專利名稱：一種前開式晶片箱自動載入裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型是關于一種前開式晶片箱自動載入裝置，尤指一種適用于晶片制程設備之載入端界面，用以承載前開式晶片箱并自動開啟或關閉其箱蓋。
目前晶片制程中，均先將晶片容置于晶片箱內，只要控制晶片箱內較小空間的潔凈度，就可不必太過要求外部無塵室的潔凈度，借此節(jié)省晶片制程設備的潔凈成本。然而，晶片箱內部雖然潔凈度高，但于載入制程設備的過程中，利用人工開啟箱蓋或關閉動作，易將外周微塵或人體粉塵帶入制程設備內污染內部晶片。
本實用新型的主要目的在于提供一種前開式晶片箱自動載入裝置，俾能自動載入并啟閉前開式晶片箱箱蓋，隔絕主要微塵來源的人體，減少晶片受污染的可能。
本實用新型的另一目的在于提供一種前開式晶片箱自動載入裝置，以能作為晶片制程實施整體自動化的一環(huán)。
為達到上述目的，本實用新型提供一種前開式晶片箱自動載入裝置，主要包括一機臺，于一背板中段及下段固設一置物臺與一底座，并于背板上方開設有一出入阜；一移動臺，滑設于置物臺上方，移動臺上貫設有一長孔，并以一滑移機構朝向出入阜方向趨近或遠離，滑動機構是設置于移動臺下方；一扣壓機構，組設于移動臺下方，包括一軌條固設于移動臺下方，一滑塊滑設于軌條并螺設于一螺桿上，及一扣壓馬達用以驅動螺桿旋轉，滑塊上方形成一壓板能穿過移動臺的長孔，用以扣壓住前開式晶片箱底盤的扣壓部；一平移機構，包括一滑軌固設于機臺的底座上，滑軌上滑設有一水平平臺，水平平臺螺設于一水平螺桿上可受一平移馬達驅動而前后水平移動；一升降機構，包括有固設于水平平臺上的螺桿組與升降馬達，螺桿組是于一垂直軌道上滑設一滑塊，滑塊并螺設于一垂直螺桿上可受升降馬達驅動而上下垂直移動。
所述升降機構的滑塊可與一啟閉機構的支撐臂相互連結作平移與升降動作；該啟閉機構可包括一阜門，對應于背板出入阜大小并恰可容置于出入阜內，且阜門二側分別開設有二貫孔；二支撐架，分別固設于阜門背面，并分別向下延伸一支撐臂，支撐臂固定于升降機構的滑塊上；及一連動組件，組設于阜門背面，是以一啟閉馬達帶動一轉軸以連動二端的二旋轉鍵旋轉，旋轉鍵分別穿過阜門的二貫孔，以插入箱蓋的二鎖孔內以啟閉該前開式晶片箱箱蓋。
所述移動臺下方組設一栓鎖鍵，經(jīng)栓鎖馬達旋轉角度以栓鎖該前開式晶片箱。
以下結合附圖詳細說明本實用新型的較佳實施例。其中


圖1是本實用新型實施例的外觀立體圖；圖2A是本實用新型實施例置物臺上方的立體分解圖；圖2B是本實用新型實施例置物臺上方的剖視圖；圖3是本實用新型實施例置物臺下方的部分立體圖；圖4是本實用新型實施例背面部分立體圖；圖5是本實用新型實施例阜門背面的部分立體圖；圖6是本實用新型實施例動作示意圖。
請先參閱
圖1，一公知前開式晶片箱8的開口81上密封有一箱蓋82，箱蓋82外部二側開設二鎖孔821,821’，晶片箱8下方設有一底盤83，底盤83中央形成一固定孔831，前方形成一扣壓部832。本實用新型即用來自動載入及開啟或關閉該晶片箱8的箱蓋82。
本實施例的機臺1是以背板11固定于制程設備9的載入口上，背板11中段橫向固設有置物臺12，下段亦固設有底座13。背板11于鄰近置物臺12上方開設一出入阜110，下方縱向延設二平行長槽111,112，出入阜110前面周緣設有密封墊113以與前開式晶片箱8的開口81密合。
移動臺2上凸設三定位梢201對應于晶片箱8下方底盤83凹設之三個定位槽833，能定位晶片箱8；另凸設有二檢查梢202,202’對應于晶片箱8底盤83的二凹孔834,834’，檢查梢202,202’只要擇一裝設即可，用以檢查是前段或后段制程的使用，借此可因應不同制程的檢測需求；二檢查梢203,203’對應于晶片箱8底盤83的二檢查孔835,835’，檢查孔835’用以檢查是十三片或二十五片裝晶片箱，檢查孔835用以檢查是晶片箱或晶片匣；以及一偵測梢206(圖2B)，用以當晶片箱8無法與上述定位梢201、檢查梢202,203’配合時,造成底盤83翹起無法壓下偵測梢206，借以偵測前開式晶片箱8是否正確放妥。移動臺2上并貫設有一逃孔204與一長孔205。
