專利名稱：玻璃基板的搬送系統(tǒng)的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及LCD(Liquid Crystal Display)、PDP(Plasma DisplayPanel)、EL(E1ectro Luminescence)等玻璃基板的搬送系統(tǒng)。
背景技術：
至今，用來在LCD的生產線例如蝕刻、光阻等的生產線中將玻璃基板從自動倉庫搬送至生產線側，又將在生產線處理完畢的玻璃基板以一次一片的方式搬送至該自動倉庫側的，所謂單片式搬運系統(tǒng)中，于自動倉庫與生產線側之間設置有各種搬送系統(tǒng)。
前述搬送系統(tǒng)中，例如有圖22所示的搬送輸送系統(tǒng)。該搬送系統(tǒng)，是沿自動倉庫A’并設有堆高式起重機B’，沿該堆高式起重機的行進路并設有多臺(圖面中有3臺，在中間的1臺是預備用)的交換器(exchanger)C’及橫向輸送機(與直線搬送成90°移載)G’，反覆進行搬送、浮起、90°移載等，以進行向生產線的交付及從生產線的接受。
構成上述搬送系統(tǒng)的交換器，是具備一種機構，用來在與堆高式起重機之間接受、交付用以將玻璃基板收集并暫時貯藏的索式匣(wirecassette)(張設有索的匣，用來將玻璃基板以既定的間隔支撐成水平多段狀)，且對索式匣裝載玻璃基板或從索式匣卸載玻璃基板。
此外，由該搬送系統(tǒng)將自動倉庫內的玻璃基板搬送供應至生產線側、以及從生產線側將處理完的玻璃基板搬送收容至自動倉庫側的動作，是以圖23的流程圖所示的過程來進行。此外，圖23的(a)、(b)中，左行代表玻璃基板的動作等，右行代表進行該動作的機械等。
例如，在將玻璃基板搬送供應至生產線側的場合，以堆高式起重機B’將自動倉庫A’內的索式匣F’插入定位在左端的交換器C’，左端的橫向輸送機G’從交換器接受玻璃基板，使該接受的玻璃基板，藉該橫向輸送機G’的作動而浮起，在其浮動狀態(tài)下通過中間的橫向輸送機G’并往右端的橫向輸送機G’上輸送，當右端的橫向輸送機G’接受玻璃基板后，該橫向輸送機作動，使玻璃基板下降，再使橫向輸送機G’的滾輪式輸送機作動來將玻璃基板搬送至生產線P’側。
然而，當交換器的中心O與生產線的中心O’一致時，必須能將玻璃基板從輸送機往輸送機依序移交來進行接受、交付，且在接受交付的過程中，作橫向輸送機的浮起、搬送、停止、下降等復雜的動作。
再者，當交換器的中心O與生產線的中心O’不一致時，不僅在接受交付的過程中須作上述般的復雜動作，而且為了對準中心而必須對輸送機作運轉控制等，故無法避免工作時間的浪費、對玻璃基板造成的損傷等。此外，從交換器透過橫向輸送機往生產線側搬送玻璃基板時，無法以橫向輸送機將在生產線側處理完畢的玻璃基板搬送至交換器側。亦即，橫向輸送機是無法同時進行玻璃基板的交付及接受。
況且，在生產線側，有時要求玻璃基板的輸入方向為相對收容于交換器內索式匣的狀態(tài)經旋轉90°、180°、270°的方向，在此情形下便必須作更復雜的動作(輸送機的旋轉、玻璃基板的前后左右的對位等的微調整)。
此外，若利用交換器的索式匣的接受/交付、或者與生產線側的玻璃基板的輸入、輸出的時機一致，便能在不浪費工作時間之下在特定的時間內進行接受/交付，不過，在該時機不匹配的情形下，便必須使任一邊的玻璃基板待機，導致生產效率降低。另外，亦可考慮設置緩沖用的專用空間來消除待機時間，不過，便相對需要額外的空間，尤其如后述，在玻璃基板的大型化中，將導致總設置面積擴大的問題。
再者，LCD玻璃基板，逐年趨于大型化，現(xiàn)在甚至存在所謂的第7代玻璃大小(2200×2000)。玻璃基板，原本是脆弱的，隨著玻璃基板的大小變大，該脆弱的程度亦升高。因此，若在上述般的搬送過程中進行復雜的動作，大型的玻璃基板的損傷問題將更大。

發(fā)明內容
本發(fā)明就是鑒于上述問題而完成的，其目的在于提供一種搬送系統(tǒng)來解決上述現(xiàn)有的不良情形，該搬運系統(tǒng)，對于交換器與生產線間的逐片搬送能以不換乘定置式輸送機的方式同時進行玻璃基板的交付及接受，由此能在不浪費工作時間之下高效率地搬送，而且廉價。
