nèi)的液體加壓到所需壓力的加壓裝置5擰在安裝于電機6輸出軸上的圓頭螺栓7上，隨著圓頭螺栓7的旋轉(zhuǎn)而升降變位的雌螺紋部件8上通過桿9連接著柱塞10來構成，這里，柱塞10最好液體密閉地內(nèi)接在注射器3上。
另外，在液體貯存容器1上通過液體流通通路12連接的針閥2在直到與流通通路12相連通的排出口13的排出空間14內(nèi)進退變位，它由開閉其排出口13的閥針15，以及進行該閥針15的進退動作，在此的復動型缸體16構成，將閥針15連接在缸體16的活塞17上。
而且，在上述排出口13附近部分圖中表示之處，在朝針閥2的流通通路12的連接部上配置著檢測出該流通通路12內(nèi)液體壓力的壓力傳感器18，同時，設置有將該壓力傳感器18檢測出的信號進行輸入的控制裝置19。
這里所述的控制裝置19根據(jù)壓力傳感器18檢測出的結果將流通通路12內(nèi)，特別是排出口附近部分的液體壓力，在排出停止時，最好是也在排出時，按照預定的特定值的控制電機6的動作，此外，液體的排出時，還具有控制電機6的旋轉(zhuǎn)速度、旋轉(zhuǎn)時間等，同時控制針閥2的切換閥20的動作的功能。
在用上述結構的裝置進行液體的定量排出時，例如，根據(jù)壓力傳感器18檢測出的壓力，驅(qū)動通過控制裝置19驅(qū)動電機6，讓注射器3內(nèi)的柱塞10下降或者上升，由此使液體流通通路12內(nèi)的液體壓力始終穩(wěn)定地維持在作為預定特定值的排出開始的流通通路條件下。
之后，從控制裝置19輸出排出開始信號及排出壓力信號，以電機6的預定速度定速旋轉(zhuǎn)，將注射器3內(nèi)的液體加壓到所需的壓力，同時，將其電機6的動作與時間相配合，讓缸體16的活塞17，進而是閥針15后退變位，打開排出口13，來自該排出口13的液體開始排出。
其中，在該排出持續(xù)比較長的時間的情況下，在該排出的中途也能夠由壓力傳感器18進行壓力檢測，將其結果反饋到電機的動作中，修正旋轉(zhuǎn)速度等，從而提高定量排出的精度。
這樣，按照液體預定量的排出而經(jīng)過預定的時間時，從控制裝置19分別向電機6以及切換閥20輸出排出終結信號，停止電機6的旋轉(zhuǎn)，同時進行針閥2的關閉動作，由此終結了一次的定量排出。
在這種情況下，特別是針閥2的閥針15，不管液體壓力的大小，始終圓滑并且迅速地進行推進動作，機械地關閉排出口13，從而具有卓越的液體切斷性能，同時，實現(xiàn)了排出口13的完全關閉，能夠有效地防止意外泄漏。
圖2是表示液體流通通路另外的結構的剖視圖，它由在液體貯存容器1上部形成貫通柱塞10延伸的液體流通通路12。根據(jù)該液體流通通路12，對于沉淀物多的液體，能夠有效地防止該沉淀物的排出。
圖3是表示柱塞及液體流通通路另外的結構圖，它將柱塞10下面的形狀做得與注射器3底部的形狀相近似。
這樣，柱塞10下降到其下限位置時注射器內(nèi)殘留的空間變小，從而能夠提高液體的耗費效率。另外，根據(jù)圖示，在柱塞10的側部開有液體流通通路12的開口的閥上能夠更容易、有效地進行封入空氣的排出。
圖4是表示液體流通通路再一個結構的剖視圖。
這里，在注射器3的保持器4上設置在分別連通注射器3下端開口與針閥2的液體流通通路12。這樣，通過將液體貯存容器1與針閥2構成一體，可以不需要形成流通通路用的管道，從而能夠防止由于流通通路過長而引起的壓力響應性降低。
圖5(a)和圖5(b)是表示針閥2的另外結構的剖視圖。
該針閥2在排出空間14與復動型缸體16之間，以與缸體16獨立的方式配置著劃分出排出空間14的液體壓力補償活塞21。該活塞21具有這樣的功能，在將加壓流體，例如加壓空氣朝著缸體16一側的室22中供給，而進行推進變位的情況下，排出空間14的容積減小，而在將加壓空氣朝排出空間14一側的室23中供給，而進行后退變位的情況下，排出空間14的容積增大。
因此，由壓力傳感器18檢測出的排出口13附近部分的液體壓力在低于預定值的情況下，通過將該壓力補償活塞21進行若干推進變位，而在高于預定值的情況下，將壓力補償活塞21進行若干后退變位，從而能夠?qū)崿F(xiàn)所期望的流通液體壓力。
