1.基于單軸氣浮臺(tái)的多柔性懸臂梁耦合振動(dòng)測(cè)控裝置，其特征在于：包括懸臂梁本體、支持驅(qū)動(dòng)組件和控制組件；
所述懸臂梁本體包括四根懸臂梁，所述四根懸臂梁均為柔性梁；四根懸臂梁的一端通過同一支架固定，該端為固定端，另一端為自由端，四根懸臂梁以支架為轉(zhuǎn)軸中心，沿周向呈90度均布；每根懸臂梁上設(shè)有壓電陶瓷傳感器、壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器和加速度傳感器；
所述支持驅(qū)動(dòng)組件包括單軸氣浮臺(tái)、供氣回路、伺服電機(jī)和伺服電機(jī)支架，所述四根懸臂梁通過支架安裝在單軸氣浮臺(tái)的支持轉(zhuǎn)臺(tái)上；所述供氣回路與單軸氣浮臺(tái)連接，用于向單軸氣浮臺(tái)供氣；所述伺服電機(jī)支架與單軸氣浮臺(tái)的支持轉(zhuǎn)臺(tái)固定連接，所述伺服電機(jī)帶有光電編碼器，并與伺服電機(jī)支架固定連接，用于通過伺服電機(jī)支架帶動(dòng)單軸氣浮臺(tái)的支持轉(zhuǎn)臺(tái)旋轉(zhuǎn)；
所述控制組件分別與壓電陶瓷傳感器、壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器、加速度傳感器、供氣回路和伺服電機(jī)連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于單軸氣浮臺(tái)的多柔性懸臂梁耦合振動(dòng)測(cè)控裝置，其特征在于：所述四根懸臂梁分別為第一單懸臂梁、第二單懸臂梁、第一鉸接懸臂梁和第二鉸接懸臂梁，所述第一單懸臂梁和第二單懸臂梁均由一根柔性梁組成，所述第一鉸接懸臂梁和第二鉸接懸臂梁均由內(nèi)、外兩根柔性梁鉸接而成；所述第一單懸臂梁與第一鉸接懸臂梁處于同一平面且對(duì)立分布在支架兩側(cè)，所述第二單懸臂梁與第二鉸接懸臂梁處于同一平面且對(duì)立分布在支架兩側(cè)，形成了第一單懸臂梁、第二單懸臂、第一鉸接懸臂梁和第二鉸接懸臂梁以支架為轉(zhuǎn)軸中心，沿周向呈90度均布的配置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基于單軸氣浮臺(tái)的多柔性懸臂梁耦合振動(dòng)測(cè)控裝置，其特征在于：
所述第一單懸臂梁和第二單懸臂梁上，在橫向中心線且距離固定端較近的位置上，前、后兩面各粘貼有一片壓電陶瓷傳感器，壓電陶瓷傳感器的姿態(tài)角為0度；在靠近固定端根部的位置上，前、后兩面對(duì)稱粘貼有兩片壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器，每一面的兩片壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器關(guān)于橫向中心線對(duì)稱，且姿態(tài)角為0度；在自由端邊緣的橫向中心線上安裝有一個(gè)加速度傳感器；
所述第一鉸接懸臂梁和第二鉸接懸臂梁上，在內(nèi)柔性梁的橫向中心線且距離固定端較近的位置上，前、后兩面各粘貼有一片壓電陶瓷傳感器，在外柔性梁的橫向中心線且靠近鉸鏈的位置上，前、后兩面各粘貼有一片壓電陶瓷傳感器，壓電陶瓷傳感器的姿態(tài)角為0度；在靠近固定端根部的位置上，前、后兩面對(duì)稱粘貼有兩片壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器，每一面的兩片壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器關(guān)于橫向中心線對(duì)稱，且姿態(tài)角為0度；在自由端邊緣的橫向中心線上安裝有一個(gè)加速度傳感器。
4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的基于單軸氣浮臺(tái)的多柔性懸臂梁耦合振動(dòng)測(cè)控裝置，其特征在于：所述供氣回路由氣泵、氣動(dòng)三聯(lián)件和二位三通閥組成，所述氣動(dòng)三聯(lián)件分別與氣泵和二位三通閥連接，所述二位三通閥與單軸氣浮臺(tái)連接；所述氣動(dòng)三聯(lián)件由空氣過濾器、減壓閥和油霧分離器組裝在一起，并帶有一個(gè)壓力表。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基于單軸氣浮臺(tái)的多柔性懸臂梁耦合振動(dòng)測(cè)控裝置，其特征在于：所述控制組件包括計(jì)算機(jī)、運(yùn)動(dòng)控制卡、開關(guān)閥驅(qū)動(dòng)電路、壓電放大電路、電荷放大器和電機(jī)伺服單元，所述計(jì)算機(jī)通過運(yùn)動(dòng)控制卡分別與開關(guān)閥驅(qū)動(dòng)電路、壓電放大電路、電荷放大器和電機(jī)伺服單元連接，所述開關(guān)閥驅(qū)動(dòng)電路與二位三通閥連接，所述壓電放大電路與壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器連接，所述電荷放大器分別與壓電陶瓷傳感器、加速度傳感器連接，所述電機(jī)伺服單元與伺服電機(jī)連接；
