半導(dǎo)體擴散設(shè)備中石英反應(yīng)管的裝卸裝置及其裝卸方法
【專利摘要】一種半導(dǎo)體擴散設(shè)備中石英反應(yīng)管的裝卸裝置及方法，該裝置與石英反應(yīng)管的升降裝置配合使用，升降裝置包括與反應(yīng)管相接觸的接口法蘭；該裝置包括平移驅(qū)動結(jié)構(gòu)、直線導(dǎo)軌、支撐臂和用于可分離地固定石英反應(yīng)管輔助支撐結(jié)構(gòu)；在裝載過程中，該輔助支撐結(jié)構(gòu)安裝在支撐臂上，通過平移驅(qū)動結(jié)構(gòu)前端與半導(dǎo)體擴散設(shè)備門框通過固定結(jié)構(gòu)對接，以及支撐臂沿直線導(dǎo)軌將石英反應(yīng)管平移到升降裝置接口法蘭相對接，平穩(wěn)完成了石英反應(yīng)管的裝卸過程。因此,本發(fā)明可以減少反應(yīng)管安裝的時間和風(fēng)險，方便設(shè)備裝配及維護人員的操作。
【專利說明】半導(dǎo)體擴散設(shè)備中石英反應(yīng)管的裝卸裝置及其裝卸方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件及加工制造領(lǐng)域，更具體地說，涉及一種將石英反應(yīng)管安裝和拆卸出半導(dǎo)體擴散設(shè)備反應(yīng)腔室的裝置及其裝卸方法。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體擴散設(shè)備是集成電路制造的重要工藝設(shè)備，是一種要求能長時間連續(xù)工作，具有優(yōu)異的控溫精度及良好的可靠性、穩(wěn)定性的自動控制設(shè)備，適用于集成電路制造過程中各種氧化、退火和薄膜生長等工藝。
[0003]為保持半導(dǎo)體擴散設(shè)備較佳的工作狀態(tài)，半導(dǎo)體擴散設(shè)備定期維護保養(yǎng)(PREVENTIVE MAINTENANCE,簡稱PM)，例如:定期檢修、上油、潤滑、更換消耗材等顯得十分重要，只有這樣才能發(fā)揮高的設(shè)備運轉(zhuǎn)效率。在上述過程中，半導(dǎo)體設(shè)備內(nèi)部部件的安裝和拆卸工具設(shè)計顯得十分重要。
[0004]石英反應(yīng)管是半導(dǎo)體擴散設(shè)備中的重要內(nèi)部部件，其在反應(yīng)管初次安裝、反應(yīng)管的Ο-ring或反應(yīng)管的更換或清洗，即每天、每周、每月或每季等的設(shè)備保養(yǎng)過程中和半導(dǎo)體擴散設(shè)備正常運轉(zhuǎn)期間停機中，需要從半導(dǎo)體擴散設(shè)備中卸載下來，完成后，又需要裝載上去。
[0005]本領(lǐng)域技術(shù)人員清楚，半導(dǎo)體擴散設(shè)備的整體結(jié)構(gòu)緊湊，安裝反應(yīng)腔室石英反應(yīng)管的空間較小，反應(yīng)管的體積較大，怎樣使石英反應(yīng)管能準確平穩(wěn)地與石英反應(yīng)管升降裝置對接，是目前業(yè)界面臨的一個瓶頸問題；尤其是石英反應(yīng)管容易破損，安裝和拆卸中的平穩(wěn)性更是一個難題。