因而，通過隨著液體排出的開始的閥針15的后退變位，該閥針15對于因排出空間14內(nèi)所占據(jù)的體積的減小而引起的液體壓力的降低，讓壓力補償活塞21推進，反之，對于由閥針15的推進變位而停止排出時占有體積的增加，通過讓該活塞21后退，能夠有效地吸收細微的壓力變動。
因此，在圖中所示的針閥以及先前所述的針閥中，為了提高排出口13封閉時的液體切斷性，要將排出口13的比閥針15的落座位置更朝下方一側突出的長度盡量做短，在排出口13關閉之后，最好讓該排出口13內(nèi)殘余的液體基本上為零。
這種液體定量排出裝置，在讓作為液體涂布對象物的工件與液體排出時刻等相關聯(lián)下進行適宜的變位的情況下，可以將作為排出閥的針閥2的位置固定以供使用。
這樣，在工件是那種被定位固定在特定位置的工件時，必須將針閥2朝所需要的位置方向移動。
圖6是表示這種情況下的實施例，這里，將針閥2安裝在直角坐標型的三維控制器25上，讓該控制器25根據(jù)來自上述控制裝置19的信號輸出位置信號，控制器26進行動作，從而將針閥2的排出口13處于三維坐標系的所需的位置，這種裝置例如用在傳送帶輸送的工件上，能夠獲得優(yōu)異的涂布效率。
圖7是表示本發(fā)明實施例主要部分的剖視圖部，圖中1表示的是液體貯存容器，2表示的是作為排出閥的針閥。
這里的液體貯存容器1例如由可用合成樹脂材料制成的注射器3，以及外接在注射器3上保持它的保持器4構成，該保持器4按照注射器3的需要而可自由安上及卸下。
將該液體貯存容器1內(nèi)的液體加壓到所需壓力的加壓裝置5在此由具有注射器內(nèi)徑大約2～10倍的孔徑的氣缸27構成，在其活塞9的前端最好安裝與注射器3氣密內(nèi)接的進入到其中的柱塞10。
另外，在液體貯存窗容器1上，將通過液體流通通路12連接的針閥2由連通流通通路12而到達排出口13的排出空間14，在該排出空間14內(nèi)進退變位，開閉其排出口13的閥針15，以及讓該閥針15進退動作的例如復動型缸體16構成，閥針15的后端連接在缸體16的活塞17上。
而且，將可作為復動型的氣缸27和復動型缸體16分別連接在各自的電磁切換閥28、29上，同時，將這些電磁切換閥28、29連接在根據(jù)預定輸入的時間信號進行動作控制的控制裝置30上，另外，將用作朝氣缸16供給及排出加壓空氣的一側電磁切換閥28例如通過手動減壓閥31連接在加壓空氣供給源33上，而將另一側的電磁切換閥29直接連接在空氣供給源33上。
在這種結構的定量排出裝置中，在液體定量排出時，從控制裝置30分別將信號輸出到電磁切換閥28、29中，在氣缸27上供給通過手動減壓閥31設定的空氣壓力，在將柱塞10以所需要的力壓下的同時，將其與時間相配合打開針閥2，加壓到所需壓力的液體通過從排出口13以與其開口面積相關聯(lián)而特定的一定時間排出，使液體的定量排出能夠毫無延遲地以高精度進行。
另一方面，定量排出終了時，根據(jù)從控制裝置30朝電磁切換閥28、29發(fā)出的排出終結信號，停止朝氣缸27供給的加壓空氣，同時，將針閥2的排出口13用閥針15機械地有效關閉。這樣，液體從排出口13的流出由針閥2的關閉而完全停止，從而完全排除了針閥2關閉過程中的液體泄漏。
此外，在這種情況下，針閥2的小尺寸及小體積的閥針15不管液體壓力的大小，始終能夠圓滑且迅速地后退及推進，進行排出口13的開閉，因此能夠?qū)崿F(xiàn)開閉的準確性的同時，實現(xiàn)優(yōu)異的響應性。
圖8是表示本發(fā)明的裝置另外實施例的圖。
它特別是在設置或者不設置液體壓力補償活塞的針閥2的排出口13附近部分，圖中是朝針閥2流入液體的部分上，設置檢測液體壓力的壓力傳感器18，同時，將壓力傳感器18的檢測信號輸入到控制裝置30中，在該控制裝置30中，根據(jù)朝氣缸27的供給壓力，也就是液體壓力的外部設定信號34，設置于加壓空氣供給路徑上的調(diào)壓機構，最好是電動氣壓調(diào)節(jié)器32上，輸出對上述檢測信號相對應的壓力調(diào)整信號來構成的。
在該裝置中的液體定量排出中的壓力變動被壓力傳感器18檢測出來的情況下，通過電動氣壓調(diào)節(jié)器32的動作，來調(diào)整朝氣缸16的供給壓力，從而將液體壓力的變動能夠根據(jù)外部設定的信號34自動進行補正。
除此之外，在外部設定信號其本身變更的情況下，可以將供給到針閥2上的液體壓力按照需要進行變更。
權利要求
