專利名稱：行進(jìn)車系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及載置收容基板的基板盒而在環(huán)狀的軌道上循環(huán)行進(jìn)的行進(jìn)車系統(tǒng)。本 申請(qǐng)基于2009年3月30日在日本提出申請(qǐng)的特愿2009-081661號(hào)及2009年3月30日在 日本提出申請(qǐng)的特愿2009-081662號(hào)主張優(yōu)先權(quán)，這里引用其內(nèi)容。
背景技術(shù)：
以往，已知有沿著軌道配置有對(duì)在軌道上行進(jìn)的行進(jìn)車進(jìn)行輸送物的取放的輸 送物保管擱板的行進(jìn)車系統(tǒng)(例如參照特開平10-273204號(hào)公報(bào))、以及為了對(duì)處理輸 送物的處理裝置移載輸送物而設(shè)有行進(jìn)車能夠進(jìn)入的泊位的行進(jìn)車系統(tǒng)(例如參照特開 2001-341640 號(hào)公報(bào))。在有關(guān)特開平10-273204號(hào)公報(bào)的行進(jìn)車系統(tǒng)中，在環(huán)狀軌道的中央的內(nèi)部設(shè)有 供給站，并且沿著環(huán)狀的軌道的側(cè)面配置有保管擱板，從兩側(cè)將輸送物移載到在行進(jìn)軌道 上行進(jìn)的行進(jìn)車上。此外，在有關(guān)特開2001-341640號(hào)公報(bào)的行進(jìn)車系統(tǒng)中，在軌道的外側(cè)設(shè)置用來 將行進(jìn)車?？吭谔幚硌b置上的泊位，在進(jìn)入到泊位中的行進(jìn)車與處理裝置之間進(jìn)行輸送物 的裝載、卸載。在有關(guān)特開平10-273204號(hào)公報(bào)的行進(jìn)車系統(tǒng)中，保管擱板(立體自動(dòng)倉庫)構(gòu) 成為高層建筑物。因此，輸送物的收容能力較大，但在從保管擱板的保管部取放輸送物時(shí)使 用堆裝起重機(jī)。因而，有關(guān)特開平10-273204號(hào)公報(bào)的行進(jìn)車系統(tǒng)不僅在輸送物的取放中花費(fèi) 時(shí)間，而且不具備臨時(shí)保管輸送物的緩沖功能，所以輸送效率降低。此外，在有關(guān)特開平 10-273204號(hào)公報(bào)的行進(jìn)車系統(tǒng)中，保管擱板多級(jí)、多聯(lián)地構(gòu)成，但由于保管擱板與行進(jìn)車 單獨(dú)地構(gòu)成，所以具有輸送效率變差的問題。此外，在有關(guān)特開2001-341640號(hào)公報(bào)的行進(jìn)車系統(tǒng)中，在軌道的外側(cè)，設(shè)有用來 將行進(jìn)車停靠在處理裝置的裝載、卸載位置的泊位(空間)。因此，在有關(guān)特開2001-341640 號(hào)公報(bào)的行進(jìn)車系統(tǒng)中，對(duì)行進(jìn)車的移載花費(fèi)時(shí)間，具有行進(jìn)車的輸送效率降低的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述情況而做出的，目的是提供一種能夠提高設(shè)備的省空間化和無 人行進(jìn)臺(tái)車的輸送效率的行進(jìn)車系統(tǒng)。有關(guān)本發(fā)明的第1技術(shù)方案為了解決上述問題而具備以下的機(jī)構(gòu)。