圖2A顯示移動臺2是以一滑移機構21滑設于置物臺12上方?；茩C構21包括二平行軌道22,22’固設于置物臺12上，軌道22上設有前后限位開關221,221’并滑設有一滑塊23,23’，滑塊23,23’固設于移動臺2下方，其中一滑塊23螺設于一螺桿25上，并與上方的移動臺2固定，螺桿25受一滑移馬達24驅動而使移動臺2朝向出入阜110方向趨近或遠離。
圖2A、圖2B表示移動臺2下方組設有一栓鎖鍵3及一扣壓機構4。栓鎖鍵3穿過移動臺2的逃孔204凸伸于移動臺2表面，用以插入前開式晶片箱8底盤83長孔形的固定孔831內，并以一栓鎖馬達31旋轉90度以進行栓鎖動作，栓鎖馬達31固定在移動臺2的底部借由限位開關311,311’控制旋轉90度角度?？蹓簷C構4亦固定在移動臺2之底部，包括一軌條41固設于移動臺2下方，滑塊42滑設于軌條41上并螺設于一螺桿44，軌條41上設有前后限位開關411,411’，螺桿44受到扣壓馬達43驅動旋轉而促使滑塊42上方的壓板45能前后滑移，壓板45是穿過移動臺2長孔205而凸伸于移動臺2表面，用以扣壓住晶片箱8底盤83的扣壓部832。壓板45上緣二端均設有塑料滾輪46，避免壓板45重壓扣壓部832造成扣壓部832破損，且能避免與扣壓部832摩擦而產(chǎn)生粉塵。
圖3顯示本實施例于機臺1底座13上組設有一平移機構5與一升降機構6。平移機構5包括一固設于底座13上的滑軌51,51’，滑軌51上設有前后限位開關511,511’并滑設有一水平平臺52，水平平臺52螺設于一水平螺桿53上可受一平移馬達54驅動而前后水平移動。升降機構6是以其螺桿組61與升降馬達65直接固設于平移機構5的水平平臺52上，可隨該水平平臺52前后水平移動。螺桿組61包括一缺口朝外的U形垂直軌道62，背面向后凸伸二導引桿621并穿過背板11上二導引孔114，作為前后穩(wěn)定平移的導引構造；垂直軌道62上設有限位開關622并滑設一滑塊63，滑塊63螺設于一垂直螺桿64上可受升降馬達65驅動而上下垂直移動。
請參閱圖4、圖5，本實施例背板11背面的啟閉機構7，其中阜門71是對應于背板11出入阜110大小并恰可容置于出入阜110內，阜門71前面周緣設有密封墊712(
圖1)以與箱蓋82密合，阜門71凸設有二定位梢713(
圖1)對就于前開式晶片箱8箱蓋82凹設之二定位孔822，822’，能促使啟閉箱蓋82時不會異位；阜門71另于對應箱蓋82二側鎖孔821,821’位置開設有二貫孔711；阜門71背面固設有二支撐架72，72’并分別向下延伸出支撐臂73,73’，支撐臂73,73’分別穿過背板11下方二長槽111,112后固定于升降機構6螺桿組61之滑塊63上，使得阜門71可以被平移機構5與升降機構6分別帶動作水平及升降動作。阜門71背面組設有一組連動組件74，是以啟閉馬達75帶動一轉軸76連動二端的二旋轉鍵77,77’同向旋轉，旋轉鍵77,77’前端分別穿過二貫孔711凸伸于阜門71前面，用以插入前開式晶片箱8箱蓋82的二鎖孔821,821’內以進行啟閉作業(yè)。
另于阜門71的頂部設置一組或二組偵測器78，當前開式晶片箱8箱蓋82被打開，阜門71上下運動時，偵測器78即可偵測晶片箱8內晶片的數(shù)量，及晶片是否短少或擺放傾斜。并在背板11后面的阜門71上方設置一檢測器79，可檢測晶片是否凸出晶片箱8，以避免箱蓋82啟閉時碰觸晶片以致?lián)p壞晶片。