[0006]目前，國內(nèi)半導(dǎo)體擴散設(shè)備，尚處于起步階段，相應(yīng)的技術(shù)設(shè)備水平相對較低，尚沒有專門為半導(dǎo)體設(shè)備內(nèi)部部件的安裝和拆卸設(shè)計的相應(yīng)裝置。同時，由于設(shè)備功能、型號和整體結(jié)構(gòu)的差異，裝置必須根據(jù)設(shè)備設(shè)計，通用性較差。雖然，國外相關(guān)的半導(dǎo)體設(shè)備廠商，例如:東京毅力科創(chuàng)株式會社(TEL)和株式會社日立國際電氣(KE)等半導(dǎo)體設(shè)備廠家，它們設(shè)備擁有相應(yīng)的安裝和拆卸裝置，但是，通用性較差，很難做到一種安裝和裝卸過程均適用的設(shè)備工具。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明的目的在于提供一種適應(yīng)國內(nèi)外多種半導(dǎo)體擴散設(shè)備、操作方便、安全性高的石英反應(yīng)管裝卸裝置及裝卸方法。
[0008]為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案如下:
[0009]一種半導(dǎo)體擴散設(shè)備中石英反應(yīng)管的裝卸裝置，與所述石英反應(yīng)管的升降裝置配合使用，所述升降裝置包括與所述反應(yīng)管相接觸的接口法蘭；該裝卸裝置包括平移驅(qū)動結(jié)構(gòu)、安裝在所述上支撐板上的直線導(dǎo)軌、設(shè)于所述直線導(dǎo)軌上的支撐臂、以及輔助支撐結(jié)構(gòu)；平移驅(qū)動結(jié)構(gòu)包括上下兩塊層疊支撐板的支撐平臺和與所述支撐平臺相連接的把手，其中，所述下支撐板與可調(diào)節(jié)高度的一組滾輪固接；輔助支撐結(jié)構(gòu)與所述支撐臂相配合，用于可分離地固定石英反應(yīng)管，其包括于所述支撐結(jié)構(gòu)相接觸的第一接口單元，以及與所述石英反應(yīng)管底部總裝相連接的第二接口單元；其中，在裝載過程中，所述平移驅(qū)動結(jié)構(gòu)前端與半導(dǎo)體擴散設(shè)備門框通過固定結(jié)構(gòu)對接，以及所述支撐臂沿直線導(dǎo)軌將所述石英反應(yīng)管平移到所述升降裝置接口法蘭相對接。
[0010]優(yōu)選地，所述石英反應(yīng)管包括內(nèi)管和外管；所述第二接口單元包括至少一種內(nèi)管接口單元和/或至少一種外管接口單元；所述內(nèi)管接口單元和與所述石英反應(yīng)內(nèi)管底部總裝相卡接，所述外管接口單元與所述石英反應(yīng)外管底部總裝相卡接。
[0011]優(yōu)選地，所述支撐臂包括半環(huán)形支撐面，所述上支撐面上具有多個定位銷；所述外管第二接口單元包括空心圓柱、位于所述圓柱外圍且與所述第一接口單元相臨接的環(huán)形裙邊、位于所述裙邊上的多個定位孔和多個分布在所述裙邊外圍的半圓形缺口，所述定位孔與所述上支撐面上的定位銷相對接。所述半圓形缺口的數(shù)量和位置與石英反應(yīng)管底部總裝上的螺紋通孔相對應(yīng)。
[0012]優(yōu)選地，所述支撐臂包括半環(huán)形支撐面，所述上支撐面上具有多個定位銷；所述內(nèi)管第二接口單元包括空心圓柱、位于所述圓柱外圍且與所述第一接口單元相臨接的環(huán)形裙邊和位于所述裙邊上的多個定位孔，所述定位孔與所述上支撐面上的定位銷相對接；其中，所述空心圓柱遠離所述裙邊端具有環(huán)形凸起。
[0013]優(yōu)選地，所述上下兩塊層疊支撐板間的間距通過間距調(diào)節(jié)單元控制。
[0014]優(yōu)選地，所述間距調(diào)節(jié)單元為旋轉(zhuǎn)升降機構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)升降機構(gòu)包括旋轉(zhuǎn)拉手。
[0015]優(yōu)選地，所述把手為升降把手，所述把手與所述支撐平臺可拆卸固接。