本發(fā)明的另一目的在于提供一種搬送系統(tǒng)，該搬送系統(tǒng)，能在必須使玻璃基板旋轉、或者作中心對準的情形下，在交換器與生產線之間的玻璃基板的搬送過程中進行該等作業(yè)。
該本發(fā)明的LCD玻璃基板的搬送系統(tǒng)，是用來在自動倉庫與多臺并設的交換器之間進行匣式搬送，并于交換器與生產線之間進行逐片搬送；其特征在于于該交換器內，配置用來對交換器內上下升降的匣裝載或卸載玻璃基板的輸送機，于交換器的裝載/卸載玻璃基板的一側，將用來交付玻璃基板給生產線側的交付專用輸送機、及用來接受從生產線側排出的玻璃基板的接受專用輸送機配置成沿上下方向隔有間隔、且能互相不干擾地獨立行進，而且使配置于交換器內的輸送機能對應交付專用輸送機及接受專用輸送機的高度上下升降自如(權利要求1)。
對上述交換器供應/取出的匣，是用來將玻璃基板收容成水平多段狀的索式匣，用來支撐玻璃基板的索則以沿水平方向隔有既定間隔、平行且沿上下方向隔有既定間隔的方式張設而構成；且于該上下方向的索彼此間，有滾輪式輸送機(用來裝載/卸載玻璃基板)的滾輪(軸)。
上述交換器的裝載/卸載玻璃基板的一側，是指與交換器的匣插側對向的一側，亦即堆高式起重機的相反側。
上述接受專用輸送機及交付專用輸送機，是若僅向一定方向搬送玻璃基板，而對生產線側在保持原狀的狀態(tài)下搬送的情形下該輸送機便足夠，不過，有時必須因應生產線側的處理作業(yè)旋轉玻璃基板。在因應這種要求的情形下，使該接受專用輸送機及交付專用輸送機具備對準裝置(權利要求2)。
該對準裝置，是具有使玻璃基板水平旋轉的旋轉機構、及左右方向(輸送機的搬送方向的正交方向)的微調整機構，且該等兩機構能在互相不干擾之下在1處同時作調整(權利要求3)。
此外，在驅動接受專用輸送機及交付專用輸送機來搬送玻璃基板的情形下，調整該輸送機所產生的搬送的停止位置，便能進行玻璃基板的前后方向(搬送方向)的微調整。
上述的旋轉機構，是該對準裝置的旋轉機構，是于具有承載玻璃基板的玻璃基板承接件的旋轉體的外周面，將一彎曲性佳的帶狀體從左卷繞，將另一彎曲性佳的帶狀體從右卷繞，且將各帶狀體的一端固定于該旋轉體，將帶狀體的另一端固定于直線移動的移動體，通過該移動體的往復運動來使該旋轉體旋轉(權利要求4)。
左右?guī)铙w的他端是透過滑輪折返，用來固接該折返的端部的移動體，只要是滾珠螺桿方式、齒條齒輪方式、氣壓缸等直線移動的方式，認一種方式均可，不過，以無齒隙的方式為佳。又，左右?guī)铙w的旋轉體上的卷繞角度大致為300°，移動體的往復運動所產生的旋轉體的旋轉角度為270°以上。由此，使玻璃基板能旋轉90°、180°、270°。
上述對準裝置，是為了使被滾輪式輸送機的搬送滾輪支撐的玻璃基板，從搬送滾輪表面浮起并旋轉及/或左右微調整，將玻璃基板承接件配置于搬送玻璃基板的搬送滾輪的頂點、與固接有該搬送滾輪的軸之間，當必須旋轉或左右微調整玻璃基板時，藉上下機構能使玻璃基板承接件上升至，能使被搬送滾輪支撐的玻璃基板從該搬送滾輪頂點浮起的位置(權利要求5)上下機構，氣壓缸是有效的，于其周圍以同心圓的方式配置有前述旋轉體。氣壓缸以外的其他上下機構的手段，例如有馬達式。
此外，玻璃基板承接件，是位于比搬送滾輪的頂點更下方的位置，且必要時能向上突出搬送滾輪的頂點，因此，于該玻璃基板承接件形成有能穿過搬送滾輪的開口。此外，玻璃基板的旋轉調整已定在90°、180°、270，因此，滾輪式輸送機的搬送滾輪的縱橫的安裝間隔、及玻璃基板承接件的開口的開設間隔，是設定為相同間距，使玻璃基板承接件在該任一角度旋轉均能穿過搬送滾輪。
由此，即便使玻璃基板旋轉既定角度(90°、180°、270°)，且在旋轉后保持原狀的狀態(tài)下降，仍能在不碰到搬送滾輪之下穿過，故能收藏于搬送滾輪的頂點、與搬送滾輪的軸之間。
又，該旋轉機構，是載置固定于被支撐成能相對固定架左右滑動的活動臺板上，且藉驅動體使活動臺板能沿具有對準裝置的輸送機的搬送方向的正交方向微調整自如(權利要求6)。使活動臺板滑動的驅動體，例如為馬達、氣壓缸等。
由此，因將載置有旋轉機構的活動臺板沿左右方向微調整，故能在相同地點進行使玻璃基板旋轉的動作，及將玻璃基板沿左右方向(輸送機的搬送方向的正交方向)微調整的動作。此外，當然，微調整的范圍，是玻璃基板承接件的開口能穿過搬送滾輪的程度。因此，若加大開設于玻璃基板承接件的開口的尺寸，則微調整的范圍便相對地變廣。