第1技術(shù)方案具備基板處理裝置，實(shí)施基板的保管或規(guī)定的處理；無人行進(jìn)臺(tái) 車，具有使上述基板在收容在基板盒中的狀態(tài)下沿上下方向升降的升降部以及將上述基板 盒朝向上述基板處理裝置水平移動(dòng)的水平移動(dòng)部，將上述基板盒沿著朝向上述基板處理裝 置設(shè)置的軌道輸送；基板盒保管部，在上述軌道的上方保持并保管基板盒。有關(guān)本發(fā)明的第2技術(shù)方案在上述第1技術(shù)方案中，上述無人行進(jìn)臺(tái)車在上述升降部及上述水平移動(dòng)部的上方具備保管上述基板盒的臺(tái)車上基板盒保管部。根據(jù)本發(fā)明，由于在軌道上方設(shè)有基板盒保管部，所以能夠?qū)崿F(xiàn)行進(jìn)車系統(tǒng)整體 的省空間化。進(jìn)而，能夠縮短基板盒相對(duì)于行進(jìn)車的移載時(shí)間、提高無人行進(jìn)臺(tái)車的輸送效 率及準(zhǔn)備時(shí)間。此外，根據(jù)本發(fā)明，在上述基板盒上設(shè)有被保持部件，在上述基板盒保管部上設(shè)有 卡合到上述被保持部件上的保持部件。由此，能夠容易且可靠地將基板盒載置到基板盒保管部上。此外，根據(jù)本發(fā)明，上述保持部件能夠沿上下方向或水平方向移動(dòng)而構(gòu)成。由此，能夠容易或高效率地將基板盒保持到基板盒保管部上。此外，根據(jù)本發(fā)明，使上述無人行進(jìn)臺(tái)車在上述基板盒保管部的下方停止；使上述 升降部與上述水平移動(dòng)部協(xié)同動(dòng)作，將上述基板盒保持在上述基板盒保管部上。此外，根據(jù)本發(fā)明，使上述無人行進(jìn)臺(tái)車的行進(jìn)部與上述升降部協(xié)同動(dòng)作，將基板 盒保持在上述基板盒保管部上。此外，根據(jù)本發(fā)明，上述基板盒可多級(jí)堆疊地構(gòu)成。由此，根據(jù)本發(fā)明，能夠進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)行進(jìn)車系統(tǒng)整體的省空間化。此外，根據(jù)本發(fā)明，卡合到上述被保持部件上的保持部件設(shè)在上述臺(tái)車上基板盒 保管部上。由此，能夠容易且可靠地將基板盒載置到臺(tái)車上基板盒保管部上。此外，上述保持部件能夠沿上下方向或水平方向移動(dòng)而構(gòu)成。由此，能夠容易或高效率地將基板盒保持在臺(tái)車上基板盒保管部上。此外，根據(jù)本發(fā)明，將沒有收容上述基板的空的基板盒保持在上述臺(tái)車上基板盒 保管部上。由此，能夠?qū)崿F(xiàn)行進(jìn)車系統(tǒng)整體的高效率的運(yùn)用。


圖1是表示有關(guān)本發(fā)明的第1實(shí)施方式的行進(jìn)車系統(tǒng)的整體結(jié)構(gòu)的概略圖。圖2A至圖2C是表示有關(guān)該系統(tǒng)的基板盒的圖。圖3是表示有關(guān)該系統(tǒng)的無人行進(jìn)臺(tái)車與基板盒保管部的關(guān)系的主視圖。圖4是表示有關(guān)該系統(tǒng)的無人行進(jìn)臺(tái)車與基板盒保管部的關(guān)系的側(cè)視圖。圖5是表示有關(guān)該系統(tǒng)的無人行進(jìn)臺(tái)車與基板盒保管部的關(guān)系的俯視圖。圖6A至圖6D是在該系統(tǒng)中將基板盒移載到基板盒保管部的動(dòng)作的說明圖。圖7是表示有關(guān)該系統(tǒng)的基板盒保管部的變形例的主視圖。