[0016]優(yōu)選地，所述平移驅(qū)動結(jié)構(gòu)前端與所述半導(dǎo)體擴散設(shè)備門框通過定位塊和定位銷對接。
[0017]優(yōu)選地，所述下支撐平臺具有多個直線導(dǎo)向柱與所述上支撐平臺上的通孔相穿接。
[0018]為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明還提供一種半導(dǎo)體擴散設(shè)備中石英反應(yīng)管的裝卸方法，包括安裝步驟和卸載步驟；所述安裝步驟具體包括如下步驟:
[0019]步驟Sll:將所述輔助支撐結(jié)構(gòu)的第一接口單元安置于所述支撐臂上；將所述石英反應(yīng)管的底部安置于所述輔助支撐結(jié)構(gòu)的第二接口單元中；
[0020]步驟S12:驅(qū)動所述把手將所述平移驅(qū)動結(jié)構(gòu)前端與所述半導(dǎo)體擴散設(shè)備門框通過固定結(jié)構(gòu)對接；
[0021]步驟S13:驅(qū)動所述支撐臂沿直線導(dǎo)軌將所述石英反應(yīng)管平移到所述升降裝置接口法蘭相對接；
[0022]步驟S14:通過所述升降裝置將帶有所述輔助支撐結(jié)構(gòu)的石英反應(yīng)管升入所述的半導(dǎo)體擴散設(shè)備腔室中；
[0023]所述卸載步驟具體包括如下步驟:
[0024]步驟S21:驅(qū)動所述把手將所述平移驅(qū)動結(jié)構(gòu)前端與所述半導(dǎo)體擴散設(shè)備門框通過固定結(jié)構(gòu)對接；
[0025]步驟S22:通過所述升降裝置將帶有所述輔助支撐結(jié)構(gòu)的石英反應(yīng)管退出所述的半導(dǎo)體擴散設(shè)備腔室中；
[0026]步驟S23:將所述輔助支撐結(jié)構(gòu)的第一接口單元安置于所述支撐臂上；[0027]步驟S24:解開所述石英反應(yīng)管與所述升降裝置接口法蘭相對接結(jié)構(gòu)，驅(qū)動所述支撐臂沿直線導(dǎo)軌，將所述石英反應(yīng)管退回到所述支撐平臺中；
[0028]步驟S25:解開所述平移驅(qū)動結(jié)構(gòu)前端與所述半導(dǎo)體擴散設(shè)備門框的固定結(jié)構(gòu)，然后通過所述把手將所述平移石英反應(yīng)管移出。
[0029]從上述技術(shù)方案可以看出，本發(fā)明提供的裝置運行靈活精確，平穩(wěn)可靠，在保證工藝效果好的前提下，使其具備高剛性、高可靠性、結(jié)構(gòu)緊湊和允許操作人員在小空間操作等特點。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0030]圖1為本發(fā)明半導(dǎo)體擴散設(shè)備中石英反應(yīng)管裝卸裝置一較佳實施例的整體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0031]圖2為本發(fā)明實施例中石英反應(yīng)管外管的輔助支撐裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0032]圖3為本發(fā)明實施例中石英反應(yīng)管內(nèi)管的輔助支撐裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0033]圖4至圖17為本發(fā)明半導(dǎo)體擴散設(shè)備中石英反應(yīng)外管安裝方法一較佳實施例的安裝步驟示意圖；