依據本發(fā)明，如上述，將在與交換器之間接受、交付玻璃基板的輸送機，分成接受專用輸送機及交付專用輸送機，且使兩者能在互不干擾的下獨立行進，由此，即便交換器的時機、或生產線側的時機有偏差，仍能通過該等專用輸送機來對應，故能去掉待機狀態(tài)。因此，能去掉工作時間的浪費，謀求生產效率的提高(權利要求1)。
此外，依據請求項2、3、6，當必須將玻璃基板旋轉及/或作左右方向的微調整時，能在輸送機的行進移動中進行該旋轉等動作，故能節(jié)省工作時間。其次，至今，在必須旋轉的過程中，均是使輸送機本身旋轉、或在收進制程內后藉機械人等來旋轉，但通過本裝置便能不需要該機械人等，也能節(jié)省空間。
再者，至今，當必須作前后左右的微調整時均是反覆進行橫向輸送機的浮起、搬送、停止、下降，而對玻璃基板造成損傷、污垢，但是藉本裝置在1處作微調整，故不會對玻璃基板造成損傷，而且能省空間，又由于不需要機械人等而能降低成本，縮短工作時間。
又，依據權利要求4、5，能將對準裝置作成薄型，由此能容易地將裝有該對準裝置的接受專用輸送機及交付專用輸送機配置成上下二段，裝上HEPA(High-Efficiency Particulate Air)過濾器來將玻璃基板的搬送路保持于潔凈的狀態(tài)。此外，旋轉方向中有直接驅動馬達方式，但直接驅動馬達本身具有特定程度的厚度，故裝置本身相對變厚，上下二段的輸送機亦變大，致交換器內的輸送機的上下移動的行程亦變長，影響工作時間。


圖1，是表示本發(fā)明的搬送系統(tǒng)的概略的規(guī)劃圖。
圖2，是表示將玻璃基板從交換器卸載至梭式輸送機交付專用輸送機的狀態(tài)的前視圖。
圖3，是表示將玻璃基板從梭式輸送機的接受專用輸送機裝載至交換器索式匣的狀態(tài)的前視圖。
圖4，是表示交換器概略的前視圖。
圖5，是表示用以使交換器的索式匣上下升降的升降單元的局部缺口前視圖。
圖6，是圖5相關的側視圖。
圖7，是表示配備于交換器的滾輪式輸送機的局部缺口前視圖。
圖8，是圖7的(8)-(8)線的橫剖面圖。
圖9，是圖7的側視圖。
圖10，是表示滾輪式輸送機的上下移動，(a)是表示與梭式輸送機的接受專用輸送機的高度相對應的位置的圖9相關的側視圖，(b)是表示與梭式輸送機的交付專用輸送機的高度相對應的位置的圖9相關的側視圖。
圖11，是表示梭式輸送機的交付專用輸送機及接受專用輸送機的立體圖。
圖12，是表示交付專用輸送機的局部缺口俯視圖。
圖13，是圖12的(13)-(13)線的剖面圖及要部放大圖。
圖14，是表示玻璃基板的搬送的放大圖。
圖15，是表示使玻璃基板從搬送滾輪浮起的狀態(tài)的剖面圖。
圖16，是玻璃基板承接件浮起的狀態(tài)的放大剖面圖。
圖17，是表示旋轉機構概略的立體圖。
圖18，是表示玻璃基板的旋轉動作，(a)是0°的狀態(tài)圖，(b)是經旋轉90°的狀態(tài)圖。
圖19，(a)為經旋轉180°的狀態(tài)圖，(b)為經旋轉270°的狀態(tài)圖。
圖20，是表示左右微調整機構的驅動部，(a)表示移動前的狀態(tài)的俯視圖，(b)表示移動后的狀態(tài)的俯視圖。
圖21，是表示梭式輸送機的交付專用輸送機及接受專用輸送機的局部缺口前視圖。
圖22，是表示現(xiàn)有搬送系統(tǒng)的概略的規(guī)劃圖。
圖23，是表示現(xiàn)有搬送系統(tǒng)的搬送動作的流程圖。
圖24，是表示本發(fā)明搬送系統(tǒng)的搬送動作的流程圖。
具體實施例方式
根據圖式說明本發(fā)明的搬送系統(tǒng)的實施形態(tài)。其中，圖式中顯示的玻璃基板a，為了便于了解旋轉或左右方向的調整，將角部的一部分做出缺口來表示。
構成搬送系統(tǒng)的自動倉庫A、堆高式起重機B、交換器C、及接受專用輸送機D1與交付專用輸送機D2所構成的輸送機(以下，稱為梭式輸送機)D的配置關系，如圖1所示，沿堆高式起重機B的行進路并設有3臺交換器C，于對該交換器C裝載/卸載玻璃基板a的一側平行地配置有梭式輸送機D，且于梭式輸送機D的搬出位置及搬入位置設置有用來進行向生產線側P的送入、從生產線P側的送出的搬送輸送機G。此外，搬送輸送機G，亦可由于與生產線側P的關系而不設置，從梭式輸送機D直接搬入生產線P側。