圖8是有關(guān)圖7的基板盒保管部的側(cè)視圖。圖9是有關(guān)圖7的基板盒保管部的俯視圖。圖10是表示有關(guān)本發(fā)明的第2實(shí)施方式的行進(jìn)車系統(tǒng)中的無人行進(jìn)臺(tái)車的概略 結(jié)構(gòu)的主視圖。圖11是表示有關(guān)圖10的無人行進(jìn)臺(tái)車的概略結(jié)構(gòu)的俯視圖。圖12是在該系統(tǒng)中將基板盒卸載到緩沖部(臺(tái)車上基板盒保管部)上的動(dòng)作的 說明圖。圖13是接著圖12的動(dòng)作的說明圖。
圖14是接著圖13的動(dòng)作的說明圖。圖15是接著圖14的動(dòng)作的說明圖。
具體實(shí)施例方式以下，參照附圖對(duì)有關(guān)本發(fā)明的行進(jìn)車系統(tǒng)A的第1實(shí)施方式進(jìn)行說明。如圖1所示，鋪設(shè)有用來導(dǎo)引行進(jìn)有軌道無人行進(jìn)臺(tái)車(以下稱作臺(tái)車AG)的環(huán) 狀的軌道L。該軌道L由緩沖側(cè)軌道LA、處理側(cè)軌道LB、和將兩軌道LA、LB的兩末端間連 接的一對(duì)連接軌道SL構(gòu)成為環(huán)狀。并且，臺(tái)車AG在上述環(huán)狀的軌道L上循環(huán)行進(jìn)。在緩沖側(cè)軌道LA的兩側(cè)(兼作為處理側(cè)軌道LB的單側(cè))，配設(shè)有臨時(shí)保管成為輸 送物的基板盒1的緩沖部ST1、ST2。緩沖部ST1、ST2由一級(jí)或多級(jí)的擱板構(gòu)成。并且，在 緩沖部ST1、ST2中保管基板盒1。另一方面，在處理側(cè)軌道LB的剩下的單側(cè)，相鄰配設(shè)有例如對(duì)玻璃板等基板G進(jìn) 行清洗處理的基板處理裝置R1、和例如對(duì)基板G進(jìn)行涂層處理的基板處理裝置R2。在兩軌道LA、LB的末端上，分別可往復(fù)行進(jìn)地配設(shè)有用來移載臺(tái)車AG的移車臺(tái)T。 并且，在移車臺(tái)T的載置面上設(shè)有與兩軌道LA、LB相同高度的軌道。在基板處理裝置R1、R2上，在面對(duì)處理側(cè)軌道LB的一側(cè)，配設(shè)有接納臺(tái)車AG內(nèi)的 收容有未處理的基板G的基板盒1的兩個(gè)裝載站LS、和將收容有已處理的基板G的基板盒 1向臺(tái)車AG側(cè)送出的卸載站ULS。此外，在基板處理裝置Rl、R2上，分別連接著用來在與載置于裝載站LS及卸載站 ULS上的基板盒1之間將基板G —片片送入、送出的送入輸送機(jī)LC和送出輸送機(jī)ULC。臺(tái)車AG具有四個(gè)車輪4，由載置后述的基板盒1并在軌道L上行進(jìn)的臺(tái)車主體(行 進(jìn)部)11、使載置在臺(tái)車主體11上的基板盒1沿上下方向升降的升降機(jī)(升降部)10、和為 了使基板盒1沿正交于軌道LA、LB的方向水平移動(dòng)而成為一體并驅(qū)動(dòng)的一對(duì)叉(水平移動(dòng) 部)8a、8b構(gòu)成。在環(huán)狀的軌道L上，配置有多臺(tái)(在圖1的例子中是5臺(tái))臺(tái)車AG。這些臺(tái)車AG 都具有相同的構(gòu)造。接著，對(duì)由臺(tái)車AG輸送的基板盒1進(jìn)行說明。基板盒1構(gòu)成為，能夠保管多片(5 6片)例如玻璃基板等基板G?；搴?如圖2A所示，由具有取放基板G的開口部2的扁平型長方體構(gòu)成為箱形。 