1．一種液體定量排出方法，其特征在于在從液體貯存容器經(jīng)排出閥將液體定量排出時，為了從排出口的液體排出流速形成一定的方式，對從液體貯存容器供給到排出閥的液體壓力進行控制，同時，機械地開閉排出口。
2．如權利要求1所述的液體定量排出方法，其特征在于通過對貯存在液體貯存容器中的液體壓力進行控制，從而對從液體貯存容器中供給到排出閥的液體壓力進行控制。
3．如權利要求1所述的液體定量排出方法，其特征在于對貯存在液體貯存容器中的液體減少速度進行控制，通過控制其液體的壓力，從而對從液體貯存容器中供給到排出閥的液體壓力進行控制。
4．如權利要求1所述的液體定量排出方法，其特征在于將貯存在液體貯存容器中的液體減少速度恒定或者可變地進行控制，通過控制這種液體壓力，從而對從液體貯存容器中供給到排出閥的液體壓力進行控制。
5．一種液體定量排出裝置，具有液體貯存容器內(nèi)的液體的加壓裝置，以及與液體貯存容器相連通的排出閥等結構的一種從液體貯存容器經(jīng)排出閥將液體定量排出的裝置，其特征在于上述排出閥具有機械開閉排出口的結構，而且，設置有控制上述加壓裝置以及排出閥的動作的動作控制裝置。
6．如權利要求5所述的液體定量排出裝置，其特征在于上述加壓裝置是將貯存在液體貯存容器中的液體以對應于其粘度的壓力進行加壓。
7．如權利要求5所述的液體定量排出裝置，其特征在于上述加壓裝置由具有比對其加壓的液體貯存容器的內(nèi)徑足夠大的孔徑的氣缸，和精密地配置在貯存的液體中的推壓部件構成。
8．如權利要求5所述的液體定量排出裝置，其特征在于上述加壓裝置由具有比對其加壓的液體貯存容器的內(nèi)徑足夠大的孔徑的氣缸，和精密地配置在貯存液體中的推壓部件構成，同時，上述動作控制裝置由檢測出排出口附近液體壓力的壓力傳感器，以及根據(jù)來自壓力傳感器的信號使上述加壓裝置進行運作。
9．如權利要求5所述的液體定量排出裝置，其特征在于上述加壓裝置由用來使朝液體貯存容器內(nèi)進入的柱塞進退變位的氣缸構成，同時，將該氣缸的孔徑做得比液體貯存容器的內(nèi)徑還要大。
10．如權利要求5所述的液體定量排出裝置，其特征在于上述加壓裝置由用來使朝液體貯存容器內(nèi)進入的柱塞進退變位的氣缸構成，同時，將該氣缸的孔徑做得比液體貯存容器的內(nèi)徑還要大，而且，上述動作控制裝置由檢測出排出口附近液體壓力的壓力傳感器，以及根據(jù)來自壓力傳感器的信號調(diào)整供向氣缸的供給壓力的調(diào)壓機構構成。
11．如權利要求5所述的液體定量排出裝置，其特征在于上述加壓裝置由用來使朝液體貯存容器內(nèi)進入的柱塞進退變位的氣缸構成，同時，將該氣缸的孔徑做得比液體貯存容器的內(nèi)徑還要大，而且，上述動作控制裝置由檢測出排出口附近液體壓力的壓力傳感器，以及根據(jù)來自壓力傳感器的信號調(diào)整供向氣缸的供給壓力的電動氣壓調(diào)節(jié)器構成。
12．如權利要求5所述的液體定量排出裝置，其特征在于上述排出閥是針閥。
13．如權利要求5所述的液體定量排出裝置，其特征在于上述排出閥是設置有液體壓力補償活塞的針閥。
14．如權利要求5所述的液體定量排出裝置，其特征在于在液體貯存容器與排出閥之間的液體流通通路上設置有貫通柱塞的朝上的部分。
15．如權利要求5所述的液體定量排出裝置，其特征在于排出閥設置在三維立體方向變位的控制器上。
16．如權利要求5所述的液體定量排出裝置，其特征在于還設置有同時進行加壓裝置的控制、排出閥的控制、讓排出閥在三維立體方向變位的控制器控制用的控制部。
全文摘要
一種以機械方式開閉排出閥的排出口不會讓填料破壞,排出停止時提高液體切斷性,且可有效防止液體泄漏的液體排出方法及裝置。其是從液體貯存容器經(jīng)排出閥將液體定量排出時,相應于排出閥的排出口附近部分的液體壓力,對從液體貯存容器供給到排出閥的液體壓力進行控制并機械地開閉排出口。而且,在從液體貯存容器經(jīng)排出閥將液體定量排出的裝置中,其液體貯存容器帶有將貯存的液體對應于其粘度施加壓力的加壓裝置,與該液體貯存容器連通設置的排出閥具有機械開閉排出口的結構。
文檔編號B05C5/02GK1324274SQ99812371
公開日2001年11月28日 申請日期1999年10月6日 優(yōu)先權日1998年10月23日
發(fā)明者生島和正 申請人:武藏工業(yè)株式會社