本發(fā)明涉及機器人，尤其涉及一種用于移動機器人的底盤及移動機器人。

背景技術：

1、隨著全球半導體行業(yè)的蓬勃發(fā)展，晶圓作為半導體制造的核心組件，其生產規(guī)模持續(xù)擴大，對產品質量的要求越來越高。為了滿足這一需求，晶圓生產線正逐步向高度自動化、智能化轉型，旨在通過移動機器人搬運晶圓，以提升生產效率，降低人力成本，并確保產品的一致性和良品率。

2、在當前技術中，移動機器人在晶圓倉庫與生產線之間，以及產線上游與下游之間的物料搬運過程中，可能存在溝壑、坎以及高低不平等復雜地形，由于移動機器人的減震效果不佳，導致晶圓容易受損，進而導致晶圓片的良品率較低。

技術實現思路

1、本發(fā)明的目的在于提供一種用于移動機器人的底盤，以解決移動機器人減震效果不佳，導致在搬運晶圓過程中容易導致晶圓受損的技術問題。

2、為了實現上述目的，本發(fā)明提供一種用于移動機器人的底盤，包括底盤本體、承載平板和兩個減震機構，兩個所述減震機構沿所述底盤本體的長度方向間隔設置在所述底盤本體的頂面兩側；

3、所述減震機構包括至少兩個減震彈簧，至少兩個所述減震彈簧沿所述底盤本體的寬度方向間隔設置在所述底盤本體的頂面，所有所述減震彈簧用于共同支撐所述承載平板，以對所述承載平板上的承載物體進行減震。

4、可選地，兩個所述減震機構在所述底盤本體的長度方向上對稱設置在所述底盤本體的頂面兩側。

5、可選地，所述減震機構包括兩個所述減震彈簧，兩個所述減震彈簧沿所述底盤本體的寬度方向間隔設置在所述底盤本體的頂面兩側，以使四個所述減震彈簧共同支撐所述承載平板。

6、可選地，所述減震機構還包括第一鉸鏈，所述第一鉸鏈與所述減震彈簧沿所述底盤本體的長度方向間隔設置，所述第一鉸鏈與所述減震彈簧具有預設間隔距離，且所述第一鉸鏈的一端轉動連接于所述底盤本體，所述第一鉸鏈的另一端轉動連接于所述承載平板；

7、其中，所述第一鉸鏈用于在所述承載平板產生擺動時對所述承載平板沿所述底盤本體的長度方向上的擺動幅度進行限制。

8、可選地，所述減震機構還包括第二鉸鏈，所述第二鉸鏈與所述第一鉸鏈間隔設置，且所述第二鉸鏈的一端轉動連接于所述底盤本體，所述第二鉸鏈的另一端轉動連接于所述承載平板；

9、其中，所述第二鉸鏈用于在所述承載平板產生擺動時對所述承載平板沿所述底盤本體的寬度方向上的擺動幅度進行限制。

10、可選地，所述減震機構包括兩個所述第一鉸鏈，各所述第一鉸鏈與各所述減震彈簧分別一一對應設置。

11、可選地，所述減震機構包括彈性緩沖件以及兩個所述第二鉸鏈，兩個所述第二鉸鏈沿所述底盤本體的寬度方向間隔設置，所述彈性緩沖件的兩端分別連接兩個所述第二鉸鏈；

12、當所述承載平板向所述第二鉸鏈施加壓力時，兩個所述第二鉸鏈擠壓所述彈性緩沖件，以使所述彈性緩沖件產生壓縮變形；當所述承載平板釋放壓力時，所述彈性緩沖件恢復原狀。