基板盒1通過由前框FFL、側(cè)框SFL、后框BFL和中間梁部件3形成的一對(duì)框體、配置在一對(duì) 框體的四角上而將一對(duì)框體連結(jié)的支柱(未圖示)、粘貼在開口部2以外的外周上的兩側(cè)板 SP、和頂板TP構(gòu)成?；搴?的下面如圖2B所示，為不設(shè)置底板而側(cè)框SFL、前框FFL、后框BFL及梁 部件3露出的開放構(gòu)造。在基板盒1的內(nèi)部，在對(duì)置的兩側(cè)框SFL間沿橫向張?jiān)O(shè)有金屬線 W,并且該金屬線W沿前后方向以一定間隔配置有多根。并且，多根金屬線W每規(guī)定間隔保 持多片(5 6片)基板G。在基板盒1的兩側(cè)板SP上，一對(duì)寬度較窄的爪片N在上端的前后部位處相互離開 間隔而從4個(gè)部位分別水平突設(shè)。另外，爪片N也可以形成為寬度較寬的爪片N。在此情況下，爪片N從基板盒1的兩側(cè)板SP的中央上端分別水平地突設(shè)。接著，對(duì)配設(shè)在軌道LA(LB)的上方的基板盒保管部BF1進(jìn)行說明。在臺(tái)車AG循環(huán)行進(jìn)的軌道LA(LB)的上方，連續(xù)設(shè)置有多個(gè)基板盒保管部(以下 稱作緩沖部BF1)。緩沖部BF 1由沿著軌道LA、LB的側(cè)面以規(guī)定間隔立設(shè)在地面F上的多個(gè)支柱5、 從支柱5朝向緩沖側(cè)軌道LA的上方水平延伸的支承臂6、和從支承臂6的前后兩側(cè)4個(gè)部 位朝向行進(jìn)方向突出的保持片K1構(gòu)成。緩沖部BF1由支柱5和支承臂6形成為倒L字形。并且，支承臂6設(shè)定為與載置 在臺(tái)車AG上的基板盒1不干涉的高度。接著，參照?qǐng)D6，對(duì)將臺(tái)車AG上的基板盒1移載到軌道LA(LB)上方的緩沖部BF1 上的動(dòng)作進(jìn)行說明。首先，如圖6A所示，載置有基板盒1的臺(tái)車AG在軌道LA上行進(jìn)，在緩沖部BF1的 下方停止。更正確地講，在臺(tái)車AG的行進(jìn)方向上，在載置于臺(tái)車AG上的基板盒1的爪片N 與緩沖部BF1的保持片K1 一致的位置上臺(tái)車AG停止。接著，如圖6B所示，通過使臺(tái)車AG的升降機(jī)10啟動(dòng)，使叉8a、8b上的基板盒1上 升到比緩沖部BF1的保持片K1稍稍靠上方。在此狀態(tài)下，支承臂6的保持片K1位于緩沖側(cè)軌道LA的單側(cè)(在圖6B中是右 側(cè))。因此，即使使基板盒1向垂直上方上升，也能夠避免與基板盒1的爪片N的干涉。進(jìn)而，如圖6C所示，叉8a、8b伸長到緩沖側(cè)軌道LA的單側(cè)，將基板盒1的爪片N 在緩沖部BF1的保持片K1上定位。最后，如圖6D所示，使升降機(jī)10下降。由此，臺(tái)車AG上的基板盒1被移載到緩沖 側(cè)軌道LA上方的緩沖部BF1上。接著，使升降機(jī)10及叉8a、8b回到初始位置。另外，在將載置于緩沖部BF1上的基板盒1移載到臺(tái)車AG上的情況下，只要以相 反的順序進(jìn)行上述動(dòng)作就可以。這樣，有關(guān)本實(shí)施方式的行進(jìn)車系統(tǒng)A由于在軌道LA (LB)的上方具備緩沖部BF1， 所以能夠?qū)崿F(xiàn)行進(jìn)車系統(tǒng)A整體的省空間化。由此，基板盒1相對(duì)于臺(tái)車AG的移載時(shí)間縮 短，臺(tái)車AG的工作效率及準(zhǔn)備時(shí)間(lead time)提高。