交換器C，如圖2～圖3所示，能以堆高式起重機B的叉形件將用來收容玻璃基板a成多段狀的索式匣F供應或取出，且將索式匣F內的玻璃基板a卸載至梭式輸送機D的交付專用輸送機D2，并將玻璃基板a從接受專用輸送機D1裝載至空的索式匣F內。
以下，根據圖式說明交換器C，如圖3所示，于器框1內收容配置有能承載索式匣F上下升降的升降單元2、及搬送玻璃基板a的滾輪式輸送機3，能通過該升降單元2及滾輪式輸送機3的動作對索式匣F裝載/卸載玻璃基板a。此外，該滾輪式輸送機3，于器框1的高度方向的大致中間位置，能對應配置于后述梭式輸送機D的上下的交付專用輸送機D2及接受專用輸送機D1，在裝載位置與卸載位置之間按目的上下移動。
器框1，如圖5、6所示，由俯視大致矩形的臺框1a、站立固定于臺框1a的相對向的2邊的支柱架1b，1b’、及用來連結支柱架1b，1b’的上端間的連結架1c所構成，于臺框1a將腳座4安裝成能上下調節(jié)自如，由此能不拘設置床面的傾斜或凹凸均將器框1設置成水平。此外，索式匣F，能通過堆高式起重機B的叉形件從支柱架1b，1b’間的側方供應或取出。
用來使索式匣F上下升降的升降單元2，如圖5、6所示，由用來承載支撐索式匣F的底部的支承架5、及用來使該支承架5左右同步上下的升降驅動部6所構成。
支承架5，是使用金屬制角管等來形成俯視矩形狀，于支承架5的上面固接有用來定著支撐索式匣F的底部四隅部的L字形匣支承部5’。由此，索式匣F，通過定位裝置(未圖示)而定位于支承架5，被很安定地載置支承。
使上述支承架5上下的升降驅動部6，是如圖5、6所示，由安裝于前述支承架5的左右側邊的中央上面的L字形支撐構件7、使該支撐構件7上下升降的滾珠螺桿機構8與引導構件9、及驅動左右的滾珠螺桿機構8的動力源的伺服馬達10與將該伺服馬達10的旋轉傳遞至前述左右的滾珠螺桿機構的連結軸11、聯(lián)結器12、斜齒輪箱13所構成。
左右的滾珠螺桿機構8及引導構件9，圖5、6所示，鉛直配置于器框1的支柱架1b，1b’的內側，于與滾珠螺桿機構8的螺桿8a螺合的螺幅構件8b固接有前述支撐構件7的垂直邊部，螺幅構件8b則連結于引導構件9的滑件。由此，通過螺桿8a的旋轉，固接有支撐構件7的螺帽構件8b便由于引導構件9的引導作用而沿上下方向移動。此外，引導構件9、以LM導件為佳。
又，由升降驅動部6的作用來使支承架5上下升降的范圍，是將承載于支承架5的索式匣F的玻璃基板加以卸載的開始位置(上限位置)、與將玻璃基板裝載于索式匣F的開始位置(下限位置)之間。
對由上述升降單元2而上下升降的索式匣F裝載/卸載玻璃基板a的滾輪式輸送機3，是如圖7～圖9所示，由對收容于前述器框1內的索式匣F能在不接觸下嵌的呈梳齒形狀的輸送機架14、安裝于梳齒形的各站立框14a的上部的搬送滾輪15、及用來驅動旋轉各站立框14a的搬送滾輪15的驅動源16所構成。
使輸送機架14呈梳齒形狀的理由，是在于將玻璃基板收容支撐成水平多段狀的匣的形態(tài)，當將以多段狀收容于索式匣F內的玻璃基板a卸載時，及當以多段狀將玻璃基板a裝載于空的索式匣F時，索式匣F，藉前述升降單元而上下升降，但在不妨礙該上下升降之下將玻璃基板a裝載/卸載。亦即，在輸送機架14的站立框14a相互之間隙，索式匣F的并設的索f’能在不接觸下嵌入通過。
用來驅動旋轉配置于輸送機架14上部的各搬送滾輪15的驅動部16，有馬達16a，且能將該馬達16a的旋轉，以利用磁鐵的吸引排斥的非接觸動力傳遞方式來傳遞至各搬送滾輪15的軸。由此，幾乎不會產生塵埃，故能在潔凈的環(huán)境下進行玻璃基板的搬送。
此外，如上述般構成的滾輪式輸送機3，是能對應配置于梭式輸送機D的上下二段的接受專用輸送機D1及交付專用輸送機D2的高度，通過輸送機升降單元17上下移動(參照圖9、10)。
輸送機升降單元17，如圖7至圖10所示，由支撐輸送機架14的底部4處的曲柄臂17a、及使該等4處的曲柄臂17a旋動的具有齒輪箱的升降用馬達17b與沿鉛直方向引導輸送機架14的導件17c所構成，升降用馬達17b的旋轉，是透過齒輪箱及連結軸傳遞至前述曲柄臂17a，4處的曲柄臂17a同步作動而使?jié)L輪式輸送機3上下。此外，滾輪式輸送機3上下移動的距離，是與后述梭式輸送機的接受專用輸送機及交付專用輸送機的間隔相同，由該間隔來決定。