由上述可知，當人工或自動搬運車將前開式晶片箱8置放于移動臺2上，各檢查梢202，203檢查無誤會壓下偵測梢206，促使栓鎖馬達31將栓鎖鍵3旋轉90度進而栓鎖住前開式晶片箱8底盤83的固定孔831；同時扣壓馬達43轉動螺桿44帶動壓板45滑移緊緊扣壓住底盤83；雙重鎖固可確保晶片箱8向前滑移不會偏移，并可吸收間隙。移動臺2載著晶片箱8受滑移機構21帶動向前滑移，使得開口81緊貼于出入阜110密封墊113上保持密封不會泄漏，故當啟閉馬達75旋轉驅動旋轉鍵77,77’開啟箱蓋82后，仍能確保晶片箱8內不受污染，然后平移機構5將開啟后的箱蓋82平移向后帶出，再以升降機構6垂直降下，如此便可供制程設備9內的機械手臂取放晶片箱8內部的晶片。反之，若欲關閉前開式晶片箱8箱蓋82則循反向動作即可。因此，能于制程設備9內自動載入及啟閉，可完全隔絕人體微塵，減少晶片污染，可作為晶片制程整體自動化之一環(huán)。
應注意的是，上述諸多實施例僅是為了便于說明而已，本實用新型的保護范圍應以權利要求保護的范圍為準，而非僅限于上述實施例。
權利要求1.一種前開式晶片箱自動載入裝置，用以載入及啟閉一前開式晶片箱箱蓋，其特征在于主要包括一機臺，設有一背板，分別于背板中段及下段固設一置物臺與一底座，并于背板之上方開設有一出入阜；一移動臺，滑設于該置物臺上方，該移動臺上貫設有一長孔，該滑移機構是設置于移動臺下方；一扣壓機構，組設于該移動臺下方，包括一軌條固設于該移動臺下方，一滑塊滑設于該軌條并螺設于一螺桿上，及一扣壓馬達以驅動該螺桿旋轉，該滑塊上方形成一壓板能穿過該移動臺的長孔，以扣壓住該前開式晶片箱底盤的扣壓部；一平移機構，包括一滑軌固設于該機臺的底座上，滑軌上滑設有一水平平臺，水平平臺螺設于設于一水平螺桿上可受一平移馬達驅動而前后水平移動；以及一升降機構，包括有固充于該水平平臺上的螺桿組與升降馬達，該螺桿組是于一垂直軌道上滑設一滑塊，該滑塊并螺設于一垂直螺桿上可受該升降馬達驅動而上下垂直移動。
2.如權利要求1所述的前開式晶片箱自動載入裝置，其特征在于該升降機構的滑塊與一啟閉機構的支撐臂相互連結。
3.如權利要求2所述的前開式晶片箱自動載入裝置，其特征在于該啟閉機構包括一阜門，對應于該背板出入阜大小并恰可容置于該出入阜內，且該阜門二側分別開設有貫孔；二支撐架，分別固設于該阜門背面，并分別向下延伸一支撐臂，該等支撐臂固定于該升降機構螺桿組的滑塊上；以及一連動組件，組設于該阜門背面，并以一啟閉馬達驅動一轉軸以連動二端的二旋轉鍵旋轉，該旋轉鍵分別穿過該阜門的二貫孔，以插入前開式晶片箱蓋的二鎖孔內以啟閉該前開式晶片箱箱蓋。
4.如權利要求1所述的前開式晶片箱自動載入裝置，其特征在于該滑移機構是在一軌道上設置一滑塊，該滑塊螺設于一螺桿，該螺桿又由一滑移馬達驅動。
5.如權利要求1所述的前開式晶片箱自動載入裝置，其特征在于該移動臺上尚貫設一逃孔，呈該移動臺下方組設一栓鎖鍵，該栓鎖鍵穿過該逃孔而凸伸于移動臺表面，以插入晶片箱底盤長孔形的固定孔內，并經(jīng)栓鎖馬達旋轉角度以栓鎖前開式晶片箱。
6.如權利要求1所述的前開式晶片箱自動載入裝置，其特征在于該移動臺尚凸設有定位梢。
7.如權利要求1所述的前開式晶片箱自動載入裝置，其特征在于該移動臺尚凸設有檢查梢。
8.如權利要求1所述的前開式晶片箱自動載入裝置，其特征在于該移動臺尚凸設有偵測梢。
9.如權利要求1所述的前開式晶片箱自動載入裝置，其特征在于該機臺背板下方縱向設置二平行長槽。
10.如權利要求1所述的前開式晶片箱自動載入裝置，其特征在于該阜門前面周緣設有密封墊。
專利摘要一種前開式晶片箱自動載入裝置,主要包括有機臺、移動臺、扣壓機構、平移機構、以及升降機構。前開式晶片箱先置于移動臺上,經(jīng)由扣壓機構的壓板扣壓定位,繼而移動臺向前滑移將晶片箱密合于機臺背板上的出入阜與一阜門上,利用阜門背面啟閉機構開啟箱蓋,隨后阜門、箱蓋借由平移機構平移后退,升降機構能再將箱蓋垂直下降。能有效隔絕人體微塵,減少晶片污染,并能作為晶片制程整體自動化的一環(huán)。
文檔編號B65G49/07GK2438683SQ0025532
公開日2001年7月11日 申請日期2000年9月30日 優(yōu)先權日2000年9月30日
發(fā)明者陳冠州, 胡平宇, 陳貴榮, 吳宗明, 林武郎, 李文猶 申請人:財團法人工業(yè)技術研究院