此外，通過使用臺(tái)車AG具有的升降機(jī)10和叉8a、8b，能夠容易地將基板盒1載置 到緩沖部BF1上。因此，不需要特別的設(shè)備，能夠?qū)崿F(xiàn)行進(jìn)車系統(tǒng)A的低成本化。接著，參照?qǐng)D7 圖9，對(duì)基板盒保管部的變形例進(jìn)行說明。如圖7 圖9所示，緩沖部BF2相對(duì)于緩沖部BF1具有使與基板盒1的卡止位置 旋轉(zhuǎn)了 90度的構(gòu)造。g卩，緩沖部BF2具備沿著緩沖側(cè)軌道LA的兩外側(cè)立設(shè)在前后的地面F上的未圖示 的支柱、和與緩沖側(cè)軌道LA平行地設(shè)在該支柱的為規(guī)定高度位置的上部的橫框12a、12b。 并且，在這些兩橫框12a、12b的內(nèi)側(cè)，前后離開間隔而對(duì)置配置有朝向緩沖側(cè)軌道LA水平 地突設(shè)的保持片K2。另一方面，在載置于臺(tái)車AG上的基板盒1上，寬度較窄的爪片M在基板盒1上端 的左右部位上與緩沖部的保持片K2以相同間隔離開間隔而分別水平地突設(shè)。即，爪片M與上述爪片N不同，相對(duì)于輸送方向設(shè)在左右的面上。接著，參照?qǐng)D7 圖9，對(duì)將臺(tái)車AG上的基板盒1移載到軌道LA(LB)的上方的緩 沖部BF2上的動(dòng)作進(jìn)行說明。首先，臺(tái)車AG行進(jìn)到緩沖部BF2的正下方而停止。更正確地講，在臺(tái)車AG的行進(jìn) 方向上，在基板盒1的爪片M與緩沖部BF2的保持片K1不一致的地方，臺(tái)車AG停止(參照 圖8、圖9)。接著，通過驅(qū)動(dòng)臺(tái)車AG的升降機(jī)10，基板盒1上升移動(dòng)。接著，在爪片N上升到比保持片K1高的位置之后，臺(tái)車AG在緩沖側(cè)軌道LA上移 動(dòng)到爪片M與保持片K1在上下方向上重疊的位置。即，臺(tái)車AG稍稍向行進(jìn)方向移動(dòng)而停止。最后，使升降機(jī)10下降。由此，使爪片M分別卡止在保持片K1上，將基板盒1保 管在緩沖部BF2中。這樣，在使用緩沖部BF2的情況下，通過使用臺(tái)車AG的升降機(jī)10和行進(jìn)部11，能 夠?qū)⑴_(tái)車AG上的基板盒1卡止在緩沖部BF2上而保管。接著，對(duì)有關(guān)本發(fā)明的行進(jìn)車系統(tǒng)A的第2實(shí)施方式進(jìn)行說明。在本實(shí)施方式中，在第1實(shí)施方式的系統(tǒng)中，在臺(tái)車主體11的上方設(shè)有臨時(shí)保管 基板盒1的緩沖部BF。另外，在有關(guān)本實(shí)施方式的臺(tái)車中，由于基板盒1、爪部N、車輪4、臺(tái)車主體(行進(jìn) 部)11、升降機(jī)(升降部)10、叉(水平移動(dòng)部)8a、8b是與上述第1實(shí)施方式同樣的構(gòu)造， 所以省略說明。首先，參照?qǐng)D10、圖11對(duì)有關(guān)本實(shí)施方式的臺(tái)車AG進(jìn)行說明。在臺(tái)車主體11的上方，設(shè)有臨時(shí)保管基板盒1的緩沖部BF。S卩，在臺(tái)車AG的升降機(jī)10及叉8a、8b的上面上能夠載置基板盒1。進(jìn)而，在比升 降機(jī)10及叉8a、8b靠上方也能夠通過緩沖部BF載置基板盒1。緩沖部BF由立設(shè)在臺(tái)車主體11的行進(jìn)方向前后端部上的一對(duì)支承壁14a、14b、和 從支承壁14a、14b的對(duì)置面分別朝向內(nèi)方水平地突設(shè)的保持片K構(gòu)成。