梭式輸送機D，如圖11所示，由比并設的多臺交換器C(圖式中有3臺)的全長還長的器框18、在該器框18內隔有既定間隔配置成上下二段的接受專用輸送機D1與交付專用輸送機D2、及使該等接受專用輸送機D1與交付專用輸送機D2能在互不干擾下獨立行進自如的行進移動機構19、19’所構成。
器框18，如圖11所示，呈沿交換器C的橫長形狀，于該器框18內的上下位置配置有行進移動機構19、19’，交付專用輸送機D2被上側的行進移動機構19支撐成下垂，接受專用輸送機D1被下側的行進移動機構19’載架，分別能獨立行進移動。亦即，上側的交付專用輸送機D2，是在由堆高式起重機B的叉形件待供應索式匣F的交換器C的位置、與向生產線側交付玻璃基板a的位置之間往復移動，下側的接受專用輸送機D1，是在來自生產線側的玻璃基板a的排出位置、與由堆高式起重機B的叉形件待取出索式匣F的交換器C之間往復移動。
接受專用輸送機D1及交付專用輸送機D2，是均由滾輪式輸送機所構成，用以承載并搬送玻璃基板a的搬送滾輪60，如圖12所示，以縱向及橫向的間隔相同的方式配置，且該等各列的搬送滾輪，是將馬達20的旋轉，以利用磁鐵吸引排斥的非接觸的動力傳遞機構21來傳遞至各搬送滾輪的軸而旋轉。圖示的動力傳遞機構21，是將馬達20的旋轉透過齒輪列21e傳遞至安裝有磁鐵環(huán)21a的驅動軸21b，于與該驅動軸21b正交配置而成的搬送滾輪60的軸21c的端部固接有磁鐵環(huán)21d，該磁鐵環(huán)21d，是配置成與前述磁鐵環(huán)21a隔有既定間隙且正交。由此，馬達20的旋轉，是透過齒輪列21e傳遞至驅動軸21b，與該驅動軸21b正交配置而成的搬送滾輪60的軸21c，由藉磁鐵環(huán)21a與磁鐵環(huán)21d的作用而旋轉。
此外，構成接受專用輸送機D1及交付專用輸送機D2的滾輪式輸送機，是在不必使待接受或交付的玻璃基板a旋轉的情形，亦即在不必裝上對準裝置E的情形下，未必使搬送滾輪的縱向及橫向的間隔相同，亦可使用縱向及橫向的間隔不同的一般的滾輪式輸送機。在此場合，搬送滾輪的驅動方式亦與上述同樣地，以采用利用磁鐵的非接觸的動力傳遞機構為佳。有關利用磁鐵的非接觸的動力傳遞機構(滾輪式輸送機)，例如能利用日本特開平7-177725號公報所記載的構成。
如上述般構成的接受專用輸送機D1及交付專用輸送機D2，如圖2及圖3所示，分別安裝于支撐構件22、22’，該支撐構件22、22’被行進移動機構19、19’水平支撐且行進移動。
該行進移動機構19、19，，是由齒條齒輪機構23及引導機構24所構成，齒條齒輪機構23的齒條23a，是設置于固接在器框18前部的驅動部收納盒25內，與該齒條23a嚙合的小齒輪23b，固接于具有減速機的馬達27的輸出軸，該馬達27則透過安裝板26固接于前述支撐構件22的一側緣(前側緣)。
又，于接受專用輸送機D1及交付專用輸送機D2的安裝有具有減速機的馬達27的安裝板26、及安裝于支撐構件22的另一側緣(后側緣)的安裝板26’安裝有引導機構24，引導機構24，用來在分別固接于器框18的前后部的驅動部收納盒25、25’引導直線移動。
由此，接受專用輸送機D1及交付專用輸送機D2，小齒輪23b通過具有減速機的馬達27的作動而旋轉，并在齒條23a上轉動行進。
此外，用以支撐上述接受專用輸送機D1及交付專用輸送機D2的支撐構件22、22’，除了搬入/搬出玻璃基板a的方向以外閉鎖著，于該支撐構件22、22’連通安裝有與該支撐構件22、22’內連通的送風管(ducttube)28、28’，該送風管28、28’的另一端，與搭載于支撐構件22、22’的HEPA過濾器29、29’連接，以確保潔凈的狀態(tài)(參照圖21)。
在必須使供應給上述梭式輸送機D的接受專用輸送機D1及交付專用輸送機D2的玻璃基板a旋轉(水平旋轉)的情形下，如圖12所示，于前述輸送機內配備對準裝置E。