[0034]圖18為本發(fā)明半導(dǎo)體擴散設(shè)備中石英反應(yīng)內(nèi)管安裝方法示意圖。
【具體實施方式】
[0035]下面結(jié)合附圖，對本發(fā)明的【具體實施方式】作進一步的詳細說明。
[0036]需要說明的是，本發(fā)明的一種半導(dǎo)體擴散設(shè)備中石英反應(yīng)管的裝卸裝置，與石英反應(yīng)管的升降裝置配合使用，升降裝置包括與反應(yīng)管相接觸的接口法蘭。適用本發(fā)明裝卸的石英反應(yīng)管可以是內(nèi)管，也可以是外管，在安裝過程中需先安裝外管，再從外管的下方將內(nèi)管套接在一起。
[0037]本發(fā)明的裝卸裝置一般包括平移驅(qū)動結(jié)構(gòu)、安裝在上支撐板上的直線導(dǎo)軌、設(shè)于直線導(dǎo)軌上的支撐臂以及輔助支撐結(jié)構(gòu)。平移驅(qū)動結(jié)構(gòu)包括上下兩塊層疊支撐板的支撐平臺和與支撐平臺相連接的把手，其中，下支撐板與可調(diào)節(jié)高度的一組滾輪固接；輔助支撐結(jié)構(gòu)與支撐臂相配合，用于可分離地固定石英反應(yīng)管，其包括于支撐結(jié)構(gòu)相接觸的第一接口單元，以及與石英反應(yīng)管底部總裝相連接的第二接口單元；其中，在裝載過程中，平移驅(qū)動結(jié)構(gòu)前端與半導(dǎo)體擴散設(shè)備門框通過固定結(jié)構(gòu)對接，以及支撐臂沿直線導(dǎo)軌將所述石英反應(yīng)管平移到升降裝置接口法蘭相對接。
[0038]請參閱圖1，圖1為本發(fā)明半導(dǎo)體擴散設(shè)備中石英反應(yīng)管裝卸裝置一較佳實施例的整體結(jié)構(gòu)示意圖。如圖所示，圖中標示了裝置的主要結(jié)構(gòu)，主要結(jié)構(gòu)包括平移把手1、升降把手2、支撐臂3、直線導(dǎo)軌4、定位塊5、定位板6、一組滾輪7、旋轉(zhuǎn)升降裝置8、上支撐板
9、下支撐板10、直線導(dǎo)向柱11。從圖中可以看出，整個裝置的外形為一部可推拉的萬向移動小車，通過調(diào)節(jié)升降把手2，調(diào)節(jié)裝置的整體高度；支撐臂3可以沿直線導(dǎo)軌4前后水平運動，將石英反應(yīng)管推入(或拉出)工作環(huán)境；通過定位塊5可以實現(xiàn)支撐臂3位置的確定；通過旋轉(zhuǎn)升降裝置8可以調(diào)節(jié)支撐板9和支撐底板10之間的相對高度，通過定位板6可以確定裝置和設(shè)備的相對位置，通過滾輪7和把手I可以實現(xiàn)裝置的移動。
[0039]在裝載過程前，石英反應(yīng)管的底座通過輔助支撐結(jié)構(gòu)安裝在支撐臂3上的，且輔助支撐結(jié)構(gòu)可分離地固定石英反應(yīng)管的。輔助支撐結(jié)構(gòu)包括與支撐臂3相接觸的第一接口單元，以及與石英反應(yīng)管底部總裝相連接的第二接口單元。在裝載過程中，平移驅(qū)動結(jié)構(gòu)前端與半導(dǎo)體擴散設(shè)備門框通過固定結(jié)構(gòu)對接，以及支撐臂3沿直線導(dǎo)軌4將所述石英反應(yīng)管平移到升降裝置接口法蘭相對接。
[0040]在本發(fā)明的實施例中，石英反應(yīng)管可以是內(nèi)管，也可以是外管；第二接口單元可以分成內(nèi)管接口單元或外管接口單元；內(nèi)管接口單元和與石英反應(yīng)內(nèi)管底部總裝相卡接，外管接口單元與石英反應(yīng)外管底部總裝相卡接。