保持片K設(shè)在支承壁14a、14b的各自的寬度方向的兩端上。此外，4個(gè)保持片K設(shè) 在相同高度的位置上。具體而言，如圖10所示，4個(gè)保持片K在使升降機(jī)10降低的狀態(tài)下 設(shè)在比載置在叉8a、8b的上面上的基板盒1的頂面稍稍靠上方。并且，在該保持片K上卡止后述的基板盒1的爪片N，將基板盒1保持在支承壁 14a、14b 之間。接著，參照?qǐng)D12 圖15，對(duì)將基板盒1對(duì)臺(tái)車AG的緩沖部BF卸載(載*降3 ^ ) 的動(dòng)作進(jìn)行說明。首先，如圖12所示，在1個(gè)基板盒1載置在臺(tái)車AG的叉8a、8b的上面上的狀態(tài) 下，通過驅(qū)動(dòng)叉8a、8b，基板盒1水平移動(dòng)。更詳細(xì)地講，如果俯視觀察，則基板盒1水平移 動(dòng)到基板盒1的爪片N不與緩沖部BF的保持片K干涉的位置。接著，如圖13所示，通過驅(qū)動(dòng)升降機(jī)10，基板盒1上升。更詳細(xì)地講，基板盒1上 升直到基板盒1的爪片N成為比緩沖部BF的保持片K稍稍靠上方。接著，如圖14所示，叉8a、8b后退到初始位置。即，如果俯視觀察，則基板盒1水平移動(dòng)到基板盒1的爪片N與緩沖部BF的保持片K 一致的位置。最后，如圖15所示，升降機(jī)10下降到初始位置。由此，基板盒1的保持片K與緩 沖部BF的爪片N卡合，基板盒1被保持在緩沖部BF上。S卩，基板盒1被從叉8a、8b上移載 到緩沖部BF上。另外，在將載置于緩沖部BF上的基板盒1移載到叉8a、8b上的情況下，只要以相 反的順序進(jìn)行上述動(dòng)作就可以。這樣，在有關(guān)本實(shí)施方式的行進(jìn)車系統(tǒng)B中，臺(tái)車AG具備臨時(shí)保管基板盒1的緩 沖部BF。因此，能夠?qū)崿F(xiàn)行進(jìn)車系統(tǒng)B整體的省空間化。由此，基板盒1相對(duì)于臺(tái)車AG的 移載時(shí)間縮短，臺(tái)車AG的工作效率及準(zhǔn)備時(shí)間提高。此外，通過使用臺(tái)車AG具有的升降機(jī)10和叉8a、8b，能夠容易地將基板盒1載置 到緩沖部BF上。因此，不需要特別的設(shè)備，能夠?qū)崿F(xiàn)行進(jìn)車系統(tǒng)B的低成本化。另外，在臺(tái)車AG的緩沖部BF上也可以將基板盒1多級(jí)地堆疊。在此情況下，優(yōu)選的是，在基板盒1的上面上設(shè)置銷P，使得多級(jí)堆疊的多個(gè)基板 盒1不會(huì)貨物倒塌。在緩沖部BF上多級(jí)堆疊多個(gè)基板盒1的情況下，在上述圖12 圖15的動(dòng)作之前， 通過升降機(jī)10使叉8a、8b上的基板盒1暫且先上升。接著，使該基板盒1抵接在保持于緩 沖部BF上的其他基板盒1上，使其他基板盒1從緩沖部BF的爪片N離開間隔。然后進(jìn)行 上述圖12 圖15的動(dòng)作。此外，在將多個(gè)基板盒1多級(jí)堆疊在緩沖部BF上的情況下，優(yōu)選的是將空的基板 盒1多級(jí)堆疊。這是因?yàn)?，如果是空的基板?，則不需要考慮基板盒1的堆疊順序。換言 之，這是因?yàn)椋趯⑹杖萦谢錑的基板盒1多級(jí)堆疊在緩沖部BF上的情況下，為了僅有選 擇地將特定的基板盒1從緩沖部BF卸下而需要許多動(dòng)作，效率下降。在環(huán)狀的軌道L上配置有多臺(tái)(例如5臺(tái))臺(tái)車AG，但優(yōu)選地將其中至少一臺(tái)作 為上述帶有緩沖部BF的臺(tái)車AG (例如臺(tái)車AG5)而多級(jí)地堆疊空的基板盒1。