13、可選地，所述減震機構還包括導向軸，所述導向軸沿所述底盤本體的寬度方向延伸，所述彈性緩沖件套設在所述導向軸上，所述第二鉸鏈滑動設于所述導向軸上。

14、可選地，所述減震機構還包括限位件，所述限位件固定于所述導向軸的兩端，且所述限位件設于所述第二鉸鏈遠離所述彈性緩沖件的一側。

15、第二方面，本發(fā)明提供一種移動機器人，包括所述用于移動機器人的底盤。

16、本發(fā)明提供一種用于移動機器人的底盤，其有益效果在于：

17、本發(fā)明在底盤本體的頂面兩側，沿其長度方向間隔設置兩個減震機構，每個減震機構包含至少兩個減震彈簧，減震彈簧沿著底盤本體的寬度方向間隔布置，以形成移動機器人的減震系統。兩個減震機構在底盤本體的長度方向的前后兩個位置共同支撐承載平板，當移動機器人行駛在不平坦的地面上時震動會傳遞到承載平板，此時通過各個減震彈簧的彈性變形吸收并分散震動能量，降低震動對承載平板上裝載物體的影響，保證移動機器人運行平穩(wěn)性和承載物體的安全性，提高移動機器人的減震效果。當承載物體為晶圓片時，可以防止晶圓片受損，提高晶圓片的良品率。

技術特征：

1.一種用于移動機器人的底盤，其特征在于，包括：底盤本體、承載平板和兩個減震機構，兩個所述減震機構沿所述底盤本體的長度方向間隔設置在所述底盤本體的頂面兩側；

2.根據權利要求1所述的用于移動機器人的底盤，其特征在于，兩個所述減震機構在所述底盤本體的長度方向上對稱設置在所述底盤本體的頂面兩側。

3.根據權利要求2所述的用于移動機器人的底盤，其特征在于，所述減震機構包括兩個所述減震彈簧，兩個所述減震彈簧沿所述底盤本體的寬度方向間隔設置在所述底盤本體的頂面兩側，以使四個所述減震彈簧共同支撐所述承載平板。

4.根據權利要求3所述的用于移動機器人的底盤，其特征在于，所述減震機構還包括第一鉸鏈，所述第一鉸鏈與所述減震彈簧沿所述底盤本體的長度方向間隔設置，所述第一鉸鏈與所述減震彈簧具有預設間隔距離，且所述第一鉸鏈的一端轉動連接于所述底盤本體，所述第一鉸鏈的另一端轉動連接于所述承載平板；

5.根據權利要求4所述的用于移動機器人的底盤，其特征在于，所述減震機構還包括第二鉸鏈，所述第二鉸鏈與所述第一鉸鏈間隔設置，且所述第二鉸鏈的一端轉動連接于所述底盤本體，所述第二鉸鏈的另一端轉動連接于所述承載平板；

6.根據權利要求4所述的用于移動機器人的底盤，其特征在于，所述減震機構包括兩個所述第一鉸鏈，各所述第一鉸鏈與各所述減震彈簧分別一一對應設置。

7.根據權利要求5所述的用于移動機器人的底盤，其特征在于，所述減震機構包括彈性緩沖件以及兩個所述第二鉸鏈，兩個所述第二鉸鏈沿所述底盤本體的寬度方向間隔設置，所述彈性緩沖件的兩端分別連接兩個所述第二鉸鏈；

8.根據權利要求7所述的用于移動機器人的底盤，其特征在于，所述減震機構還包括導向軸，所述導向軸沿所述底盤本體的寬度方向延伸，所述彈性緩沖件套設在所述導向軸上，所述第二鉸鏈滑動設于所述導向軸上。

9.根據權利要求8所述的用于移動機器人的底盤，其特征在于，所述減震機構還包括限位件，所述限位件固定于所述導向軸的兩端，且所述限位件設于所述第二鉸鏈遠離所述彈性緩沖件的一側。

10.一種移動機器人，其特征在于，包括如權利要求1至9中任一項所述的用于移動機器人的底盤。

技術總結
本發(fā)明涉及機器人技術領域，公開了一種用于移動機器人的底盤及移動機器人，包括底盤本體、承載平板和兩個減震機構，兩個所述減震機構沿所述底盤本體的長度方向間隔設置在所述底盤本體的頂面兩側；所述減震機構包括至少兩個減震彈簧，至少兩個所述減震彈簧沿所述底盤本體的寬度方向間隔設置在所述底盤本體的頂面，所有所述減震彈簧用于共同支撐所述承載平板，以對所述承載平板上的承載物體進行減震。本發(fā)明旨在解決移動機器人減震效果不佳，導致在搬運晶圓過程中容易導致晶圓受損的技術問題。

技術研發(fā)人員：邊旭,詹永皇,毛偉勁,黃柏燊,張弢
受保護的技術使用者：深圳優(yōu)艾智合機器人科技有限公司
技術研發(fā)日：
技術公布日：2025/1/6