該對準裝置E，是由旋轉機構E1及微調整機構E2所構成，該旋轉機構E1，是用來使送進接受專用輸送機D1或交付專用輸送機D2的玻璃基板a，從搬送滾輪表面浮起并相對該送進時的狀態(tài)(假設此狀態(tài)為0°)水平旋轉90°、180°、270°，該微調整機構E2，是用來對玻璃基板a進行在接受專用輸送機D1或交付專用輸送機D2的搬送方向的正交方向的微調整。
此外，配備于接受專用輸送機D1及交付專用輸送機D2的對準裝置E相同，因此，以下，就配備于接受專用輸送機D1的對準裝置E加以說明，而配備于交付專用輸送機D2的對準裝置E的說明則省略。
旋轉機構E1，是由使搬送滾輪60上的玻璃基板a自該搬送滾輪表面浮起并將該基板a承載的玻璃基板承接件30、使該玻璃基板承接件30自搬送滾輪的頂點向上方浮起或自搬送滾輪的頂點向下沉的上下機構31、使由上下機構31的作動而自搬送滾輪的頂點向上方浮起的玻璃基板承接件30水平旋轉的旋轉體32、及使該旋轉體32驅動旋轉的驅動部33所構成。
玻璃基板承接件30，具有能將玻璃基板a的撓曲變形抑制在最小限度來水平支撐的面積，于該承接件30的全面形成有在旋轉前后能穿過構成滾輪式輸送機的搬送滾輪的開口34，再者，于與玻璃基板a對向的表面(上面)散布著以點支撐玻璃基板a的樹脂制支承體35。此外，該玻璃基板承接件30，配置于滾輪式輸送機的搬送滾輪的頂點、與固接該搬送滾輪的軸之間，故前述開口34的大小是與該搬送滾輪的直徑相同、或比該搬送滾輪的直徑稍小徑的圓形孔，這些開口34的縱向及橫向的間隔設定成相同，以使該等開口34在旋轉前后均與搬送滾輪的位置對應。此外，開口34，并不限定于圓形孔，亦可為方形孔。
使玻璃基板承接件30升降的上下機構31，如圖13所示，于氣壓缸36的桿件36a的外周透過軸承37安裝有能旋轉且上下自如的安裝筒38，該安裝筒38的上部固接于前述玻璃基板承接件30的中心。因此，當空氣供應至氣壓缸36的推側時桿件36a便移動，安裝筒38也透過軸承37跟著上升/下降。
上述氣壓缸36，位于輸送機的搬送滾輪的下側，并固定于被撐條(stay)構件41(其與該輸送機的支架連結)支撐的活動臺板42。
于上述上下機構31的氣壓缸36的殼外周透過軸承39安裝有能旋轉自如的旋轉體32，橫跨該旋轉體32的凸緣32a、與往前述安裝筒38外側徑向伸出并突出形成的凸緣38a，沿周方向隔著間隔設有多個引導體40(圖中有4個)，用以引導安裝筒38的上升/下降并將旋轉體32的旋轉傳遞至前述安裝筒38。
將旋轉體32驅動旋轉的驅動部33，如圖12及圖17所示，于該旋轉體32的外周面有彎曲性好的2條帶狀體，例如有正時皮帶43、43’，一正時皮帶43是將基端部固定于旋轉體32的上半部的外周面并從該固定處沿反時針方向卷繞，另一正時皮帶43’是將基端部以與前述帶狀體43的基端部的固定位置相同的位置錯開固定于旋轉轉32的下半部的外周面并從該固定處沿順時針方向卷繞，兩帶狀體43、43’的終端側是于左右的折返滑輪45、45’(透過滑輪安裝框44可旋轉地安裝于前述活動臺板42上)卷繞并折返，該折返的兩帶狀體43、43’的終端部是固接于直線移動的移動體46。由此，以上下兩段卷繞于旋轉體32的帶狀體43、43’，成為無端(環(huán)狀)狀態(tài)，由移動體46的直線移動，便使前述旋轉體32往左右方向旋轉，左右的折返滑輪45、45’，為透過張力調整機構50安裝于滑輪安裝框44，能將帶狀體43、43’的卷繞調整在最佳的張力狀態(tài)。此外，帶狀體43、43’的卷繞方向，亦可與上述實施形態(tài)相反。
用以連結固定兩帶狀體43、43’的終端部的移動體46，是固定于被馬達47驅動的滾珠螺桿機構48的螺帽構件48a，再者，螺帽構件48a連結于引導體49，該引導體49以與前述滾珠螺桿機構48平行的方式配置于前述滑輪安裝框44上。由此，移動體46，是通過滾珠螺桿機構48的作動及引導體49，使無端狀帶狀體43、43’在左右的折返滑輪45、45’間作直線移動，而將旋轉力施加于旋轉體32(參照圖17、18、19)。
此外，旋轉體32，是通過上述旋轉機構能旋轉90°、180°、270°，另外，其旋轉角度的檢測是由配置于該旋轉體的周圍的傳感器51a、51b、51c、及安裝于旋轉體32的旗標(flag)52來進行。此外，旋轉角度的檢測，并不限于圖示的形態(tài)，亦可通過目前采用的其他方法來進行。