由此，不需要 準(zhǔn)備多臺(tái)輸送空的基板盒1的臺(tái)車AG5，能夠抑制設(shè)備成本。此外，不需要將輸送空的基板 盒1的臺(tái)車AG5多周循環(huán)輸送，輸送效率提高。如以上說明，根據(jù)有關(guān)本發(fā)明的行進(jìn)車系統(tǒng)，由于在軌道L的上方設(shè)有保管基板 盒的緩沖部BF1、BF2，所以能夠?qū)崿F(xiàn)行進(jìn)車系統(tǒng)A整體的省空間化。此外，基板盒1相對(duì)于 臺(tái)車AG的移載時(shí)間被縮短，臺(tái)車AG的輸送效率及準(zhǔn)備時(shí)間提高。由上述實(shí)施方式表示的各構(gòu)成部件的各形狀及組合等是一例，在不脫離本發(fā)明的 主旨的范圍內(nèi)能夠基于設(shè)計(jì)要求等進(jìn)行各種變更。例如，基板G也可以是半導(dǎo)體基板。此外，臺(tái)車AG以在地面上行進(jìn)的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了說明，但也可以是在天花板側(cè)行進(jìn)的結(jié)構(gòu)。此外，爪片N、M設(shè)為從兩側(cè)板SP朝向外側(cè)突設(shè)的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了說明，但并不限于此， 也可以構(gòu)成為槽或孔。此外，對(duì)于將基板盒1僅載置1個(gè)到緩沖部BF1、BF2上的情況進(jìn)行了說明，但也可 以將基板盒1多級(jí)地堆疊。由此，能夠進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)省空間化。在將基板盒1多級(jí)堆疊的情 況下，也可以將緩沖部BF1、BF2的保持片K1沿高度方向設(shè)置多組。此外，也可以將一組保持片K1可上下移動(dòng)地構(gòu)成。此外，保持片K1、K2也可以構(gòu)成為在水平方向上進(jìn)退自如的可動(dòng)式。由此，能夠僅 通過升降機(jī)10的驅(qū)動(dòng)而移載基板盒1。此外，并不僅限于將具有爪片N的基板盒1載置到緩沖部BF、BF1的保持片K、K1 上的情況、以及將具有爪片M的基板盒1載置到BF2的保持片K2上的情況，也可以通過緩 沖部BF、BF1及BF2的保持部夾持基板盒1的側(cè)面。在上述實(shí)施方式中，將軌道L構(gòu)成為環(huán)狀，但也可以是直線軌道。S卩，臺(tái)車AG也可 以在直線軌道上往復(fù)移動(dòng)。此外，臺(tái)車AG也可以不都是相同的構(gòu)造，也可以混合存在多個(gè) 種類的臺(tái)車。此外，在臺(tái)車AG的緩沖部BF中，對(duì)于將支承基板盒的保持片K固定設(shè)置在支承壁 14a、14b上的情況進(jìn)行了說明，但并不限于此。例如保持片K也可以是能夠朝向內(nèi)方出沒的 可動(dòng)爪。結(jié)果，在將基板盒1移載到緩沖部BF上時(shí)，不再需要驅(qū)動(dòng)叉8a、8b，能夠高效率地 移載。此外，也可以是將支承壁14a、14b向上方延長、保持片K能夠沿上下方向移動(dòng)的構(gòu) 造。結(jié)果，能夠?qū)⒍嗉?jí)堆疊的基板盒1原樣成一體地在叉8a、8b與緩沖部BF之間移載。另外，也可以在上下方向的多個(gè)位置上設(shè)置能夠出沒的可動(dòng)爪、使任意的保持片 突出。
權(quán)利要求