[0041]請參閱圖2，圖2為本發(fā)明實施例中石英反應(yīng)管外管的輔助支撐裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖所示，石英反應(yīng)管外管的輔助支撐裝置20包括于支撐臂3相接觸的第一接口單元，以及與石英反應(yīng)管外底部總裝相連接的第二接口單元。結(jié)合圖1和圖2看，支撐臂3包括半環(huán)形支撐面，支撐面上具有多個定位銷；外管接口單元包括空心圓柱202、位于圓柱202外圍且與第一接口單元相臨接的環(huán)形裙邊201、位于裙邊201上的兩個定位孔203和多個分布在裙邊201外圍的半圓形缺口 204。定位孔203與上支撐面上的定位銷相對接。半圓形缺口 204的數(shù)量和安裝位置與石英反應(yīng)外管底部總裝上的螺紋通孔相一一對應(yīng)。
[0042]上述結(jié)構(gòu)保證了反應(yīng)管外管的安裝精度(與反應(yīng)腔室同軸心)，同時，可以防止石英反應(yīng)外管直接與支撐臂3接觸造成污染，還可以防止石英反應(yīng)外管在與支撐臂3接觸和離開的過程中造成損壞。
[0043]請參閱圖3，為本發(fā)明實施例中石英反應(yīng)管內(nèi)管的輔助支撐裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；如圖所示，石英反應(yīng)管外管的輔助支撐裝置30包括于支撐臂3相接觸的第一接口單元，以及與石英反應(yīng)管內(nèi)底部總裝相連接的第二接口單元。結(jié)合圖1和圖2看，支撐臂3包括半環(huán)形支撐面，支撐面上具有多個定位銷；內(nèi)管接口單元包括空心圓柱302、位于圓柱302外圍且與第一接口單元相臨接的環(huán)形裙邊301、位于裙邊301上的2個定位孔303，定位孔303與支撐面上的定位銷相對接，其中，空心圓柱302遠離裙邊301端具有環(huán)形凸起，且為減輕空心圓柱302的重量，空心圓柱302為鏤空結(jié)構(gòu)，鏤空圖案可以是任何形狀，在本實施例中，由4個均勻分布在空心圓柱302環(huán)形壁上的圓形構(gòu)成。
[0044]上述結(jié)構(gòu)的作用是保證石英管內(nèi)管的安裝精度(與反應(yīng)腔室同軸心)，同時，可以防止石英反應(yīng)內(nèi)管直接與支撐臂3接觸造成污染，還可以防止石英反應(yīng)內(nèi)管在與支撐臂3接觸和離開的過程中造成損壞，即對內(nèi)管進行保護。因此，上述兩個輔助支撐裝置根據(jù)不同石英管的結(jié)構(gòu)進行設(shè)計，同時，可以根據(jù)不同結(jié)構(gòu)的石英管結(jié)構(gòu)進行調(diào)整，通用性高。
[0045]請再參閱圖1，在本實施例中，除滾輪組7具有上下可調(diào)高度外，上下兩塊層疊支撐板9、10的間距通過間距調(diào)節(jié)單元控制，間距調(diào)節(jié)單元可以為旋轉(zhuǎn)升降機構(gòu)8，旋轉(zhuǎn)升降機構(gòu)8包括旋轉(zhuǎn)把手。并且，小車的把手I可以根據(jù)需要升降，該把手I與支撐平臺可拆卸固接。平移驅(qū)動結(jié)構(gòu)前端可以與半導(dǎo)體擴散設(shè)備門框通過定位塊和定位銷對接固定。下支撐平臺10具有多個直線導(dǎo)向柱11與上支撐平臺9上的通孔相穿接。
[0046]根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，本發(fā)明的半導(dǎo)體擴散設(shè)備中石英反應(yīng)管的裝卸方法，包括安裝步驟和卸載步驟；安裝步驟具體包括如下步驟:
