等離子體處理檢測(cè)用墨液組合物及等離子體處理檢測(cè)指示器的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及等離子體處理檢測(cè)用墨液組合物及使用其的等離子體處理檢測(cè)指示 器。另外，本說(shuō)明書(shū)中的等離子體處理是指利用了通過(guò)使用等離子體產(chǎn)生用氣體并施加交 流電壓、脈沖電壓、高頻、微波等而產(chǎn)生的等離子體的等離子體處理，減壓等離子體及大氣 壓等離子體這兩者符合。
【背景技術(shù)】
[0002] 醫(yī)院、研究所等中使用的各種器材、器具等為了消毒及殺菌而實(shí)施滅菌處理。作為 該滅菌處理之一，已知有等離子體滅菌處理（例如，非專利文獻(xiàn)1的"3. 3. 1使用了低壓力 放電等離子體的滅菌實(shí)驗(yàn)"欄）。
[0003] 詳細(xì)而言，等離子體滅菌處理是在等離子體產(chǎn)生用氣體氣氛下產(chǎn)生等離子體并利 用低溫氣體等離子體對(duì)器材、器具等進(jìn)行滅菌的處理，從可以進(jìn)行低溫滅菌處理的方面考 慮是有利的。
[0004] 此外，等離子體處理不僅用于滅菌處理，還用于半導(dǎo)體元件的制造工序中的等離 子體干式蝕刻及電子部件等被處理物的表面的等離子體洗滌。
[0005] 等離子體干式蝕刻通常對(duì)配置于作為真空容器的反應(yīng)腔室內(nèi)的電極施加高頻電 力，將導(dǎo)入至反應(yīng)腔室內(nèi)的等離子體產(chǎn)生用氣體等離子體化而對(duì)半導(dǎo)體晶圓以高精度進(jìn)行 蝕刻。此外，等離子體洗滌通過(guò)將在電子部件等被處理物的表面析出或附著的金屬氧化物、 有機(jī)物、毛刺卩）等除去來(lái)改善焊接性或軟釬料的潤(rùn)濕性而提高粘接強(qiáng)度，或者改善與 密封樹(shù)脂的密合性或潤(rùn)濕性。
[0006] 作為檢測(cè)這些等離子體處理的終點(diǎn)的方法，例如在專利文獻(xiàn)1中記載了"一種等 離子體干式蝕刻的終點(diǎn)檢測(cè)方法，其特征在于，其使用了通過(guò)使來(lái)自氣體等離子體中的發(fā) 光光譜在波長(zhǎng)范圍300~650nm的光電培增管所具有的波長(zhǎng)頻帶下全部受光而得到的發(fā)光 光譜強(qiáng)度曲線。"。
[0007] 此外，在專利文獻(xiàn)2中記載了"一種等離子體處理的終點(diǎn)檢測(cè)方法，其特征在于， 其包括以下工序：使用僅使某一特定波長(zhǎng)區(qū)域選擇性透射的帶通濾波器中監(jiān)視的來(lái)自等離 子體光源的入射角度發(fā)生變化的入射角變化單元使透射波長(zhǎng)發(fā)生變化的透射工序；利用檢 測(cè)器檢測(cè)該透射工序中透射的分光的檢測(cè)工序；通過(guò)輸入該檢測(cè)工序的來(lái)自檢測(cè)器的檢測(cè) 輸出及上述透射工序的入射角變化單元的角度輸出，利用具備波長(zhǎng)轉(zhuǎn)換單元、輸出補(bǔ)正單 元的演算輸出裝置對(duì)反應(yīng)中和反應(yīng)前進(jìn)行比較演算，在輸出裝置中輸出等離子體處理的終 點(diǎn)的演算輸出工序，其中，所述波長(zhǎng)轉(zhuǎn)換單元是按照達(dá)到即使入射角度發(fā)生變化而透射波 長(zhǎng)的檢測(cè)輸出也不會(huì)使入射角度發(fā)生變化的情況下得到的值的方式進(jìn)行的。"。
[0008] 這些以往的終點(diǎn)檢測(cè)方法需要發(fā)光光譜的解析裝置、演算輸出裝置等裝置，并且 難以對(duì)經(jīng)等離子體處理的被處理物各自進(jìn)行個(gè)別檢測(cè)。因而，期望開(kāi)發(fā)不需要大型的裝置 的簡(jiǎn)便的方法，并且可以對(duì)被處理物各自個(gè)別檢測(cè)等離子體處理的完成的技術(shù)。
[0009] 現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0010] 專利文獻(xiàn)