計(jì)算機(jī)根據(jù)需要發(fā)出相應(yīng)的開關(guān)控制信號(hào)，通過運(yùn)動(dòng)控制卡內(nèi)部的I/O模塊向開關(guān)閥驅(qū)動(dòng)電路輸入控制信號(hào)，開關(guān)閥驅(qū)動(dòng)電路驅(qū)動(dòng)二位三通閥的工位切換，從而控制供氣回路的開關(guān)，使單軸氣浮臺(tái)的支持轉(zhuǎn)臺(tái)浮起；
伺服電機(jī)的光電編碼器將伺服電機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)信息反饋給電機(jī)伺服單元，電機(jī)伺服單元通過運(yùn)動(dòng)控制卡傳輸給計(jì)算機(jī)，計(jì)算機(jī)根據(jù)反饋信息發(fā)出相應(yīng)控制參數(shù)，通過運(yùn)動(dòng)控制卡傳輸給電機(jī)伺服單元，電機(jī)伺服單元驅(qū)動(dòng)伺服電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)，從而帶動(dòng)單軸氣浮臺(tái)的支持轉(zhuǎn)臺(tái)旋轉(zhuǎn)；
壓電陶瓷傳感器和加速度傳感器檢測(cè)所在懸臂梁的彎曲振動(dòng)，將檢測(cè)到的振動(dòng)信號(hào)轉(zhuǎn)化為模擬電信號(hào)輸出，經(jīng)過電荷放大器放大后，通過運(yùn)動(dòng)控制卡內(nèi)部的A/D轉(zhuǎn)換模塊將模擬電信號(hào)按比例轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)輸入到計(jì)算機(jī)中，計(jì)算機(jī)處理后將控制信號(hào)經(jīng)由運(yùn)動(dòng)控制卡內(nèi)部的D/A輸出模塊輸出，經(jīng)過壓電放大電路放大信號(hào)，輸出到壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器中進(jìn)行響應(yīng)，以抑制懸臂梁的彎曲振動(dòng)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的基于單軸氣浮臺(tái)的多柔性懸臂梁耦合振動(dòng)測(cè)控裝置，其特征在于：所述伺服電機(jī)支架上設(shè)有行星減速器和飛輪，所述伺服電機(jī)通過行星減速器的法蘭盤與伺服電機(jī)支架固定連接，且伺服電機(jī)的輸出軸與單軸氣浮臺(tái)的支持轉(zhuǎn)臺(tái)主軸同軸，所述飛輪與行星減速器的法蘭盤固定連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的基于單軸氣浮臺(tái)的多柔性懸臂梁耦合振動(dòng)測(cè)控裝置，其特征在于：所述單軸氣浮臺(tái)包括空氣靜壓軸承和支持轉(zhuǎn)臺(tái)；供氣回路向單軸氣浮臺(tái)供應(yīng)加壓氣體，再經(jīng)由單軸氣浮臺(tái)向空氣靜壓軸承表面噴射加壓氣體，使支持轉(zhuǎn)臺(tái)主軸懸浮在空氣靜壓軸承的軸承套中。
8.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的基于單軸氣浮臺(tái)的多柔性懸臂梁耦合振動(dòng)測(cè)控裝置，其特征在于：所述單軸氣浮臺(tái)設(shè)置在一底座上。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的基于單軸氣浮臺(tái)的多柔性懸臂梁耦合振動(dòng)測(cè)控裝置，其特征在于：所述底座的底部具有四個(gè)支撐腳，每?jī)蓚€(gè)相鄰的支撐腳之間安裝一橫向支架。
10.基于權(quán)利要求5所述裝置的多柔性懸臂梁耦合振動(dòng)測(cè)控方法，其特征在于：所述方法包括以下步驟：
步驟一、壓電陶瓷傳感器和加速度傳感器檢測(cè)所在懸臂梁的彎曲振動(dòng)，將檢測(cè)到的振動(dòng)信號(hào)轉(zhuǎn)化為模擬電信號(hào)輸出；
步驟二、采集到的模擬電信號(hào)經(jīng)過電荷放大器放大，通過運(yùn)動(dòng)控制卡內(nèi)部的A/D轉(zhuǎn)換模塊將模擬電信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)輸入到計(jì)算機(jī)中，計(jì)算機(jī)運(yùn)行相應(yīng)的主動(dòng)控制算法對(duì)數(shù)字信號(hào)進(jìn)行處理，得到相應(yīng)的彎曲振動(dòng)反饋信號(hào)；
步驟三、所得到的彎曲振動(dòng)反饋信號(hào)經(jīng)由運(yùn)動(dòng)控制卡內(nèi)部的D/A輸出模塊輸出，經(jīng)過壓電放大電路放大信號(hào)，輸出到壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器中進(jìn)行響應(yīng)，以抑制懸臂梁的彎曲振動(dòng)；
步驟四、通過控制伺服電機(jī)的正反轉(zhuǎn)以重復(fù)上述步驟進(jìn)行實(shí)驗(yàn)，獲取多次實(shí)驗(yàn)的結(jié)果。