[0047]步驟Sll:將輔助支撐結(jié)構(gòu)的第一接口單元安置于支撐臂上；將石英反應(yīng)管的底部安置于輔助支撐結(jié)構(gòu)的第二接口單元中；
[0048]步驟S12:驅(qū)動把手將平移驅(qū)動結(jié)構(gòu)前端與半導(dǎo)體擴散設(shè)備門框通過固定結(jié)構(gòu)對接;
[0049]步驟S13:驅(qū)動支撐臂沿直線導(dǎo)軌將石英反應(yīng)管平移到升降裝置接口法蘭相對接;
[0050]步驟S14:通過升降裝置將帶有輔助支撐結(jié)構(gòu)的石英反應(yīng)管升入的半導(dǎo)體擴散設(shè)備腔室中；
[0051 ] 卸載步驟具體包括如下步驟:
[0052]步驟S21:驅(qū)動把手將所述平移驅(qū)動結(jié)構(gòu)前端與半導(dǎo)體擴散設(shè)備門框通過固定結(jié)構(gòu)對接；
[0053]步驟S22:通過所述升降裝置將帶有所述輔助支撐結(jié)構(gòu)的石英反應(yīng)管退出所述的半導(dǎo)體擴散設(shè)備腔室中；
[0054]步驟S23:將輔助支撐結(jié)構(gòu)的第一接口單元安置于支撐臂上；
[0055]步驟S24:解開石英反應(yīng)管與所述升降裝置接口法蘭相對接結(jié)構(gòu)，驅(qū)動支撐臂沿直線導(dǎo)軌，將石英反應(yīng)管退回到支撐平臺中；
[0056]步驟S25:解開平移驅(qū)動結(jié)構(gòu)前端與半導(dǎo)體擴散設(shè)備門框的固定結(jié)構(gòu)，然后通過把手將平移石英反應(yīng)管移出。
[0057]下面請參考圖4至圖18，對本發(fā)明半導(dǎo)體擴散設(shè)備中石英反應(yīng)外管安裝方法一較佳實施例的安裝步驟進行詳細說明。
[0058]請參閱圖4，首先裝卸小車左右兩側(cè)的固定螺桿53和54，將左右定位塊51和52取下。
[0059]請參閱圖5，將左右定位塊51和52通過固定螺釘和分別固定在后門15門框151上的定位塊153和154上。
[0060]注意:兩個定位塊153和154門框151下端臺階與后密封板貼合,此時后門密封圈夾在定位塊與后密封板之間IOmm的縫隙中。在此安裝過程中，注意防止劃傷后門密封圈。[0061 ] 請參閱圖6，確認安裝在支撐臂3上插拔式定位銷33已插入到定位塊32中，此時，支撐臂3已在裝卸小車后端通過定位塊32和定位銷33定位,無法移動。取石英外管輔助20安裝結(jié)構(gòu)，使其裙邊201上的兩個孔31對應(yīng)支撐臂3上的兩個定位銷33，以使輔助安裝結(jié)構(gòu)20放置在支撐臂3上。注意:石英外管輔助安裝結(jié)構(gòu)20的上下面不要搞反。
[0062]如圖7所示，在將工藝管總裝12放置工藝管輔助安裝結(jié)構(gòu)20上時，需將工藝管總裝12的內(nèi)孔與石英外管輔助安裝結(jié)構(gòu)20的上端外圓相貼合保證同心，再整體旋轉(zhuǎn)工藝管總裝12使得工藝管總裝12上的固定軸通孔121與支撐臂3上的螺紋孔對齊，再用固定軸將工藝管總裝12與支撐臂3連接起來，使工藝管總裝12完全固定在支撐臂3上。注意:此時工藝管總裝12上的7個安裝螺紋通孔應(yīng)與石英外管輔助安裝結(jié)構(gòu)20上的7個半圓孔--對應(yīng)。
[0063]如圖8所示，緩慢推動裝卸小車至設(shè)備側(cè)控制柜與后控制柜之間。
[0064]請參閱圖9，使裝卸小車前端的凸輪導(dǎo)向器156與定位塊上的導(dǎo)向板155緩慢貼合，再沿此方向緩慢將小車 推至前端面與定位塊前面貼合。
[0065]請參閱圖10，剎住兩個后腳輪的擋塊，使裝卸小車定位。