[0011] 專利文獻(xiàn)1 :日本特開(kāi)平6-069165號(hào)公報(bào)
[0012] 專利文獻(xiàn)2 :日本特開(kāi)2004-146738號(hào)公報(bào)
[0013] 非專利文獻(xiàn)
[0014]非專利文獻(xiàn) 1:JournalofPlasmaandFusionResearchVol. 83,No. 7July2007

【發(fā)明內(nèi)容】

[0015] 發(fā)明所要解決的課題
[0016] 本發(fā)明的主要目的在于提供不需要大型的裝置、能夠?qū)Ρ惶幚砦锔髯詡€(gè)別檢測(cè)等 離子體處理的完成的墨液組合物及使用其的指示器。
[0017] 用于解決課題的方案
[0018] 本發(fā)明人為了達(dá)成上述目的反復(fù)進(jìn)行了深入研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)，通過(guò)采用特定組成 的墨液組合物可以達(dá)成上述目的，從而完成本發(fā)明。
[0019]S卩，本發(fā)明涉及下述的等離子體處理檢測(cè)用墨液組合物及等離子體處理檢測(cè)指示 器。
[0020] 1. -種墨液組合物，其是含有色素及非離子系表面活性劑的等離子體處理檢測(cè)用 墨液組合物，
[0021] (1)上述色素為選自由蒽醌系色素、次甲基系色素、偶氮系色素、酞菁系色素、三苯 基甲烷系色素及咕噸系色素組成的組中的至少1種，
[0022] (2)上述非離子系表面活性劑為通式⑴~（V)所示的非離子系表面活性劑中的 至少1種，
[0023][化學(xué)式1]
[0024] (I) RrX-(A0)n-R2
[0028] (V) R「X-(A0)p-R2-C三C-R3=X-(AO)q_R4
[0029] 〔其中，上述通式中，4分別獨(dú)立地表示氫、碳原子數(shù)為1~30的直鏈 或支鏈的脂肪族烴基。X表示氧或酯鍵。A0表示來(lái)自環(huán)氧烷烴的重復(fù)單元。η表示1~200 的整數(shù)。a+b+c表示3~200的整數(shù)。p+q表示0~20的整數(shù)?！场?br>[0030] 2.根據(jù)上述項(xiàng)1所述的墨液組合物，其還含有粘合劑樹(shù)脂及增量劑中的至少1種。
[0031] 3.根據(jù)上述項(xiàng)2所述的墨液組合物，其中，上述粘合劑樹(shù)脂的一部分或全部為含 氮高分子。
[0032] 4.根據(jù)上述項(xiàng)3所述的墨液組合物，其中，上述含氮高分子的一部分或全部為聚 酰胺樹(shù)脂。
[0033] 5.上述項(xiàng)2所述的墨液組合物，其中，上述粘合劑樹(shù)脂的一部分或全部為酚醛系 樹(shù)脂。
[0034] 6.根據(jù)上述項(xiàng)2~5中任一項(xiàng)所述的墨液組合物，其中，上述增量劑的一部分或全 部為二氧化娃。
[0035] 7.根據(jù)上述項(xiàng)1~6中任一項(xiàng)所述的墨液組合物，其還含有在上述等離子體處理 氣氛下不變色的色素成分中的至少1種。
[0036] 8. -種等離子體處理檢測(cè)指示器，其包含變色層，所述變色層含有上述項(xiàng)1~7中 任一項(xiàng)所述的墨液組合物。
[0037]9.根據(jù)上述項(xiàng)8所述的指示器，其還含有在上述等離子體處理氣氛下不變色的非 變色層。
[0038]10.根據(jù)上述項(xiàng)8或9所述的指示器，其中，上述變色層的形狀為條型碼的形狀。
[0039]11.根據(jù)上述項(xiàng)10所述的指示器，其中，通過(guò)在等離子體處理環(huán)境下上述變色層 發(fā)生變色而能夠利用條型碼閱讀器進(jìn)行讀取來(lái)進(jìn)行等離子體處理管理。
[0040] 12.-種等離子體處理用包裝體，其在透氣性包裝體的內(nèi)表面設(shè)置有上述項(xiàng)8~ 11中任一項(xiàng)所述的指示器。