根據圖18及圖19來說明旋轉機構E1產生的玻璃基板a的旋轉，在使以圖18(a)所示0°的方向搬入梭式輸送機D的交付專用輸送機D2的玻璃基板a往順時針方向旋轉90°的情形下，若使?jié)L珠螺桿機構48作動而使移動體46往圖面上的右方移動，旋轉體32便往順時針方向旋轉90°，被玻璃基板承接件30支撐的玻璃基板a便旋轉圖18(b)所示的90°。90°旋轉的檢測，是固接于旋轉體32的旗標52與旋轉體32的旋轉一起往順時針方向移動、并位于配置在旋轉體周圍的90°檢測用的傳感器51a上來檢測。再者，若使?jié)L珠螺桿機構48作動而使旋轉體32往順時針方向旋轉90°，旗桿52便與傳感器51b對應，玻璃基板a便從原點位置的狀態(tài)成為已旋轉180°的圖19(a)所示的狀態(tài)，再者，若往順時針方向旋轉90°，旗標52便與傳感器51c對應，玻璃基板a便成為已旋轉270°的圖19(b)所示的狀態(tài)。此外，旋轉動作，并不限于圖示的方式，即，使0°時的移動體46的位置位于折返滑輪45側，使移動體從該位置移動至相反側的折返滑輪45’側來進行旋轉。亦可例如，將滾珠螺桿的行程3等分來將0°時的移動體46的位置作3等分，從1∶2的位置向能2移動的方向旋轉來作90°、180°的旋轉，回到起始位置往反方向移動來作270°的旋轉。
作為對準裝置E的另一個機構的微調整機構E2，是如圖12所示，用來將藉接受專用輸送機D1或交付輸送機D2搬送的玻璃基板a沿該等輸送機的搬送方向的正交方向(圖面中左右方向)作微調整的機構，且包含玻璃基板承接件30，使承載保持前述旋轉機構E1的活動臺板42作直線移動。
有關上述具體的構成，于與輸送機支架連結的撐條構件41安裝有活動臺板42，透過引導體5 3將活動臺板42安裝成能沿輸送機搬送方向的正交方向滑動，并將該活動臺板42由滾珠螺桿機構54、及驅動該滾珠螺桿機構54的伺服馬達55來構成。
又，由上述構成來滑動的活動臺板42的移動極限的檢測，是于活動臺板42上沿滑動方向隔有間隔設置原點檢測傳感器56a、左極限檢測傳感器56b、右極限檢測傳感器56c，另一方面，于固定的撐條構件41對準前述傳感器的移動線上安裝旗標57a，57b，57c，活動臺板42從原點位置開始移動，左極限檢測傳感器56b或右極限檢測傳感器56c被旗標遮住，便能進行檢測。
另外，使前述旋轉機構E1的移動體46移動的滾珠螺桿機構48與馬達47的連結、及微調整機構E2的滾珠螺桿機構54與伺服馬達55的連結，均使用無齒隙的聯(lián)結器來連結，即使兩者的軸芯偏位，仍能將馬達的旋轉傳遞至滾珠螺桿。
通過上述構成般的搬送系統(tǒng)來將索式匣F內的玻璃基板a搬送供應至生產線P側的作業(yè)、及從生產線P側接受處理完畢的玻璃基板并搬送收容至索式匣F的作業(yè)，在無對準裝置的情形下，是如圖24的流程圖所示。
例如，就將索式匣F內的玻璃基板a搬送供應至生產線P側的作業(yè)而言，當收容有玻璃基板a的索式匣F由堆高式起重機B而被插入定位在左端的交換器C時，便由該交換器C內的滾輪式輸送機3、及使索式匣F上下的升降單元2的動作來將玻璃基板a以每次1片的方式卸載，將該經卸載的玻璃基板a由梭式輸送機D的交付專用輸送機D2的旋轉來搬送至該輸送機上的既定位置(中央位置)，搬送動作在定位置停止。玻璃基板a在交付專用輸送機D2上搬送停止后，該交付專用輸送機D2本身往右方(輸入位置)行進移動并在生產線P側的中心線O’線上停止，將輸送機驅動，將承載的玻璃基板a透過搬送輸送機G搬送至生產線P側，交付動作完成。此外，于上述梭式輸送機D配置有異于上述交付專用輸送機D2的接受專用輸送機D1，且該接受專用輸送機D1配置成在交付專用輸送機D2的上方且與其隔有間隔，而使兩者能互不干擾、獨立行進，因此，異于上述搬送，在生產線P側處理完成的玻璃基板a，是在梭式輸送機D的左端由接受專用輸送機D1從輸出位置的搬送輸送機G來接受，接受后，該接受專用輸送機D1便往右方行進移動并在右端的交換器C的中心線O線上停止，將輸送機驅動而將玻璃基板搬送至交換器C內的索式匣F內，由交換器C內的使索式匣F上下的升降單元2、及滾輪式輸送機3的動作來裝載。向索式匣的裝載完成后，該索式匣F便由堆高式起重機B從交換器C往自動倉庫移載。