[0066]請參閱圖11，旋松把手I下端兩邊旋鈕，將把手I移除。
[0067]請參閱圖12，旋緊裝卸小車左右兩側(cè)的固定螺桿，使裝卸小車前端面與定位塊前端面貼緊，從而將裝卸小車與設(shè)備連接固定。
[0068]請參閱圖13，握住拉手34，先將插拔式定位銷旋轉(zhuǎn)拉出，再將支撐臂3與工藝管總裝12 —起向前緩慢推動。
[0069]請參閱圖14，直到支撐臂3推不動時，將插拔式定位銷旋轉(zhuǎn)按下插入到下端定位塊中。
[0070]請參閱圖15，旋松支承軸35，再旋轉(zhuǎn)支桿36，使上支撐板9向下移動并帶動支撐臂3和工藝管總裝12 —同向下移動。
[0071]請參閱圖16，緩慢的將石英外管工裝12落在工藝門水冷盤上，并繼續(xù)旋轉(zhuǎn)支桿36，使支撐臂3與石英外管工裝12脫離開2mm左右。
[0072]請參閱圖17，安裝裝卸小車I把手，并用旋鈕固定緊，松開腳輪的剎車，將裝卸小車移出。
[0073]從上述步驟可以看出，本發(fā)明可以將石英管外管安裝到設(shè)備內(nèi)部的升降裝置上，最終將石英管外管放入反應(yīng)腔室。
[0074]請參閱圖18，圖18為本發(fā)明半導(dǎo)體擴散設(shè)備中石英反應(yīng)內(nèi)管安裝方法示意圖；如圖所示，石英內(nèi)管的安裝方式與外管安裝方式相似，不再贅述。
[0075]以上所述的僅為本發(fā)明的優(yōu)選實施例，所述實施例并非用以限制本發(fā)明的專利保護范圍，因此凡是運用本發(fā)明的說明書及附圖內(nèi)容所作的等同結(jié)構(gòu)變化，同理均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種半導(dǎo)體擴散設(shè)備中石英反應(yīng)管的裝卸裝置，與所述石英反應(yīng)管的升降裝置配合使用，所述升降裝置包括與所述反應(yīng)管相接觸的接口法蘭；其特征在于，包括: 平移驅(qū)動結(jié)構(gòu)，包括上下兩塊層疊支撐板的支撐平臺和與所述支撐平臺相連接的把手，其中，所述下支撐板與可調(diào)節(jié)高度的一組滾輪固接； 直線導(dǎo)軌，安裝在所述上支撐板上； 支撐臂，設(shè)于所述直線導(dǎo)軌上； 輔助支撐結(jié)構(gòu)，與所述支撐臂相配合，用于可分離地固定石英反應(yīng)管，其包括與所述支撐結(jié)構(gòu)相接觸的第一接口單元，以及與所述石英反應(yīng)管底部總裝相連接的第二接口單元； 其中，在裝載過程中，所述平移驅(qū)動結(jié)構(gòu)前端與所述半導(dǎo)體擴散設(shè)備門框通過固定結(jié)構(gòu)對接，以及所述支撐臂沿直線導(dǎo)軌將所述石英反應(yīng)管平移到所述升降裝置接口法蘭相對接。
2.如權(quán)利要求1所述的裝卸裝置，其特征在于，所述石英反應(yīng)管包括內(nèi)管和外管；所述第二接口單元包括至少一種內(nèi)管接口單元和/或至少一種外管接口單元；所述內(nèi)管接口單元和與所述石英反應(yīng)內(nèi)管底部總裝相卡接，所述外管接口單元與所述石英反應(yīng)外管底部總裝相卡接。
3.如權(quán)利要求2所述的裝卸裝置，其特征在于，所述支撐臂包括半環(huán)形支撐面，所述支撐面上具有多個定位銷；所述外管接口單元包括空心圓柱、位于所述圓柱外圍且與所述第一接口單元相臨接的環(huán)形裙邊 、位于所述裙邊上的多個定位孔和多個分布在所述裙邊外圍的半圓形缺口，所述定位孔與所述上支撐面上的定位銷相對接。所述半圓形缺口的數(shù)量和位置與石英反應(yīng)外管底部總裝上的螺紋通孔相對應(yīng)。