[0041]13.根據(jù)上述項(xiàng)12所述的包裝體，其中，按照能夠從外部確認(rèn)上述指示器的方式， 在包裝體的一部分中設(shè)置有透明窗部。
[0042]14.一種等離子體處理方法，其具有以下工序：在上述項(xiàng)12或13所述的包裝體中 裝填被處理物的工序；將裝填有被處理物的包裝體密封的工序；以及將該包裝體放置在上 述等離子體處理氣氛下的工序。
[0043]15.根據(jù)上述項(xiàng)14所述的處理方法，其中，在上述等離子體處理氣氛下放置包裝 體直到上述指示器的變色層發(fā)生變色為止。
[0044] 16.-種描繪工具，其填充有上述項(xiàng)1~7中任一項(xiàng)所述的墨液組合物。
[0045] 以下，對(duì)本發(fā)明的等離子體處理檢測(cè)用墨液組合物及等離子體處理檢測(cè)指示器進(jìn) 行詳細(xì)說(shuō)明。
[0046] 1.等離子體處理檢測(cè)用墨液組合物
[0047] 本發(fā)明的等離子體處理檢測(cè)用墨液組合物（以下，也簡(jiǎn)稱為"墨液組合物"）的特 征在于，其含有色素及非離子系表面活性劑，
[0048] (1)上述色素為選自由蒽醌系色素、次甲基系色素、偶氮系色素及酞菁系色素組成 的組中的至少1種，
[0049] (2)上述非離子系表面活性劑為通式⑴~（V)所示的非離子系表面活性劑中的 至少1種，
[0050][化學(xué)式2]
[0051] (I) RrX-(A0) n-R2
[0055] (V) R「X-(A0)p-R2-C三C-R3= X-(AO) q_R4
[0056]〔其中，上述通式中，1^、1?2、1?3及1?4分別獨(dú)立地表示氫、碳原子數(shù)為1~30的直鏈 或支鏈的脂肪族烴基。X表示氧或酯鍵。AO表示來(lái)自環(huán)氧烷烴的重復(fù)單元。n表示1~200 的整數(shù)。a+b+c表示3~200的整數(shù)。p+q表示0~20的整數(shù)?！?。
[0057] 著色劑（色素）
[0058] 本發(fā)明的墨液組合物使用選自由蒽醌系色素、次甲基色素、偶氮系色素及酞菁系 色素組成的組中的至少1種作為著色劑（也稱為色素、變色色素）。
[0059] 蒽醌系色素只要是以蒽醌為基本骨架的色素則沒(méi)有限定，也可以使用公知的蒽醌 系分散染料等。特別優(yōu)選具有氨基的蒽醌系色素。更優(yōu)選為具有伯氨基及仲氨基中的至少 1種氨基的蒽醌系色素。該情況下，各氨基也可以具有2個(gè)以上，它們可以彼此相同或不同。
[0060] 更具體而言，可列舉出例如1，4-二氨基蒽醌（C.I.分散紫1)、1-氨基-4-羥 基-2-甲基氨基蒽醌（C.I.分散紅4)、1-氨基-4-甲基氨基蒽醌（C.I.分散紫4)、1，4-二氨 基-2-甲氧基蒽醌（C.I.分散紅11)、1-氨基-2-甲基蒽醌（C.I.分散橙11)、1-氨基-4-羥 基蒽醌（C.I.分散紅15)、1，4, 5, 8-四氨基蒽醌（C.I.分散藍(lán)1)、1，4-二氨基-5-硝基蒽 醌（C.I.分散紫8)等（括弧內(nèi)為顏色索引名）。
[0061] 除此以外，還可以使用作為C.I.溶劑藍(lán)14、C.I.溶劑藍(lán)35、C.I.溶劑藍(lán)63、 C.I.溶劑紫13、C.I.溶劑紫14、C.I.溶劑紅52、C.I.溶劑紅114、C.I.還原藍(lán)21、C.I.還 原藍(lán)30、C.I.還原紫15、C.I.還原紫17、C.I.還原紅19、C.I.還原紅28、C.I.酸性藍(lán)23、 C.I.酸性藍(lán)80、C.I.酸性紫43、C.I.酸性紫48、C.I.酸性紅81、C.I.酸性紅83、C.I.活 性藍(lán)4、C.I.活性藍(lán)19、C.I.分散藍(lán)7等已知的色素。
[0062] 這些蒽醌系色素可以單獨(dú)使用或?qū)?種以上并用。這些蒽醌系色素中，優(yōu)選C.I 分散藍(lán)7、C.I分散紫1等。此外，本發(fā)明中，也可以通過(guò)改變這些蒽醌系色素的種類(lèi)（分子 結(jié)構(gòu)等）來(lái)進(jìn)行檢測(cè)靈敏度的控制。