1.一種空間六自由度剛?cè)釀恿W(xué)去耦合裝置,其特征在于,包括:轉(zhuǎn)動音圈電機(jī)一(1)、法蘭盤一(2)、直線音圈電機(jī)一(3)、法蘭盤二(4)、轉(zhuǎn)動音圈電機(jī)二(5)、法蘭盤三(6)、直線音圈電機(jī)二(7)、法蘭盤四(8)、轉(zhuǎn)動音圈電機(jī)三(9)、法蘭盤五(10)、直線音圈電機(jī)三(11)、法蘭盤六(12)、平移位置測量傳感器(13)和轉(zhuǎn)動角度測量傳感器(14),所述直線音圈電機(jī)一(3)直線自由度方向動子的一端與轉(zhuǎn)動音圈電機(jī)一(1)的定子之間由法蘭盤一(2)固定連接,直線音圈電機(jī)一(3)直線自由度方向定子的一端與轉(zhuǎn)動音圈電機(jī)二(5)的轉(zhuǎn)子之間由法蘭盤二(4)固定連接,直線音圈電機(jī)二(7)直線自由度方向動子的一端與轉(zhuǎn)動音圈電機(jī)二(5)的定子之間由法蘭盤三(6)固定連接,直線音圈電機(jī)二(7)直線自由度方向定子的一端與轉(zhuǎn)動音圈電機(jī)三(7)的轉(zhuǎn)子之間由法蘭盤四8固定連接,直線音圈電機(jī)三(11)直線自由度方向動子的一端與轉(zhuǎn)動音圈電機(jī)三(9)的定子之間由法蘭盤五(10)固定連接,直線音圈電機(jī)三直線自由度方向(11)定子的一端固定有法蘭盤六(12),直線音圈電機(jī)一(3)上的動子和定子之間、直線音圈電機(jī)二(7)上的動子和定子之間、直線音圈電機(jī)三(11)上的動子和定子之間均設(shè)有平移位置測量傳感器(13),轉(zhuǎn)動音圈電機(jī)一(1)的定子與法蘭盤一(2)之間、轉(zhuǎn)動音圈電機(jī)二(5)的定子與法蘭盤三(6)之間、轉(zhuǎn)動音圈電機(jī)三(9)的定子與法蘭盤五(10)之間均設(shè)有轉(zhuǎn)動角度測量傳感器(14)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的空間六自由度剛?cè)釀恿W(xué)去耦合裝置,其特征在于,所述直線音圈電機(jī)一(3)和直線音圈電機(jī)二(7)之間的角度為90度。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的空間六自由度剛?cè)釀恿W(xué)去耦合裝置,其特征在于,所述直線音圈電機(jī)二(7)和直線音圈電機(jī)三(11)之間的角度為90度。