一種行進(jìn)車系統(tǒng)，其特征在于，具備基板處理裝置，實(shí)施基板的保管或規(guī)定的處理；無人行進(jìn)臺(tái)車，具有使上述基板在收容在基板盒中的狀態(tài)下沿上下方向升降的升降部以及將上述基板盒朝向上述基板處理裝置水平移動(dòng)的水平移動(dòng)部，將上述基板盒沿著朝向上述基板處理裝置設(shè)置的軌道輸送；基板盒保管部，在上述軌道的上方保持并保管基板盒。
2.如權(quán)利要求1所述的行進(jìn)車系統(tǒng)，其特征在于， 在上述基板盒上設(shè)有被保持部件；在上述基板盒保管部上設(shè)有卡合到上述被保持部件上的保持部件。
3.如權(quán)利要求1所述的行進(jìn)車系統(tǒng)，其特征在于， 使上述無人行進(jìn)臺(tái)車在上述基板盒保管部的下方停止；使上述升降部與上述水平移動(dòng)部協(xié)同動(dòng)作，將上述基板盒保持在上述基板盒保管部上。
4.如權(quán)利要求1所述的行進(jìn)車系統(tǒng)，其特征在于，使上述無人行進(jìn)臺(tái)車的行進(jìn)部與上 述升降部協(xié)同動(dòng)作，將基板盒保持在上述基板盒保管部上。
5.如權(quán)利要求1所述的行進(jìn)車系統(tǒng)，其特征在于，上述基板盒可多級(jí)堆疊到基板盒保 管部上而構(gòu)成。
6.如權(quán)利要求1所述的行進(jìn)車系統(tǒng)，其特征在于，上述無人行進(jìn)臺(tái)車在上述升降部及 上述水平移動(dòng)部的上方具備保管上述基板盒的臺(tái)車上基板盒保管部。
7.如權(quán)利要求6所述的行進(jìn)車系統(tǒng)，其特征在于，卡合到上述被保持部件上的上述保 持部件設(shè)在上述臺(tái)車上基板盒保管部上。
8.如權(quán)利要求1、2、6、7中任一項(xiàng)所述的行進(jìn)車系統(tǒng)，其特征在于，上述保持部件能夠 沿上下方向或水平方向移動(dòng)而構(gòu)成。
9.如權(quán)利要求6所述的行進(jìn)車系統(tǒng)，其特征在于，使上述升降部與上述水平移動(dòng)部協(xié) 同動(dòng)作，將上述基板盒保持在上述臺(tái)車上基板盒保管部上。
10.如權(quán)利要求6所述的行進(jìn)車系統(tǒng)，其特征在于，上述基板盒可多級(jí)堆疊到上述臺(tái)車 上基板盒保管部上而構(gòu)成。
11.如權(quán)利要求6所述的行進(jìn)車系統(tǒng)，其特征在于，將沒有收容上述基板的空的基板盒 保持在上述臺(tái)車上基板盒保管部上。
全文摘要
本發(fā)明提供一種行進(jìn)車系統(tǒng)。行進(jìn)車系統(tǒng)具備實(shí)施基板的保管或規(guī)定的處理的基板處理裝置、使基板在收容在基板盒(1)中的狀態(tài)下沿上下方向升降的升降部(10)、將基板盒(1)朝向基板處理裝置水平移動(dòng)的水平移動(dòng)部(8a、8b)、將基板盒(1)沿著朝向基板處理裝置設(shè)置的軌道輸送的無人行進(jìn)臺(tái)車(AG)、和在軌道(L)的上方保持并保管基板盒(1)的基板盒保管部(BF1)。
文檔編號(hào)B61B13/00GK101850883SQ201010145538
公開日2010年10月6日 申請(qǐng)日期2010年3月29日 優(yōu)先權(quán)日2009年3月30日
發(fā)明者和田芳幸, 大野俊孝, 村山晉, 石橋希遠(yuǎn) 申請(qǐng)人:株式會(huì)社Ihi