依據如上述構成般的搬送系統(tǒng)，將索式匣F內的玻璃基板a以每次1片的方式搬出至生產線側的卸載作業(yè)、及將從生產線側搬出的處理完畢的玻璃基板a收容至索式匣F的裝載作業(yè)，能由梭式輸送機D的接受專用輸送機D1及交付專用輸送機D2，在不管交換器的時機、生產線側的時機之下，吸收前述時機的偏差，消除待機狀態(tài)，來高效率地進行。
此外，若必須使待卸載及待裝載的玻璃基板a旋轉，便能由配備于前述梭式輸送機D的接受專用輸送機D1及交付專用輸送機D2的對準裝置E，在接受專用輸送機D1、交付專用輸送機D2的移動中進行旋轉、左右微調整的作業(yè)，而能節(jié)省工作時間。因此，能對于生產率的提高有大的貢獻。
本發(fā)明的搬送系統(tǒng)，相較于現(xiàn)有搬送系統(tǒng)，過程數(shù)目少，相對減輕對玻璃基板造成的損傷，時間縮短，這些本發(fā)明的優(yōu)點從現(xiàn)有與本發(fā)明的流程圖的比較也容易得知。
上述實施形態(tài)中，旋轉機構E1的帶狀體雖使用正時皮帶，但只要是鋼帶、鏈條等彎曲的傳遞構件均能使用來代替正時皮帶。
權利要求
1.一種玻璃基板的搬送系統(tǒng)，用來在自動倉庫與多臺并設的交換器之間進行匣式搬送，并于交換器與生產線之間進行逐片搬送；其特征在于在該交換器內，配置用來對交換器內上下升降的匣裝載或卸載玻璃基板的輸送機，在交換器的裝載/卸載玻璃基板的一側，將用來交付玻璃基板給生產線側的交付專用輸送機、及用來接受從生產線側排出的玻璃基板的接受專用輸送機配置成沿上下方向隔有間隔、且能互相不干擾地獨立行進，而且使配置于交換器內的輸送機能對應交付專用輸送機及接受專用輸送機的高度上下升降自如。
2.如權利要求1所述的玻璃基板的搬送系統(tǒng)，其特征在于該接受專用輸送機及交付專用輸送機，具備對準裝置。
3.如權利要求2所述的玻璃基板的搬送系統(tǒng)，其特征在于該對準裝置，具有使玻璃基板水平旋轉的旋轉機構、及左右的微調整機構，且該兩機構能在互相不干擾之下在1處同時作調整。
4.如權利要求3所述的玻璃基板的搬送系統(tǒng)，其特征在于該對準裝置的旋轉機構，在具有承載玻璃基板的玻璃基板承接件的旋轉體的外周面，將一彎曲性好的帶狀體從左卷繞，將另一彎曲性好的帶狀體從右卷繞，且將各帶狀體的一端固定于該旋轉體，將帶狀體的另一端固定于直線移動的移動體，通過該移動體的往復運動來使該旋轉體旋轉。
5.如權利要求4所述的玻璃基板的搬送系統(tǒng)，其特征在于該對準裝置的玻璃基板承接件，配置于搬送玻璃基板的搬送滾輪的頂點、與固接有該搬送滾輪的軸之間，并且于玻璃基板承接件形成在任一旋轉角度均能穿過搬送滾輪的開口，當必須旋轉或左右微調整玻璃基板時，由上下機構使玻璃基板承接件上升至一位置，在該位置能使被搬送滾輪支撐的玻璃基板從搬送滾輪頂點浮起。
6.如權利要求3所述的玻璃基板的搬送系統(tǒng)，其特征在于該旋轉機構，載置固定于被支撐成能相對固定架左右滑動的活動臺板上，并通過驅動體使該活動臺板能沿具有對準裝置的輸送機的搬送方向的正交方向自如地微調整。
全文摘要
本發(fā)明提供一種搬送系統(tǒng)，其對于交換器與生產線間的逐片搬送，能以不換乘定置式輸送機的方式同時進行玻璃基板的交付及接受，借此來在工作時間(tact time)不浪費之下高效率地搬送。本發(fā)明的玻璃基板的搬送系統(tǒng)，是用來于自動倉庫、與多臺并設的交換器間進行匣式搬送，并于交換器與生產線間進行逐片搬送；且于交換器內，配置用來對該交換器內上下升降的匣裝載或卸載玻璃基板的輸送機，于交換器的裝載/卸載玻璃基板的一側，將交付專用輸送機(用來交付玻璃基板給生產線側)及接受專用輸送機(用來接受從生產線側排出的玻璃基板)配置成沿上下方向隔有間隔、且能互相不干擾地獨立行進，而且使配置于該交換器內的輸送機能對應該交付專用輸送機及接受專用輸送機的高度上下升降自如。
文檔編號B65G49/05GK1648019SQ20041005444
公開日2005年8月3日 申請日期2004年7月22日 優(yōu)先權日2004年1月28日
發(fā)明者降幡昌昭, 武井和彥 申請人:滿留安機械株式會社