4.如權(quán)利要求2所述的裝卸裝置，其特征在于，所述支撐臂包括半環(huán)形支撐面，所述支撐面上具有多個定位銷；所述內(nèi)管接口單元包括空心圓柱、位于所述圓柱外圍且與所述第一接口單元相臨接的的環(huán)形裙邊、位于所述裙邊上的多個定位孔，所述定位孔與所述支撐面上的定位銷相對接，其中，所述空心圓柱遠離所述裙邊端具有環(huán)形凸起。
5.如權(quán)利要求1所述的裝卸裝置，其特征在于，所述上下兩塊層疊支撐板的間距通過間距調(diào)節(jié)單元控制。
6.如權(quán)利要求5所述的裝卸裝置，其特征在于，所述間距調(diào)節(jié)單元為旋轉(zhuǎn)升降機構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)升降機構(gòu)包括旋轉(zhuǎn)拉手。
7.如權(quán)利要求1所述的裝卸裝置，其特征在于，所述把手為升降把手，所述把手與所述支撐平臺可拆卸固接。
8.如權(quán)利要求1所述的裝卸裝置，其特征在于，所述平移驅(qū)動結(jié)構(gòu)前端與所述半導(dǎo)體擴散設(shè)備門框通過定位塊和定位銷對接固定。
9.如權(quán)利要求1所述的裝卸裝置，其特征在于，所述下支撐平臺具有多個直線導(dǎo)向柱與所述上支撐平臺上的通孔相穿接。
10.一種采用如權(quán)利要求1中所述裝置的裝卸方法，包括安裝步驟和卸載步驟；其特征在于， 所述安裝步驟具體包括如下步驟: 步驟Sll:將所述輔助支撐結(jié)構(gòu)的第一接口單元安置于所述支撐臂上；將所述石英反應(yīng)管的底部安置于所述輔助支撐結(jié)構(gòu)的第二接口單元中；步驟S12:驅(qū)動所述把手將所述平移驅(qū)動結(jié)構(gòu)前端與所述半導(dǎo)體擴散設(shè)備門框通過固定結(jié)構(gòu)對接； 步驟S13:驅(qū)動所述支撐臂沿直線導(dǎo)軌將所述石英反應(yīng)管平移到所述升降裝置接口法蘭相對接； 步驟S14:通過所述升降裝置將帶有所述輔助支撐結(jié)構(gòu)的石英反應(yīng)管升入所述的半導(dǎo)體擴散設(shè)備腔室中； 所述卸載步驟具體包括如下步驟: 步驟S21:驅(qū)動所述把手將所述平移驅(qū)動結(jié)構(gòu)前端與所述半導(dǎo)體擴散設(shè)備門框通過固定結(jié)構(gòu)對接； 步驟S22:通過所述升降裝置將帶有所述輔助支撐結(jié)構(gòu)的石英反應(yīng)管退出所述的半導(dǎo)體擴散設(shè)備腔室中； 步驟S23:將所述輔助支撐結(jié)構(gòu)的第一接口單元置于所述支撐臂上； 步驟S24:解開所述石英反應(yīng)管與所述升降裝置接口法蘭相對接結(jié)構(gòu)，驅(qū)動所述支撐臂沿直線導(dǎo)軌，將所述石英反應(yīng)管退回到所述支撐平臺中； 步驟S25:解開所述平移驅(qū)動結(jié)構(gòu)前端與所述半導(dǎo)體擴散設(shè)備門框的固定結(jié)構(gòu)，然后通過所述把手將所述平移石英反應(yīng)管移出。
【文檔編號】B62B3/04GK103661527SQ201310628388
【公開日】2014年3月26日 申請日期:2013年11月29日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月29日
【發(fā)明者】林欣家, 郝琪, 董金衛(wèi) 申請人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司